【課題】イオン液体の表面を浮遊する微細試料を、イオン液体に覆われることなく走査電子顕微鏡で観察する。
【解決手段】浮遊性あるいは疎水性の試料を親水性のイオン液体水溶液の表面に浮かべることで、微細試料がイオン液体に覆われることを防止する。親水性の試料の場合には、疎水性のイオン液体を使用する。粘性が低く、流動性が大きいイオン液体水溶液を用いることで、微細試料がイオン液体の表面で自由に凝集，分散，整列できるようにし、さらにはイオン液体中に沈降した微細試料の再浮上を可能にする。微細試料の形態が安定した後、走査電子顕微鏡下での観察を容易にするために、電子顕微鏡観察前にイオン液体水溶液を乾燥させることで、イオン液体水溶液の流動性を低下させる。 （もっと読む）

【課題】産業用Ｘ線ＣＴ装置の空間分解能を向上するためのＸ線検出器と、それを用いたＸ線ＣＴ装置及びＸ線ＣＴ撮像方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線を照射するＸ線源と、撮像対象被検体を透過したＸ線を検出するＸ線検出器と、Ｘ線源とＸ線検出器の間に配置された撮像対象被検体を回転・並進させる駆動機構と、Ｘ線検出器で計測されたＸ線透過量を数値化する信号処理回路と、これらの信号を元に画像を再構成するための演算装置からなるＸ線ＣＴ装置において、前記Ｘ線検出器は、前記透過したＸ線を検出する複数個の半導体部材１２が既知の間隔を開けて配置されることによりリニアアレイの配列状態でＦＲＰ製の補強基板１６に埋設され、且つ支持されていることにより、前記半導体部材１２間の間隔が狭められて検出不感帯域の少ない稠密配置を成す構成を有する。 （もっと読む）

【課題】散乱線対一次線量比（ＳＰＲ）が低下するように二つの次元で散乱を減少させる。
【解決手段】第一の複数のＸ線減弱プレート（５４）の（５８）は第一の方向（５６）に沿って延在し、第一の複数のＸ線減弱プレート（５４）の各プレート（５４）は第二の方向（６２）に沿って互いから隔設されている。第二の複数のＸ線減弱プレート（６０）の長さ（６４）は第二の方向（６２）に沿って延在し、第二の複数のＸ線減弱プレート（６０）の各プレート（６０）は、第一の方向（５６）に沿って互いから隔設され、また第一の複数のＸ線減弱プレート（５４）の各プレート（５４）を通して延在している。第一及び第二の方向（５６、６２）は直交しており、第一の複数のＸ線減弱プレート（５４）の各プレート（５４）の幅（６６）は、第二の複数のＸ線減弱プレート（６０）の各プレート（６０）の幅（６８）よりも広い。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線の漏洩を確実に防止することが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、Ｘ線遮蔽構造を有する筐体２００と、被検査物Ｂを検査する検査室と、検査室内にＸ線を照射し筐体内部に固定配置されたＸ線源と、Ｘ線源から照射されるＸ線を検出する検出部と、検査室内に被検査物を搬入出させる搬送部５００と、検査室の側面に設けられるＸ線遮蔽扉６００とを備えている。そして、Ｘ線源から照射されるＸ線の照射面を含む面と交差する交差領域Ｔ１と、他の領域Ｔ２とを有し、交差領域Ｔ１には、他の領域Ｔ２よりもＸ線の遮蔽機能が高い遮蔽手段が設けられる。 （もっと読む）

【課題】衛生上の問題なく、比重の小さい被検査物でも円滑に通過させながらＸ線が漏洩することを阻止することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査室１０に通じる搬入側および搬出側の少なくとも一方の搬送径路に、被検査物ｗが滑走移動する傾斜シュート２０を備え、この傾斜シュート２０の上方から金属板からなるＸ線遮蔽体２２ａ，２２ｂを自由揺動可能に垂下し、Ｘ線遮蔽体２２ａ，２２ｂが傾斜シュート２０に沿って滑走移動する被検査物ｗによって押し開かれるようにしている。 （もっと読む）

【課題】確実に異物検出を行うことが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、被検査物ＡにＸ線を照射するＸ線源２００と、Ｘ線源２００から照射される低エネルギー帯のＸ線を検知するセンサ３１０および高エネルギー帯のＸ線を検知するセンサ３２０を有するセンサユニット３００と、センサ３１０により検知されたＸ線データに基づいて被検査物Ａの透過画像を生成すると共に、センサ３２０により検知されたＸ線データに基づいて被検査物Ａの透過画像を生成する画像生成部４０１と、２つの透過画像の輝度が一致または近似するように一方の透過画像の輝度を変換させる輝度変換テーブルを作成する輝度変換テーブル作成部４０６と、輝度変換テーブルを平滑化して平滑輝度変換テーブルを取得する平滑化部４０８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高品位のアルミニウム合金展伸材をそのまま展伸材として水平リサイクルし、省エネルギー化・省資源化に役立てることができるアルミニウム合金の材質判定技術を提供する。
【解決手段】下記材質判定のうち、少なくとも一方を有することを特徴とするアルミニウム合金の材質判定方法。
（Ａ）測定対象であるアルミニウム合金に強度の異なる２以上のＸ線を別々に照射し、透過Ｘ線強度を測定し、その測定値から減弱係数の比の値を求め、求めた比の値に基づきアルミニウム合金の材質を判定すること、
（Ｂ）測定対象であるアルミニウム合金に渦電流プローブを用いて渦電流を形成させ、形成された渦電流を検出し、その検出結果から渦電流によるアルミニウム合金のインピーダンスを求め、求めたインピーダンスの値に基づきアルミニウム合金の材質を判定すること。 （もっと読む）

