【課題】 検査の信頼性を高めてリアルタイム計測が可能な検出装置等を提供すること。
【解決手段】 検査装置は、光学デバイス２０と、流体試料を光学デバイスに吸引する吸引部４０と、光学デバイスに光を照射する光源５０と、光デバイスから出射される光を検出する光検出部６０と、吸引部を駆動制御する制御部７１と、を有する。光学デバイスは、吸着される流体試料を反映する光を出射する。制御部７１は、光検出部にて検出する期間を含む第１モードでは、光学デバイス上での流体試料の吸引流速をＶ１とし、第２モードでは、光学デバイス上での流体試料の吸引流速をＶ２（Ｖ２＞Ｖ１）とし、光検出部からの信号に基づいて第１，第２モードを切換える。 （もっと読む）

【課題】光学的手法を用いて被処理基板の構造をより高精度に評価することができるプロセスモニター装置を提供する。
【解決手段】プロセスモニター装置１１は、光を出射する光源部と、光の強度を検知可能な光検知部と、光源部から出射された光をウェハＷまで導き、ウェハＷから反射した反射波を光検知部まで導く第一光経路２１と、第一光経路２１と同等の光伝搬特性を有するように構成され、光源部から出射された光を、ウェハＷを経由することなく光検知部まで導く第二光経路と、第二光経路を通して光検知部により検知された光の強度情報に基づいて、第一光経路２１を通して光検知部により検知された光の強度情報を補正し、ウェハＷの構造を解析するコントローラ１７とを備える。 （もっと読む）

【課題】低濃度から高濃度までの広い範囲でガス濃度を精度良く測定できるガス濃度測定装置。
【解決手段】半導体レーザ1aを有する光源1と、低周波信号を発生する低周波信号発生器11bと、高周波変調信号を発生する高周波信号発生器11cと、低周波発生器からの低周波信号に高周波変調信号を重畳させて光源の駆動電流を発生する光源駆動電流発生器11aと、ガスを封入し且つ半導体レーザからのレーザ光を入射するガスセル5と、ガスセルからのレーザ光を受光する受光素子8とを有するガス濃度測定装置において、半導体レーザを駆動する時に受光素子からの信号に基づき低周波信号に高周波変調信号を重畳させるか否かを判断する判断回路12dと、高周波信号発生器に接続され、判断回路の出力結果に応じてオン／オフするスイッチSW1とを有する。 （もっと読む）

【課題】 観察対象物を構成する各材料を視覚的に区別できる光学顕微鏡観察用試料の製造方法を提供することを課題としている。
【解決手段】 光学顕微鏡によって観察対象物を観察するための観察用試料を製造する光学顕微鏡観察用試料の製造方法であって、複数種の構成材料を含む前記観察対象物の少なくとも１種の材料が変質する温度で前記観察対象物を加熱する加熱工程を実施することにより、前記観察用試料を製造する光学顕微鏡観察用試料の製造方法等を提供する。 （もっと読む）

【課題】測定状態と校正状態との切り換えが簡単で、校正を容易に行うことができ、しかも正確な校正を行うことが可能な試料非吸引採取方式のガス分析計を提供する。
【解決手段】壁部に開口部２４、２６が形成された外筒１４と内筒１６とからなる導管１２であって、外筒または内筒を回転させることにより、外筒の開口部と内筒の開口部とが連通して内筒内にガス５６が流入する測定状態と、外筒および内筒の一方の壁部が他方の開口部を閉塞して内筒内にガスが流入しない校正状態とに切り換え可能な導管を具備するガス分析計１０とする。そして、測定状態において、導管の一端側から内筒内のガスに光を照射し、透過光を検出することによりガス中の成分濃度を求めるとともに、校正状態において、内筒内に校正用ガスを充填するとともに、導管の一端側から内筒内の校正用ガスに光を照射し、透過光を検出することにより校正を行う。 （もっと読む）

