【課題】全体の大きさを縮小しながらも、流体のポンピング性能を向上させることができるマイクロポンプおよびその作動方法を提供する。
【解決手段】マイクロポンプは、接続流路を介して接続される第１空間および第２空間を形成するケースと、第１空間に接続される流体吸入管と、第２空間に接続される流体吐出管と、第１空間を覆うようにケースに設けられる第１変形部材と、第２空間を覆うようにケースに設けられる第２変形部材とを含む。第２変形部材は、第１変形部材より大きく形成され、第２変形部材の最大変位は、第１変形部材の最大変位より大きい。 （もっと読む）

【課題】供給圧力の変動する液体が供給された場合でも、液体噴射装置の操作感が損なわれることを回避する。
【解決手段】液体圧送手段を用いて液体室に液体を圧送するとともに、容積変更部に駆動電圧を印加して液体室の容積を減少させることによって、加圧した液体室内の液体を噴射ノズルから噴射する。容積変更部に駆動電圧を印加するに際しては、液体室に圧送される液体の圧力変動が液体の噴射に与える影響を、駆動電圧の電圧波形を変更することによって補償するとともに、供給流量が所定の圧力以下に低減した場合は駆動波形の時間間隔を補正する。こうすれば、たとえ液体室に圧送される液体の圧力が変動した場合でも、液体噴射装置の操作に違和感が現れることを抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラムの素材である耐食性金属材料の疲労強度を改善するとともに、該材料に含まれる不純物の粒界濃度を低下させて耐腐食性を改善することにより、前記ダイアフラムの耐用年数を向上させる。
【解決手段】耐腐食性金属材料により形成された圧縮機用ダイアフラム３は、互いに対向する窪み４，５を有するガスプレート１とオリフイスプレート２により挟持されており、前記金属材料の平均結晶粒径ｄ（ｍｍ）が下記（１）式を満足することを特徴とする。１／ｄ^0.5≧１５（１） （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムの追従性をよくして、搬送流体の定量搬送性を向上できるようにする。
【解決手段】内部に配置されたダイヤフラム１によって、該ダイヤフラム１を往復動変形させるための作動流体が供給される作動流体室２ａと、搬送流体が吸入・吐出される搬送流体室２ｂとに区画されるポンプ室２を備えたダイヤフラムポンプにおいて、ポンプ室２における作動流体室２ａ側の壁部を、これと対向するダイヤフラム１の表面形状に沿うように形成する。 （もっと読む）

【課題】圧力異常を運転中に発生せず、安定して水を加圧でき、スプレー洗浄効果の促進に有効な加圧水式洗浄装置に備えるスプレー用圧送ダイアフラムポンプを提供する。
【解決手段】モータ１１と、上蓋シャーシ１２と、ダイアフラム２０と、該ダイアフラムに嵌め込むピストン弁と、ピストン弁に密着固定した３つのピストンスライスに付ける逆流防止プラスチックガスケット５００とを備えるポンプであって、吐水口の上面を下方に反った凹部に設計し、３つの入水口の各底面を上方に反った凹部に設計し、逆流防止プラスチックガスケットを上方にアーチ型の凸状上面と平坦な底面に設計し、逆流防止プラスチックガスケットとステム５０１の両方を同じ軟質弾性材料で一体成形し、３枚のピストンスライスも下方にアーチ型の凸状底面及び平坦な上面にし、中心の厚さを縁部より厚く設計することを特徴とし、自動的に空気を放出し圧力異常を防止する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でエアーの脈動による振動や騒音を防止することができる小型の電磁振動型ポンプを提供する。
【解決手段】電磁石２１、および永久磁石２２ａを固定した振動子２２を対向させて電磁石２１の極性を交流電源で変更することにより振動子２２を振動させてエアーを送り出すポンプ２に、ポンプ２から送り出されたエアーを一時的に貯留するタンク３が接続されている。そして、タンク室３１の一壁面にエアーの吐出管３３が設けられている。このタンク室３１内で、吐出管３３と直結するように、整流管１が設けられている。この整流管１は、筒状体１１または板状体に複数個の小孔が並列して吐出管３３に向って貫通するように設けられている。 （もっと読む）

