【課題】試料ステージを傾斜することなく、半導体ウェーハやデバイスなどの電子部品等の試料から所望の特定領域を含む微小試料を、分離または分離準備して、微小領域分析や観察、計測用の試料作製方法およびその試料作製装置を提供すること。
【解決手段】集束イオンビームを試料表面に対して大きくとも９０度未満の照射角度で試料に照射し、目的とする微小試料周辺を取り除き、次に試料ステージを、試料表面に対する垂直線分を回転軸として回転させ、試料表面に対する集束イオンビームの照射角度は固定して試料に照射し、微小試料を分離または分離準備することを特徴とする試料作製方法。 （もっと読む）

【課題】 二重管構造のサンプラーを用いてコアを採取するに際し、少量の掘進用水でスライムを確実に排出しながら良質のコアを円滑且つ能率的に採取する。
【解決手段】 掘削ビットとしてダイヤモンド粉末と金属粉末を混合して焼結したインプリグネイテッド型ビットを用い、ボーリング装置としてボーリングロッドとその駆動源の出力軸を同一回転軸上に配置できる構造のものを用い、ボーリングロッドの回転速度を地質が土砂の場合は３００ｒｐｍ、地質が硬岩の場合は１４００ｒｐｍに設定し、掘進用水として増粘剤を８０〜１２０ｍＬ／１００Ｌの割合で混合したものを用いる。 （もっと読む）

【課題】銅製錬にて使用する、ＣＵ、ＡＵ、ＡＧ、ＰＴ、ＰＤを含んでいるリサイクル原料の分析のためのサンプルを効率的にサンプリングするためのサンプリング方法及びサンプリング設備を提供する。
【解決手段】銅製錬にて使用するリサイクル原料の分析のためのサンプルを採取するサンプリング方法において、（Ａ）粉砕していないリサイクル原料を一次破砕機により約５０ｍｍ程度に粗粉砕して一次破砕物とし、次いで、（Ｂ）前記工程（Ａ）にて得られた一次破砕物を二次破砕機により４０ｍｍ以下の大きさに粉砕して二次破砕物とし、（Ｃ）前記工程（Ｂ）にて得られた二次破砕物を篩に掛けて、３０ｍｍより大きい二次破砕物は、前記工程（Ｂ）に戻して更に粉砕し、大きさが３０ｍｍ以下の破砕物をサンプルとして採取する。 （もっと読む）

【課題】部材を極力損傷させることなく、部材表面から試料片を採取可能な試料片採取方法を提供する。
【解決手段】試料片採取方法は、翼１０（１１）の表面１１４ａから試料片２０を採取する方法であり、、円筒状の刃２０２を備える超音波カッタ２００を翼１０（１１）の表面１１４ａから基材１００の表面１００ａまで送って切削することで、円筒状の切り込み１２１を形成する。円盤状の刃２２２を備える回転カッタ２２０により円筒状の切り込み１２１から内側に向けて切削することで、切り込み１２１の内側にある部分２０ａを切り取り、これが試料片となる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハやデバイスチップから所望の特定領域を含む試料片のみをサンプリング（摘出）して、分析／計測装置の試料ステ−ジに、経験や熟練や時間のかかる手作業の試料作り工程を経ることなく、マウント（搭載）する試料作製方法およびその装置を提供すること。
【解決手段】FIB加工と、摘出試料の移送、さらには摘出試料の試料ホルダへの固定技術を用いる。
【効果】分析や計測用の試料作製に経験や熟練技能工程を排除し、サンプリング箇所の決定から各種装置への装填までの時間が短縮でき、総合的に分析や計測の効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】 集束イオンビーム微細加工装置を用いたフォトマスクの孤立パターンの欠陥修正時のチャージアップに起因する問題点を解決する。
【解決手段】 孤立したパターン間に集束イオンビームCVD金属デポジション膜空中配線7を形成して導通させチャージアップの影響を無くしてから欠陥3を修正する。修正後不要となった金属デポジション膜空中配線7をイオンビームエッチングで除去する。孤立したパターンにX方向及びY方向にFIB-CVDで金属デポジション膜空中配線を形成してチャージアップの影響を無くした状態で、X方向及びY方向の金属デポジション膜空中配線を加工時のドリフト補正のマーカーとして使用し、ドリフト補正を行いながら欠陥を修正する。修正後不要となった金属デポジション膜空中配線をイオンビームエッチングまたはAFMスクラッチ加工で除去する。 （もっと読む）

