【課題】処理液を効率的に利用しつつ処理性能を向上させることのできる基板処理装置及び基板処理方法を提供することである。
【解決手段】
処理液を基板Ｐの表面に向けて吐出して基板Ｐの全幅にわたって処理液を吹付ける第１ノズルユニット１０と、第１ノズルユニット１０より基板Ｐの搬送方向の下流側に当該第１ノズルユニット１０と向き合うように配置され、処理液を基板Ｐの表面に向けて吐出して当該基板の全幅にわたって処理液を吹付ける第２ノズルユニット２０とを有し、相互に向き合う第１ノズルユニット１０及び第２ノズルユニット２０から吐出される処理液が基板Ｐの表面上でぶつかりあって基板Ｐの幅方向に延びる処理液の盛り上がり部分Ｍが形成されるように第１ノズルユニット１０及び第２ノズルユニット２０からの処理液の吐出方向が設定された構成となる。 （もっと読む）

【課題】貯留槽における飲食物容器の滞留によって水流の循環が停滞することがない飲食物容器搬送装置を提供すること。
【解決手段】貯留槽１２内の水が、貯留槽１２底部に設けた吸水口１２ｂにより、循環手段６０による水流６１で飲食物容器３を搬送する回収水路１４，１５，１６を形成して再び貯留槽１２内に戻る飲食物容器搬送装置１であって、貯留槽１２内には、回収水路１４，１５，１６で搬送される複数の飲食物容器３を載置する貯留部２０を備え、回収水路１４，１５，１６から貯留槽１２に戻った水は、貯留部２０と貯留槽１２との間に形成された連通部１８ｃを介して吸水口１２ｂに連通するとともに、貯留部２０に形成したバイパス手段２３ａ，２３ｂを介して吸水口１２ｂに連通している。 （もっと読む）

【課題】処理液体を用いて基板表面に形成された膜を除去する除去装置で、ウエハ処理が中断され、ウエハ処理能力が低下し、かつ基板処理システムの動作コストが増大するのを解決する。
【解決手段】処理室４６、基板保持手段、処理液を供給するノズル６０、第１速度又は該第１速度以上の速度である第２速度で回転させる回転機構、処理液体格納容器７６を有し、処理液体を回収及び循環し、再度前記ノズル６０から供給する処理液体循環回収機構７３、処理液体を廃棄する処理液体廃棄機構、処理液体が前記基板保持手段が前記第１速度で回転するときには前記処理液体循環回収機構に、前記第２速度で回転して前記ノズル６０から前記処理液体が供給されるときには前記処理液体廃棄機構に導かれるように接続を変更する制御装置を有する。前記処理液体格納容器７６は、底部に廃液ライン１０７、壁面に前記処理液体格納容器内を洗浄するスプレーノズル１０９を有する。 （もっと読む）

【課題】洗浄液やすすぎ液を昇温するためのエネルギ使用量を大幅に削減し、しかも二酸化炭素排出量の削減にも寄与することができる、洗浄機を提供する。
【解決手段】少なくとも上部が開口された略箱状の洗浄機本体２内に、搬送手段を介して順次搬送されてくる容器８に対し、加温された洗浄液による洗浄と、加温されたすすぎ液によるすすぎとを行い、さらに洗浄に使用された洗浄液と、すすぎに使用されたすすぎ液とを、洗浄機本体２の下方に配置されたタンク１２内に戻すようにした洗浄機１０であって、洗浄機本体２の上部開口を覆うように天蓋９の内部に、排熱回収装置２０を設置し、箱状の洗浄機本体２内に充満する水蒸気を、排熱回収装置２０に導入し、導入された水蒸気から熱交換により回収した余剰熱量を供給水に蓄熱し、蓄熱され温水となった供給水を再使用することを特徴とする洗浄機。 （もっと読む）

