【課題】試料導入部を脱着する際、試料導入部固定のための２箇所のネジおよびパイプに電力を供給するための２箇所の電源ケーブル圧着端子を脱着する必要があり合計４箇所の脱着を行うので作業効率が悪く、かつ電源ケーブル圧着端子接続箇所の接触不良が発生しやすい問題がある。
【解決手段】試料導入部３を質量分析計側に固定する２箇所を保持部材６および７からのパイプ５への電力供給部を兼ねたフランジ部６ａおよび電極７ｂとし、あらかじめ装置側の真空の隔壁１４に固設した試料導入部固定用の支柱１５および１６に保持部材６、７をネジ止めする構造とし、支柱１５、１６にはあらかじめ電源ケーブル圧着端子１９、２０を接続しており試料導入部３を脱着する際、電源ケーブル圧着端子１９、２０を脱着する必要のない構造として２箇所のネジの脱着のみで試料導入部３の脱着が可能である。 （もっと読む）

【課題】試料導入パイプは細管であるため試料による汚れが生じて詰まりやすく、またパイプを取り外して洗浄もしくは交換するとき、真空チャンバーの真空を破壊して大気圧にする必要がある。
【解決手段】パイプ５の挿脱を容易にするパイプホルダ１４を真空チャンバーＡ側に一体的に形成するとともに、このパイプホルダ１４にはパイプ５を挿脱できる内孔部と、この内孔部と真空チャンバーＡを連結する細孔を穿設したものである。内孔部はネジ１４ｃ孔に形成されパイプ５を保持したネジ体がこの内孔部に挿入される。パイプホルダ１４の先端１４ａの細孔はパイプ５の内径と同等にする。したがってパイプ５はパイプホルダ１４から容易に離脱できる。パイプ５の交換時、細孔からの空気流入は少なく装置は排気状態を保持することができる。 （もっと読む）

【課題】軟Ｘ線を用いてベースガスイオンを生成し、このベースガスイオンと試料分子とのイオン分子反応により試料分子イオンを生成することによって、安全性が高く、装置の汚染、試料の分解、及びイオン化室の電界への影響などを抑制でき、試料分子を効率よくイオン化できるイオン移動度計およびイオン移動度計測方法を提供する。
【解決手段】イオン移動度計１は、試料分子をイオン化するイオン化装置２と、イオン化された試料分子の移動度を計測するドリフト室１１とを備える。イオン化装置２は、ベースガスをイオン化するとともにベースガスイオンと試料分子とのイオン分子反応を促すイオン化室２０と、イオン化室２０内へ軟Ｘ線を照射する軟Ｘ線管３とを有する。軟Ｘ線管３は、軟Ｘ線の照射量を増減可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】軟Ｘ線を用いて試料分子をイオン化する際のイオン密度を高めることができるイオン化装置を提供する。
【解決手段】イオン化装置１は、本体部２１、軟Ｘ線管３、及び電極４，５を備える。本体部２１は、所定の軸方向に延びており試料分子をイオン化するイオン化室２と、イオン化室２に試料分子を導入する導入口２２と、試料分子イオンを排出する排出口２３とを有する。軟Ｘ線管３は、電子源３１と、電子源３１からの電子を受けて軟Ｘ線を発生するターゲット部３２とを有する。電極４，５はイオン化室２の一端側、他端側にそれぞれ設けられている。軟Ｘ線管３の軟Ｘ線出射軸方向は、上記所定の軸方向と交差している。ターゲット部３２に設けられた電極３２ｂと電極５とは、互いに短絡されている。導入口２２の中心軸方向は、軟Ｘ線出射軸方向と交差している。 （もっと読む）