【課題】 装置のコストアップが生じることなく探針の交換作業を効率的に行う。
【解決手段】 試料室２内において、第１の探針６の先端部をメタルデポジションによりダミー部材１１に固着し、イオンビーム１ｂの照射により第１の探針６を切断して先端側部分６ｂと基端側部分６ａとに分離し、ダミー部材１１を移動させて当該先端側部分６ｂを移動し、保持部材１３に固定された第２の探針１２を当該基端側部分６ａにメタルデポジションにより固着し、イオンビーム１ｂの照射により第２の探針１２と保持部材１３とを分離し、その後保持部材１３を第２の探針１２から移動させる。 （もっと読む）

【課題】サイレージその他の集積化、団塊化又は梱包してなる畜産飼料〔被検査畜産飼料〕の化学的成分組成や発酵品質などを検査するにあたり、コア採取筒を正逆どちら側へ回転させても先進駆動可能で穿孔掘削可能とする。
【解決手段】被検査畜産飼料から品質評価等の標本となる試料を採取するための畜産飼料用ドリル式コアサンプラーＸであって、先端に正逆回転のいずれによっても穿孔掘削可能なコアビット11（好適には波刃111)を形設したコア採取筒１と、該コア採取筒１の後端に接続されサンプリング深度に相応する軸長にロッド形成した回転軸３と、該回転軸３に脱着可能に接続され正逆回転可能なドリル駆動源を具備してなり、被検査畜産飼料の外表面からコア採取筒１を正逆自在に回転させながら先進駆動して標本試料を筒内に掘り取るようにしている。 （もっと読む）

【課題】試料を損傷せず、切り分けられたさまざまなサイズの標本を汚染せず、確実、効率的、かつ経費効率よく採集するための方法および装置を提供。
【解決手段】レーザ解剖顕微鏡のスライド上に試料を配置し、スライドはその延在面で平行移動可能とし、粘着性採集装置をその中心を光軸に合わせた状態で試料上まで下降させ、試料に付着させてスライドと共に自由に平行移動しかつ顕微鏡の光軸から外れる。その上昇した状態では、光軸に対して固定し１つ以上の標本を試料から切り分ける。次に切り分ける標本が粘着性採集装置の所定の採集半径の外側にある場合は、粘着性採集装置を上昇させ切り分ける標本の中心を顕微鏡の光軸から外すためにスライドを顕微鏡の光軸に対して所定位置まで平行移動させ、粘着性採集装置を試料上まで下降させ、次の１つ以上の標本を切り分ける。粘着性採集装置を上昇させるごとに、少なくとも１つの所定距離だけ離される。 （もっと読む）

【課題】分析用の薄膜試料切断器を提供し、薄膜試料の切り取りの作業性を向上させるとともに、薄膜試料の分析精度を向上させることを目的とする。
【解決手段】分析用の薄膜試料Ｓを円形に切断するための薄膜試料切断器であって、円筒状で、薄膜試料Ｓに押圧される輪状の下端面２２を有する押圧部２と、押圧部２と同心の円柱状または円筒状で軸心回りに回転自在に押圧部２に収納され、下方に突出する複数の刃３４を周方向に均等に有している回転部３と、押圧部の上部２１を貫通して突出する回転部の上部３３に固定される把持部４１とを備え、薄膜試料Ｓを円形に切断する。 （もっと読む）