【課題】生体物質を含む検体試料を展開するための展開層と、検体試料中の検査対象物と反応して発色する物質を生じる試薬を有する反応層とを備えた分析チップを使用して検体試料の濃度測定する際に、検体試料の展開層中の展開状態に応じて、測定した検体試料中の検査対象物の濃度を補正できるようにする。
【解決手段】分析チップ１０の反応層１４に、検査対象物２０の濃度を測定するための第１の光を照射して分析チップから検出される第１の出力光から検査対象物の第１の濃度を演算し、分析チップの反応層に、近赤外域の第２の光を照射して、分析チップから検出される第２の出力光から検査対象物の展開層中の展開状態を演算し、算出した展開状態を使用して第１の濃度を補正して検体試料中の検査対象物の第２の濃度を演算する。 （もっと読む）

【課題】生体物質を分析する分析チップが不均一な場合や、生体物質を含む検体試料の分析チップ中の展開が不均一の場合であっても、安価な近赤外光の検出器を使用して、生体物質を含む検体試料の分析を行うことができるようにする。
【解決手段】生体物質を含む検体試料を分析する分析チップ１０の複数領域に、光源５１から、近赤外域成分を含む光からなる複数のビーム５５を照射して、複数領域からそれぞれ射出される出力光を、近赤外域の光を検出する第１の検出器６２に入射させて検出させ、その結果から分析チップ１０の正常領域を特定し、分析チップ１０の正常領域の複数領域に、光源４１から、生体物質との反応によって分析チップに生成される検出物質を検出する検出光からなる複数のビーム４５をそれぞれ照射し、複数領域からそれぞれ射出される出力光を、検出光を検出する第２の検出器に入射させて検出させる。 （もっと読む）

【課題】ワイドバンドギャップ半導体などの光応答性の低い試料においても、精度の高いＣＰＭ測定が可能となる測定方法を提供する。
【解決手段】ＣＰＭ測定の際、ワイドバンドギャップ半導体などの光応答性の低い試料に光を照射することで生成される光励起キャリアを、試料に設けられた測定用の２電極に加えて設けられた第３の電極に正のバイアス電圧を印加することにより瞬時に追い出す。光励起キャリアが追い出されることにより、光電流値の制御性が高まり、光応答性の低い試料においても精度よくＣＰＭ測定を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】従来の光学的なリモートセンシング測定において、測定領域の植物の植物種の特定は容易ではなく、例えば、正規化植生指数（ＮＤＶＩ）を用いた方法でも困難であった。
【解決手段】一時節でのハイパースペクトル画像撮影によって対象植物種がある画像ピクセルのスペクトル強度グラフを得、同グラフで、各種植物種において特定波長バンドに共通出現する、複数（例えば５つ）の極大・極小を示す値を用い、それらの演算処理によって複数の指数（例えば４つ）を取得する。この植物種特定指数群をＤＢ化し、更に異なる時節での植物種特定指数群も得てＤＢ化する。未知の植物の一時節の植物種特定指数群を求め、ＤＢ中の植物種特定指数群と比較して合致するものをもって植物種を特定し、見出されなかった場合は、他の異なる時節での植物種特定指数群と同時節のＤＢを比較し、植物種の特定をする。 （もっと読む）

【課題】観察対象の動きの容易かつ非侵襲に観察することができるようにする。
【解決手段】観察対象である培養心筋細胞の動画像から、その培養心筋細胞の動きを、観察領域を複数に分割した部分領域毎に検出し、検出された部分領域毎の動きについて、その動き量の絶対値を算出し、算出された、部分領域毎の動き量絶対値およびその位置を表すマップを作成する。本開示は画像処理装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】特性のムラ、バラツキ、経時変化が極めて少なく、長期保存、運搬、装置の校正・性能評価が可能な液状生体ファントム及びその作製方法を提供する。
【解決手段】顕微鏡対物レンズを経由し撮像手段を介して撮像されたプレパラート（１）内の検査試料の画像およびその画像から得られる所定の光学特性を用いて該顕微鏡対物レンズの性能評価を行う際の、プレパラート（１）内の検査試料として用いられる生体ファントム（４）であって、水と屈折率調整剤と散乱体とを少なくとも含む溶媒又は屈折率調整剤と散乱体とを少なくとも含む溶媒と、増粘剤と、を少なくとも含む、非ゲル状の溶液からなる。 （もっと読む）

