【課題】小型車両から大型車両までに適用することができ、Ｘ線の垂直照射と水平照射により検査できない車両部分が小さく、実質的に車両全体をＸ線検査する。
【解決手段】Ｘ線の垂直照射と水平照射によりＸ線検査する被検車両１の前輪を持ち上げて搬送するＸ線検査用車両搬送装置１０。被検車両１の走行面１１より低く被検車両の両側面より外側に位置し搬送方向に水平に延びる１対の台車用通路１３内に設けられた１対の走行レールと、走行面より下方に位置し走行レールに沿ってそれぞれ独立に移動可能な１対の移動台車１４と、移動台車にそれぞれ設けられ台車用通路上部と被検車両の前輪の前後位置との間で水平移動可能でありかつ前輪の前後位置において被検車両の前輪を持ち上げ可能な１対の前輪リフト装置１６と、被検車両より前方に位置し１対の移動台車１４を同期して走行レールに沿って移動させる台車駆動装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】 速やかにかつ簡便に絶縁性無機材料の焼結体の組織観察を行うことができる組織観察方法を提供する。
【解決手段】 本発明の組織観察方法は、鏡面研磨された焼結体である試料の表面に導電性コーティング層を形成する第一ステップ（ステップＳ４）と、集束イオンビームによって、前記表面に形成された前記導電性コーティング層の一部を除去することで前記試料の表面の一部が露出した観察面を形成する第二ステップ（ステップＳ５）と、走査型イオン顕微鏡による二次電子像で、前記観察面を観察する第三ステップ（ステップＳ６）と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】移動台車に多数の機器を搭載することなく、被検車両の前輪を持ち上げて搬送しながら被検車両をＸ線検査することができ、これにより移動台車の構造を簡略化かつ軽量化して製造コストを下げることができるＸ線検査用車両搬送装置を提供する。
【解決手段】被検車両１の幅方向外側又は内側に位置し、被検車両の搬送方向に水平に延びる走行レール１２と、走行レールに沿って移動可能な移動台車１４と、移動台車を走行レールに沿って移動させる台車駆動装置１６と、搬送方向の複数の所定位置Ａ，Ｂ，Ｃで被検車両の前輪を被検車両の走行面１１上と移動台車１４上との間で移載可能な前輪移載装置２０とを備える。前輪移載装置２０は、移動台車に設けられ駆動装置を搭載しない台車搭載機器２２と、走行面近傍に固定して設けられた地上駆動装置２４とからなる。台車搭載機器２２と地上駆動装置２４は、各所定位置において協同して作動する。 （もっと読む）

【課題】
既製のInfiniBand（Ｒ）制御を用いる画像分配制御部は、単一ＣＰＵ上のＯＳでバッファメモリ制御と分配処理を行うため、競合が発生し分配レイテンシが変動してしまい、半導体外観検査装置には適用不可であった。
【解決手段】
検査部と、検出部と、前記検出部で検出された反射光に基づく画像を処理して該被検査対象の表面を検査する処理部とを備えた半導体検査装置であって、前記処理部は、該画像を分配する画像分配制御部と前記画像分配制御部により分配された画像を処理する画像処理部とを備え、前記画像分配制御部は、該画像の入力画像量をカウントする画像バッファカウンタと、該画像に関する情報を格納する分配制御テーブルと、入力画像量と前記分配制御テーブルからの該画像に関する情報に基づき該画像の分配開始タイミングを決定する分配タイミング制御回路と、を有することを特徴とする半導体検査装置である。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、適切な撮像回数で気泡の変化を追跡可能な放射線透過撮像装置及びその撮像方法を提供することにある。
【解決手段】本発明の制御部は、流速計測手段が測定した、二相流の流速値を用いて撮像領域の気泡流速を推定する流速演算部と、推定流速に応じた撮像時間を算出する撮像時間演算部と、撮像時間に基づいて検出器の電荷積分時間を制御する装置制御部を備えることを特徴とする。
【効果】本発明によれば、適切な撮像回数で気泡の変化を追跡可能な放射線透過撮像装置及びその撮像方法を提供できる。 （もっと読む）

