【課題】流体制御弁を開閉する際に必要なトルクを軽減する。
【解決手段】流体制御弁１は、ノブ２０とピストン１０の間に、ノブ２０と連結するカム部材６が介在していること、（１）カム部材６のピストン１０と当接する当接端面６６に、凹形状のカム面６２が形成されていること、及び、ピストン１０のカム面６２と当接する部分に凸形状のピストン係合部１０１が形成されていること、又は、（２）カム部材６のピストン１０と当接する当接端面６６に、凸形状のカム面６２が形成されていること、及び、ピストン１０のカム面６２と当接する部分に凹形状のピストン係合部１０１が形成されていること、のいずれか一つの組み合わせを有することとする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で高い信頼性の仕切り動作が可能なスライド弁を提供する。
【解決手段】弁箱１０に回動自在に設けられた回転軸２０を中心として揺動回転する可動弁部４０を設け、可動弁部４０の揺動により開口部を開閉すると共に、回転軸２０を、内部に流体通路を設けたスイベルジョイント構造を採用し、制御流体の制御により可動弁部４０の弁座への圧接分離可能とし、また、回転軸２０をピストンにより駆動可能なラックピニオン機構により揺動回転させる。 （もっと読む）

【課題】この発明は、異物の詰まりや生成物の生成を抑え、主弁が閉じられない事態の発生を回避できる自動弁装置および圧力調整弁を得る。
【解決手段】調圧機構部６１が、一次圧導入室４９と二次圧導入室４７とを連通する連通路５１のニードル弁６０の一次圧導入室側に配設されている。調圧機構部６１は、流入連通穴６９を介して一次圧導入室４９に連通する調圧室６２、流入連通穴６９に接離可能に配設された弁体６５、および調圧室６２内の圧力が設定圧力となると弁体６５を流入連通穴６９に接しさせ、調圧室６２内の圧力が設定圧力より低くなると弁体６５を流入連通穴６９から離反させるように弁体６５を駆動する弁体駆動手段を有し、流入連通穴６９を介して調圧室６２に導入された一次側加圧水を設定圧力に調圧してニードル弁６０側に流出する。 （もっと読む）

【課題】この発明は、オリフィス部の隙間への異物の詰まりや生成物の生成を抑え、主弁が閉じられない事態の発生を回避できる自動弁装置および圧力調整弁を得る。
【解決手段】オリフィス用弁座６２とオリフィス用弁体６３との間の隙間が、起動弁が開弁され、一次側加圧水が第３配管を介して一次圧導入室４９内に供給されている状態では、微小な第１隙間に保持され、起動弁が閉弁され、作動室内の一次側加圧水の圧力が下がり、主弁が閉じられている状態では、第１隙間より大きな第２隙間に保持されるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】各開口部に接続される配管等の輸送路の接続方向の自由度を向上させ得る切替弁装置、及びこれを備えた輸送切替装置を提供する。
【解決手段】切替弁装置１は、略直方体形状とされ、かつ、スライド方向に略直交する方向に対向配置された対向両側壁のうちの一側壁１１に設けられるとともに一系統の輸送路２に連通される第１開口部１７と、前記対向両側壁のうちの他側壁１２に設けられるとともに二系統の輸送路の一方３に連通される第２開口部１８と、スライド方向に略直交する方向に対向配置された残余の対向両側壁の一方１３に設けられるとともに前記二系統の輸送路の他方４に連通される第３開口部１９とを有した弁体ハウジング１０と、一方側へスライドされた際に前記第１開口部と前記第２開口部とを連通させる第１貫通孔２７と、他方側へスライドされた際に前記第１開口部と前記第３開口部とを連通させる第２貫通孔２９とを、スライド方向に沿って有したスライド弁体２０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】流路面積を大きくすること、及び、流体の流れの妨げとなる部分をなくすこと。
【解決手段】
第１流路２１と第２流路２２を備える樹脂製弁本体２と、樹脂製弁本体２の上面に連結される樹脂製弁上体３と、樹脂製弁本体２と樹脂製弁上体３との間に狭持される樹脂製のダイアフラム弁体４とを備えること、第１流路２１は、一端が第１ポート２３に連通する円筒状の第１ポート連通流路２１ａと他端が弁孔１６に連通する円筒状の第１弁孔連通流路２１ｂとを備え、第１ポート連通流路２１ａと第１弁孔連通流路２１ｂが連通すること、第１ポート連通流路２１ａと第１弁孔連通流路２１ｂとの内角側の連結部にテーパ曲面２１ｃを成形する。 （もっと読む）

