【課題】 ＴＦＴアレイ基板の欠陥検出において、ゲート方向の線欠陥でも明確に検出することができる線欠陥検出方法及び線欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】 電子ビームをＴＦＴアレイ基板上に照射して、表面電位の走査画像を形成し、前記走査画像からＴＦＴアレイの線欠陥を検出する線欠陥検出方法であって、ＴＦＴアレイ基板に電子ビームを照射することにより得られるＴＦＴアレイ基板の表面電位の走査画像を形成する工程と、前記走査画像からＴＦＴアレイが接続された一方向の各画素の画素値を積算する投影処理工程と、前記投影処理されたデータについて、差分処理を行いデータを取得する差分処理工程と、前記差分処理されたデータについて、第１の閾値を設定し、前記第１の閾値を超えた部分の特性値を算出する特性算出工程と、前記特性値について、第２の閾値を設定し、前記第２の閾値に基づいて線欠陥を検出する線欠陥検出工程を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】車両を持ち上げた際に枠体構造物が浮き上がることを防止し、かつ、安定的な走行を行うことができる搬送装置を提供する。
【解決手段】車両１００が内部を通過できる金属製の枠体構造物２と、枠体構造物２に軸支されて地面に敷設される２本の軌条上を走行するための車輪１００ａと、車輪１００ａに回転駆動力を付与する走行モータ２２と、枠体構造物２において、互いに対向して装着された一対の昇降部材７と、昇降部材７にそれぞれ設置されており、互いに対向する側に張り出す車両把持部材５とを備え、車両把持部材５で車両１００の車輪３を保持しつつ昇降部材７を上昇させて車両１００の車輪１００ａを持ち上げた状態で車両１００を搬送する搬送装置１であって、枠体構造物２に軸支されて車輪１００ａに従動する補助輪６と、枠体構造物２における補助輪６を軸支する部分の上部において、昇降部材７の上下動を行う昇降用アクチュエータ８とを備える。 （もっと読む）

【課題】連続的に流れてくるシート等の被検査物の内部検査を行うことができ、しかも、搬送中にシートが上下しても、あるいはＸ線透過方向への厚みが大きな被検査物でも、解像度が低下することがなく、高い感度でのＸ線検出が可能で、更には装置の取扱いが容易で安定した運用を実現できるＸ線ラインセンサを提供する。
【解決手段】Ｘ線の入射により蛍光を発生する材料からなる光変換部材２と、各一端部がそれぞれ光変換部材２に臨むように直線状に配列され、他端部は２次元状に束ねられた光ファイバ束３と、その光ファイバ束の他端部からの出射光を増強する光増強手段４と、その光増強手段４からの出射光を撮像する撮像手段６を備えた構成とすることで、単純に１ライン状に光ファイバを並べても光増強手段４の作用によって十分な光量を得ることを可能とし、撮像感度を高いものとする。 （もっと読む）

