【解決手段】 洗浄装置を提供する。洗浄装置は、ベースから延びる側壁によって形成されたタンクを含む。対向する側壁の上部分に形成された複数の流体出口は、上部分の長さと上部分の深さにわたって延びる配列として配置される。複数の流体出口は、水平流体流れをタンクの内部に提供するように構成される。水平流体流れは、一番上の流れがタンクの内側中間領域まで進み、各々の引き続く下方の流れが、その引き続く下方の流れが出る側壁により近く進むように配置され、水平整列流体流れの各々の方向は、タンクの底に向かう垂直整列流体流れに層流的に変えられる。支持体群が、タンクの下部分に配置される。再循環ポンプが、タンクのベースより下に配置される。基板洗浄方法も提供する。 （もっと読む）

【課題】より効率的にノズル洗浄でき得るノズル洗浄ユニットを提供する。
【解決手段】分注装置に搭載されたノズル洗浄ユニット２０は、洗浄槽２２と、当該洗浄槽２２内において洗浄液を噴射する洗浄液噴射器４４と、ノズルに付着した洗浄液を洗浄槽２２内に吹き飛ばすべくエアを噴射する乾燥用噴射器５０と、ノズル１２を昇降させる移動機構と、これらを制御する制御部と、を備えている。制御部は、ノズル１２を下降させつつ洗浄液を噴射させる洗浄工程と、洗浄工程の後でノズル１２を上昇させつつエアを噴射させる乾燥工程と、をセットにしたセット動作を２回以上繰り返させる。 （もっと読む）

【課題】排気口からの排気に大きな排気能力を必要とせずに、処理チャンバ内の雰囲気を良好に置換させることができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】処理チャンバ４内には、基板を水平に保持して回転させるスピンチャック１７と、スピンチャック１７の上方に配置された円板状の遮断板１４とが収容されている。遮断板１４の下面には、スピンチャック１７に保持される基板の表面と対向する基板対向面が形成されている。処理チャンバ４の上部に設けられた給気ユニットには、処理チャンバ４内に清浄空気を供給するための給気口６５が形成されている。給気口６５は、下向きの給気口であり、平面視において遮断板１４の周囲を取り囲む円環状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】超音波振動子（ＢＬＴ）の周波数特性を安定させる。
【解決手段】洗浄槽１３内に振動板３５を設ける。振動板３５に複数のＢＬＴ４５を固定する。洗浄槽１３に、槽内の液体を吸引する吸引口３２を設ける。吸引口３２に、循環路８３を接続する。循環路８３に、第１循環路８５と第２循環路８６とを接続する。両循環路８５，８６の他端を、それぞれ給水ノズル３１ａ、各カプラ３３ａ，３３ｂに接続する。循環路８３にＣＰ（循環ポンプ）８４を設ける。ＢＬＴ４５を駆動して超音波洗浄を開始する前に、ＣＰ８４を駆動して洗浄槽１３内の液体を循環する。洗浄槽１３の内面や振動板３５等に気泡が付着する。ＢＬＴ４５から出力される超音波が気泡により吸収されるため、洗浄槽１３の内面や振動板３５からの超音波の反射が防止される。ＢＬＴ４５の周波数特性が安定する。 （もっと読む）

【課題】２種類以上の洗浄液を別々に使用して媒体を洗浄する場合に、それら洗浄液の再利用性を高めることができる媒体洗浄装置を提供する。
【解決手段】媒体を横方向に搬送しながら、２種類以上の洗浄液を個別に用いて媒体を洗浄する媒体洗浄装置であって、１種類の洗浄液を用いて媒体を洗浄する洗浄機構を、媒体の搬送方向に沿って複数有し、洗浄機構は、洗浄液が蓄えられる第１タンクと、第１タンク内の洗浄液が供給され、媒体に当接して洗浄する少なくとも１つの洗浄手段と、媒体の洗浄に使用された洗浄液を浄化する浄化手段と、媒体の洗浄に使用された洗浄液が蓄えられる第２タンクと、第２タンク内の洗浄液を第１タンクに供給する洗浄液供給手段と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 基板上にエッチング液を液膜状に供給した後に、この基板をリンス処理する場合においても、エッチング液とリンス液とを個別に回収することが可能な基板処理装置および基板処理方法を提供する。
【解決手段】 基板処理装置は、ガラス基板１００をその主面が水平方向となる状態で支持するとともに、このガラス基板１００を水平方向に搬送する複数の搬送ローラ９と、ガラス基板１００にエッチング液を供給する処理・洗浄ユニット１ａ、１ｂ、１ｃと、ガラス基板１００にリンス液を供給する処理・洗浄ユニット１ｄと、各処理・洗浄ユニット１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ毎に配設された回収トレー７１と、処理・洗浄ユニット１ｃと処理・洗浄ユニット１ｄとの間に配設されたエアナイフ７とを備える。 （もっと読む）

