【課題】 水面下に超音波振動子を配置した水槽の水中へ被洗浄物を搬送コンベヤでもって連続的に又は間欠的に水平に搬出入できて効率的な洗浄が行え、しかも通過する開口部からの水槽の洗浄水の排出量を低く抑えて小型化する。
【解決手段】 側壁の左右に開口部２，３を設けた水槽１内に超音波振動子７を上下及び前後に対向するように設け、開口部２，３を介して被洗浄物を収容するネットトレー５ｆが通過するように搬送コンベヤ５を設け、各開口部に上下動するシャッター４と水吹出ノズル８を設け、水槽１の外側に未洗浄の洗浄物を収容したネットトレー５ｆを搬送コンベヤ５に取り付ける投入ステーション１１と、水槽で洗浄したネットトレー５ｆ及び被洗浄物にリンス液を吹付けその後空気を吹付けて乾燥させる仕上げステーション（乾燥室１０）と、洗浄処理完了したネットトレー５ｆを搬送コンベヤ５から取り外す回収ステーション１２とを設ける。 （もっと読む）

【課題】瞬間的な洗浄後に直ちに蒸発する高温高圧のスチーム特性を利用し、フラックスによって汚染されたフラックスツールやアタッチツールなどのフラックスによる汚染物を、瞬間的に早く、かつ正確に洗浄することによって、洗浄時間はもとより、乾燥時間及びクーリング時間を画期的に短縮させるフラックス洗浄装置を提供する。
【解決手段】本体と、前記本体に設置され、フラックスが付着した対象物が搭載される搭載台と、前記本体に設置され、前記フラックスが付着した対象物に残留するフラックスなどの異物を除去するために、前記搭載台に搭載されたフラックスが付着した対象物に向かってスチームを噴射する少なくとも一つのスチーム噴射ノズルと、前記本体に設置され、前記スチーム噴射ノズルにスチームを供給するスチーム供給装置とを有してなる。 （もっと読む）

【課題】ダウンフローを発生させるための機構を簡素化した処理装置を提供すること。
【解決手段】ダウンフローを発生させる気流発生手段１５０と、循環経路部材２００内に配設され、ダウンフローを発生させる気体に含まれるミストを気体から分離させるミスト分離手段２４０と、循環経路部材２００内に配設され、ミスト分離手段２４０によって分離されて液化したミストを回収する廃液口２１３と、を有し、ダウンフローを発生させる気体を処理チャンバー１００と循環経路部材２００との間で、循環させるようにした。 （もっと読む）

【課題】貫通孔内に所望の処理を施すことができる処理方法および処理装置を提供すること。
【解決手段】処理装置１は、内部に液体Ｌが供給されるとともに、供給された前記液体Ｌに基板２を浸積させる槽１１を備える。処理装置１は、第一供給口１１１Ａから第一排出口１１１Ｂに向かって液体Ｌを流すとともに、第二供給口１１２Ａから第二排出口１１２Ｂに向かって液体Ｌを流すと、液体Ｌが、鉛直方向上方側から下方側に向かって前記基板２の一方の基板面および他方の基板面に沿って流れるように構成され、基板２の一方の面における液体Ｌの平均流速と、他方の面における液体Ｌの平均流速とを異ならせる調整手段を有する。 （もっと読む）

【課題】鉛直方向の省スペース化が実現できる基板液処理装置のミスト回収機構を提供すること。
【解決手段】ミスト案内カップの周縁端領域の上方に設けられた液体案内上部カップと、ミスト案内カップの周縁端領域に対してその下方から上方まで鉛直方向に移動可能に設けられた液体案内中央カップと、ミスト案内カップの周縁端領域に対してその下方から上方まで鉛直方向に移動可能に設けられた液体案内下部カップと、を備える。各カップの鉛直方向位置は、３つの回収状態を選択的に実現できるように制御される。各回収状態で回収される液体は、第一ドレイン用タンク乃至第三ドレイン用タンクにそれぞれ案内されるようになっている。第一ドレイン用タンク乃至第三ドレイン用タンクは、径方向に並ぶように配置されている。 （もっと読む）

【課題】凹凸のある歯車のようなワークであっても、切屑、切粉等の異物および油分をきれいに除去することができ、また空圧源だけでも作動させることができる、装備および設置が容易な洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液を貯留するタンク１０と、洗浄室４０内に回転軸を支持することにより回転自在に設けられたワーク保持具４６と、回転軸に設けられたフィン４８に対し圧縮空気を噴射することによりワーク保持具を回転動させる。ワークＷに相対するように洗浄室内に設けた対物ノズルと、洗浄液を吸引して対物ノズルに圧送する空圧作動式給液ポンプ２０と、圧縮空気を供給する空圧源とからなり、回転動用ノズルから圧縮空気を所定時間噴射することによりワークを回転させると同時に、空圧作動式給液ポンプを作動させて対物ノズルから洗浄液を所定時間噴射し、その後は対物ノズルの流入路が空圧源に切換えられて圧縮空気が所定時間噴射される。 （もっと読む）