【課題】ピッチズレが抑制された狭ピッチで高アスペクト比な微細構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】シリコンをエッチングして形成された凸部の少なくとも頂上部に第１の絶縁層が設けられ、基板凹部に、下記の化学式（１）および化学式（２）（Ｒ^１、Ｒ^２、Ｒ^３は、アルキル基）で表される基を含むオルガノポリシロキサンを有する第２の絶縁層を形成して凹部の底部に金属を有するシード層を形成し、前記凹部に電気めっきにより金属を充填してめっき層を形成する微細構造体の製造方法。
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【課題】Ｘ線反射率法および中性子反射率法において、均一ではない、面内の場所ごとに異なる構造を持つ薄膜・多層膜について、表面や界面、特定深さ位置における２次元の電子密度分布および核散乱長密度分布を画像化する方法及びその装置を提供する。
【解決手段】本発明では、微小ビームを作製してＸＹスキャンを行う方法によらず、通常のＸ線反射率法および中性子反射率法において用いられるものと同じサイズのビームを用い、数学的な画像再構成のアルゴリズムによって、表面や界面、特定深さ位置における２次元の電子密度分布および核散乱長密度分布の画像が得られる装置を開発した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、１回のＸ線の照射で測定試料ＳＭのより広い面積を分析し得るＸ線分析装置および該方法を提供する。
【解決手段】本発明のＸ線分析装置は、電子ビームＥＢを生成する電子ビーム生成部１と、電子ビーム生成部１によって生成された電子ビームＥＢの進行方向に沿って配置された複数の４重極レンズ２と、複数の４重極レンズ２を通過して射出された電子ビームＥＢと衝突することによってＸ線を生成するＸ線ターゲット３と、Ｘ線ターゲット３によって生成されたＸ線から所定のエネルギーを持つＸ線を抽出して測定試料ＳＭに照射するＸ線分光結晶４と、Ｘ線分光結晶４によって抽出され測定試料ＳＭを透過した透過Ｘ線を検出するＸ線検出部５とを備え、複数の４重極レンズ２は、電子ビームＥＢを互いに同じ第１方向に発散するとともに互いに同じ第２方向に収束する。 （もっと読む）

【課題】短時間で容易に試料の薄片部を形成することができる加工方法を提供する。
【解決手段】本実施形態の加工方法は、平坦化工程（ステップＳ１）および薄片部形成工程（ステップＳ２）を順に行うことで、試料１Ｂの薄片部１３を形成することができる。薄片部形成工程（ステップＳ２）では、試料の平坦面１１の下部に対して、集束イオンビーム装置から出力された集束イオンビームが平坦面１１に平行な方向に照射される。集束イオンビームの照射により試料がスパッタエッチングされて、平坦面１１に対向する対向面１２が形成される。これにより、平坦面１１と対向面１２とに挟まれた薄片部１３を有する試料１Ｂが作成される。 （もっと読む）

【課題】製品基板毎に態様の異なる被爆量を好適に管理すること。
【解決手段】電子部品が実装された基板の撮像要部をＸ線で撮像するＸ線撮像装置に用いられるＸ線被爆量管理システムにおいて、前記基板Ｗを製品毎に特定する基板特定手段と、特定された製品基板に係る累積被爆量Ｈを演算する累積被爆量積算手段とを備えている。Ｘ線撮像を実施する際の累積被爆量Ｈが個々の製品基板毎に演算されるので、例えば、再検査や、抜き打ち検査が生じて、被爆量が製品基板毎に異なるような事態が生じても、各製品基板が上限値を超えて被爆しないように管理することができる。 （もっと読む）

【課題】試料表面に一次イオンビームを照射して試料表面を除去しつつ、試料の深さ方向の分析を行うイオンビーム分析方法において、試料表面の汚染が少ない帯電防止方法を提供する。
【手段】試料１０表面に収束イオンビーム２４ａを照射して、試料１０表面に形成された絶縁層１２を貫通し、底面に試料１０の導電性基板１１を表出する凹部１０ａを形成する工程と、凹部１０ａの内部に金属イオンビーム２３ａを照射しつつ、同時に試料１０表面に一次イオンビーム２２ａを照射することを特徴とするイオンビーム分析方法。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検出領域を挟んで搬送方向の上流側と下流側に搬送コンベア分割されている場合でも、上流側コンベアと下流側コンベアとの隙間から落下する被検査物からの落下物がＸ線検出領域内に侵入しないＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】被検査物Ｗを所定の搬送方向Ｙに搬送する搬送コンベア８と、搬送コンベア８により搬送される被検査物ＷにＸ線を照射するＸ線発生部２１と、被検査物Ｗを透過したＸ線を検出するＸ線検出部２２とを備え、搬送コンベア８がＸ線検出領域Ａを挟んで搬送方向Ｙの上流側（上流側コンベア８ａ）と下流側（下流側コンベア８ｂ）とに分割されたＸ線異物検出装置１において、Ｘ線発生部２１によるＸ線照射中はＸ線検出領域Ａ内に被検査物Ｗからの落下物Ｄが侵入しないように、Ｘ線検出領域Ａに向けて常にエアーを吹き付けるエアー吹付け手段３１を備えた。 （もっと読む）

