【課題】洗浄ノズルの中心軸と被洗浄部との位置合わせを容易に行うことができる技術を提供することを課題とする。
【解決手段】連結手段５７は、支持穴５２を囲うようにして支持ブロック５３に設けられた複数個のピン穴６１〜６８と、これらのピン穴６１〜６８の一つに嵌合するように回転ブロック５３から突出されたピン７１とからなる。ピン７１をピン穴６１からピン穴６２に変更して連結することで、洗浄ノズル２５は矢印（１）のように移動する。同様にピン７１をピン穴６２から隣接するピン穴６３〜６８に変更して連結することで、洗浄ノズル２５は回転中心５４を中心にして一周する。
【効果】回転ブロックを回転させ支持ブロックに固定するだけで洗浄ノズルの位置が調整されるので、洗浄ノズルの中心軸と被洗浄部との位置合わせを容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】化粧道具を良好に洗うことができる化粧道具洗い具を提供する。
【解決手段】化粧道具２を挟む第１，第２の押し付け体１０，２０をヒンジ部３０で連結し，少なくとも一方に通水口１１（２１）を設ける。第１，第２の押し付け体１０，２０の間に化粧道具２を入れ，必要に応じて通水口１１から化粧道具２へ水等を供給しながら，第１，第２の押し付け体１０，２０をヒンジ部３０回りに複数回回動させて両押し付け体１０，２０で化粧道具２をその弾性力に抗して挟むようにして化粧道具２を好適に押し洗いすることができる。筆洗い干し具は，液体を入れることが可能な容器本体の底面に一体に複数個設けられていて，筆の毛部を捌く半球状の突起を備えた筆洗い具と，容器本体に対して着脱可能に取付可能で，容器本体への装着時に，容器本体の少なくとも外側において，筆の柄部を，柄の軸方向が上下方向を向くように保持する保持部を有する筆干し具とを備える。 （もっと読む）

【課題】 傾斜面に沿って斜めに載置される可撓性対象を効率よく洗浄でき、しかもコンパクトな洗浄装置を提供する。
【解決手段】 傾斜面と直交するように配置される平行な第１、第２縦レール４、５と、第１、第２縦レール４、５に沿って走行可能な第１、第２フレーム６、７と、第１、第２フレームを連結する横レール９と、横レール９に沿って傾斜面に沿って横行するノズルフレーム１１とを備え、横レールは、傾斜面に平行で間隔を開けて位置する水平上片及び水平下片と、これらを連結する起立片とを有し、ノズルフレーム１１の上部には、水平下片の上面に接する上部ローラ１６と水平下片の下面に接する下部ローラ１７とが設けられ、ノズルフレーム１１は、上部ローラ１６と下部ローラ１７が横レール９を挟持することにより支持される。 （もっと読む）

【課題】めっきや化成処理などの被洗浄物品１となる表面処理部品に付着した薬液を除去する物品のすすぎ洗浄において、大量の洗浄液を使用せず、簡易な機構で洗浄と乾燥を同じ工程で行える洗浄乾燥方法及び洗浄乾燥装置を得る。
【解決手段】被洗浄物品１をなす表面処理部品に付着した汚れまたは薬液を除去する表面処理部品の洗浄において、洗浄液を大気圧下では沸点以上の状態となる加圧過加熱液の状態として、被洗浄物品１に噴射する。被洗浄物品１の表面に保液層８ｓが形成される隙間Ｇ１を介して保液部材７を配置している。噴射された洗浄液の蒸気が凝縮した凝縮液８を被洗浄物品１と保液部材７との間の隙間Ｇ１に保持しながら、噴射を継続する。隙間Ｇ１内の保液層８ｓでの凝縮熱により、洗浄液の噴射終了後に、凝縮液８を被洗浄物品１の表面において乾燥させることができる。 （もっと読む）

【課題】洗浄効率を向上できる緩衝器の洗浄装置および製造方法の提供。
【解決手段】外筒１１と、外筒１１の端部から突出するロッドと、ロッドを覆うように配されるダストカバー２０とからなる緩衝器１０の洗浄装置３０であって、緩衝器１０を吊持する取付部３４と、緩衝器１０を洗浄するシャワー部４５とから構成され、シャワー部４５は、取付部３４に吊持された緩衝器１０の下側に緩衝器１０と離間して配置されるシャワー本体５２と、シャワー本体５２に設けられ、洗浄流体を噴出するシャワー噴出口５５，５６とからなり、緩衝器１０に向けて傾斜して洗浄流体が噴出するようシャワー噴出口５５，５６を配置する。 （もっと読む）