【課題】微細なパターンのサイズエラーの検出を可能とするパターン検査装置を提供する。
【解決手段】設計データに基づきパターンが形成された試料を撮像する画像取得部１０と、設計データから展開画像を生成する展開画像生成部２２と、展開画像を参照画像生成モデルに入力して参照画像を生成する参照画像生成部２４であって、モデルパラメータを被検査画像と参照画像との間で画素の階調値の差が最小化されるよう最適化する参照画像生成部と、参照画像の基準パターンの測定値と、被検査画像の基準パターンの測定値から求められた基準パターンの変換差を用いて、参照画像と被検査画像のいずれか一方の被検査パターンの測定値を補正し、補正された参照画像の被検査パターンの測定値と、被検査画像の被検査パターンの測定値とを比較し欠陥の有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】放射線のイメージングのための装置において、個々のタイルを相互に、そしてマスタの支持平面に対して正確に装着しやすくするための方法を提供する。
【手段】放射線のイメージングのための装置であって、放射線検出器セルのアレイを有しているイメージング・デバイスをそれぞれが含み、組み合わされてイメージングアレイを形成する複数のタイルと、複数の前記タイルをそれぞれ支持している二つまたはそれ以上のモジュールと、前記二つまたはそれ以上のモジュールを支持しているモジュール支持構造とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、試料を透過した電子を用いて観察するＴＥＭやＳＴＥＭ、或いはＳＥＭにおいて、画像のサブミクロンから数１０μｍの微小寸法を高い精度で測定可能にする荷電粒子線用標準試料及びそれを用いる荷電粒子線装置を提供することにある。
【解決手段】本発明では、上記目的を達成するために、倍率、或いは寸法校正のための異なる２つの試料が含まれている荷電粒子線用標準試料及びそれを用いる荷電粒子線装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】 検出器の劣化のバラツキを抑制する。
【解決手段】 対象物（１０）に照射され、対象物を透過した放射線を検出器（３０）で検出する撮像動作を行うことにより、対象物に応じた放射線データを得る放射線撮像方法であって、撮像動作を複数回行った後において、検出器内の複数の検出領域（Ａ１１〜Ａ１４）のそれぞれに到達する放射線量（例えば、合計の放射線量又は、放射線量の平均値）が基準値に向かうように、対象物のうち、各検出領域に到達する放射線が透過する領域（Ｒ１〜Ｒ３）の厚さを変えながら、複数回の撮像動作を行う。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線が筺体の外部に漏洩してしまうのを防止することが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、筺体９１０と、被検査物が載置される載置面を有する回転テーブル７１１と、回転テーブル７１１の上方に配置され、回転テーブル７１１で搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線源２１０と、Ｘ線源２１０から照射されるＸ線を検知するラインセンサ４００と、Ｘ線が回転テーブル７１１の載置面とＸ線源２１０との間から筺体９１０の外部に漏洩するのを防止するＸ線漏洩防止部３００とを備える。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線発生部が発生するＸ線の出力が低くても高感度に異物を検出することができるＸ線検査装置を提供すること。
【解決手段】Ｘ線検出器１０は、搬送路２１上を搬送される被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生部９と、被検査物Ｗの搬送方向（方向Ｘ）の平面上で搬送方向に直交する主走査方向（方向Ｙ）に直線状に配置された複数の検出素子１０１ａ、１０１ｂ、・・・からなる検出素子列１０１〜１０８を搬送方向に複数段有し、複数の検出素子列１０１〜１０８の段ごとに各検出素子から得た検出データを時間遅延積分により合成して合成データを出力するＸ線検出器１０と、Ｘ線検出器１０により出力される合成データに基づいて被検査物Ｗ中の異物の有無を判定する判定部４４と、を備える。また、被検査物Ｗの厚さ情報に応じて、Ｘ線検出器１０により行われる時間遅延積分の対象となる検出素子列の段数を設定する段数設定部４６を備える。 （もっと読む）

【課題】 製造ラインに新たな製品種別が追加された場合であっても、比較的容易にしきい値を決定することができる欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】 ウエハの表面にレーザビームを入射させて、該表面からの散乱光の強度分布に基づいて欠陥を検出し、検出された欠陥に起因する散乱光の強度と判定しきい値とを比較して、比較結果に基づいて欠陥が計数される。まず、（ａ）第１の工程の処理が終了した第１の製品種別のウエハの欠陥検査要求があると、該第１の製品種別の該第１の工程に関連付けられた判定しきい値が既に登録されているか否かを判定する。（ｂ）工程ａで、判定しきい値が既に登録されていると判定された場合には、既に登録されている判定しきい値に基づいて欠陥を計数し、まだ登録されていないと判定された場合には、新に判定しきい値を決定して欠陥を計数するとともに、新に決定された判定しきい値を、第１の製品種別の第１の工程に関連付けて登録する。 （もっと読む）

【課題】クリーンルームでのシート製作に際し、工場エアやファン、冷却水を用いることなく、光源や検出器の冷却が可能な放熱機構を提供する。
【解決手段】両端が開口した通風路と、該通風路の内部もしくは該通風路に隣接して設けられた少なくとも一つの第1発熱体と、前記通風路の一端に配置され前記通風路に熱対流を生じさせる程度の発熱量を有する第２発熱体、を備えている。 （もっと読む）