【課題】被検査物に突き刺さることを確実に防いでＸ線が漏洩する危険性を更に低減し、簡素な構成とすることで低コストとなるＸ線遮蔽カーテンを備えること。
【解決手段】筐体３と、筐体３内の搬送路に被検査物を搬送するベルトコンベア８と、ベルトコンベア８により搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線発生部１１と、被検査物を透過したＸ線を検出するＸ線検出部１２と、搬送路にベルトコンベア８の搬送方向Ｙと直交して設けられた水平軸２２と、水平軸２２にその基端側が取り付けられることでこの水平軸２２に揺動可能に吊り下げられたカーテン片２３が、水平軸２２に複数の短冊状に設けられたＸ線遮蔽カーテン２０とを備えたＸ線異物検出装置１において、Ｘ線遮蔽カーテン２０を、カーテン片２３が鉛直よりも搬送方向Ｙの下流側に揺動可能に設けるとともに、搬送方向Ｙの上流側への揺動を規制する構成とした。 （もっと読む）

【課題】樹脂被覆金属部材における被覆層の厚さなどの被覆状態を、簡易に且つ正確に測定することが可能な樹脂被覆金属部材の被覆状態測定方法を提供する。
【解決手段】樹脂被覆金属部材の被覆状態測定方法は、次の工程を備える。金属粉末を含有する金属ペーストを用意する準備工程。樹脂被覆金属部材の表面に金属ペーストを塗布する塗布工程。樹脂被覆金属部材の表面に金属ペーストを塗布した状態で、Ｘ線ＣＴ装置により樹脂被覆金属部材の断層像を得る撮影工程。断層像から、基材の表面の基材輪郭線、及び金属ペーストの表面のペースト輪郭線をそれぞれ抽出し、基材輪郭線とペースト輪郭線とに挟まれる領域を被覆層と仮定して、被覆層の被覆状態を計測する測定工程。ただし、基材を構成する金属、及び金属粉末の金属はいずれも、遷移金属及び卑金属の群（但し、Alを除く）から選択される少なくとも一種の金属である。 （もっと読む）

【課題】広いエネルギー帯にわたってノイズの低減された放射線検出画像を取得すること。
【解決手段】この放射線画像取得装置１は、放射線を出射する放射線源２と、放射線源２から出射され、対象物Ａを透過した放射線の入射に応じて、シンチレーション光Ｌ_１，Ｌ_２を発生させる平板状の波長変換板３と、波長変換板３の放射線の入射側の面３ａから放射されるシンチレーション光Ｌ_１を導光するミラー６ａ，６ｂと、波長変換板３の入射側の面３ａとは反対側の面３ｂから放射されるシンチレーション光Ｌ_２を導光するミラー７ａ，７ｂと、ミラー６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂによって導光されたそれぞれのシンチレーション光Ｌ_１，Ｌ_２を撮像する光検出器４と、ミラー６ａ，６ｂ，７ａ，７ｂによって導光されたそれぞれのシンチレーション光Ｌ_１，Ｌ_２を光検出器４に向けて導光するミラー８とを備える。 （もっと読む）

【課題】故障解析システムの結果をもとに、故障位置の原因の特定に至るために、レビュー装置などの画像の撮像に必要なレシピを効率的に作成する。
【解決手段】パターン観察装置、または前記パターン観察装置に接続されたレシピ作成装置は、前記パターン観察装置にネットワークを介して接続された故障解析システムから入力された故障位置を含む配線情報に基づいて、前記故障位置を含む配線に沿って画像が撮像されるように前記画像の撮像条件を設定するレシピ作成部を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
検査装置の感度設定にかかる処理時間とユーザ負担を低減すると共に、ＬＳＩテスタによる電気的特性検査にかかるコストの増加、及び、電気特性検査が困難な領域の発生に対処する。
【解決手段】
パターンが形成された試料に光源から発射された光を照射し、この光が照射された試料からの反射光を検出器で検出して画像を取得し、この取得した画像を処理して該画像の特徴量を抽出し、この抽出した画像の特徴量を予め設定した基準値と比較して試料上の欠陥を検出する欠陥検査方法において、予め設定した基準値をパターンが形成された試料を別の検査装置で検査して得た試料の検査結果を用いて作成するようにした。 （もっと読む）