【課題】装置内に液体としての水分が侵入し、或いは、装置内に気体としての水分が多量に侵入した場合、その侵入を既存の構成部品を用いて検知することができるガス濃度測定装置の提供。
【解決手段】光源と、光源の光路上に配置され試料ガスが導入される試料セルと、試料セルを透過した光源の光を受光して干渉成分の吸収スペクトルに合わせた波長域の光の強度を検出する干渉成分検出器と、試料セルを透過した光源の光を受光して測定対象成分の吸収スペクトルに合わせた波長域の光の強度を検出する主検出器と、主検出器が検出した強度と干渉成分検出器が検出した強度に基づき測定対象成分の濃度を算出する演算部と、干渉成分検出器が検出した強度に基づき性能低下物質が侵入した可能性があることを検知する侵入検知部と、性能低下物質が侵入した可能性があることが検知された場合に性能低下物質の更なる侵入の阻止を行う侵入防止部とを備える。 （もっと読む）

【課題】道路トンネル内の視感透過率測定に用いられる煙霧透過率測定装置は、一般的に投光部と受光部を１００ｍ離して設置される。透過率は、投光部の光源から投射された光が、道路トンネル内に存在する微粒子の吸収または散乱により変化し、受光部の受光素子で電気信号に変換され、処理部で演算処理することにより得られる。道路トンネル内に設置するときまたは設置された後は、基準となる透過率１００％の状態で電気信号の補正を実施することが困難なため、装置ごとに電気信号を透過率へ演算処理する際にバラツキが生じている。
【解決手段】一定間隔ごとに収集する受光部４からの電気信号の時間的変化より透過率１００％の状態を推測し、そのときの電気信号を得ることにより、補正用の装置を備えることなく信頼性の高い透過率の演算処理を行う。 （もっと読む）

【課題】ユーザー所望の成分項目に係る分析値を視認しやすく表示可能とする分析装置を提供する。
【解決手段】試料ガスを分析し、分析結果を画像表示する分析装置であって、試料ガス中における所定成分の濃度を測定および分析して複数の成分項目に係る分析値を算出する分析部と、分析値を画像表示する表示部と、ユーザーの入力操作を受け付ける操作入力部と、各成分に係る分析値を操作入力部への入力操作に応じた表示態様で表示部の画面に表示させる分析結果表示制御部とを備え、分析結果表示制御部は、表示部に表示される分析値の表示個数を操作入力部への入力操作に応じて設定する表示個数設定部と、表示部に表示される分析値の表示順序を操作入力部への入力操作に応じて設定する表示順序設定部とを含むことを特徴とする分析装置である。 （もっと読む）

【課題】半導体内の多重励起子の生成状態を評価する。
【解決手段】回折格子の背後に標準試料を移動可能に配置し、前記回折格子を通して前記標準試料に、励起光としての第１のレーザー光及びプローブ光としての第２のレーザー光を入射させると共に、前記第１のレーザー光によって縞状の強度分布を持つ光を前記標準試料内に発生させ、前記回折格子及び前記標準試料からの回折光を観察することで、前記標準試料の複素屈折率の虚数部の変化による回折光が消失する前記標準試料の位置を特定し、特定した前記位置に半導体を含む測定試料を配置し、前記回折格子を通して前記測定試料に、前記第１のレーザー光及び前記第２のレーザー光を入射させると共に、前記第１のレーザー光によって縞状の強度分布を持つ光を前記測定試料内に発生させ、前記回折格子及び前記測定試料からの回折光を観測する。 （もっと読む）

