【課題】 ワーク表面に均一な濃度で処理ガスを吹き付けることができる表面処理用ノズル装置を提供する。
【解決手段】
ノズル装置のガス通路は、処理ガスが供給されるガス供給口と、上記ガス供給口からの処理ガスを分け、一直線上に間隔をおいて水平に並んだ多数の分岐下流端１２ｂへと送る通路分岐部と、これら分岐下流端１２ｂの配列方向と平行をなして直線的に連続して延びる合流部８０と、流れ方向変更部９０と、吹出スリット６１とを有している。流れ方向変更部９０は、多数の分岐下流端１２ｂから合流部８０へ送られてきた処理ガスを、下向きに送る第１通路部分９１と、上向きに送る第２通路部分９２と、下向きに送る第３通路部分９３とを有し、この第３通路部分９３からの処理ガスが吹出スリット６１からワークＷに向かって下向きに吹き付けられる。 （もっと読む）

【課題】被照射物に付着した有機物等の汚染物と大気中に含まれる汚染物質との反応生成物が被照射物に付着することを防止または抑制することができ、従って、所要の光洗浄処理を確実に達成することができる光照射装置を提供する。
【解決手段】エキシマランプと、このエキシマランプを取り囲むよう設けられた、当該エキシマランプからの光を外部に出射する開口および内部のガスを排出するガス排出口を有するランプハウスと、このランプハウスの開口から当該ランプハウスの内部に大気を導入し、当該ランプハウスのガス排出口から排出するガス排出機構とを備えてなり、前記エキシマランプには、その放射光が前記ランプハウス内におけるガス流通路を形成する壁面に照射されないよう当該放射光を遮蔽する光遮蔽手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理により、被処理物を覆う被覆を被処理物表面の酸化を抑制しつつ選択的かつ高速で除去する。
【解決手段】被覆除去装置１は、大気圧プラズマ照射部１５を備える。大気圧プラズマ照射部１５は、不活性ガスの誘導結合型プラズマからなる一次プラズマ４６を吹き出す放電管３３と、第２の不活性ガスと反応性ガスの混合ガス領域と一次プラズマ４６が衝突されることによりプラズマ化した混合ガスから成る二次プラズマ４７を発生する混合器４１を備える。二次プラズマ４７がマスク２２を介して線材２に照射され、反応熱により被覆４が炭化する。炭化した被覆は研磨部１７Ａ，１７Ｂで除去される。 （もっと読む）

【課題】 所期の紫外線照射処理を効率よく行うことができる光処理装置を提供すること。
【解決手段】 この光処理装置は、エキシマランプおよびエキシマランプ点灯用の昇圧トランスがケーシング内部に配置されてなる光放射ユニットと、この光放射ユニットを光処理領域に対して進入退出可能に往復移動させる光放射ユニット移動機構とを具えてなり、前記光放射ユニットにおけるケーシング内においては、前記光処理領域に対する進入方向において、前記エキシマランプが前方側に位置され、前記昇圧トランスが後方側に位置された状態で、配置されている。 （もっと読む）

【課題】 光放射ユニットの移動によるエキシマランプの破損を防止することができ、所期の紫外線照射処理を確実に行うことのできる光処理装置を提供すること。
【解決手段】 この光処理装置は、ケーシング内部に長尺なエキシマランプが配置されてなる光放射ユニットと、この光放射ユニットを光処理領域に対して進入退出可能に往復水平移動させる光放射ユニット移動機構とを具えてなり、前記エキシマランプは、その長手方向が前記光放射ユニットの移動方向と一致する状態で、長手方向における両端部が前記ケーシングに固定されている。 （もっと読む）

【課題】基材の表面近傍をごく短時間だけ均一に高温熱処理するに際して、あるいは、反応ガスによるプラズマまたはプラズマと反応ガス流を同時に基材へ照射して基材を低温プラズマ処理するに際して、基材の所望の被処理領域全体を短時間で処理することができるプラズマ処理装置及び方法を提供することを目的とする。
【解決手段】プラズマトーチユニットＴにおいて、弧状の銅管３からなるコイルが、石英ブロック４の周囲に配置され、弧状の銅管３の弧が途切れた部分にプラズマ噴出口８が設けられる。筒状チャンバ内部の空間７にガスを供給しつつ、銅管３に高周波電力を供給して、筒状チャンバ内部の空間７にプラズマを発生させ、基材２に照射する。 （もっと読む）

