【課題】 アコースティック・エミッション検出用の追加のセンサ、配線、駆動回路や検出回路等を設けることなく、プローブ顕微鏡にアコースティック・エミッション検出センサ機能を具備させる。
【解決手段】
試料ホルダを有するスキャナ圧電体に走査信号を印加し、該試料ホルダに載置された試料の表面と所定の接触力で接触するプローブにより、試料との間で発生する相互作用を検出するプローブ顕微鏡において、スキャナ圧電体に走査信号を印加する走査信号配線から、該走査信号に重畳されるアコースティック・エミッション信号を分離して、走査位置毎に、試料とプローブの相互作用とアコースティック・エミッションを同時に検出できるようにした。 （もっと読む）

【課題】非破壊の計測を行って絶縁膜の寿命を予測することが可能な絶縁膜内イオン挙動解析システムを提供する。
【解決手段】パルス電圧発生器と圧延素子と演算装置と表示装置を備え、パルス電圧発生器が印加したパルス電圧により絶縁膜内に発生した超音波を圧延素子で検出することにより、絶縁膜内のイオン密度分布を求める絶縁膜内イオン挙動解析システムである。演算装置は、少なくとも異なる２つの時刻における絶縁膜内のイオン密度分布を超音波の検出結果から求め、少なくとも異なる２つの時刻におけるイオン密度分布を基に移流拡散計算を行って、任意の時刻における絶縁膜内のイオン密度分布を求める。表示装置は、任意の時刻における絶縁膜内のイオン密度分布を表示する。 （もっと読む）

【課題】きわめて簡易な構成で、被検体のクラック深さを、容易かつ正確に測定することができる超音波ＴＯＦＤ法を用いたクラック深さ測定方法および装置を提供する。
【解決手段】超音波探触子１を用いて被検体２のクラック３０周辺を走査してクラック深さｄを測定するクラック深さ測定方法および装置であって、超音波探触子１は、中心に孔２１を有する焦点型の超音波探触子であり、超音波探触子１が、被検体２表面から反射する表面反射波Ｗ１とクラック３０の先端で回折した回折波Ｗ２とを受波し、前記走査位置に対応した表面反射波Ｗ１と回折波Ｗ２との干渉状態の変化をもとに、クラック深さｄを測定する。 （もっと読む）

【課題】検査対象部が狭隘でありかつ被検査対象が高温状態の溶接直後および溶接中であっても、安定した感度で溶接検査をできるようにする。
【解決手段】溶接検査方法は、送信用レーザ光を発生させて溶接中もしくは溶接後の被検査対象４へ送信用レーザ光Ｉｉを伝送し照射させる送信用レーザ光照射ステップと、受信用レーザ光Ｉｄを発生させて被検査対象へ伝送し照射する受信用レーザ光照射ステップと、被検査対象表面で散乱および反射した反射・散乱レーザ光Ｉｒを集光する集光ステップと、集光ステップで集光された反射・散乱レーザ光Ｉｒを干渉計測して超音波信号を得る干渉計測ステップと、を有する。送信用レーザ光照射ステップにおける送信用レーザ光Ｉｉおよび受信用レーザ光照射ステップにおける受信用レーザ光Ｉｄの少なくとも一方を溶接金属部上もしくは開先側面に照射する。 （もっと読む）

【課題】、液体または気体の媒体を介して超音波を被検体に伝搬させる超音波探傷方法または超音波探傷システムにおいて、超音波の入射位置を正確かつ確実に特定する。
【解決手段】水浸法による超音波探傷方法において、超音波送受信手段に光学的照射手段を搭載させ、光学的照射手段から被検体へ光学的マーカを照射し、撮像装置にて光学的マーカの照射位置を撮影して探傷を行う。 （もっと読む）

【課題】狭隘な箇所に対して短時間で容易に超音波探傷装置を据え付けることができる超音波探傷装置の据付機構の提供。
【解決手段】一直線に延在するレール１１と、該レール１１に搭載され、該レール１１の長さ方向に移動自在な超音波探触子１２とを備える超音波探傷装置１０を原子炉圧力容器１に据え付ける超音波探傷装置１０の据付機構２０であって、原子炉圧力容器１の据付面１ａに対して着脱自在に据え付けられる第１のフレーム２１と、レール１１を据付面１ａに沿って支持すると共に、据付面１ａに対し垂直な回転軸周りに回転自在に第１のフレーム２１に支持される第２のフレーム３０と、第２のフレーム３０の上記回転方向における位置を位置決めする位置決め部材５０と、を有するという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】
被検体の三次元形状を、複雑な構造を採用することなく空気中で非接触検出することができるイメージング技術を提供する。
【解決手段】
第１電極ＥＰ１が形成された上面と第２電極ＥＰ２が形成された下面とが平行でかつ上面が被検体載置面である圧電振動子１１１に被検体を載置し、第１電極ＥＰ１と第２電極ＥＰ２との間にパルス電圧またはステップ電圧を加え、被検体載置面に載置した被検体７からの最初の振動速度応答を光学的に検出し、パルス電圧またはステップ電圧に相似する最初の振動速度応答の大きさから被検体の表面形状または内部構造にかかる情報を抽出する。 （もっと読む）