【課題】走査型電子顕微鏡で得られるパターン断面を撮像した画像から、パターン断面の側壁角度を精度良く計測することができるパターン画像測定方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のパターン画像測定方法は、パターン断面画像を画像処理して断面の輪郭線座標データを抽出し、前記輪郭線座標データからパターン上部と下部に相当する座標値を抽出し、パターンの高さ、計測範囲２点の座標値及び計測範囲の高さを算出する。前記２点の座標値に相当するｘ方向の輝度分布信号を取得し、信号から断面ＳＥＭ画像特有の白い影部分に相当する範囲の信号成分を除去する。前記信号に対して、相互相関法を適用し、２つの信号間距離を算出し、側壁角度を算出する。 （もっと読む）

【課題】高精度に検査を行うことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】
本実施の形態に係るＸ線検査装置１００においては、被検査物９００を透過した透過Ｘ線２１０がラインセンサ２２０により検出される。検出された透過Ｘ線２１０から透過画像が作成されて被検査物９００の検査が行われる。本発明のラインセンサ２２０は、シンチレータおよびフォトダイオードからなる間接型ラインセンサのシンチレータがないセンサである。 （もっと読む）

【課題】板状試料の大きさ、形状に関わらず、試料底面を試料台に接触させずに簡便に安定した状態で保持できる保持具を提供する。
【解決手段】板状上部保持部材２と板状下部保持部材３と両保持部材の間に試料を挟んだ状態で両保持部材を固定する固定手段（４、５、５a、５ｂ）とを備え、前記固定手段を、前記両保持部材の板中心から離れる位置に設ける構造とする。 （もっと読む）

【課題】内部がほぼ均質な農産物の内部の空洞の有無を、高速かつ廉価に検査すること。
【解決手段】Ｘ線ビームを農産物３１２に照射し、かつ、Ｘ線ビームを最小のエネルギとするべく電気的に制御するエネルギ制御部を有するＸ線源（３０１、３０２）と、農産物を透過したＸ線ビームの強度を測定するＸ線測定器（Ｘ線受光器３０４）と、Ｘ線源からＸ線測定器に向かうＸ線ビームを前記農産物が相対的に横切るようにした機構部（ベルトコンベア３１０）と、農産物のサイズを測定する農産物測定器（３０６，３０７、３０８）とを有し、農産物のサイズの測定結果をＸ線源のエネルギ制御部への入力により、Ｘ線源から農産物に対して照射されるＸ線ビームを必要最小のエネルギに制御し、かつ、Ｘ線測定器の出力の前記農産物の位置に対する依存性の波形から農産物内の空洞欠損の有無を検出する。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスやデバイスシステムの欠陥箇所や不良箇所を、３次元の電流像を用いて特定することができる３次元像測定装置を提供する。
【解決手段】３次元像測定装置１００は、走査信号を走査ミラー２３に出力する走査回路２４と、第２の対物レンズ２５を光軸に沿って移動させ、光軸方向における試料２００及び第２の対物レンズ２５間の相対距離を変化させる光軸方向移動機構２６と、制御信号を光軸方向移動機構２６に出力する光軸方向移動制御回路２７と、試料２００に流れる誘起電流を出力する導電性プローブ３１と、走査回路２４からの走査信号及び導電性プローブ３１からの電流値に基づいて試料２００の２次元電流像を構築し、光軸方向移動機構２６による各相対距離における各２次元電流像を重ね合わせた３次元電流像を構築する演算部４３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】固定配置されたＸ線発生装置とＸＹテーブル、および斜めの姿勢でこれらに対して回転が与えられるタイプのＸ線ＣＴ装置におけるＸＹテーブルの位置の計測のための装置コストを、従来に比して低コスト化することを実現する。
【解決手段】ＸＹテーブル２の位置を検出する手段として、ＸＹテーブル２に付したマーカーＭを撮影する光学カメラ７と、その光学カメラ７にらにるマーカーの撮影出力を画像処理する画像処理手段１３によって構成し、マーカーＭの移動方向と量からＸＹテーブル２の刻々の位置情報を得て、Ｘ線検出器３の回転に合わせてその視野中心を維持するためにＸＹテーブル２を自動的に移動させる。 （もっと読む）