【課題】
酸素ボンベや酸素ガス供給ライン、流量制御器などが新たに必要としない装置、ＩＣＰのトーチ位置をサンプリングコーンから遠くに離すことなどの煩雑な操作を必要としない新規なＩＣＰ−ＭＳ及びＩＣＰ−ＯＥＳの提供。
【解決手段】 誘導結合プラズマ質量分析装置又は誘導結合プラズマ発光分析装置において、プラズマに導入されるガス或いはプラズマを形成するガスの供給ラインの少なくとも一部に、酸素又は空気透過性チューブ、若しくは、酸素又は空気透過性膜を備え、透過した酸素を任意の時間帯だけ前記ガス供給ラインに導入するための切替バルブを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】放電部の煤を焼失させるようにヒータを設けてなる煤センサにおいて、放電部との関係でヒータを設ける位置に工夫を凝らし、放電部にて煤以外の導電性に寄与する粒子の影響を受けることなく放電するように構成する。
【解決手段】煤センサは、金具部材１００、電気絶縁材料からなる筒部材２００及びロッド部材３００を備えている。筒部材２００は、金具部材１００の主体金具１１０内に同軸的に支持されている。ロッド部材３００は、筒部材２００内に嵌装されて、中心電極３２０にて、当該筒部材２００の先端から延出している。ここで、中心電極３２０は、電極部３２１にて、金具部材１００の外側電極１２０の電極部１２２に対向している。ヒータ４００は、筒部材２００の先端側部位６３０の外周面にその先端側にて貼着されている。ヒータ４００の発熱抵抗部４３１の下縁部４３５と中心電極３２０の電極部３２１の先端部との間には、２５（ｍｍ）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】イオン化室の通過窓に気化したガス等が吸着するのを防止して光源からの光量ロスを低下させ、効率良くイオン化することができる質量分析計を提供することである。
【解決手段】紫外光Ｌを射出する紫外光源２と、前記紫外光源２からの紫外光Ｌが通過する通過窓３１及び測定対象粒子をイオン化するイオン化領域３２を有するイオン化室３と、前記イオン化室３に前記測定対象粒子を含む試料を導入する試料導入部４と、前記通過窓３１に設けられ、前記紫外光源２からの紫外光Ｌを前記イオン化領域３２に集光する集光レンズ６と、前記イオン化領域３２においてイオン化された試料の質量を分析する質量分析部７と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】個別質量スペクトロメータについて説明する。
【解決手段】分析器構成要素をモジュール上に作製し、そのモジュールにそのモジュールの識別子を含むことにより、ユーザ又はタスクを１つ又は複数のモジュールに一意に関連付けることができる。モジュールは、ハウジング内で取外し可能な状態で受入れられるので、必要な場合は別のモジュールと交換することができる。 （もっと読む）

【課題】試料供給部やイオン化部に吸着した物質のクリーニングが容易で、吸着した物質の影響に伴う測定対象物質の検出感度の低減を防ぎ、安定した測定が可能な化学物質モニタ装置を提供する。
【解決手段】試料に含まれる化学物質のイオンを生成するイオン化部５と、イオン化部に試料を供給する試料供給部４と、イオン化部５で生成されたイオンの質量分析を行う質量分析計６と、質量分析計６による質量分析の結果のデータに基づいてデータ処理を行うデータ処理部７と、データ処理部７によるデータ処理の結果を表示する表示部８と、試料供給部４およびイオン化部５の内部に吸着した吸着物質を脱離させる脱離ガスを、試料供給部４を介して添加する脱離ガス添加手段２，３とを備えたことを特徴とする化学物質モニタ装置１である。 （もっと読む）

【課題】イオン検出器の保護方法を備えている質量分析法を提供する。
【解決手段】質量分析システムは、質量フィルタと、質量フィルタ制御と、イオン検出器と、イオン検出器保護モジュールを備えている制御器とを含む。イオン検出器保護モジュールは、イオン検出器の出力信号を監視し、特定の質量のイオンを受容することにより得られる出力信号の累積が閾値を越える場合、保護モジュールは制御器にイオン検出器が特定の質量のイオンをそれ以上受容することを妨げるようにさせる。閾値を超えるとき、保護モジュールは制御器に、質量フィルタ制御に信号を送出し、DC電圧を変更して、SIMの残りの時間、イオンがイオン検出器に向けられないようにさせる。正確な測定値を得るために十分に長く積分することによって高い信号レベルでの正確さが維持される。信号レベルが大きいことによって、正確な測定を達成するために、短い積分時間のみが必要とされる。 （もっと読む）