【課題】操作時にステムが回転した場合に押圧体が同時に回転することがなく、ダイアフラムに対して不要な応力が作用することでダイアフラムの破損や寿命の低下を招くことがなく、加えて金属の板材をプレス成型した押圧体を使用することができるため軽量化を図ることが可能である流体制御器を提供すること。
【解決手段】入口流路と出口流路を有するバルブボディと、前記バルブボディ上に配設されたボンネット４と、前記ボンネットを上下方向に貫通して設けられたステム５と、前記入口流路から前記出口流路への流体の流通を許容又は遮断するダイアフラムと、前記ダイアフラムを押圧する押圧体６とを備えており、前記ステムの下端には上向きのネジ穴５ａが形成され、前記ネジ穴には頭部を有するネジ２０が螺合されており、前記押圧体は、前記ネジの頭部と前記ステムの下端との間に挟持されることにより、前記ステムに対して回転可能に接続されている。 （もっと読む）

【課題】過度の高圧を解放する機能を真空システムに低コストに実現することを可能とする真空バルブ、及びそうした真空バルブを備えるクライオポンプを提供する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオパネル６０に排気された気体をクライオポンプ容器３０の外部に排出するためにクライオポンプ容器３０に設けられているベントバルブ７０と、クライオポンプ容器３０の外部に対して内部に陽圧が生じたか否かを圧力センサ５４の測定値に基づいて判定し、陽圧が生じたと判定した場合にはベントバルブ７０を開放し、陽圧が生じていないと判定した場合にはベントバルブ７０を閉鎖する制御部２０と、を備える。制御部２０がベントバルブ７０を閉鎖しているときにクライオポンプ容器３０内外の差圧の作用によって機械的に開弁され得るようにベントバルブ７０の閉弁力が調整されている。 （もっと読む）

【課題】耐久性を向上させることが可能なピストンバルブを提供する。
【解決手段】流体が供給される入口ポート１２、出口ポート１３およびこれらに連通する流路１５，１４，１６を有するバルブ本体１１と、前記流路の途中に設けられ弁座１９を有する弁座部材１７と、この弁座部材の弁座を開閉する弁棒３１と、この弁棒を弁座に対して接離動作させ弁座を開閉する駆動部５０とを備えたピストンバルブ。弁座部材および弁棒の少なくとも一方は、基材と、この基材の表面に形成された硬質被覆層とを含んで構成されている。硬質被覆層は、基材の表面からの距離が大きくなるに従って硬さが次第に低下するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】液滴化を抑制しつつ薬液の滴下流量を減少させる技術を提供する。
【解決手段】本発明は、回転するウェハ上に薬液を供給するための薬液吐出弁を提供する。本薬液吐出弁は、閉弁状態と最大リフト量との間でリフト量を操作することによって、薬液供給口と薬液吐出口との間の流路状態を変化させる当接部を有するダイアフラム弁と、作動ガスの供給量を操作するための第１開度を連続的に調整可能な第１比例制御弁５１と、作動ガスの排出量を操作するための第２開度を連続的に調整可能な第２比例制御弁５２と、前記第１比例制御弁５１と前記第２比例制御弁５２とを接続する中間流路に設けられている作動ガス供給口とを有する作動ガス供給部と、作動ガス供給口から供給された作動ガスの供給圧力に応じてリフト量を操作するアクチュエータ部と、を備える。アクチュエータ部は、最大リフト量を調整可能に制限するリフト量制限部を有する。 （もっと読む）