【課題】既設ラインに容易に着脱ができ、さらにＸ線の漏洩を確実に防止することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、既設のトップチェーン型コンベア９００に対して着脱可能な連結ユニット１２０，１３０と、連結ユニット１２０，１３０の側方に配置される共通ユニット１１０とを備え、連結ユニット１２０，１３０は、共通ユニット１１０へ物品Ｂを搬入出する搬入口９１１Ａ，搬出口９１２Ａを有する漏洩防止カバー９１１，９１２と、共通ユニット１１０へ物品Ｂを搬入出させる受取部６００および受渡部８００とを含む。 （もっと読む）

【課題】ポリマ材料内での無機充填剤の分散状態の解釈が容易な無機充填剤を含むポリマ材料の観察方法を提供する。
【解決手段】少なくとも２種類以上の高分子材料と、１種類以上の無機充填剤を原料として混合しているポリマ材料の相分散構造解析に際し、高分子材料の内、少なくとも１種類以上と化学反応して重金属化合物を形成し、かつ無機充填剤とも化学反応する電子染色溶液に、ポリマ材料の試料片を浸漬させた後、水洗し、その試料片を走査型電子顕微鏡で観察して、化学反応した高分子材料と化学反応しない高分子材料と無機充填剤とが分散した反射電子像を収得し、その反射電子像中の無機充填剤が溶出した跡の孔の部位と溶出しない無機充填剤の部位との輝度を一致させた反射電子像を得るようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】被検体内部の線状部の３次元座標を抽出する。
【解決手段】被検体の所定の方向と交差する複数の断層画像を得るステップと、複数の断層画像のうちの第１の断層画像上において、被検体内の線状部の断面に対応する第１の構成点を特定して、第１の構成点の３次元座標を得るステップと、第１の断層画像に対して所定の方向について隣接する第２の断層画像上において、被検体内の線状部の断面に対応する第２の構成点を特定して、第２の構成点の３次元座標を得るステップと、第１の断層画像内で特定した第１の構成点から、第２の断層画像内で特定した第２の構成点を結ぶベクトルを、線状部のベクトルとして特定するステップと、を含む。 （もっと読む）

【課題】 特別な構成を設けることなくＸ線曝射の開始及び停止において生じる遅延時間を簡易で安価に測定する技術を提供する。
【解決手段】 Ｘ線を曝射してＸ線画像を取得するＸ線撮影装置は、Ｘ線を出力する出力手段と、出力手段に制御信号を供給してＸ線出力に係る動作を制御する制御手段と、出力されたＸ線を検出して電荷を蓄積する複数の検出素子を備えた検出手段と、複数の検出素子を一定の速度で順に走査して、各検出素子に蓄積された電荷を読み出す読出手段と、各検出素子の電荷を画素値に変換して画像を生成する生成手段と、生成した画像を解析して、制御信号の出力に対する、出力手段のＸ線出力に係る動作の遅延を測定する測定手段とを備える。出力手段は検出手段が備える各検出素子に対して一定強度のＸ線を出力し、測定手段は、画像において画素値の変化が存在する領域と存在しない領域との境界の位置と、走査の速度とに基づいて遅延を測定する。 （もっと読む）

【課題】
デバイス等の不良原因となる数μｍ程度の有機微小異物をＳＥＭ中で高感度に分析できる質量分析手法を提供することを目的とする。
【解決手段】
ＳＥＭチャンバ内に、微小試料を加熱するための加熱機構、気化した試料を分析するための質量分析計を取り付ける。こうすることにより、ＳＥＭ中で観察した異物をＳＥＭの真空チャンバから取り出すことなく、そのまま微小有機異物の質量分析が可能となる。またＥＤＸとの併用で無機／有機異物ともに同定可能となり、異物分析を高スループットに行うことができる。 （もっと読む）

【課題】接合材による接合部が多層にわたり形成された電子部品を検査対象として複数のスライス画像の中から接合部の検査に最適な画像を自動で抽出することができる接合部の放射線検査装置、接合部の放射線検査方法、電子部品の生産装置を提供する。
【解決手段】はんだ接合部のＸ線検査装置３０のパーソナルコンピュータ（ＰＣ）は、パワーモジュールＭｐを変位させながらＸ線を照射して受光器３２によってはんだ接合部についての複数のＸ線画像を撮像し、複数のＸ線画像から３次元再構成データを生成し、生成した３次元再構成データからパワーモジュールＭｐの接合面に沿った各層のスライス画像を抽出する。パーソナルコンピュータ（ＰＣ）は、各層のスライス画像について輝度ヒストグラムの平均値を算出して、算出した輝度ヒストグラムの平均値が最大のスライス画像をはんだ接合部の状態の検査に最適な画像として抽出する。 （もっと読む）

【課題】 速やかにかつ簡便に絶縁性無機材料の焼結体の組織観察を行うことができる組織観察方法を提供する。
【解決手段】 本発明の組織観察方法は、鏡面研磨された焼結体である試料の表面に導電性コーティング層を形成する第一ステップ（ステップＳ４）と、集束イオンビームによって、前記表面に形成された前記導電性コーティング層の一部を除去することで前記試料の表面の一部が露出した観察面を形成する第二ステップ（ステップＳ５）と、走査型イオン顕微鏡による二次電子像で、前記観察面を観察する第三ステップ（ステップＳ６）と、を備えている。 （もっと読む）