【課題】 イオン発生源のメンテナンス時等におけるチャンバ内の真空度の低下を防止しながらもイオンガイドによるイオン輸送効率の高いイオンガイドを提供する。
【解決手段】 互いに平行に配置された複数組の対向する電極ロッド１５〜１８を具備するイオンガイド１２であって、イオンガイドに入射されたイオンが、電極ロッドと平行に延び且つ各組の電極ロッドの中心に位置するイオン輸送軸線１４上付近をイオン輸送軸線方向に進むようにこれら電極ロッド間に電圧を印加することによりこれらイオンを案内するイオンガイドにおいて、各電極ロッドは複数の中空ロッドから形成され、これら中空ロッドは当該イオンガイドが伸縮可能であるように入れ子式に連結される。 （もっと読む）

【課題】 高い操作性が確保されながら、ガス導入用パイプおよび信号伝達用ケーブルの破損が確実に防止されるガス採取用プローブ装置、および、信頼性の高いガス測定を確実に行うことができ、使用上の利便性が高い可搬型水素炎イオン化式ガス検知器の提供。
【解決手段】 ガス採取用プローブ装置は、可搬型ガス検知器に接続されて用いられるものであり、各々、大径コイル部およびこれに続く小径コイル部が単一の金属線よりなる２つのスパイラル金属線からなり、各々の大径コイル部が互いに螺合されて結合された、共通のコイル内空間を有する複合大径コイル部と、複合大径コイル部から互いに分岐して伸びる各々の小径コイル部よりなる分岐部とを有する線条保護部材が、複合大径コイル部にガス導入用パイプおよび信号伝達用ケーブルが共に挿通されると共に、各々の分岐部にガス導入用パイプおよび信号伝達用ケーブルが別個に挿通された状態で、設けられている。 （もっと読む）

本発明の実施形態は、排出チューブを修理または交換すること、あるいは検知器および／または噴霧ガス導管のオリフィスに対して排出チューブの位置を修正することを容易にする。装置は、排出チューブを滑動自在に受ける排出チューブハウジングを特徴とする。排出チューブを流体源と結合するユニオンが、チューブハウジングを保持している装着組立体に滑動自在に装着されている。 （もっと読む）

イオン源、イオンを形成する方法、および質量分析計システムが提供される。本教示はさまざまな実施例において、イオン源、イオン源からイオンを集束させる方法、および飛行時間型質量分析計を操作する方法を提供する。本教示はさまざまな実施例において、質量分析計とともに使用する場合の、マトリックス支援レーザー脱離イオン化（ＭＡＬＤＩ）イオン源およびＭＡＬＤＩイオン源の操作方法に関連する。さまざまな側面において、複数の操作モードが構成されるＴＯＦ質量分析計の感度と分解能のうち１つ以上の向上を促進するイオン源およびその操作方法が提供される。
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【課題】
測長ＳＥＭは、高真空に保たれた試料室にウェーハを搬入して半導体デバイスの線幅や穴径を測長する装置であり、測長ＳＥＭを使用して、真空中の装置状態を容易に把握する。他の真空装置についても適用できるようにする。
【解決手段】
真空中の駆動系の状態、真空バルブ、真空状態や電子光学系の状態を画面化したことにより真空中の装置状態の把握を可能とした。また、各種センサのＯＮ／ＯＦＦタイミング、Ｏｐｅｎ／Ｃｌｏｓｅタイミングおよび真空の状態をタイミングチャート化し時間計測や、リファレンスデータとの比較を可能とした。
この機能を有することにより、装置保守点検や装置修理時に的確な判断を行う
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イオン源の陽極内部に適合するような取外し可能な陽極ライナー：陽極ヘ放出するような電子、ここで任意の絶縁堆積物が、陽極ライナーの内部に付着する、そのため、早期の取り替え又は取り除きをしないで効果的に使用可能年数を増大させること。
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