【課題】部品実装機の吸着ノズルを能率良くクリーニングできるようにする。
【解決手段】部品実装機のホルダ着脱機構に着脱可能に取り付けられた交換用吸着ノズルホルダ１１を該部品実装機から取り外して該交換用吸着ノズルホルダ１１に収納された吸着ノズル１２を吸着ノズル用クリーニング装置２１でクリーニングするために、吸着ノズル用クリーニング装置２１のクリーニング槽２２内に、部品実装機のホルダ着脱機構と共通のクリーニング用ホルダ着脱機構２３を設け、部品実装機のホルダ着脱機構から取り外した交換用吸着ノズルホルダ１１を、クリーニング槽２２内のクリーニング用ホルダ着脱機構２３に取り付けて、該交換用吸着ノズルホルダ１１に収納された複数本の吸着ノズル１２を超音波洗浄等によりクリーニングする。 （もっと読む）

【課題】汚れ物質の再付着を防止でき、洗浄能力に優れた、また洗浄液面近傍に浮上した汚れ物質を迅速、確実に除去可能な洗浄装置を得る。
【解決手段】搬送アーム５に保持された被洗浄物６が洗浄槽１０中の洗浄液４中に浸漬され、汚れ物質である油脂が離脱され洗浄液４の液面近傍に浮上する。この浮上した汚れ物質をスクレーパー２を矢印Ａ方向に動かすことにより手前側に掻き寄せ、しかる後、被洗浄物６を保持した搬送アーム５を矢印Ｂ方向に移動させ汚れ物質が掻き寄せられて綺麗になった洗浄液４の液面部分において被洗浄物６を引き上げる。綺麗な液面部分において被洗浄物６を引き上げるので、汚れ物質の再付着を防止でき、洗浄能力に優れる。 （もっと読む）

【課題】貫通孔内に所望の処理を施すことができる処理方法および処理装置を提供すること。
【解決手段】処理装置１は、内部に液体Ｌが供給されるとともに、供給された前記液体Ｌに基板２を浸積させる槽１１を備える。処理装置１は、第一供給口１１１Ａから第一排出口１１１Ｂに向かって液体Ｌを流すとともに、第二供給口１１２Ａから第二排出口１１２Ｂに向かって液体Ｌを流すと、液体Ｌが、鉛直方向上方側から下方側に向かって前記基板２の一方の基板面および他方の基板面に沿って流れるように構成され、基板２の一方の面における液体Ｌの平均流速と、他方の面における液体Ｌの平均流速とを異ならせる調整手段を有する。 （もっと読む）

【課題】ドラム容器の洗浄を安定して行う。
【解決手段】２つの回転ローラが水平に設けられる。回転ローラは、ドラム容器１８を横たわった状態で支持する。図示しない移動手段は、これらの回転ローラを移動する。この移動により、ノズル３１ｂ〜３３ｂがドラム容器１８内に挿入された状態となる。モータは、回転ローラを一方向へ回転させる。回転ローラの回転により、ドラム容器１８は一方向へ回転する。ノズル３１ｂ〜３３ｂは、鉛直の反対方向から回転方向へ角度θ１だけ移動した部分へ洗浄液を噴射する。角度θ１は、１０°以上９０°以下である。 （もっと読む）

【課題】 工具の表面形状や形状精度を悪化させることなく容易に確実に、工具及び前記工具により加工された被加工物を洗浄する洗浄方法を提供する。
【解決手段】 モータのスイッチを入れ、回転軸６を稼動させ、ほぼ同時に切削液配管７を通して切削液２を流出させる。また、超音波振動子１に接続した超音波発振回路から約５０ＫＨｚの電圧を印加する。そして移動用モータ１１のスイッチを入れ、被加工物３であるステンレス板上にある切削液２の上に洗浄板４に接合した超音波振動子１を載せる。そして、円環状の超音波振動子１のほぼ中心にあるドリルが被加工物３であるステンレス板に向かって下降する。切削液２も円環状の超音波振動子１の中心に向かって注がれる。切削液２で内部を満たされた洗浄板４に接合された超音波振動子１は、切削液２を介して工具１６であるドリルと被加工物３であるステンレス板に超音波振動を与える。 （もっと読む）

