【課題】化学兵器剤の一種であるジフェニルシアノアルシン（ＤＣ）やジフェニルクロロアルシン（ＤＡ）の実時間検出が可能なガスモニタリング装置を提供する。
【解決手段】大気圧化学イオン化質量分析法を用いて正イオン化モードで測定し、ＤＣとＤＡに共通のイオンの強度からＤＣとＤＡの総量を測定し、ＤＣに特有のイオンの強度からＤＣの濃度を測定し、これらの差をＤＡの濃度とする。 （もっと読む）

【課題】ＡＰＣＩによるイオン化を安定させ、ノイスレベルを低減して検出信号のＳＮ比を向上させる。
【解決手段】ＡＰＣＩのためのニードル電極１２に高電圧を印加する際に流れる電流を電流値モニタ４８により検出し、この実際の電流値と制御部３４より指示される電流目標値との誤差を比較器４６により求め、電圧発生部４７はこの誤差がゼロになるようにニードル電極１２に印加する高電圧Ｖ２を調整する。電流値はＡＰＣＩ領域１７に存在する溶媒イオン量に依存するから、電流値が一定になるように電圧を制御することにより、ＡＰＣＩ領域１７での目的成分のイオン化が安定して行われるようになる。 （もっと読む）

本発明は、電子（２１）を放出するための陰極装置（６）と、中性粒子（２０）の供給用の入口（１４）と接続しており、中性粒子（２０）のイオン化のために陰極装置（６）と作動接続している反応帯（３）と、反応帯（３）の作動領域と連通するように配置されているイオン抽出構造（４）と、検出システム（１２）へイオン（２２）を案内するための手段と、質量分析装置を真空にするための手段とを含む質量分析装置に関する。ここでは陰極装置（６）はエミッタ面（７）を有する電解放出陰極を含み、このエミッタ面（７）とわずかに間隔をあけて電子の抽出のための抽出グリッド（９）が配置されており、これはエミッタ面（７）を実質的に覆っている。エミッタ面（７）は、管状の構造が構成されるように、少なくとも部分的に中空部（１３）を取り囲んでいる。
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【課題】スキャン速度を高速化する場合にプリアンプの周波数帯域が不足してピークの分離性が悪化するが、周波数帯域を広げるとノイズの増加や検出感度の低下を招く。
【解決手段】使用者により設定されるスキャン速度に応じて、スキャン速度が速い場合にはプリアンプ４０のゲインを下げる一方、周波数帯域を広げ、スキャン速度が遅い場合にはプリアンプ４０のゲインを上げる一方、周波数帯域を狭くするように帰還抵抗Ｒ１、Ｒ２を切り替える。また、プリアンプ４０の次段の倍率器４１の倍率も連動して切り替えることにより、帰還抵抗Ｒ１、Ｒ２の切り替えに拘わらずプリアンプ４０、倍率器４１を通してのゲインを一定に保つことで、それ以降の回路の構成や処理を簡単にする。 （もっと読む）

イオンフラックスを計算するシステムおよび方法。一実施形態において、質量分析計は、試料からイオンのビームを発生させるイオン源と該イオン源の下流に置かれる少なくとも１つの検出器とを含む。該少なくとも１つの検出器は、複数の検出器チャネルを備えている。質量分析計はまた、複数の検出器チャネルに動作可能に連結されたコントローラを含む。該コントローラは、各検出器チャネルに関連づけられたイオン存在度データを決定することと、各検出器チャネルに関連づけられた補正されたイオン存在度データを決定することと、検出器チャネルの各々に対するイオン存在度データに対応する信頼度データを決定することと、イオン存在度データおよび信頼度データの両方に関連づけられたイオンフラックスの信頼度で重みづけされた存在度推定を決定することとを行なうように構成される。
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質量分析法、特に、データ依存式方法を利用するＭＳ／ＭＳ及びＭＳⁿスペクトルの自動取得に関する技術を提供する。データ依存式質量分析ＭＳ／ＭＳ又はＭＳｎ分析の方法及び装置を開示する。本方法は、関連イオン種の荷電状態の判断を含むことができ、判断された荷電状態に少なくとも部分的に基づく解離型（例えば、ＣＡＤ、ＥＴＤ、又は非解離電荷低減又は衝突活性化が後に続くＥＴＤ）の自動選択がそれに続く。関連のイオン種は、次に、選択された解離型に従って解離され、得られる生成イオンのＭＳ／ＭＳ又はＭＳｎスペクトルを取得することができる。 （もっと読む）