【課題】実用性の高いレーザクリーニング方法，装置および、その方法，装置によってクリーニングされた部材を用いて電磁弁を製造する方法，装置を提供する。
【解決手段】電磁弁を構成する部材２８の外周面をレーザ光によってクリーニングする装置において、(a)その部材を保持するとともに、その部材をそれの軸線回りに回転させる回転機構１０２と、(b)その回転機構によって保持されている部材の軸線の延びる方向のいずれかの側に配設された吹出ノズル１１０を有し、その吹出ノズルからその部材に向かって、外周面全体を覆うようにシールドガスを吹き付けるシールドガス吹付装置１０８と、(c)回転機構によって保持された部材の外周面にレーザ光を照射するレーザ光照射装置１０６とを備えるように構成する。このように構成することで、外周面全体の酸化等を防ぎつつ、外周面の全周にわたってレーザクリーニングすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】押さえローラが一方の面に接触する薄板状の被クリーニング材の他方の面を、部品などが設けられていても、安定して支持する。
【解決手段】プリント基板Ｓの、クリーニングローラ４が設けられている側とは反対側に、基板Ｓを支持する単数若しくは複数の、円板状の下支えローラ１１が、基板搬送方向に直交する回転軸１４回りに回転可能に設けられている。下支えローラ１１は、外周面に基板Ｓに接触する弾性リング１３を有する。下支えローラ１１は、支持台１６に上下方向に変位可能に、かつ基板Ｓ側にコイルスプリング２１によって弾性的に付勢されるように支持されている。 （もっと読む）

【課題】ラジカルを効率よく大量に発生させることのできるプラズマ発生装置、当該プラズマ発生装置を用いた洗浄浄化装置および小型電器機器を得る。
【解決手段】プラズマ発生装置１は、気体収容部５に配設された第１電極１２と、少なくとも第１電極１２と対向する側の部分が液体収容部４中の液体１７と接触するように配設した第２電極１３と、を備えている。そして、第１電極１２と第２電極１３との間に放電を発生させることで、液体収容部４中の液体１７内における気体の領域においてプラズマを生成し、液体１７に含まれる水および気体に含まれる酸素からヒドロキシラジカルを生成する。電圧制御部６０は、プラズマ電源部１５が印加する電圧を液体１７の状態に応じて制御する。 （もっと読む）

【課題】処理基板の中心部と周辺部のエッチング速度が異なるローディング効果を抑制することの出来るエッチング装置を提供する。
【解決手段】処理基板１１が載置されるステージ７が配置された陰極側電極３と、該電極に対向する陽極側電極との間に、前記陽極側電極側から前記陰極側電極側に貫通して、開口状態が調整可能な複数の開口部１００を有する障害物９を、処理基板１１の近傍に該基板の全面を覆うように配設することによって、前記基板の面内中心部のプラズマ密度を低減させて前記基板の中心部と外周部のプラズマ密度の偏りを抑制する。 （もっと読む）

【課題】エンジン２０の構成部品を洗浄するエンジンの洗浄装置６０において、洗浄対象部品５０の損傷を抑制又は防止しつつ、ラジカルを洗浄対象部品５０に供給して洗浄対象部品５０を洗浄する。
【解決手段】洗浄対象部品５０へ向かうガスが流れる上流側通路４６のガスに過酸化水素を供給する過酸化水素供給器７５と、上流側通路４６における洗浄対象部品５０の近傍で、過酸化水素供給器７５により供給された過酸化水素をＯＨラジカルに分解する分解器６５とを設ける。 （もっと読む）

【課題】表面保護フィルムが剥がされた金属体表面からの糊残りの除去を比較的簡単に又は低コストで達成することができる糊残り除去方法並びに、金属体表面の清浄化方法、塗装前処理方法及び塗装方法に係る技術を提供すること。
【解決手段】コロナ放電処理装置１を用いて、表面保護フィルムを剥離した金属体２の表面を、コロナ放電が発生している環境に晒すことにより、表面保護フィルムに由来する糊残りを金属体表面から除去する。 （もっと読む）

【課題】表面保護フィルムが剥がされた金属体表面からの糊残りの除去を比較的簡単に又は低コストで達成することができる糊残り除去方法並びに、金属体表面の清浄化方法、塗装前処理方法及び塗装方法に係る技術を提供すること。
【解決手段】紫外線照射処理装置１を用いて、表面保護フィルムを剥離した金属体２の表面を、紫外線が発生している環境に晒すことにより、表面保護フィルムに由来する糊残りを金属体２の表面から除去する。 （もっと読む）