【課題】超音波探触子の走行を阻害することなく、また、超音波接触媒質の吸収性能の低下を抑制できる超音波探傷装置の提供。
【解決手段】原子炉圧力容器の表面に沿って超音波探触子１２を走行させる走行装置と、原子炉圧力容器の表面に超音波接触媒質を供給する超音波接触媒質供給系統と、超音波探触子１２を囲って設けられ、上記供給された上記超音波接触媒質を吸収して回収する超音波接触媒質回収系統７０と、を有する超音波探傷装置であって、超音波接触媒質回収系統７０は、少なくとも外周部が多孔質材から形成され、超音波探触子１２の上記走行に伴って原子炉圧力容器の表面上を転動しつつ、上記超音波接触媒質を吸収する多孔質転動体７１を有するという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】真空容器内のＥＵＶ光源の異常を、大気解放することなく早期に発見する。
【解決手段】大気圧以下の減圧下でプラズマを発生し、プラズマから放射されるＥＵＶ光を取り出すＥＵＶ光源と、ＥＵＶ光源からのＥＵＶ光を、所望の半導体パターンが形成されたマスクに導く第１の光学系と、マスクからの反射光又はマスクの透過光を試料上に導く第２の光学系と、を備え半導体露光装置において、光源のアコースティックエミッションを検出する検出部１８０を設け、検出部１８０の出力から光源の異常を検出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は自走式探傷装置に関し、鋼床版の下面を磁力に保持されかつ自走しつつ、トラフリブとデッキとの溶接部の亀裂検査行うことを目的とする。
【解決手段】探傷ロボット14は磁石の吸引力下保持されつつ鋼床版の下面を自走する。自走ロボット14には超音波探傷部28がラック及びピニオン及びスライド機構により車幅方向に位置調節可能に設けられる。超音波探傷部28は超音波探傷プローブ30とスキー様のスレッド34とスプリング40とを備える。超音波探傷プローブ30及びスレッド34は被検査面の微妙な傾斜に対してその姿勢を追随可能であり、また、スプリング40は移動方向の前後に設けられ、いずれの方向の移動に対しても被検査面に対し面接触を維持する。スキー様のスレッド先端部34-1は溶接ビード等の凸部の自走乗り越えを可能とする。 （もっと読む）

【課題】配管の減肉等の検査において、ガイド波を送受信する電磁超音波センサの健全性確認や感度校正を容易に行なえるようにする。
【解決手段】磁極が配管３０に対向しコイル軸が配管の周方向を向くように電磁超音波センサを配置し、コイルに交流電流を流すことにより配管軸方向に伝播するガイド波を発生させて反射して戻ってきたガイド波によってコイルに生じる軸方向エコー電流を検出する。磁極が配管に対向しコイル軸が管軸方向を向くように電磁超音波センサを配置し、コイルに交流電流を流すことにより周方向に伝播するガイド波を発生させて反射せずに戻ってきたガイド波によってコイルに生じる周回エコー電流を検出する。周回エコー検出ステップで得られた周回エコー電流に基づいて電磁超音波センサの感度を校正する。 （もっと読む）

【課題】鋼管柱の地際部分の腐食の程度を容易に測定できる板厚測定装置を提供する。
【解決手段】板厚測定装置１０は、探触子を保持する走査部２０と、走査部２０を制御する制御部３０とを含み、円筒状の鋼管柱４２の内周の所望の位置に走査部２０が載置されたとき、探触子を用いて前記鋼管柱の板厚を測定する。走査部２０に保持された探触子を鋼管柱の内周の所望の位置に位置させるには、探触子送り込み治具を用いる。探触子が探触子送り込み治具によって所望の位置に載置されたとき、走査部２０を鋼管柱４２の内周に沿って移動させ、探触子の探傷した探傷データを制御部３０へ送信する。 （もっと読む）

【課題】 表面が必ずしも平滑でなく、かつ、表面形状も様々な検査対象に対して欠陥検出を良好に行うことのできる漏洩弾性表面波を用いた欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】 被検体と対向する面に保護膜３ｄを介して凹面状に設けられた圧電高分子膜３ｂと、この圧電高分子膜の中央部に超音波伝達媒体を供給する開口部４とを備え、被検体へ漏洩弾性表面波を励起させる斜角入射波の送波と、被検体からの漏洩弾性表面波からモード変換によって生成された縦波である漏洩波の受波とを行う超音波プローブ１を用いた欠陥検出方法であって、超音波プローブで被検体の表面を走査しつつ測定し、超音波プローブで測定した受波信号の振幅に応じた輝度で映像を生成し、この映像において、振幅の小さい輝度の表示領域内に振幅の大きい輝度の表示領域が線状に存在しているときは被検体にクラックが存在していると判定する欠陥検出方法である。 （もっと読む）

