【課題】 処理品質を向上させながら、小型化に有利な基板処理装置を提供する。
【解決手段】 送引均衡型水洗ノズルヘッド１０に装備された排液チューブウォール２，４によってリンス処理後の純水（処理済リンス液）を吸引して基板上から直ちに除去するとともに、送引均衡型エアーナイフヘッド２０に装備された排気チューブウォール６，８によって処理済リンス液を含んだ乾燥処理後のガス（処理済乾燥ガス）を吸引して基板上から直ちに除去している。このため、処理済リンス液が飛散してヘッド２０によって乾燥処理される基板表面に付着することがない一方で、液切りされた処理済リンス液が飛散してヘッド１０によってリンス処理される基板表面に付着することがない。したがって、両ヘッド１０，２０を互いに近接配置して装置を小型化することができるとともに、汚染物の基板Ｗへの再付着を確実に防止して基板Ｗの処理品質を向上させることができる。 （もっと読む）

開示されているのは平板状基板を処理するための装置で、それを構成しているものとして、スピン・チャック（２）はその基板を保持し、回転するためのもの、少なくとも１個のディスペンサー（３）は前記基板の少なくとも一面（Ｗ）の上に液体を供給するためのもの、液体捕集器（４）は回転中にその基板から遠心力で流出する液体を集めるために前記スピン・チャックの周囲を囲んでいる、この液体捕集器（４）は少なくとも２段の捕集器レベル（Ｌ１、Ｌ２）を有し、液体を別々の捕集器（４１、４２）に分離して集めている、持ち上げ手段（Ｈ）は回転軸（Ａ）に実質的に沿ってスピン・チャック（２）を液体捕集器（４）に対して相対的に少なくとも２段の排出レベル（Ｅ１、Ｅ２）に移動するためのもので、液体捕集器（４）の内部（４０）からのガスを別個に集める、少なくとも１個の排気制御手段（７１）が前記の少なくとも２段の排気レベルの少なくとも一方と関連していて、前記の少なくとも２段の排気レベル（Ｅ１、Ｅ２）の少なくとも一方でのガスの流動状態を別個に変化させる。
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【課題】腐食を軽減する方法を提供する。腐食メーターを使用することによりガラス形成ラインの洗浄水システムの腐食を軽減する方法が提供される。前記方法を利用したガラス繊維製造プロセスも提供される。
【解決手段】ガラス繊維の製造プロセスで腐食を軽減する方法であって：ポリマーバインダー、水および鉱酸を含み、ｐＨ４未満のフィード流れ（２）を含むガラス繊維結合システムを提供し；フィード流れを形成チャンバー（５）中でガラス繊維にスプレーし；形成チャンバー（５）内にスプレーされた洗浄水を洗浄水プロセスライン（１２、２１）、洗浄水収集容器中（１８）を介してリサイクルする洗浄水システムにおいて；洗浄水プロセスラインまたは洗浄水収集容器の内部で測定された腐食速度が設定値を超える場合、塩基を洗浄水に添加することを含む方法。 （もっと読む）

【課題】２個の開閉扉を有し、いずれの開閉扉からも搬入・搬出が可能で、装置が小型かつ設置スペースを節約でき、スペース的・コスト的に簡素なシステムを構築でき、かつワークが大きい場合にも、ワークの搬入・搬出時に溶剤蒸気が大気中に飛散することがない炭化水素系洗浄剤を用いた真空脱脂洗浄装置を提供。
【解決手段】真空脱脂洗浄装置本体10は、それぞれ密閉された、両端に開閉扉 3を有する洗浄室 1と、洗浄室 1を取り囲む中空の清浄液タンク 4と、を有し、いずれの開閉扉 3からもワーク14の搬入・搬出を可能とし、洗浄室 1内で、シャワー洗浄、浸漬洗浄、高温噴射洗浄及び真空乾燥を同一室内で行うようにした。両端の開閉扉 3上部に洗浄剤17の蒸気を吸入する排気フード 25、27を設けかつ各排気フード 25、27上端に排気ポンプである蒸気吸入装置28を配管29を介して接続した。 （もっと読む）