【課題】照射対象物に正確な強度にて紫外光を照射することが容易な紫外光照射装置を提供すること。
【解決手段】前板（１１ａ）と前板の背面下部に接続された底板（１１ｂ）とを有する引き出し（１１）を備える筐体（１２）、筐体の内部上方に配設された紫外光発生手段（２１）、および上記引き出しの底板上に設置され、引き出しを閉じた状態にて紫外光発生手段の下方に配置される、紫外光の照射対象物を支持する昇降装置（３１）を備える紫外光照射装置であって、上記の引き出しの前板を貫通して上記昇降装置に接続している昇降操作手段（５１）を更に備えることを特徴とする紫外光照射装置。 （もっと読む）

【課題】 高いビル等、危険な場所の洗浄作業を安全に行なう。
【解決手段】 レーザー光線とフッ化水素及びフッ化水素酸により、安全に高いビル等の洗浄作業を行なう。 （もっと読む）

【課題】ロール状に巻かれたテープ状部材を走行させながら洗浄ガスによって洗浄する洗浄装置を提供することにある。
【解決手段】テープ状部材が巻装された供給リール２９と、供給リールに巻装されたテープ状部材を巻き取る巻取りリールと、巻取りリールと供給リールとの間に設けられ内部にテープ状部材が通されていて、巻取りリールによって巻き取られることでテープ状部材が内部を走行するよう配置された洗浄チャンバと、洗浄チャンバに気体を供給する気体供給管２及び洗浄チャンバ内に供給された気体を紫外光によって励起して洗浄ガスを生成する紫外光照射部を有し、紫外光照射部によって生成された洗浄ガスでテープ状部材の洗浄チャンバ内を走行する部分を洗浄する洗浄ガス供給手段を具備する。 （もっと読む）

【課題】内部に希ガスが封入された長尺な発光管と、その外表面の電極と、前記発光管の光出射部を除いた内壁面上に形成された紫外線反射膜とを備えるエキシマランプにおいて、紫外線による変形による該エキシマランプの反り返りを規制する移動規制体を備えたエキシマ光照射装置に搭載した際に、紫外線歪と該反り規制歪の蓄積によって早期に発光管が損傷することを防止する。
【解決手段】エキシマランプ３の発光管３１の軸方向の中央部が、該発光管の光出射部の方向に突出するように湾曲していることを特徴とし、該エキシマランプを搭載するエキシマ光照射装置は、その筐体には該エキシマランプの中央部において紫外線反射膜形成部側から当接する移動規制体を設けるとともに、光出射部側から当接する矯正維持部材を設け、前記エキシマランプは該矯正維持部材によって管軸方向において直線状に矯正されて保持される。 （もっと読む）

【課題】大気圧プラズマにて被処理物を処理するに際してプラズマ点灯後のプラズマの点灯状態やプラズマの照射状態を確認できて信頼性の高いプラズマ処理を確保することができる大気圧プラズマ処理方法及び装置を提供する。
【解決手段】大気圧近傍の所定の反応空間１１に第１のガス１５を供給するとともに反応空間１１近傍のアンテナ１３又は電極に高周波電圧を印加して一次プラズマ１６を発生させ、発生した一次プラズマ１６又は前記一次プラズマ１６を第２のガス１８に衝突させて発生させた二次プラズマ２１を被処理表面６に向けて照射し、被処理表面６をプラズマ処理する大気圧プラズマ処理方法において、一次プラズマ１６の点灯後の反射波の大きさを検出し、反射波の大きさを第１の所定値と比較して一次プラズマ１６が点灯しているか否かを確認するようにした。 （もっと読む）

【課題】タッチ機能付きの操作パネルを含む表示装置において、効率的に操作面の清浄化を図ることができる表示装置を提供する。
【解決手段】表示装置は、使用者がタッチ操作する操作面として機能する画面を有する表示パネルと、イオンを発生させ、発生したイオンを操作面に向けて送り出すイオン放出モジュールと、画像データに基づいて、画面に画像を表示する制御部とを備え、画像データは、使用者がタッチする操作部の画像データである操作部表示データと、表示する操作部の位置情報とを含み、制御部は、位置情報から表示される操作部が位置する分割領域を算出し、制御部は、操作部が位置する分割領域に向けてイオンを吹き付けるように放出モジュールを駆動させる。 （もっと読む）

【課題】短辺部と長辺部とからなる断面偏平状のエキシマランプを複数本並べたエキシマ光照射装置において、装置全体の幅員を小さくして小型化を図り、エキシマランプの短辺部を光出射領域として配列しても、隣接ランプの電極間で短絡することがなく、かつ、隣接ランプからの熱的影響を受けることがないような構造を提供することにある。
【解決手段】各エキシマランプは、長辺部の外表面に電極が形成され、短辺部を光出射領域として配置されるとともに、隣り合うランプの対向する電極同士は同電位であって、かつ、各ランプ間に放熱板が介在していることを特徴とする。 （もっと読む）