【課題】微細な試料を無用に変質させることなく高精度に微細部位の断面の分析が可能な微細部位解析装置を提供する。
【解決手段】試料を断面加工して解析する微細部位解析装置は、試料台１と集束イオンビーム装置２と回転機構３と電子ビーム装置４と補正部５と分析装置６とからなる。集束イオンビーム装置２は、試料が置かれた試料台に向かって斜め方向の視線を有するよう配置され、試料台に対して斜め方向にターゲットを切断する。回転機構３は、ターゲットを中心に試料台を着眼位置中心回転させる。電子ビーム装置４は、切断するターゲットを探索すると共に回転中のターゲットを観察する。補正部５は、電子ビーム装置により観察されるターゲットの位置を補正する。分析装置６は、集束イオンビーム装置からターゲットの断面に照射される集束イオンビームにより放出される二次イオンを分析する。 （もっと読む）

【課題】帯電粒子ビーム操作のためにサンプルを配向させる方法および装置を提供する。
【解決手段】サンプルが、サンプルの主表面がプローブ・シャフトに対して垂直ではない角度にある状態で、プローブに付着され、プローブ・シャフトは、サンプルを再配向させるために回転される。一実施形態では、サンプル・ステージに対して４５度などのある角度に配向されたプローブは、平坦領域がプローブの軸に対して４５度で平行に配向された、すなわち、平坦領域がサンプル・ステージに平行であるプローブの先端を有する。プローブ先端の平坦領域は、サンプルに付着され、プローブが１８０度回転されるとき、サンプルの配向は、水平から垂直に９０度変化する。次いで、サンプルは、ＴＥＭ格子をサンプル・ステージ上で垂直配向ＴＥＭ格子に付着される。サンプル・ステージは、薄くするためにサンプルの背面をイオン・ビームに向けるように回転および傾斜される。 （もっと読む）

【課題】半導体製造プロセスへの金属汚染の拡散を最小限度に抑制し歩留まりを向上させることができる荷電粒子線加工装置を提供する。
【解決手段】真空容器１０に接続され非金属イオン種のイオンビーム１１を試料３５に照射するイオンビームカラム１と、イオンビーム１１により試料３５から切り出されたマイクロサンプル４３を摘出するプローブ１６を有するマイクロサンプリングユニット３と、マイクロサンプル４３とプローブ１６とを接着するガスを流出させるガス銃２と、イオンビームカラム１が接続されたと同一の真空容器１１に接続され汚染計測用ビーム１３をイオンビームカラム１によるイオンビーム照射跡に照射する汚染計測用ビームカラム６Ａと、汚染計測用ビーム１３を照射した際にイオンビームカラム１によるイオンビーム照射跡から放出される特性Ｘ線を検出する検出器７とを備えたことを特徴とする荷電粒子線加工装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、試験片（2）から微小サンプル（1）を分離する方法に関する。
【解決手段】そのような方法は、半導体産業分野においてウェハからTEM観察用のサンプルを入手するために、一般的に使用されている。発明者らによれば、試料担体（6）とサンプルの位置ずれのため、得られるサンプルの内の約20％は、適切に処理（薄膜化）されない。この位置ずれは、溶接前に、サンプルと接触する試料担体によって生じることが確認されている。溶接の間、試料担体がサンプルと接触することを回避し、試料担体とサンプルの間に微細な間隙を残しておくことにより、この位置ずれが解消される。例えば振動による、溶接の間の試料担体の移動を回避するため、試料担体は、ウェハ上のサンプルと近接する位置（8）に置載される。 （もっと読む）