【課題】 基板を非接触で水平姿勢に保持する場合において、簡易な構成により、基板を浮上させるために基板下面に向けて噴出される気体の流量を均一化することができる装置を提供する。
【解決手段】 空気通路となる微細孔が全体にわたって均一に形成された円環状の多孔質部材２０と、多孔質部材２０が一体的に固設されて上面に多孔質部材の平坦な表面が露呈し多孔質部材の一部に連通する気体供給路２６が内部に形設されたステージ１８と、ステージ１８の気体供給路２６を通して多孔質部材２０へ気体を供給する気体供給手段とを備え、多孔質部材２０へ気体を供給して多孔質部材の表面から上向きに気体を噴出させ、ステージ１８の直上に基板Ｗを浮上させて非接触で保持する。 （もっと読む）

【課題】 処理槽の上部空間の雰囲気を排気したときに、排気管内に塩が蓄積することを防止してパーティクル発生の原因を取り除くことができる装置を提供する。
【解決手段】 上部に開口を有し処理液を貯留する処理槽１０、処理槽１０内で基板Ｗを保持するリフタ１８、処理槽１０内へ処理液を供給する手段、処理槽１０の上部開口の上方に設けられた排気口３０に連通接続された排気管３２を通して処理槽１０の上部開口上の雰囲気を排気する排気手段、および、排気管３２の途中に連通接続された純水供給管３４を通して排気管３２内へ洗浄用純水を供給する純水供給手段を備えた。 （もっと読む）

【課題】 従来例と比べて、消火の信頼性が高くコスト安な消火システム及び、この消火システムを備えた洗浄装置を提供する。
【解決手段】 吸気口を有する筐体１０内で火災が発生した場合に当該火災を消す消火システムを備えた洗浄装置１００であって、筐体１０内での炎を検知する炎検知器と、炎検知器３０が炎を検知した場合に筐体１０内にＣＯ_２ガスを供給する消火器と、筐体１０内がクリーンゾーンよりも気圧が高い場合に当該気圧差を受けて図４（Ｃ）の右回りに回転する回転板５０と、右回りに回転する回転板５０が吸気口の開口部１１ａ〜１１ｄを塞いだときに当該回転板５０の右回りの回転を止めるストッパ６４と、を備えたものである。筐体１０内で火災が発生した場合には、クリーンゾーンから筐体１０内へのエアーの流入を防ぎつつ、筐体１０内にＣＯ_２ガスを供給することができる。 （もっと読む）

【課題】 処理槽内から処理槽底部の排液口を通って排出された処理液が排液管を通ってドレンボックス内へ流入したときに、ドレンボックス内から雰囲気ガスが排液管を通って空の状態の処理槽内へ逆流することを防止できる装置を提供する。
【解決手段】 底部に排液口１４が設けられた処理槽１０、処理槽１０内で基板Ｗを保持するリフタ１８、処理槽１０内の下部に設けられた液体噴出ノズル１２から処理槽１０内へ処理液を供給する手段、処理槽１０の排液口１４に連通接続された排液管６４、密閉され底部にドレン排出口７４が設けられ排液管６４が挿入されるドレンボックス７２、および、排液管６４を通し処理液が排出されて空の状態となった処理槽１０内へドレンボックス７２内部の雰囲気ガスが排液管６４を通って逆流するのを防止する液溜めトラップ８０を備えた。 （もっと読む）