【課題】試料と検出器とにおける所望の検出条件を変えることなく、試料に対する一次イオンの入射角度を変更することが可能となる二次イオン質量分析装置を提供する。
【解決手段】本二次イオン質量分析装置は、照射方向可変イオン照射装置と試料台と質量分析器とを含んでなる。この照射方向可変イオン照射装置は、固定されたイオン銃と、照射されるイオンの進行方向の変化を制御可能な偏向板であって、照射経路においてイオン銃に近い方の第一の偏向板と、照射されるイオンの進行方向の変化を制御可能な偏向板であって、照射経路においてイオン銃から遠い方の第二の偏向板とを含んでなり、第一の偏向板と第二の偏向板とが、それぞれ独立に、ある点を中心にして回転し得る機構を有する。 （もっと読む）

【課題】製造歩留まりを低下させることなく，化合物半導体ウエハの評価を行うことができる，化合物半導体ウエハの評価方法を提供する。
【解決手段】本発明によれば，半導体基板上方に化合物半導体積層体を有する化合物半導体ウエハの特定部位の周縁部分をエッチングして前記特定部位を柱状に加工し，この柱状の特定部位に一次イオンビームを照射して二次イオンを放出させ，放出された二次イオンの質量分析を行い，前記質量分析の結果に基づいて化合物半導体ウエハの評価を行う工程を含む化合物半導体ウエハの評価方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】イオン移動度分析計を含む装置
【解決手段】第１のチャンバ（１０）と第２のチャンバ（５）とを含むマススペクトロメータが開示される。第２のチャンバ（５）は、第１のチャンバ（１０）の下流に位置し、２つのチャンバ（５，１０）間には、チャンバ間アパーチャ（１２）が提供される。第１のチャンバ（１０）内には、イオンガイド（１３）が位置し、第２のチャンバ（５）内には、イオン移動度分析計（６）が位置する。第１のチャンバ（１０）に、ヘリウムガスが提供される。イオンは、比較的低圧の領域からイオン移動度分析計（６）に向かって加速されるに際し、先ず、第１のチャンバ（１０）内に入る。第１のチャンバ（１０）内に提供されるヘリウムガスは、イオンが比較的高圧の領域内へと加速される際のイオンフラグメンテーション効果およびイオン識別効果を最小限に抑える。イオンは、次いで、イオンガイド（１３）によって伝送され、引き続き、第２のチャンバ（５）内に位置するイオン移動度分析計（６）へと伝送される。 （もっと読む）

【課題】 試料のレーザアブレーション量を求めることができるレーザアブレーション装置及びレーザアブレーション量算出方法を提供する。
【解決手段】 レーザアブレーション装置２においては、試料Ｓに対するレーザアブレーションが開始されると、演算部５０によって、光検出器４５により測定されたレーザ光のエネルギから、光検出器４３，４４により測定されたレーザ光のエネルギが減ぜられて、試料Ｓに照射されたレーザ光のうち試料Ｓに吸収されたレーザ光のエネルギが算出される。更に、演算部５０によって、試料Ｓに吸収されるレーザ光のエネルギと試料Ｓのレーザアブレーション量との相関関係についての情報に基づいて、試料Ｓに吸収されたレーザ光のエネルギから、試料Ｓのレーザアブレーション量が算出される。 （もっと読む）