【課題】物品類の洗浄に使用したアルカリ性電解水を、再利用可能な状態にする再利用方法と、再利用を可能にするシステムを提供する。
【解決手段】一定した洗浄力を維持しつつ、洗浄水としてのアルカリ性電解水を有効に再利用できるようにするために、洗浄に用いた使用済みアルカリ性電解水を膜処理装置３０に導入することによって、加工油等を濾過膜によって除去した後に、再び電解槽１０に導入して電気分解を行うことにより、再生して再利用に供する。 （もっと読む）

【課題】基板を洗浄する処理液の使用量を低減可能な基板の製造装置及び製造方法を提供すること。
【解決手段】基板１００の製造装置１は、基板１００を処理液で洗浄することで、基板１００のＳｉ層１０２に形成された酸化膜１０５の一部を除去する予備洗浄処理手段１３と、予備洗浄処理手段１３による基板１００の洗浄で残存した酸化膜１０５を除去する本洗浄処理手段１４と、本洗浄処理手段１４に未使用の処理液を供給するとともに、本洗浄処理手段１４で使用された処理液を予備洗浄処理手段１３に供給する供給手段１９と、を備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】部品洗浄に有機溶剤洗浄液、炭化水素洗浄液、臭素系洗浄液、アルカリ系洗浄液の洗浄剤を使用すれば、気化した有害物質によるオゾン層の破壊、水質汚染等が発生する。
【解決手段】加温洗浄槽と油分を分離する油分回収槽と、中性洗浄剤を循環させる循環ポンプと、前記循環ポンプからの送りだされる中性洗浄剤の流量を手動設定する流量手動設定部と、常温洗浄する常温洗浄槽と、洗浄機を制御する制御部からの構成からなり、中性洗浄剤を加温洗浄槽と油分回収槽と常温洗浄槽とを循環させる構成で洗浄運転中に、油分を手動又は、自動回収する中性洗浄剤を用いる洗浄機。 （もっと読む）

【課題】処理対象物の貫通孔の内部を効果的に洗浄することができる洗浄装置及び洗浄方法を得る。
【解決手段】薄板コイルとされた処理対象物１０は、洗浄槽１４に収容され、貫通孔の貫通方向一端側がキャップ３８によって塞がれる。洗浄槽１４の内部は真空ポンプ３０によって負圧にされる。また、洗浄液は、キャップ３８における処理対象物１０側へ通じる開口部を経て処理対象物１０の貫通孔へ供給される。このため、洗浄液は、負圧の作用によって、貫通孔の貫通方向一端側から貫通方向他端側へ流動する。 （もっと読む）

【解決手段】 本発明の実施形態は、一般的には、チャンバ構成部品の外部位置洗浄のための方法及び装置に関する。一実施形態では、洗浄化学物質で構成部品を洗浄するためのシステムを提供する。システムは、洗浄プロセス中洗浄すべき１つ又はそれ以上の構成部品を保持するための洗浄槽組立体を含むウェットベンチ装置と、洗浄プロセス中１つ又はそれ以上の洗浄化学物質を洗浄槽組立体に供給するための、洗浄槽組立体と着脱可能に連結された着脱可能な洗浄カートを含む。 （もっと読む）

【課題】
加工作業により被加工物に付着残留した加工油を簡易な方法により減量除去し、これを再利用可能とするとともに、被加工物の洗浄のために必要となる洗浄溶剤を少なくするか又はゼロとすることにより、ランニングコストを低くするとともに、地球環境への負荷を軽減する。
【解決手段】
被加工物12の加工作業に使用した加工油と同じ加工油4を、前記加工作業時の油温よりも高温に加熱して粘度を低下させ、この加熱した加工油4を、前記加工作業により加工油が付着した被加工物12に接触させることにより、被加工物12に付着している加工油の粘度を低下させ、その付着量を減少させる。 （もっと読む）

【課題】省スペース化の課題，洗浄液多量消費の課題，キャビテーション発生の課題，および微粒異物の詰りの課題を同時に解決すること。
【解決手段】洗浄槽３と、洗浄槽３内の気体を凝縮する熱交換器４および真空ポンプ５を含む減圧手段６と、洗浄槽３内の復圧手段７と、減圧と復圧とを繰り返して洗浄槽３内の洗浄液を沸騰させる制御手段１４とを備える洗浄装置において、熱交換器４は、冷却水により気体を冷却するプレート式熱交換器にて構成され、熱交換器４の上流側に、デミスタにより洗浄液，気体に含まれる洗浄液の微小液滴および微粒異物を前記気体から分離し、分離した液体を洗浄槽３へ戻す気液分離器９を備えた。 （もっと読む）

【課題】洗浄剤などの薬剤を使用する洗浄処理を完結でき、環境を汚染せず省エネの要請にも応えることができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】飽和蒸気圧を超える圧力を維持して流通水を過熱する過熱ラインＨＴと、過熱ラインＨＴの過熱水を、大気開放状態で洗浄対象物に噴射して洗浄対象物に付着した加工油を除去する洗浄部１と、加工油を含有する凝縮水を洗浄部１から受けて、凝縮水から油分を分離する油水分離部３と、を有して構成され、洗浄処理用の薬剤を使用することなく脱脂洗浄処理を完結することができる。 （もっと読む）