【課題】円筒状基体の脱脂洗浄において、円筒状基体からの切削油の除去効率を向上しつつ、除去された切削油の再付着を抑制する。
【解決手段】薬液供給手段により脱脂洗浄槽内に供給される薬液を脱脂洗浄槽上面よりオーバーフローさせ、円筒状基体の浸漬時には、薬液の流速が円筒状基体の内面側よりも外面側の方が速くなるよう脱脂洗浄槽内に薬液を供給し、脱脂洗浄槽に円筒状基体を浸漬させてから所定の時間が経過した後、円筒状基体を脱脂洗浄槽の液面よりも高い位置まで引き上げて第１の脱脂洗浄工程を終了し、円筒状基体が液面よりも高い位置で保持されている間に、円筒状基体から除去された油を薬液とともにオーバーフローにより脱脂洗浄槽の外に排出するために、薬液の流速が円筒状基体の外面相当位置よりも内面相当位置の方が速くなるように薬液を供給し、円筒状基体を脱脂洗浄槽に再度浸漬させて第２の脱脂洗浄工程を少なくとも１回行う。 （もっと読む）

【課題】 ワーク載架用のステージに接離可能となる二重カップによる洗浄槽において、二重カップの内側カップに洗浄ノズルを付設し、内外側カップで構成される通路を、排液、又は排気用の流路とする構造であり、密封型の清浄槽である。渦状の流れをつくり、ワークに均一に洗浄液が噴射され、均一な清浄が可能となる。通路による吸引効果と、内側カップの周辺部には吸引力が生成し、渦の発生は可能である。しかし、渦発生力が弱いので、渦のトルネード効果は期待できないと考えられる。
【解決手段】 本発明は、カプセル型の開閉自在の洗浄室と、洗浄室の一方に設けたノズルと、他方に設けた吸引部と、洗浄室内に設けた回転自在のワーク支持台とで構成したカプセル型の洗浄機であり、洗浄室において、ノズルより噴射される洗浄液、洗浄水、又は空気を旋回するとともに、吸引部に誘導可能とする構成としたカプセル型の洗浄機である。 （もっと読む）

【課題】ユーザの作業負担を増加させることなく被洗浄物の洗浄性と殺菌性とを両立可能な洗浄器と、該洗浄器を備えた加湿装置とを提供する。
【解決手段】加湿ロータ（31）が浸漬される水タンク（61）と、水タンク（61）内の水中にストリーマ放電を生起する正電極（64）及び負電極（65）と、該両電極間（64,65）に直流電圧を印加する直流電源（70）とを備え、上記ストリーマ放電によって、上記水タンク（61）内の水を、正電極（64）側のアルカリ水と負電極（65）側の酸性水とに分離することで上記加湿ロータ（31）の周囲をアルカリ水で満たすとともに、該分離されたアルカリ水中に過酸化水素を生成するようする。 （もっと読む）

【課題】真空チャンバーの内部をクリーンな状態に保ち、且つメンテナンスの頻度を低減することが可能な真空チャンバーを提供する。
【解決手段】真空技術を用いる装置に設置される真空チャンバー１００は、真空チャンバー１００の内壁または真空チャンバー１００の内部に設置された構造物の、少なくとも１つの第一の部位１０１から液体を放出し、該液体を、真空チャンバー１００の内壁または真空チャンバー１００の内部に設置された構造物の、少なくとも１つの第二の部位１０２で回収する機構を有し、該液体の放出と回収が、真空雰囲気下で行われる。 （もっと読む）

【課題】基板表面上に吐出された処理液の滞留を防止し基板全面における処理の均一化を有効に達成できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】スプレーパイプ部２２と、スプレーパイプ部２２の長手方向に一列に互いに近接して形設され処理液をその吐出口２６から基板Ｗの表面１０２へ吐出する複数のノズル部２４から構成される複数のスプレーノズル１４とを備える基板処理装置において、基板Ｗの表面１０２に対する複数のノズル部２４の吐出口２６の対向角度を、水平姿勢で搬送される基板Ｗの表面１０２の基板搬送方向Ｘに関して交差する方向における中央部付近から両端部付近にかけて、鉛直線に対して漸次大きくなるように、複数のノズル部２４を複数のスプレーパイプ部２２に形設することにより、基板Ｗの表面１０２上において吐出後の処理液の積極的な液流れを発生させる。 （もっと読む）