【課題】ロボットを含めた装置全体を防水室内に収める必要がなく、且つ、ロボット自体を高度の防塵防水仕様とする必要がないため、これら防水手段配備のための手間及びコストを削減できる機械部品のシャワー洗浄装置を提供することを課題する。
【解決手段】洗浄槽１が、互いに反対方向に移動してその上面開口を開閉する一対のシャッター７、８から成る飛散防止カバーを備え、前記飛散防止カバーは、洗浄するワークをクランプしたロボットハンド８１が洗浄槽１内に進入した際に、ロボットハンド８１を抱持するようにして閉じ、ロボットハンド８１が横方向に移動する際には、その閉じた状態においてシャッター７、８が一体となって、ロボットハンド８１の横方向の動きに追随して移動可能にされる。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽内の液体に被洗浄物を浸漬して洗浄や濯ぎを図る洗浄装置において、被洗浄物が液面から露出するのを防止して、被洗浄物の洗浄や濯ぎを確実に図る。
【解決手段】洗浄槽３は、上部開口を扉９で開閉可能とされ、被洗浄物２が収容されると共に液体が貯留される。洗浄槽３内において、被洗浄物２は液体に浸漬される。敷材２０は、洗浄槽３内に配置される網状または多孔板状の下方規制板２２を有し、この下方規制板２２に被洗浄物２が載せられる。蓋材２１は、洗浄槽３内に配置される網状または多孔板状の上方規制板２７を有し、この上方規制板２７より上方への被洗浄物２の移動を規制する。蓋材２１の上方規制板２７よりも上方まで洗浄槽３内に液体が貯留される。 （もっと読む）

【課題】ノズルを移動しながら基板を処理することができ、かつ、密閉チャンバの内部空間の狭空間化を図ることができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】密閉チャンバ２は、密閉された内部空間を区画する隔壁９を有している。密閉チャンバの内部空間でウエハＷが保持される。密閉チャンバ２には、移動ノズルとしての形態を有する処理液ノズル４が設けられている。処理液ノズル４を支持するノズルアーム１５は、隔壁９に形成された通過孔１４を介して密閉チャンバ２の内外に跨って延びている。このノズルアーム１５は、密閉チャンバ２外に配置された直線駆動機構３６によって駆動されるようになっている。隔壁９とノズルアーム１５の外表面との間は、第３シール構造によってシールされるようになっている。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽の上部からの洗浄液の漏れを抑制あるいは防止する。
【解決手段】略垂直姿勢の基板Ｗを上方から洗浄槽１内に収容し、略水平方向に延在する管状部材２ａ1〜２ａ３，２ａ４〜２ａ６から基板Ｗの両面に洗浄液を噴射して洗浄する基板洗浄装置であって、前記管状部材２ａ1〜２ａ３，２ａ４〜２ａ６の端部側に形成される通気路に遮蔽板Ｄ３，Ｄ６を配設する。 （もっと読む）

【課題】水溶液または有機溶剤を用いた洗浄液で金属部材の表面を洗浄した後、効果的に金属部材の表面から洗浄液を除去することで金属部材を乾燥できると共に洗浄液として有機溶剤を用いた場合には、有機溶剤の大気中への拡散を極力抑えつつ、有機溶剤を回収することができる、金属部材の洗浄方法を提供すること。
【解決手段】洗浄液で金属部材の表面を洗浄した後、金属部材を乾燥して金属部材の表面から洗浄液を除去する、金属部材の洗浄方法であって、側壁に金属部材１が通過する入口３及び出口４を有すると共に内部に入口３及び出口４間を通過する金属部材１に向けてその中の気体が吐出されるようにノズル５を配置した気体流通管６と、気液分離機７と、ポンプ８またはブロアとを配管９により連結し、気体の流通経路が閉鎖系の循環経路となるように構成された乾燥装置２を用いて、金属部材を乾燥する、金属部材の洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】薄板部材を破損させることなく効率良く薄板部材を洗浄することを可能とする薄板部材洗浄装置を提供する。
【解決手段】薄板部材洗浄装置１０００は、蓋部材１１０１と、この蓋部材１１０１により一方端側に設けられた開口部が閉ざされ、内部に水道水１３００が蓄えられる細長い円筒形状容器１１０２とを含む洗浄容器１１００と、この洗浄容器１１００内に収容され、洗浄容器１１００内を移動することで水道水１３００によりその表面が洗浄されるメッシュ部材１６０を保持する薄板部材固定部材１２００とを備えている。 （もっと読む）

【課題】薄板部材を破損させることなく効率良く薄板部材を洗浄することを可能とする薄板部材洗浄装置を提供する。
【解決手段】メッシュ部材保持部５３０が支持された回転腕部材５２７を回転ハンドル５２４を用いて回転させることで、水道水がメッシュ部材１６０の表面を流れ、メッシュ部材１６０に付着している薬液カスが除去される。 （もっと読む）