【課題】メガソニック洗浄方法及び洗浄装置を提供すること。
【解決手段】メガソニック洗浄方法として、洗浄対象体と区分される空間で、メガソニックによって洗浄液を起電させてマイクロ空洞を生成させる。生成されたマイクロ空洞のうち、安定な振動のマイクロ空洞のみを洗浄対象体がロードされた空間に移動させる。また、前記安定な振動のマイクロ空洞を利用して前記洗浄対象体の表面を洗浄する。前記方法によると、洗浄対象体内のパターンの損傷を防ぎ且つ洗浄対象体表面のパーティクルを効果的に除去することができる。 （もっと読む）

【課題】鉛直方向の省スペース化が実現できる基板液処理装置のミスト回収機構を提供すること。
【解決手段】ミスト案内カップの周縁端領域の上方に設けられた液体案内上部カップと、ミスト案内カップの周縁端領域に対してその下方から上方まで鉛直方向に移動可能に設けられた液体案内中央カップと、ミスト案内カップの周縁端領域に対してその下方から上方まで鉛直方向に移動可能に設けられた液体案内下部カップと、を備える。各カップの鉛直方向位置は、３つの回収状態を選択的に実現できるように制御される。各回収状態で回収される液体は、第一ドレイン用タンク乃至第三ドレイン用タンクにそれぞれ案内されるようになっている。第一ドレイン用タンク乃至第三ドレイン用タンクは、径方向に並ぶように配置されている。 （もっと読む）

【課題】より完全に洗浄液と油分とを分離させることができる油水分離回収機を提供する。
【解決手段】油分が付着したワークＷを洗浄室４０にセットして洗浄液を噴射することにより該ワークから油分を離脱させる洗浄装置において、洗浄室から排出された洗浄液を貯留するタンク１０を設け、該タンク内の洗浄液中に吸液管１０２を垂下させるとともに該洗浄液中に浮遊するフロート１０５を設けることにより該吸液管の吸液口が洗浄液面に従い上下動するようにし、該吸液管の上端部にエゼクタポンプ１０７を設け、該エゼクタポンプのスロート部１０８に空圧源から圧縮空気を供給し該吸液管内を負圧にすることによりタンク内の上層部分の液体が吸引されるようにし、該液体を該エゼクタポンプにより圧縮空気と混合させることにより霧状にしてサイクロン分離器１１０に導くことにより、サイクロン分離器の内面に洗浄液中の油分を付着させ回収する。 （もっと読む）

【課題】凹凸のある歯車のようなワークであっても、切屑、切粉等の異物および油分をきれいに除去することができ、また空圧源だけでも作動させることができる、装備および設置が容易な洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液を貯留するタンク１０と、洗浄室４０内に回転軸を支持することにより回転自在に設けられたワーク保持具４６と、回転軸に設けられたフィン４８に対し圧縮空気を噴射することによりワーク保持具を回転動させる。ワークＷに相対するように洗浄室内に設けた対物ノズルと、洗浄液を吸引して対物ノズルに圧送する空圧作動式給液ポンプ２０と、圧縮空気を供給する空圧源とからなり、回転動用ノズルから圧縮空気を所定時間噴射することによりワークを回転させると同時に、空圧作動式給液ポンプを作動させて対物ノズルから洗浄液を所定時間噴射し、その後は対物ノズルの流入路が空圧源に切換えられて圧縮空気が所定時間噴射される。 （もっと読む）