【課題】小型化を図ることのできる洗浄システムを提供する。
【解決手段】洗浄システム１０は、貯留タンク３０から洗浄部１６に洗浄液を導入する導入通路１７や、洗浄部１６内の洗浄液を貯留タンク３０に戻すための排出通路１８、吸入通路２１、吐出通路２２を備える。吸入通路２１や吐出通路２２内の流体を貯留タンク３０に圧送するポンプ２０を備える。貯留タンク３０の上壁部３１に貫通孔３９が形成される。ポンプ２０の駆動時における貯留タンク３０への流体の流入量を可変設定する変更装置を備える。流入量が多くなる態様での変更装置の作動時には貫通孔３９を介して貯留タンク３０の外部に放出される空気量より上記流入量が多くなり、且つ流入量が少なくなる態様での変更装置の作動時には上記流入量が貫通孔３９を介して放出される空気量以下になるように、貫通孔３９の開口形状と変更装置の作動態様とが設定される。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス頻度を低減させながらも、除液効率を高く維持する。
【解決手段】洗浄されたコインの洗浄液を除去するコイン除液装置５０であって、コインを挟み込んで搬送する柔軟性ロール８２によって、コインの表面に付着した洗浄液を除去する際に、掻き上げ手段７０によって、この柔軟性ロール８２の表面を長手方向に亘って掻くことで、柔軟性ロール８２の表面の油分をロール表面から浮き上がらせるようにした。 （もっと読む）

【課題】効率よく、かつ医療器具の細部分まで洗浄できる医療器具の洗浄方法および医療器具の洗浄装置を提供する。
【解決手段】医療器具にオゾンガスを接触させること、および、医療器具を洗浄液で洗浄する液体洗浄工程をさらに含むこと、また、前記液体洗浄工程で用いた洗浄液を貯水する工程を含み、前記貯水工程で貯水された洗浄液を前記液体洗浄工程で再利用することにより、前記医療器具を洗浄する。また、オゾンガスを発生させるオゾンガス発生部１６と、前記オゾンガスを利用して前記医療器具を洗浄する洗浄部１７とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】２種以上の水系顔料分散体を１つの製造装置を用いて工業的スケールで製造する場合でも、洗浄の際に水系顔料分散体製造装置に付着した付着物を速やかに除去することができるようにする。
【解決手段】 酸型の水不溶性ポリマーを分散剤として含む水系顔料分散体の製造装置の洗浄方法は、水系顔料分散体製造装置における水系顔料分散体が接触する部分を、炭素数６〜１２のグリセリルエーテルを含む洗浄剤で洗浄する炭素数６〜１２の有機溶剤洗浄工程、及び／又は、メチルエチルケトン若しくはメチルイソブチルケトンとアルカリ剤とを含んだアルカリ系溶液からなる洗浄剤で洗浄するアルカリ系溶液洗浄工程を備える。 （もっと読む）

【課題】ケミカルタンカーのステンレス製カーゴタンクの酸洗作業において、安全面、効率面で問題のある手作業による酸洗方法に替えて、タンク洗浄装置を用いて無人化、自動化による酸洗方法、及びこの自動酸洗方法に好適な高い洗浄効果を得ることができる酸洗浄剤を提供する。
【解決手段】硝酸、フッ酸、硫酸、有機酸、多価アルコール、粘性助剤、錯化合物、消泡剤を含有した構成をもつ酸洗浄剤、及びこの酸洗剤を使用してタンク洗浄装置を用いて行うケミカルタンカーのステンレス製カーゴタンクの自動酸洗方法。 （もっと読む）