【課題】より効率的にノズル洗浄でき得るノズル洗浄ユニットを提供する。
【解決手段】分注装置に搭載されたノズル洗浄ユニット２０は、洗浄槽２２と、当該洗浄槽２２内において洗浄液を噴射する洗浄液噴射器４４と、ノズルに付着した洗浄液を洗浄槽２２内に吹き飛ばすべくエアを噴射する乾燥用噴射器５０と、ノズル１２を昇降させる移動機構と、これらを制御する制御部と、を備えている。制御部は、ノズル１２を下降させつつ洗浄液を噴射させる洗浄工程と、洗浄工程の後でノズル１２を上昇させつつエアを噴射させる乾燥工程と、をセットにしたセット動作を２回以上繰り返させる。 （もっと読む）

【課題】タンクから供給ローラ、回転軸及び軸受けを介して洗浄液が漏れることがない洗浄機を提供する。
【解決手段】洗浄液が注入された有底無蓋のタンクと、回転軸が水平で洗浄液に浸るように配置された供給ローラと、供給ローラの真上に平行、かつ接触するように配置され、回転軸が回転駆動される洗浄ローラと、を備え、供給ローラと洗浄ローラとの間で板状部材を洗浄する洗浄機において、洗浄ローラの回転軸の洗浄ローラの両端近傍に設けられた円盤状の洗浄ローラ側仕切り板と、供給ローラの回転軸の供給ローラの両端近傍に洗浄ローラ側仕切り板の外側と洗浄液に接触するように設けられた円盤状の供給ローラ側仕切り板と、を有する。 （もっと読む）

【課題】排気口からの排気に大きな排気能力を必要とせずに、処理チャンバ内の雰囲気を良好に置換させることができる基板処理装置を提供すること。
【解決手段】処理チャンバ４内には、基板を水平に保持して回転させるスピンチャック１７と、スピンチャック１７の上方に配置された円板状の遮断板１４とが収容されている。遮断板１４の下面には、スピンチャック１７に保持される基板の表面と対向する基板対向面が形成されている。処理チャンバ４の上部に設けられた給気ユニットには、処理チャンバ４内に清浄空気を供給するための給気口６５が形成されている。給気口６５は、下向きの給気口であり、平面視において遮断板１４の周囲を取り囲む円環状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】迅速かつ確実に多結晶シリコン塊を洗浄して効果的にシリコンの微粉末や小片、不純物を除去し、酸洗工程の酸液の劣化を抑えながら、高品質の単結晶シリコンの製造を可能とする。
【解決手段】多結晶シリコンロッドを切断または破砕により細分化して得られた多結晶シリコン塊の洗浄装置であって、複数の貫通孔が設けられ多結晶シリコン塊を収容する搬送可能な洗浄かごと、洗浄かごを収容し、底面に設けられた給水口から連続的に洗浄水を供給される洗浄槽本体と、洗浄槽本体内に備えられて洗浄かごを収容し、洗浄かごの貫通孔よりも目が小さい複数の開口部を底面に有する内かごと、洗浄かごを保持しこの洗浄かごを内かご内で揺動させる揺動装置とを備え、洗浄槽本体に、この洗浄槽本体の上部から溢水する洗浄水を回収するオーバーフロー部が設けられている。 （もっと読む）

【課題】乾燥ガスが光透過部材から被処理基板上に滴下することを防止することにより、製品歩留まりの低下を防止することが可能な乾燥室、洗浄・乾燥処理装置、被処理基板を乾燥する乾燥処理方法、および記録媒体を提供する。
【解決手段】乾燥室１０は、被処理基板Ｗを収容する乾燥室本体１１と、乾燥室本体１１の内壁１１ａに設けられた光透過部材１２と、乾燥室本体１１の内壁１１ａと光透過部材１２との間に設けられた加熱用光源１３とを備えている。光透過部材１２の下方には、光透過部材１２側に向けて乾燥ガスを供給するガス供給部１４が設けられている。光透過部材１２の内面１２ａは、乾燥ガスがこの光透過部材１２の内面１２ａに液膜として付着するように表面処理が施されている。 （もっと読む）

【課題】 多量の処理液を消費することなく、基板の表面全域に有効に処理液を供給することが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】 液寄せ部材７１は、搬送ローラ９により搬送されるガラス基板１００における搬送方向の両側の、ガラス基板１００の端縁に近接する位置において、ガラス基板１００の搬送方向に沿って配設されている。搬送ローラ９により搬送されるガラス基板１００の端縁と液寄せ部材７１との距離Ｄは２ｍｍ以下となっている。また、液寄せ部材７１の上面の高さ位置は、ガラス基板１００の表面の高さ位置より、Ｈだけ高くなっている。このＨの値は、処理液吐出ノズル２からガラス基板１００の表面に供給された処理液の膜厚以上とすることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】処理対象物の貫通孔の内部を効果的に洗浄することができる洗浄装置及び洗浄方法を得る。
【解決手段】薄板コイルとされた処理対象物１０は、洗浄槽１４に収容され、貫通孔の貫通方向一端側がキャップ３８によって塞がれる。洗浄槽１４の内部は真空ポンプ３０によって負圧にされる。また、洗浄液は、キャップ３８における処理対象物１０側へ通じる開口部を経て処理対象物１０の貫通孔へ供給される。このため、洗浄液は、負圧の作用によって、貫通孔の貫通方向一端側から貫通方向他端側へ流動する。 （もっと読む）