使用時にイオンが移送されるアパーチャを有する複数の電極を含む質量分析器（２）が提供される。複数の擬ポテンシャル波形が質量分析器（２）の軸に沿って生成される。擬ポテンシャル波形の振幅または深さは、イオンの質量電荷比に反比例する。イオンを質量分析器（２）の長さに沿って推進するために１つ以上の過渡ＤＣ電圧が質量分析器（２）の電極に印加される。電極に印加される過渡ＤＣ電圧の振幅は、時間とともに増加され、イオンは、質量電荷比の逆順に質量分析器（２）から射出される。２つのＡＣまたはＲＦ電圧が電極に印加される。第１のＡＣまたはＲＦ電圧は、最適な擬ポテンシャル波形を形成するように構成され、他方、第２のＡＣまたはＲＦ電圧は、質量分析器２内へのイオンの軸方向の最適な閉じ込めを実現するように構成される。 （もっと読む）

第一および第二端を伴う第一イオンガイドを有し、異極性の第一イオン群と第二イオン群を第一イオンガイドに導入し、第一および第二イオン群を第一イオンガイド内に半径方向に閉じ込めるために、ＲＦ電位を第一イオンガイドに印加する、イオンを分析する方法が提供される。第一イオン群を第一イオンガイド内にトラップするために、第一トラップ障壁が第一イオンガイドの第一端に提供され、第二イオン群を第一イオンガイド内にトラップするために、第二トラップ障壁が第一イオンガイドの第二端に提供され、第一イオン群を第一トラップ障壁に向かって押し、第二イオン群を第二トラップ障壁に向かって押すために、軸方向電場が提供される。
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【課題】本発明はプロダクトイオンスペクトル作成方法及び装置に関し、イオンゲートにて各同位体ピークを選択し、ＭＳ／ＭＳ測定をすることができ、主要な同位体ピークを選択したＭＳ／ＭＳスペクトルを再構成し、１つのプロダクトイオンスペクトルを作成することにより、モノアイソトピックイオンのみを選択する場合と比較して、質量精度を落とすことなく、感度のよいスペクトルを得ることができるプロダクトイオンスペクトル作成方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】サンプルをイオン化するイオン源４０と、イオンをパルス的に加速するための加速手段と、飛行時間型質量分析計と、特定の質量をもつイオンを選択するイオンゲート４６と、選択したイオンを開裂させる手段４７と、反射電場を含む反射型飛行時間型質量分析計と、反射型飛行時間型質量分析計を通過したイオンを検出する検出器４９とを含んで構成される。 （もっと読む）

衝突またはフラグメンテーションセル（８）の上流に配置されるイオン移動度分光計またはセパレータ（６）を含む質量分析計が開示される。イオン移動度分光計またはセパレータ（６）において、イオンがそのイオン移動度にしたがって分離される。イオンが衝突またはフラグメンテーションセル（８）に入射する際のイオンのフラグメンテーションエネルギーを最適化するために、イオン移動度分光計またはセパレータ（６）を出射するイオンの運動エネルギーを実質的に時間とともに直線的に増加させる。イオン移動度分光計またはセパレータ（６）のポテンシャルを変化させる期間中、イオン源（１）、イオンガイド（２）、四重極質量フィルタ（３）、必要に応じて設けられる第２の衝突またはフラグメンテーションセル（４）およびイオントラップデバイス（５）などのイオン移動度分光計またはセパレータ（６）の上流のイオン光学部品のポテンシャルは一定に保たれる。 （もっと読む）

【課題】
質量分析計の感度を変化させることなく，効率よく全圧も測定できようにした質量分析計用イオン源を提供する。
【解決手段】
質量分析計のイオン源において、全圧測定用のイオンコレクタの面積を小さくし、超高真空領域〜高真空領域までの広い圧力範囲の全圧測定を可能とするために、グリッドと電子反発電極との間に細線で製作されたリング状のイオンコレクタが配置される。 （もっと読む）