【課題】処理槽内の処理液に含まれるごく微細な異物を低コストで効率良く除去できる処理槽における異物除去システムを提供する。
【解決手段】異物除去システムは、比重の小さい異物を含む処理液を回収する上中層用回収部と、上中層用回収部からの処理液を濾過液と異物とに分離する第２サイクロン装置２３と、第２サイクロン装置２３からの濾過液をさらに濾過して処理槽に還流する処理液濾過装置５０と、を備える。処理液濾過装置５０は、直線管からなる供給配管５４を介して第２サイクロン装置２３の濾過液排出口２３ｂに連通するハウジング５２と、ハウジング５２の上面に取り付けられる蓋部材６４と、蓋部材６４に供給配管５４と同軸に着脱自在に取り付けられるブラシ６６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、間接加熱部の伝熱効率の低下を抑制することができる蒸発濃縮機の洗浄方法、蒸発濃縮機の洗浄装置、排水処理方法及び排水処理装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、少なくとも水性塗料を含む排水を加熱する間接加熱部を備え、前記排水中の低沸点成分を含む水を蒸発させ、高沸点成分を濃縮する蒸発濃縮機の洗浄方法であって、前記蒸発させた低沸点成分を含む水の少なくとも一部を回収し、該低沸点成分を含む水で前記間接加熱部を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】被洗浄物を洗浄液から取り出す際に、洗浄液の液面に滞留している汚れが被洗浄物に再付着するのを防止することが可能な洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】仕切り板４により洗浄液３の液面を被洗浄物投入領域３Ａと被洗浄物取り出し領域３Ｂに区分し、搬送手段６に保持された被洗浄物５を被洗浄物投入領域３Ａ上方から下降させて洗浄液３中に浸漬させ、微細気泡発生装置７により微細気泡を噴射して洗浄した後、洗浄槽２下部にて被洗浄物取り出し領域３Ｂに移動させ、被洗浄物５を被洗浄物取り出し領域３Ｂから取り出すようにした。これにより、被洗浄物５から剥がれ落ちた汚れ（油成分）は、被洗浄物投入領域３Ａの液面に浮上して滞留し、被洗浄物取り出し領域３Ｂの液面は清浄な状態が保たれるため、被洗浄物５を洗浄液３から取り出す際に、洗浄液３の液面に滞留している汚れが被洗浄物５に再付着することを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 パンチング加工後の板金のような薄板を洗浄し、乾燥する小形で簡易な薄板洗浄乾燥装置及び方法を提供する。
【解決手段】 アルカリイオン水製造装置２と、製造されたアルカリイオン水を加温する加温装置４と、洗浄する薄板１０を搬送する搬送装置５と、加温されたアルカリイオン水を搬送装置５で搬送されている薄板１０の両面に吹き付ける噴射装置６と、搬送装置５の一部を構成し、加温されたアルカリイオン水が付着した薄板の両面を拭き取りながら薄板１０を搬送する第１吸水ローラ７１、７２と第２吸水ローラ７３，７４を配置した吸水・乾燥装置７とを備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】 水面下に超音波振動子を配置した水槽の水中へ被洗浄物を搬送コンベヤでもって連続的に又は間欠的に水平に搬出入できて効率的な洗浄が行え、しかも通過する開口部からの水槽の洗浄水の排出量を低く抑えて小型化する。
【解決手段】 側壁の左右に開口部２，３を設けた水槽１内に超音波振動子７を上下及び前後に対向するように設け、開口部２，３を介して被洗浄物を収容するネットトレー５ｆが通過するように搬送コンベヤ５を設け、各開口部に上下動するシャッター４と水吹出ノズル８を設け、水槽１の外側に未洗浄の洗浄物を収容したネットトレー５ｆを搬送コンベヤ５に取り付ける投入ステーション１１と、水槽で洗浄したネットトレー５ｆ及び被洗浄物にリンス液を吹付けその後空気を吹付けて乾燥させる仕上げステーション（乾燥室１０）と、洗浄処理完了したネットトレー５ｆを搬送コンベヤ５から取り外す回収ステーション１２とを設ける。 （もっと読む）

【課題】洗浄液４を循環再使用でき、油脂や異物などの汚れの除去効果が低下せず、洗浄液４の残留を抑制するか、または大気環境への温暖化物質の放出につながらない洗浄乾燥方法及び洗浄乾燥装置を得る。
【解決手段】圧送ポンプ６と加熱用熱交換器８とで、洗浄液４を大気圧下において沸点以上となる加圧過加熱液とする工程、被洗浄物品１が内蔵された洗浄乾燥容器１１内の洗浄乾燥室１０内に加圧過加熱液を噴射する工程、洗浄乾燥容器１１に隣接して蒸気排出容器１２を設け、蒸気排出容器１２には、洗浄乾燥室１１内に連通する蒸気回収口１３を備え、循環ポンプ１８による循環液の流れで吸引口２１に負圧を生じるエジェクタ２０の吸引口２１を、蒸気回収口１３を導いて、洗浄乾燥室１０内に噴射された洗浄液の蒸気を蒸気回収口１３から吸引する工程、及び吸引された洗浄液４の蒸気を再利用する工程を含む。 （もっと読む）