【課題】 サンプル採取、およびサンプル採取後の建物躯体の補修が容易なコンクリートサンプル採取方法、およびこの方法に用いられる採取用ドリル切りを提供する。
【解決手段】 採取用ドリル切り１として、螺進により円形範囲のコンクリートを砕いて砕き屑１２を内部に進入させる中空形状であり、かつその中空空間から外部に開口する採取口６を有するものを用いる。この採取用ドリル切り１により、サンプル採取対象のコンクリート体１１を目標穿孔深さの一部ずつ穿孔する。このように穿孔して採取用ドリル切り１内の砕き屑１２を前記採取口６から排出する処理を、前記目標穿孔深さまで繰り返し行うことにより、前記砕き屑１２であるコンクリートサンプルを採取する。 （もっと読む）

【課題】排水中に酸化性物質が存在する場合においても、該酸化性物質の影響を受けることなく、正確なＣＯＤ分析を行うことができるＣＯＤ分析装置及びＣＯＤ分析方法を提供する。
【解決手段】ＣＯＤ分析装置１０Ａは、酸化性物質１３を含む排水１１と当量又は過剰の亜硫酸イオンを含む溶液１４により前記排水１１中の酸化性物質１３の分解を行う酸化性物質分解部１５と、前記酸化性物質分解部１５において前記酸化性物質１３を分解した後の前記排水１１中のＣＯＤを分析するＣＯＤ分析部１２とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】多層薄膜が表面に形成された試料に対して、試料調整を行わず、同一元素が複数の層に含まれていても多層薄膜標準試料を用いず、試料の各層の組成と膜厚を算出する分析方法および装置を提供すること。
【解決手段】試料にレーザビームを照射するレーザ照射手段と、試料をサンプリング範囲内に移動させる移動手段と、レーザビームの作用により試料から発する物質を捕集するサンプリング手段と、レーザビームの作用により削られた深さを測定する深さ測定手段と、サンプリング範囲毎に捕集された物質の組成を分析して試料の各層の組成と膜厚を算出する分析手段とを用いる。 （もっと読む）

【課題】サンプルの切断および除去を効果的かつ効率的にできる、中空プローブを含む器具を提供する。
【解決手段】少量の内部組織を生検用サンプリングまたは他の目的のために切断し、除去する医療装置が開示されている。この装置のバージョンは、組織収容開口部を有する中空プローブと、組織収容開口部を通過するカッティングエッジを有するカッターと、カッター駆動機構とを含んでいてもよい。装置のバーションはまた、プローブ内に減圧プランジャーを含み、減圧プランジャーとカッター駆動機構を連係して作動させ、プローブ内を効果的に減圧し、その減圧を維持して、カッターの切断ストロークの前、または、その間に組織を組織収容開口部に引き込むことができる。記載したバージョンは、複数の組織サンプルを、プローブを対象の組織塊の近傍に１回挿入している間に取り去るために使用することができる。 （もっと読む）

【課題】
従来よりも加工時間を長くすることなくイオンビームによる試料の断面形成の加工精度を向上せしめ、試料を割断することなく微小試料を分離または分離準備する時間を短縮するイオンビーム加工技術を提供する。
【解決手段】
イオン源１からイオンビームを引き出す軸と、前記イオンビームを第１の試料ステージ１３に載置された試料１１に照射するイオンビーム照射軸とが傾斜関係にある構造とし、さらに、前記試料からイオンビーム加工により摘出した試料片３０３を載置する第２の試料ステージ２４が、傾斜軸周りに回転することによりイオンビームの前記試料への照射角度を可変できる傾斜機能を持ち、前記イオンビーム照射軸に垂直な面に前記イオン源からイオンビームを引き出す軸を投影した線分が、前記第２の試料ステージの傾斜軸を前記イオンビーム照射軸に垂直な面に投影した線分と少なくとも略平行関係とすることが可能な構造であることを特徴とする。 （もっと読む）

凍結された生物学的標本を保存凍結試料から抽出するための音速、線形振動運動を生み出すモータを備えたドリリングシステム、及び残存試料を解凍せずに抽出するその使用方法が提供される。固定子及びスライダ部品は、ソフトウェアを搭載したコンピュータのポートを通じて通信及びプログラム可能であるサーボ制御装置により操作される。 （もっと読む）