【課題】この発明は、隙間に詰まる異物や隙間に生成される生成物を二次側流路内の二次側加圧水の圧力制御時に弁部を流出する一次側加圧水とともに流出させ、主弁が閉じられない事態の発生を回避できる自動弁装置および圧力調整弁を得る。
【解決手段】圧力調整弁５００は、二次圧導入室５８、二次圧導入室５８に二次圧を導入する二次圧導入ポート５９、一次圧導入室６０、一次圧導入室６０に一次圧を導入する一次圧導入ポート６１、一次圧導入室を大気に開閉する弁体６４および弁座６６を有する弁ボディ５７と、二次圧導入室５９内の二次圧が所定圧力に達すると弁体６４を弁座６６から離反させて開弁し、二次圧導入室５９内の二次圧が所定圧力未満であると弁体６４を弁座６６に当接させて閉弁させる弁駆動機構と、を備え、溝部６７が弁座６６に形成され、閉弁時に、一次圧導入室６０と大気とを連通する所定の隙間を有している。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラム弁体が弁座に当接する際に発生する弁座支持部のたわみを防止すること。
【解決手段】
第１流路２１と第２流路２２を備える樹脂製弁本体２と、樹脂製弁本体２の上面に連結される樹脂製弁上体３と、樹脂製弁本体２と樹脂製弁上体３との間に狭持される樹脂製のダイアフラム弁体４とを備えること、第１流路２１は、一端が第１ポート２３に連通する第１ポート連通流路２１ａと他端が弁孔１６に連通する第１弁孔連通流路２１ｂとを備え、第１ポート連通流路２１ａと第１弁孔連通流路２１ｂは連結すること、樹脂製弁本体２は、弁室１３と第１ポート連通流路２１ａと第１弁孔連通流路２１ｂとの間に弁座１５を支持する弁座支持部１７を備える、流体制御弁１において、弁座支持部１７は弁座補強部１８を有すること、弁座補強部１８は第１流路２１内を一部塞ぐ形状で形成する。 （もっと読む）

【課題】増締め操作領域を確保しつつバルブとの取付け部分をコンパクトに形成してバルブ取付け後の全体高さを低くでき、しかも、部品点数を少なくしてバルブ取付け時の作業工数を小さくできるバルブ駆動用アクチュエータを提供する。
【解決手段】往復動するピストンロッド７の直線運動を回転運動に変換する回転変換機構６を内蔵したハウジング１の少なくとも一方側にシリンダユニット２を設けたバルブ駆動用アクチュエータである。このバルブ駆動用アクチュエータは、ハウジング１の下部とシリンダユニット２の内方端面２ａで形成される空間領域Ｓにおいて、バルブ取付面１３と増締め操作領域Ｔを有するブラケット１２とがハウジング下面１ａに一体に垂下形成されている。 （もっと読む）

【課題】タンク内にパルス状の圧縮空気を送り、タンク内のゴミ、または付随のフィルタエレメントの捕集ゴミを空気の圧力波エネルギーで振るい落とす高圧空気パルスバルブにおいて、応答性の早いバルブ構造を提供する。
【解決手段】圧縮空気により駆動される弁閉止部材２８は駆動空気圧を受圧するピストンディスク７０と高圧空気の導通、遮断を制御する封止ディスク７２をネック７４で結合した構造を有し、且つ、ピストンディスク７０の外周部７６に溝７８を形成し、溝７８内に封止リングを保持すると共に、封止ディスク７２の周縁部８６をシリンダ支持アーム３０内周に形成された案内面８８にガイドさせる構造とした。 （もっと読む）

【課題】ドーム部１１の内側の椀状凹部１１ａ内に開口部１１ｂを横断して補強ピン１３を配設し、ドーム部１１の外側を高圧、椀状凹部１１ａ内を低圧とする流路切換弁用の弁体１０において、補強ピン１３の端部を支持する段部１１ｃ（補強部材支持部）で応力集中が発生しても弁体１０の両端が浮きやすくなるのを防止する。弁漏れの減少、ならびに弁体の摺動による生じる、弁体と弁座の双方の局部的な磨耗を低減する。
【解決手段】摺動部１２の上面１２ｂに、その４箇所に「応力均一化形状部」としての凹形状部１を形成する。２つの凹形状部１，１は軸Ｌ２の両側においてそれぞれ組を成し、各組の凹形状部１，１は、段部１１ｃ（補強部材支持部）に対して補強ピン１３と直交する方向の対称な位置に形成する。凹形状部１で応力を集中させて弁体１０の全体での応力を略均一化する。 （もっと読む）