【課題】試料台とその上に被せられる蓋体を有する試料導入用ホルダーであって、分析の際に、分析装置の外部からの操作を要せずに、蓋を取外して試料を開放することができる試料導入用ホルダーを提供する。
【解決手段】分析用試料を保持する試料台及びこの試料台に被せられる蓋体を有し、前記試料台と蓋体により試料及びガスを包含する空間を形成し、前記空間内と蓋体外部との圧力差が所定値以下では、前記空間内と蓋体外部間が雰囲気遮断状態となるように、試料台と蓋体がかん合しており、かつ前記かん合における試料台と蓋体間の接着力が、前記圧力差が前記所定値を超えたとき前記圧力差により蓋体が試料台上から除去される大きさであることを特徴とする試料導入用ホルダー。 （もっと読む）

【課題】
従来のパターン検査では、検査画像と参照画像とを比較し差分値に対して欠陥判定しきい値を用いて欠陥を検出する。欠陥は特定の回路パターン部にのみ発生するが、従来方法では位置によらない検査のため虚報が発生し、高感度検査が困難であった。
【解決手段】
予めＧＰ画像を取得し、ＧＰ画像に対して検査箇所及び閾値マップをＧＵＩ上で指定し、欠陥の識別基準を設定し、次に検査画像を取得し、検査画像に識別基準を適用し欠陥を識別することでパターン検査を行い高感度検査を可能にした。 （もっと読む）

【課題】装置自身により良品か不良品かの自動判定が可能で、かつ、検査のスピードが十分に早く、さらに、判定機能を持たない透視検査装置を用いて構成することができる透視検査システムを提供する。
【解決手段】透過検査装置１ａ，１ｂと、透過検査装置１ａ，１ｂを制御するとともに被検体１０１の識別子データを取得する制御手段２ａ，２ｂと、制御手段２ａ，２ｂに通信回線３を介して接続された判別手段４とを備え、透過検査装置１ａ，１ｂは、被検体１０１を透過した放射線量の二次元分布、または、三次元分布を画像データ化して記憶し、制御手段２ａ，２ｂは、透過検査装置１ａ，１ｂに記憶された画像データに被検体１０１の識別子データを対応付けて判別手段４に送り、判別手段４は、画像データに基づいて被検体１０１について良否を判別する。 （もっと読む）

【課題】試料の高さ方向のばらつきを検査する。
【解決手段】試料２９を保持するホルダ２１１と、ホルダ２１１に保持された試料２９帯電処理する帯電制御部２３と、ホルダ２１１に保持された試料２９に電圧を印加するリターディング電源２４と、リターディング電源２４により電圧が印加された試料２９に向けて電子線を照射して、試料２９の表面近傍で引き戻されたミラー電子を結像させる電子光学系２０と、ミラー電子を結像させることで得られたミラー画像を画像処理する画像処理部２７と、を有する。画像処理部２７は、ミラー電子を結像させることで得られたミラー画像と、予め用意された標準品のミラー画像との差に応じた情報を、試料２９の高さ方向のばらつきとして出力する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、透過型電子顕微鏡グリッドの製造方法に関する。
【解決手段】本発明の透過型電子顕微鏡グリッドの製造方法は、少なくとも一つの第一スルーホールを有するキャリヤー、カーボンナノチューブ構造体及び少なくとも一つの第二スルーホールを有する固定体を提供する第一ステップと、前記キャリヤーと前記固定体とを積層して、前記カーボンナノチューブ構造体を前記キャリヤーと前記固定体との間に設置する第二ステップと、前記キャリヤーと前記固定体とを溶接して固定する第三ステップと、を含む。また、本発明は、複数の透過型電子顕微鏡グリッドの製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】多段のパターンで形成されている測定対象に対して、ＳＥＭ像から測定対象領域の凹凸を的確に特定し、その構造を正確に判定することのできるマスク検査装置及びマスク検査方法を提供すること。
【解決手段】マスク検査装置は、電子ビームを試料上に照射する照射手段と、電子ビームの照射によって、パターンが形成された試料上から発生する電子の電子量を検出する電子検出手段と、電子量を基にパターンの画像データを生成する画像処理手段と、電子検出手段で検出された電子の電子量を基に試料上に形成されたパターンのラインプロファイル及び微分プロファイルを作成する制御手段と、を有する。制御手段は、微分プロファイルを基に検出したパターンの立上がりエッジ及び立下りエッジを検出し、当該エッジのデータ及び画像処理手段で作成された画像データを基に多段構造のマスクデータを生成する。 （もっと読む）

【課題】対象物の元素組成を同定する方法を提供する。
【解決手段】この方法は、選択されたエネルギー範囲を獲得するために少なくとも１つのエネルギー選択規準に応じて照射エネルギー範囲のエネルギー範囲を選択するステップ（２１０）と、選択された元素を獲得するために、少なくとも１つの元素・選択規準に応じて、対象物の分析が実行される純粋な元素及び／又は化合物を選択するステップ（２１５）と、選択されたエネルギー範囲に応じて、選択された純粋な元素及び／又は化合物の吸収係数を決定するステップ（２２０）と、選択された純粋な元素及び／又は化合物の積分密度を決定するステップ（２３０）と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）