【課題】 基板処理部へ処理液を供給して基板の処理を行う装置において、基板処理部へ処理液を供給するための配管の途中に設けられた開閉制御弁の故障の有無を確実に確認でき、開閉制御弁自体の構造の複雑化やコスト高を招くことがない装置を提供する。
【解決手段】 基板の処理が行われる処理槽１０と、処理槽１０へ純水を供給するための純水供給管１８と、純水供給管１８の途中に設けられた開閉制御弁２４とを備えた装置であって、処理槽１０から排出される処理液を一時的に貯留する液溜用バット３６と、液溜用バット３６内の処理液を排出するための排液用配管３８と、排液用配管３８に設けられた開閉制御弁４０と、液溜用バット３６が空の状態で開閉制御弁４０、２４を閉じて所定時間後に液溜用バット３６内に純水が溜まるか否かを検知する検知センサ４２とを備えた。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物を複数の洗浄槽間で移送を行う洗浄方法において、各洗浄槽から被洗浄物を取り出す際に乾燥状態にして洗浄液を確実に除去し、溶剤蒸気が外部に拡散して環境を汚染する事がなく、作業効率の良い洗浄方法を提供する。
【解決手段】被洗浄物の洗浄を行う複数の洗浄槽１、２、３を直列に配置する。この複数の洗浄槽１、２、３を順次移動させながら被洗浄物の洗浄を行う。この移動のために被洗浄物を洗浄槽１、２、３から取り出す際に、何れの洗浄槽１、２、３から取り出す場合も被洗浄物を乾燥状態にする。 （もっと読む）

【課題】 巨大な音エネルギーだけでは気泡発生が効率的でない。
【解決手段】 この発明は過渡的なキャビテーションを生成するための方法に関し、液体中にさまざまな気泡サイズを持っている気泡を生成するステップと、音場を生成するステップと、および液体を音場にさらすステップとを備え、気泡サイズの範囲、および/または、音場の特性が互いにそれらを調整するように選択され、それにより、選択された範囲の気泡サイズにおいて過渡的なキャビテーションを制御することを特徴とする。この発明はこの方法を実行するのに適した装置にも関する。 （もっと読む）

【課題】 必要最小限のエネルギで、被洗浄物から取除かれて液体二酸化炭素に分散した汚染物質或いは液体二酸化炭素に溶解した汚染物質を効率良く分離し、液体二酸化炭素を清浄に保持したまま、被洗浄物を洗浄する。
【解決手段】 被洗浄物１３が洗浄槽１４に収容され、第１液相を形成する液体二酸化炭素１１が洗浄槽１４に貯留される。洗浄槽１４の内部に超音波発振器１６が設けられる。超音波によるキャビテーションの生成及び消滅に起因する衝撃波が超音波発振器１６により上記液体二酸化炭素１１を伝搬して被洗浄物１３に衝突し、被洗浄物１３から汚染物質が除去される。液体二酸化炭素１１に溶解しない第２液相を形成しかつ極性水溶液又は極性有機溶媒からなる液体１２が洗浄槽１４に貯留され、第１液相の液体二酸化炭素１１と第２液相の液体１２が混合手段１７により混合される。 （もっと読む）

【課題】切削加工又は研削加工によって得られた部品から効率的に切り屑、油、洗浄液等が除去される洗浄装置２の提供。
【解決手段】洗浄装置２は、圧力容器６、架台８及び案内板１０を備えている。圧力容器６は、本体１２及び蓋体１４を備えてる。本体１２は、注入口１６及び排出口１８を備えている。注入口１６は、逆止弁２０及び配管２２を通じて、コンプレッサー４と連結されている。排出口１８には、仕切り弁２４が装着されている。架台８は、圧力容器６に収納されている。架台８は、ネット状である。案内板１０は、圧力容器６に収納されている。案内板１０は、傾斜している。架台８には、バスケット２８が載置されている。このバスケット２８には、切削加工又は研削加工で得られた多数の部品が収納されている。 （もっと読む）

【課題】 ＰＣＢ含有絶縁油が充填された車載トランスから、車載トランス特有の問題を解消し、ＰＣＢを効率よく除去できる処理方法を提供することである。
【解決手段】 車載トランスのＰＣＢ汚染物からＰＣＢを除去する処理を、車載トランスの予備加熱工程Ｓ１０と、抜油・予備洗浄工程Ｓ２０と、外部部品取外し工程Ｓ３０と、切断・内部部品取り出し工程Ｓ４０と、破砕前洗浄工程Ｓ５０と、破砕工程Ｓ６０と、仕上げ徐染工程Ｓ７０により行ない、これらの一連の処理工程で、汚れの酷いトランスケースの外表面は溶剤洗浄を行なわず、外表面に残存するＰＣＢを、仕上げ徐染工程Ｓ７０で真空加熱処理を施すことにより除去するようにしたのである。これらの処理工程により、処理対象外の汚染物の溶剤への混入による配管の詰まり等の設備トラブル等を防止し、長尺で形状が複雑な車載トランスからＰＣＢを効率よく除去することができる。 （もっと読む）