【課題】酸化防止剤の減少速度と、酸化劣化が急速に進む酸化防止剤の限界濃度から酸化防止剤を適量添加したケーブル絶縁材料の寿命を短時間で見積もること。
【解決手段】被覆材のベースポリマの酸化劣化反応を抑制する官能基を有する酸化防止剤を配合したケーブル被覆材料について、前記酸化防止剤を含む被覆材について熱劣化試験を行い、前記酸化防止剤の官能基の吸光度とベースポリマの吸光度の比から複数の熱劣化試験時間における被覆材の劣化度及び劣化速度を求め、前記被覆材の寿命を判定することを特徴とするケーブル被覆材料の寿命検査方法。 （もっと読む）

【課題】水処理工程の被処理水の亜硝酸性窒素濃度を監視することが可能な亜硝酸性窒素濃度監視方法及び亜硝酸性窒素濃度監視装置を提供する。
【解決手段】
亜硝酸性窒素濃度監視装置１は、処理槽５に流入する被処理水の波長３５３ｎｍの光に対する吸光度を測定する吸光度測定手段ａ２と、処理槽５から排出される処理水の波長３５３ｎｍの光に対する吸光度を測定する吸光度測定手段ｂ３とを備える。さらに、吸光度測定手段ａ２で測定された吸光度ａと吸光度測定手段ｂ３により測定された吸光度ｂの差に基づいて、演算手段４が処理槽５で処理されて低下した被処理水の亜硝酸性窒素濃度若しくは処理槽５に流入する被処理水の亜硝酸性窒素濃度を監視する。 （もっと読む）

【課題】小型化及び消費電力の低減化を図ることができるうえ、パーティクルを安定して精度良く計測すること。
【解決手段】試料気体Ｓの流動経路上に配設され、該試料気体を内部通過させる内部通路１１が形成されたフローセル１０と、内部通路の内面に形成された観察面１０ａを撮像する撮像部１２と、内部通路内を通過している試料気体に向けて光束Ｌを平行光状態で照射させると共に、該試料気体中に含まれるパーティクルＰの有無に基づいて観察面に該パーティクルの陰影を生じさせる照射部１３と、撮像部で撮像された撮像画像の経時的変化に基づいてパーティクルを計測する計測部１４と、を備えているパーティクルカウンタ１を提供する。 （もっと読む）

【課題】一方向のみの電荷の受け渡しに対応した撮像素子を用いた場合において撮像を短時間で行うことができる、観察装置を提供する。
【解決手段】被検物を保持するステージと、タイム・ディレイ・インテグレーション方式により被検物を撮像可能な撮像部と、被検物と撮像部とを相対移動させる移動機構と、被検物からの戻り光による像を回転可能な回転機構と、を備える。 （もっと読む）

【課題】気泡による異常データを排除して分子間相互作用の測定において、測定結果の信頼性を向上する。
【解決手段】薄膜上における複数物質間の分子間相互作用を光学的に測定するにあたり、複数の導光手段（バンドルファイバ４２ａ，４２，ｂ４２ｃ，４２ｄ）を用いて、測定対象の生化学物質を含むサンプル溶液を薄膜上に流通させる流路１４ｂにおいて、互いに位置の異なる複数の検出対象領域１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄを設け、複数の導光手段に基づき検出した複数の情報について、演算手段がこれら複数の情報間の相対性に基づき、各情報の異常の有無を判断し、前記複数の情報及び前記異常の有無の判断結果に基づき、測定の実行結果を算出する。演算手段は、その相対性判断として平均値に対する一の情報の乖離度合いや、一の情報と検出対象領域が隣接する他の一の情報との比較などを行い、異常有と判断した情報以外の情報について測定結果を算出する。 （もっと読む）