【課題】微細気泡を用いた効率的な洗浄を行うと共に、洗浄液の清浄度を確保可能な洗浄装置を得る。
【解決手段】第１および第２の仕切り１１、１２により形成された旋回状の流路部１４を有する洗浄槽１０と、旋回状の流路部１４に微細気泡と洗浄液の混合による流れを発生させ、旋回状の流路部１４内で被洗浄物を洗浄する気液混合エジェクタ２０と、洗浄後の洗浄液から油脂や異物などを分離する油水分離槽５０を備える。 （もっと読む）

【課題】特に地下タンクの撤去作業前に可燃性蒸気対策として、比較的安価且つ安全性の高い地下タンクの洗浄方法を提供する。
【解決手段】高圧ホース１０の先端には洗浄ノズル２０が装着され、後端には高圧洗浄機３０が接続されて、高圧水が供給される。高圧ホース１０は、通気管・油面計口Ｌを通って地下タンクＴ内に挿入されている。サクション口Ｓには、先端が地下タンクＴの底面近くまで延びたサクションパイプ４０が差し込まれ、サクションパイプ４０の他端には、ホース５０を介してエアー駆動式ダイヤフラムポンプ６０が接続され、さらにホース７０を介してバキューム車８０に接続されている。高圧ホース１０に高圧洗浄機３０から高圧水が供給されると、洗浄ノズル２０から高圧水Ｈが噴き出し、地下タンクＴ内面に残っていたガソリン等の付着物を洗い流す。同時に、地下タンクＴ内に溜まった洗浄廃水Ｗをサクションパイプ４０から回収する。 （もっと読む）

【課題】被処理体の処理に用いられる液の温度変動を抑制することができる液処理装置を提供する。
【解決手段】液処理装置１０は、液供給機構１５と、液供給装置に接続され温度調節された液を吐出する吐出開口３０ａを有した供給ライン３０と、供給ラインの吐出開口を支持しする処理ユニット５０と、供給ラインに供給された液を液供給機構へ戻す戻しライン３５と、処理ユニットでの被処理体の処理に用いられる液の供給および供給停止を切り替える液供給切り替え弁３８ａと、を有する。液供給切り替え弁３８ａは、供給ライン３０上に設けられ、供給ライン３０から戻しライン３５を介して液供給機構１５へ戻る液の経路上に、位置している。 （もっと読む）

【課題】大量の洗浄液を用いることなく陰極に生成されたスケールを除去でき、貯水槽内の水が洗浄液で汚染されないようにするスケール除去装置を提供する。
【解決手段】ポンプ８の駆動によって、洗浄液回収タンク９内の洗浄液３０が吸引され、洗浄液流出部６内に導入される。洗浄液流出部６内に導入された洗浄液３０は、複数の穴６ａから滴下され、陰極４の露出面のうち貯水槽１内の水面に向かう露出面に添加される。その洗浄液３０によって陰極４の露出面に生成されたスケールは、その露出面に添加された洗浄液３０によって溶解する。そして、その洗浄液３０は、洗浄液流出部６より下方に配置された洗浄液収集部７により拭い取られ、洗浄液収集部７の溝部７ａを通って洗浄液回収タンク９に流れ込み回収される。 （もっと読む）

【課題】 高圧蒸気を微小領域に吹き付け、当該微小領域を拡大させることで被洗浄対象物の洗浄を行う洗浄装置を提供する。
【解決手段】 特定部に開口する槽形状の洗浄槽の開口部をエアカーテンにて閉鎖することとし、洗浄槽内に置かれた被洗浄物に対して高圧蒸気を吹き付けるノズルを、該エアカーテンを超えた洗浄槽内に配置することとする。 （もっと読む）

【課題】
炭化水素系溶剤等の洗浄剤を用いた洗浄方法及び洗浄装置において、高い作業効率を保ちながら、省エネルギー化を実現できる洗浄方法及び洗浄装置を提供する。
【解決手段】
本発明に係る洗浄装置１０は、第１洗浄槽１１、第２洗浄槽１２、油分濃度監視部１３、貯留タンク１４、蒸留再生ユニット１５、及び図示しない蒸留再生ユニット制御部を備えている。被洗浄物は第１洗浄槽内で超音波洗浄され、第２洗浄槽でリンス洗浄される。一方、被洗浄物に付着していた油分により汚染された洗浄剤は、第１洗浄槽１１から循環路１６１と第１回収路１６２に排出され、循環路１６１の途中に設けられた油分濃度監視部１３によって汚染洗浄剤に含まれる油分の濃度が測定される。この測定値は蒸留再生ユニット制御部に送られ、汚染洗浄剤の蒸留量及び該蒸留量の汚染洗浄剤の蒸留に必要な電力の値が算出され、該蒸留量の汚染洗浄剤及び電力が蒸留塔１５１に供給される。 （もっと読む）