【課題】被検査体の内部を精度良く検査する。
【解決手段】超音波検査装置１０を用い、被検査体１の第１の面１ａ側から発信部１１によって超音波信号を発信し、被検査体１の第２の面１ｂ側において、カンチレバー１２を走査し、被検査体１を伝播した超音波信号をカンチレバー１２によって受信する。カンチレバー１２の走査位置ごとに、発信部１１から発信した超音波信号と、カンチレバー１２で受信した超音波信号との差分を、信号処理部１４によって検出し、検出した差分を、表示部１５によって２次元表示する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で、曲がり管、分岐管等にて、所望の方向に移動させることができる配管検査装置を提供する。
【解決手段】本発明の配管検査装置は、少なくとも１個の駆動ユニットと少なくとも１個の検査ユニットとを有し、検査対象の配管内に挿入可能である。駆動ユニットは、複数の駆動部と、複数の連結部と、前記駆動部及び前記連結部を通る２本の操縦用ケーブルと、該操縦用ケーブルの張力を調節する張力調節部とを有する。駆動部はモータによって回転可能な車軸と、該車軸に装着された車輪とを有し、前記駆動部と前記連結部は連結軸によって互いに枢動可能に接続されている。 （もっと読む）

【課題】配管をはじめとする被溶接部材の溶接部に発生する内部欠陥等を、超音波探傷プローブにより、余盛上から効率的に検出することが可能な超音波探傷試験用治具を提供すること。
【解決手段】超音波探傷装置の超音波探傷プローブ２に装着される超音波探傷試験用治具１０であって、前記超音波探傷プローブ２の送受信面と密着可能かつ前記送受信面と試験対象物Ｗとを接続するゲル部材１５と、前記ゲル部材１５を保持する保持枠体１１と、前記試験対象物Ｗに対して前記保持枠体１１を支持するための一対の支持部２２とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】炉底管の上部の肉厚を容易に測定することができる超音波肉厚測定装置を提供する。
【解決手段】超音波肉厚測定装置２は、炉底管１１の下方に設けられ超音波を炉底管１１に向けて送信すると共に炉底管１１からのエコーを受信する超音波探触子２１と、超音波探触子２１に超音波を送信させると共に、炉底管内に充填された接触媒質を介して炉底管１１の上部に伝搬した超音波の炉底管１１内外面からのエコーを超音波探触子に受信させ、超音波探触子からエコーに相当する電気信号を取得する制御部２２と、制御部２２が取得した電気信号に基づいて炉底管１１内外面からのエコーの伝搬時間の時間差を検出し、時間差に基づいて炉底管１１の上部の肉厚を算出する演算部２３とを備える。 （もっと読む）

【課題】表面形状が複雑な検査対象の非破壊検査を高速かつ高精度で行うレーザ超音波検査技術を提供する。
【解決手段】レーザ超音波検査装置１０は、第１レーザＲ１を検査対象Ｋに照射して超音波を励起させる送信レーザヘッド２１と、第２レーザＲ２を照射して検査対象Ｋを伝播する超音波を検出する受信レーザヘッド２２と、この受信レーザヘッド２２で検出した超音波に基づいて検査対象Ｋに含まれる欠陥を画像化するための信号処理部と、検査対象Ｋの表面に対する第１レーザＲ１及び第２レーザＲ２の入射角度を調整する角度調整部１３と、から構成される。 （もっと読む）

【課題】耐火材の一部を剥ぎ取ってノギスを差し込んだりすることなく、耐火材層の残存厚さを確実に把握し得、耐火材層の補修や交換の必要性並びにその実施時期を的確に判断し得る耐火材層の摩耗量管理方法を提供する。
【解決手段】被耐火材施工面１に予めＹ字状の耐火材保持用スタッド２を取り付けて耐火材３を設けるようにした耐火材層４において、前記被耐火材施工面１に摩耗検出用スタッド５を予め垂直に取り付けておき、点検時に、前記摩耗検出用スタッド５に超音波探触子６を接触させ、超音波探傷装置７による超音波探傷にて摩耗検出用スタッド５の長さＬを求め、該摩耗検出用スタッド５の長さＬに基づいて耐火材３の摩耗量を検知する。 （もっと読む）

【課題】液中の検出波の波長の簡単な検出と液中の溶存ガス総量の簡単な評価、制御を可能とする。
【解決手段】音圧を検知する少なくとも2本の同感度で棒状の音圧センサー１７，１９を平行状態で液に挿入し、各音圧センサー１７，１９で検出される検出波２５（２５ａ，２５ｂ）が同期している第１の同期状態から音圧センサー１７，１９を長さ方向に相対移動させて同期をずらし、同期のずれた検出波２５ａ，２５ｂが次に同期する第２の同期状態までの各音圧センサー１７，１９の長さ方向の相対移動量により検出波２５ａ，２５ｂの波長を検出することを特徴とする。 （もっと読む）