【課題】異物除去の効率を向上できる超音波洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置１は、超音波を発する振動子１１と、紫外線を通過する材料により形成され、振動子１１が発する超音波を、異物と化学反応する機能水３によって覆われた基板表面２ａに対して、基板表面２ａに対向するように配置されたホーン底部１３から伝達するホーン部１２と、ホーン部１２の内部に配置され、ＵＶ光を発光するＵＶ光源２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】ノズルを移動しながら基板を処理することができ、かつ、密閉チャンバの内部空間の狭空間化を図ることができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】密閉チャンバ２は、密閉された内部空間を区画する隔壁９を有している。密閉チャンバの内部空間でウエハＷが保持される。密閉チャンバ２には、移動ノズルとしての形態を有する処理液ノズル４が設けられている。処理液ノズル４を支持するノズルアーム１５は、隔壁９に形成された通過孔１４を介して密閉チャンバ２の内外に跨って延びている。このノズルアーム１５は、密閉チャンバ２外に配置された直線駆動機構３６によって駆動されるようになっている。隔壁９とノズルアーム１５の外表面との間は、第３シール構造によってシールされるようになっている。 （もっと読む）

【課題】洗浄中での洗浄液と洗浄対象物との接触面積を制御する洗浄システム及び洗浄方法を提供することを課題とする。
【解決手段】洗浄システムは、ワーク１に洗浄液Ｌを供給可能な供給ノズル３０と、ワーク１に供給された洗浄液Ｌに接触して振動させるホーン６０と、ホーン６０を振動させる発振器５０と、ワーク１とホーン６０とのクリアランスを変更可能にホーン６０を移動させる昇降機８０と、発振器５０のインピーダンスを検出する検出分離部７０と、インピーダンスに基づいて昇降機８０を制御することによりクリアランスを制御する制御部１０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルに侵入した数μｍの研削屑も良好に除去することができ、かつ、チャックテーブル上に保持された被加工物の表面を良好に洗浄することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】高圧エアー及び液体で構成される２流体洗浄水８２０ａを高圧噴射する構成とすることにより、数μｍほどの屑も洗浄できるようにして、ブラシ等を不要とする。また、飛散防止チャンバー８３と、飛散防止チャンバー８３においてチャックテーブル２の上面２ａ又は被加工物Ｗの表面Ｗａ上で飛散するミスト８２０ｂを外部へ排出する排出手段８４とを備え、洗浄時は、飛散防止チャンバー８３の側壁８３０の下端がチャックテーブル２の上面２ａ又は上面２ａに保持された被加工物Ｗの表面Ｗａと所定の隙間Ｃ１をもち、チャックテーブル２の上面２ａ上又は被加工物Ｗの表面Ｗａ上に形成された洗浄水層８７により隙間Ｃ１が封止されるようにすることにより、ミストが飛散しないようにする。 （もっと読む）

【課題】小粒子、すなわちおよそ１〜５０μｍの粒子を、１．２ｍｍ以下の厚さを有するガラスシートの表面から効果的に洗い落とす方法を提供する。
【解決手段】コンベヤ４０がガラスシート２を支持し、流体散布器２０のノズルバンク２２ｃ，２２ｄに設けられたノズル２４から、ガラスシート２の主表面６に向けて流体３２が噴出される。流体３２は１０〜８０ｋｇ／ｍ²（９８．０７〜７８４．５Ｐａ）の圧力および１〜２０Ｌ／分の流量でノズル２４に送り込まれ、かつガラスシート２はノズル２４に対し搬送速度４〜６ｍ／分で搬送方向４に移動する。ノズル２４はガラスシート２から１００ｍｍ未満離れて配置される。 （もっと読む）

【課題】電子材料のレジストの剥離処理に要する時間を短縮し、さらにレジスト剥離後のウエット洗浄によりレジスト残渣を短時間に確実に除去し得る電子材料洗浄システムを提供する。
【解決手段】電子材料洗浄システムは、薬液洗浄手段１とウエット洗浄手段２と枚葉式洗浄装置３とを備える。薬液洗浄手段１は、機能性薬液貯留槽６と、この機能性薬液貯留槽６に濃硫酸電解ライン７を介して接続した電解反応装置８とを有する。この機能性薬液貯留槽６は、機能性薬液供給ライン１０を介して枚葉式洗浄装置３に機能性薬液Ｗ１を供給可能となっている。ウエット洗浄手段２は、純水の供給ライン２１と窒素ガス源に連通した窒素ガス供給ライン２２と、これら純水供給ライン２１及び窒素ガス供給ライン２２がそれぞれ接続した内部混合型の二流体ノズル２３とを備える。二流体ノズル２３の先端から窒素ガスと超純水とから生成される液滴Ｗ２を噴射可能となっている。 （もっと読む）