【課題】 油性汚れ、水性汚れ及びそれらの複合した汚れが付着した被洗浄物に対して、その形状によらず良好に洗浄でき、水等のリンス剤が不要で洗浄後にそのまま乾燥ができ、洗浄剤から汚れを分離して再使用できる低毒性で安全性の高い洗浄剤を提供する。
【解決手段】 プロピレングリコールモノｎ−プロピルエーテル１００重量部、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−ｐ−クレゾール０．００１〜０．１重量部、及び任意にジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、３−メトキシ−１−ブタノール、３−メチル−３−メトキシ−１−ブタノールから選ばれる１種以上の溶剤３０重量部以下からなる洗浄剤組成物を用いる。 （もっと読む）

本発明は、閉じた包囲体（１）における困難な処置をするための装置に関するものであって、装置はダクト（１０）を備えていて前記ダクト（１０）の第一端部（１１−１３）は前記包囲体（１）の中へ挿入されるようになっており、前記ダクトが、減圧手段（１６）と、出口ダクト（１９）と、ダクト（２０）とに接続されていて、前記減圧手段（１６）の技能は、前記包囲体内部の圧力を低下させることであり；前記出口ダクト（１９）は吸引された物質を引き出すためのものであり；前記ダクト（２０）は、急速に圧力を解放するための装置と、前記包囲体（１）内部の圧力が所定のしきい値より低下した場合に前記ダクト（２０）の端部を外部空気に連通させるようになっている前記装置（２１，２２）の開口部（２３）とに接続されている。
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【課題】 基板処理装置のさらなるコンパクト化を実現することができるようにする。
【解決手段】 搬送路１７１に沿って略水平姿勢で搬送されつつある基板Ｂに所定の処理を施す基板処理装置１０であって、搬送中の基板Ｂに所定の処理液を供給する処理液供給装置としての、供給した処理液を基板Ｂから回収可能に構成された液回収型ノズル装置２０と、前記処理液が供給された後の基板Ｂ上に残留している処理液を除去する処理液除去装置としての、基板Ｂ上の残留処理液を気流によって吹き飛ばすように構成されたエアナイフ３０とが搬送路１７１に沿って直列に配設されている。 （もっと読む）

本発明は、包囲体（１）と、洗浄対象物（３０）を包囲体の中に置くために開くことが可能となっているカバー（１５）と、洗浄流体の供給装置（４）とを備えている洗浄装置に関するものであって、包囲体（１）はモータ（９）により作動するピストン（８）を備えていて、包囲体（１）は、急速な圧力解放を引き起こすためにピストンが包囲体（１）内部において所定位置になった場合、外部流体リザーバと連通可能な特殊な幾何学形状（１１，１２，１３）を備えており、洗浄装置は、包囲体（１）内において圧力の低下をもたらすようにピストンが包囲体の体積を増加する場合、閉じたままになっている出口バルブを備えている。
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洗浄チャンバ内の圧力の変動に応答して洗浄チャンバ内の圧力を均等化するシステム。洗浄チャンバ内の圧力状態を制御するため開放位置と閉鎖位置との間で作動可能な仕切り要素が設けられる。 （もっと読む）

【課題】 各種レシピに対応した洗浄槽の配列構成が可能で、汎用性に富むとともに、スループットにも優れる基板洗浄技術を提供する。
【解決手段】 基板洗浄部Ｂは、複数種類の薬液で洗浄処理可能な多機能洗浄槽３（３ａ、３ｂ）と、専用の薬液で洗浄処理可能な単機能洗浄槽４（４ａ、４ｂ）とを組み合わせてなる洗浄槽列１（１ａ、１ｂ）が２組設けられてなり、各種レシピに対応した洗浄槽の配列構成が可能で、スループットにも優れる。 （もっと読む）