【課題】 少なくとも２種類の同質量・異成分の被測定ガスのガス分子を正確に区別して定性・定量分析できるイオン付着質量分析方法を提供する。
【解決手段】 このイオン付着質量分析方法は、イオン放出体１８により発生させたイオンを被測定ガスの分子に付着させて付着イオンを生成し、Ｑポール質量分析器３０で付着イオンの質量を計測し、被測定ガスの定性・定量を行う方法であり、さらに、少なくとも２種類の同質量・異成分の被測定ガスの分子に、被測定ガスの分子の各々が有するイオン付着特性の差を生じさせる所定のイオンを付着させるステップと、被測定ガスの分子の各々が有するイオン付着特性の差に基づいて被測定ガスの同質量・異成分を区別して計測するステップとを有する。 （もっと読む）

【課題】スキャン測定時に信号強度の小さなピークを見落とすおそれがある。
【解決手段】質量走査時に四重極に印加する電圧を決める質量走査設定テーブル３７１に、質量範囲を複数に区切った質量領域毎に質量分解能データを記憶できるようにし、ＤＣ生成部３４は質量分解能データをＤ／Ａ変換した電圧を四重極に印加する直流電圧値Ｕに反映させる。これにより、１回の質量走査中に任意の質量領域で質量分解能を下げることが可能となる。質量分解能を下げるとバンド幅が広がって信号強度が高くなるためピークの見落としがなくなり、ピークの幅は広がるもののピークの重心位置は安定するため質量算出精度は向上する。 （もっと読む）

【課題】 導出されるキャリアガス中の微粉体物又はガス化物の元素組成比を時間の経過に対して安定化させることができる試料室、レーザアブレーション装置及びレーザアブレーション方法を提供する。
【解決手段】 試料室４０は、レーザアブレーションの対象となる試料Ｓが配置されると共に、試料Ｓに対するレーザアブレーションによって生じる微粉体物又はガス化物を搬送するためのキャリアガスＧが流通する内部空間４２を有している。内部空間４２を画定する側壁面４３には、試料Ｓが配置される位置に対して一方の側Ａに位置する複数のキャリアガス導入口４４、及び試料Ｓが配置される位置に対して他方の側Ｂに位置するキャリアガス導出口４５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】飛行時間型質量分析装置では、イオンが垂直加速を受ける際、各電極プレートの取り付け角度はイオン軌道を制御する上で非常に重要となる。高分解能を得るためは、イオンの軌道は理想軌道を描く必要がある。理想軌道から大きく外れた場合、イオンが検出器に効率よく入射されないため、分析感度が低下するか、最悪測定が行えなくなる可能性がある。本発明の目的は、スペーサ，電極板等の寸法誤差があっても高い精度でイオンの軌道を確保できる構造を備えた質量分析計を提供することにある。
【解決手段】イオン化した試料を射出し、射出されたイオンの飛行時間を計測して質量を分析する飛行時間型質量分析計において、イオンを射出するために、測定対象イオンに電位差を与え加速させる電極プレート、当該電極プレートにより射出されたイオンの射出方向を制御するグリッド電極、がそれぞれ別の支持体で支持されている飛行時間型質量分析装置。 （もっと読む）

【課題】燃焼ガスや大気中ガスの成分組成を測定する際に、被測定ガス中の特定注目分子をオンサイトで連続的にかつ高感度で定量分析できるガス分析用可搬型Ｊｅｔ−ＲＥＭＰＩ装置を提供する。
【解決手段】ガス導入系およびイオン光学系を一体型の構造とし、単一真空排気系を備えて差動排気するとともに、イオン化室に、被測定ガスを飛行時間型質量分析計の方向に噴射するためのオリフィスノズルを内包し、かつ先端が突起状である出鼻型の対向電極と、イオンを通過させるためのピンホールを有する仕切板を内包し、かつ先端が突起状である出鼻型の引き出し電極を有し、かつ前記引き出し電極の先端から前記仕切板までの範囲の電極部材の一部または全てをメッシュ構造とするガス分析用可搬型Ｊｅｔ−ＲＥＭＰＩ装置。 （もっと読む）