【課題】弁機構部のほかに第二弁機構部を設けることなく、一次圧力が所定値を超えて上昇した場合に二次側へ圧力を逃がすことの可能な構造とする。
【解決手段】ボディ１と、このボディ１内に配置された弁機構部３からなり、ボディ１は、一次側通路Ａと、二次側通路Ｂと、一次側及び二次側通路Ａ，Ｂの境界に位置する弁孔Ｄと、二次側通路Ｂ側にあって弁孔Ｄと同軸上に開設されたシリンダ部Ｅを有し、弁機構部３は、シリンダ部Ｅ及び弁孔Ｄを貫通して軸方向往復動可能に配置された弁ロッド３１と、二次側通路Ｂ側にあって弁ロッド３１の一端に取り付けられ弁孔Ｄに形成された弁座１５に接離可能に対向された弁体３２と、弁ロッド３１における弁体３２と反対側の端部に結合され二次側通路Ｂ側の圧力によって弁ロッド３１を弁座１５に対する弁体３２の接近方向へ変位させるダイアフラム３３を備えており、弁体３２と弁座１５の互いのシール径φ２が、シリンダ部Ｅと弁ロッド３１の互いのシール径φ１より大きい。 （もっと読む）

【課題】点検時に指が挟まれることを回避することができる自動弁用外傷防止部材を提供する。
【解決手段】自動弁用外傷防止部材は、第１の板状部材１１が、第１の板状部材１１に対して離間して平行に延びる第１の仮想軸線１８を囲むように曲げられて、曲げられることにより接近した第１の板状部材の両端部１１ｅ、１１ｆの距離Ｌ１０が、外力を加えないときに自動弁の開口５５ｈａの両側に存在する側壁５５ｓの外表面の間の最大距離Ｄよりも小さく、外力を加えたときに弾性変形によって最大距離Ｄよりも大きくなり、第１の板状部材１１の面に人間の指が貫通することなく第１の板状部材１１の面の反対側の状態を視認可能な視認部１２が形成されて構成された第１のカバー１０を備える。 （もっと読む）

【課題】液体コンフォーマルコーティング材料の流れに途切れを生じさせることなくかかる流れを基板上に小出しするアプリケータ及び方法を提供する。
【解決手段】アプリケータ（10）は液体コンフォーマルコーティング材料の入口（16）を備えた液体流路（40）、液体出口（44）、弁座（62）及び弁作動機構体（80）を含む本体組立体（12）と、開放位置と閉鎖位置との間で往復動する弁棒（70）と、弾性減衰要素（180 ）を有する。弁作動機構体は弁棒を開放位置と閉鎖位置との間で作動させる。弁棒の第１の端（70ａ）は閉鎖位置では弁座に係合して液体出口を通る液体材料の流れを止め、開放位置では弁座から離脱して液体出口を通る液体材料の流れを可能にする。弾性減衰要素は弁棒が閉鎖位置から開放位置に動いているときに弁棒に対して付勢力をもたらす。 （もっと読む）

【課題】 断熱圧縮によるガス温度上昇の防止とダイヤフラム弁の開放に要する時間の短縮とに加え、小型化が可能な開弁装置を提供する。
【解決手段】 開弁装置１０６は、駆動用流体供給ライン２３０と、高速供給ライン２３２と、低速供給ライン２３４とを備える。高速供給ライン２３２は、駆動用流体供給ライン２３０に駆動用流体を供給する。低速供給ライン２３４は、高速供給ライン２３２による駆動用流体の供給速度よりも低い、開閉弁１０２の開放によるガスの温度上昇を防止可能な速度で駆動用流体供給ライン２３０に駆動用流体を供給する。高速供給ライン２３２が、圧力制御弁２５０を有する。圧力制御弁２５０は、駆動用流体の圧力が閉止圧力を超えると閉じる。閉止圧力は、開閉弁１０２においてガスの漏れが生じる圧力を下回る。 （もっと読む）

【課題】単動式エアオペレートバルブの操作用エアを制御することにより、ウォータハンマ現象の発生が確実に抑制できる操作エア用中間弁を提供する。
【解決手段】弁座２２３に当接または離間すると共に、操作用エアのエア流路に連通する貫通孔２５０Ｈを有する弁体２５０と、弁体を挟んで、入力ポート２１１と出力ポート２２１とを繋ぐ主連通路及びオリフィス連通路２２４と、弁体を弁座に向けて付勢する付勢部材２７０と、貫通孔に設けられたチェック弁と、を備え、弁座は主連通路に形成され、弁体は、エア流路のうち、貫通孔内の貫通孔内エア流路をチェック弁で閉路した状態で、入力ポート側と出力ポート側との間で操作用エアの差圧が所定の圧力値以下になったときに、付勢部材の付勢力により弁座に当接して主連通路を閉路し、操作用エアの流れを、主連通路からオリフィス連通路のみに切替えるものである。 （もっと読む）