【課題】広いエネルギー帯にわたってぼけの少ない放射線検出画像を取得すること。
【解決手段】この放射線検出器３は、対象物Ａを透過した放射線の入射に応じてシンチレーション光を発生させる平板状の波長変換板６と、波長変換板６を透過した放射線を検出する直接変換型検出器５と、波長変換板６と直接変換型検出器５との間に配置され、シンチレーション光の直接変換型検出器５への入射を防止する遮光板７とを備える。 （もっと読む）

【課題】厚さ２００ｎｍ以上のゴム材料でも充填剤の分散状態を詳細に観察できるゴム材料の観察方法を提供する。
【解決手段】充填剤を含有するゴム材料の観察方法であって、走査透過電子顕微鏡を用いて取得した該ゴム材料の各回転角度における画像からトモグラフィー法により３次元構造を再構築し、ゴム材料中の充填剤の分散状態を観察することを特徴とするゴム材料の観察方法に関する。 （もっと読む）

【課題】複数のＸ線を被検査体に照射するとともに、複数のＸ線の検出側でのタイミングの制御を容易にすること。
【解決手段】単一のマイクロ波源２と、マイクロ波源２が発生するマイクロ波を複数に分配する分配手段３と、分配手段３により分配された各マイクロ波を導入し各電子ビームを異なる速度に加速させて異なる波長の各Ｘ線を発生させ、所定速度で搬送される被検査体Ｐの搬送方向での異なる位置に対して各Ｘ線を照射させる各Ｘ線発生手段４と、被検査体Ｐを透過した各Ｘ線を検出し、当該各Ｘ線に基づく各Ｘ線画像を得る各Ｘ線検出手段５と、各Ｘ線検出手段５によって得た各Ｘ線画像を記憶するとともに、被検査体Ｐが搬送される所定速度に基づいて、被検査体Ｐの同一箇所を透過した各Ｘ線による各同断面Ｘ線画像を抽出する画像処理手段６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明はＥＰＭＡ(電子プローブマイクロアナライザ)におけるＸ線像データ処理方法及び装置に関し、異なるシーケンスで取得し位置ずれが存在しているＸ線像データ同士であっても、相関演算処理を正確に行なうことができるようにすることを目的としている。
【解決手段】 ＥＰＭＡを用いて試料の同一領域について異なるタイミングでそれぞれＸ線像のデータを取得して記憶する場合において、各タイミングで前記領域について２次電子又は反射電子検出に基づく電子像データを併せて取得して記憶し、異なるタイミングで取得した電子像データを比較して位置ずれ量を算出し、算出した位置ずれ量に基づき、前記異なるタイミングで得た各Ｘ線像データに対して、各Ｘ線像データに共通して存在する領域を切り出す処理を施すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】比較的低廉な方法で精度の高い検査画像を得ること。
【解決手段】検査対象品の検査要部１０１を通る垂直線回りの角度Ｒと、前記垂直線と直交する線分回りの角度θとを組み合わせて、当該検査要部をＸ線が斜めに透過する方向を含む複数の透過方向ψ（Ｒ，θ）をＸ線ＣＴでの撮像よりも少ない数だけ設定する。設定された透過方向ψ（Ｒ，θ）に基づいて、当該透過方向ψ（Ｒ，θ）毎にＸ線撮像を実行する。撮像された複数のＸ線画像を所定の条件で重ね合わせて合成画像を生成する。 （もっと読む）