【課題】容易な方法で最適な流体噴射条件の流体を噴射する流体噴射方法を実現する。
【解決手段】流体噴射装置１に係る流体噴射方法は、圧力室８０の容積を圧電素子３０及びダイアフラム４０により変化させて流体噴射開口部９６から流体をパルス状に噴射する脈流発生部２０と、脈流発生部２０に流体を供給するポンプ１０と、が備えられ、かつ、供給される流体供給流量を検出する検出器１１を有し、圧力室８０の容積を変化させる周波数を流体供給流量に比例するように制御する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、ポンプ筐体に格別な加工を行うことなく、吐出圧の高い圧電ポンプを提供する。
【解決手段】ダイヤフラムに圧電体を接着した振動板を使用し、振動板の外周部をポンプ筐体に固定する。振動板と対向するポンプ筐体の表面は平坦面に形成され、振動板は、ポンプ筐体と逆側を向くダイヤフラムの主面に圧電体を熱硬化型接着剤により接着固定したものである。ダイヤフラムは、圧電体より線膨張係数が大きいので、圧電体への電圧の非印加時において、ダイヤフラムはポンプ筐体側と逆方向に凸状に反った形状を有し、ダイヤフラムの反りによってポンプ筐体との間にポンプ室が形成される。 （もっと読む）

【課題】 吐出用弁体によるシール性を向上させ、逆止め弁としての機能を向上させる。
【解決手段】 吐出用弁体２５は、外周に円弧状の切欠き２６に囲まれて連結片２７を介してフランジ１５に一体に設けられており、連結片２７には被押圧突起２８が突設している。被押圧突起２８の押圧突部１１によって押圧される部位には、吐出用弁体２５の先端側に向かって下降する傾斜面２８ａが設けられている。 （もっと読む）

【課題】消費電力の低い容積型ポンプを提供すること。
【解決手段】電磁式直動アクチュエータ３を用いてポンプ室８の容積を変化させる可動体１２を駆動する容積型ポンプ１は、可動体１２に接続されている移動体３３を、電磁式直動アクチュエータ３を励磁することにより発生する電磁力によって、ポンプ室８の容積が第１容積となる第１位置３３Ａと、ポンプ室８の容積が第１容積よりも大きい第２容積となる第２位置３３Ｂの間で直線往復移動させる。移動体３３を第１位置３３Ａから第２位置３３Ｂに移動させる第１移動工程、或いは、移動体３３を第２位置３３Ｂから第１位置３３Ａに移動させる第２移動工程では、電磁式直動アクチュエータ３に対し、連続して、或いは、間歇的に励磁電流を印加し、印加される励磁電流の電流値を、第１移動工程或いは第２移動工程の工程開始時点ｔ０から時間経過に連れて所定の減少形態で減少させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ダイアフラムポンプの流量を計測する技術を提供する。
【解決手段】本発明は、作動気体の流量に基づいて薬液の吸引量と吐出量の少なくとも一方を算出する薬液供給システムを提供する。本薬液供給システムは、薬液吸引口２１ｂと薬液吐出口２１ｃとに連通する内部空間が形成されているポンプ本体と、薬液吸引口と薬液吐出口とに連通する側のポンプ室と作動気体供給口に連通する側の作動室とに仕切るダイアフラムとを有するポンプ１３と、作動気体供給口へ作動気体を供給するポンプ駆動部５９と、薬液吸引口と薬液吐出口とポンプ駆動部とを操作して薬液の吸引と吐出とを行う制御部と、作動気体の流量を計測する気体流量計測部と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 ポンプ室の容積を増減させる往復運動子のストロークと移動速度を往復運動子の駆動モータの回転角度と回転速度によって制御することにより、吐出量を簡単容易に調節できる様にした。
【解決手段】 駆動モータ８の出力軸8aに、これの回転運動を往復運動に変換する機構10を介して往復運動子15を連繋し、該往復運動子15の往復運動によるポンプ室24容積の増減によって流体を吸込・吐出する吸込弁25及び吐出弁27を備えた往復動ポンプ１において、駆動モータ８はその出力軸8aが正逆３６０度の範囲で所定角度に渡って正逆回動する様に制御する。 （もっと読む）

【課題】切除力と切除速度を独立して調整可能な流体噴射方法を実現する。
【解決手段】流体噴射装置１に係る流体噴射方法は、圧力室８０の容積を圧電素子３０及びダイアフラム４０により変化させて流体噴射開口部９６から流体をパルス状に噴射する脈流発生部２０と、脈流発生部２０に流体を供給するポンプ１０と、が備えられ、ポンプ１０から供給される流体供給流量と、圧力室８０の容積変化の周波数（圧電素子３０の駆動周波数に相当）と、を比例の関係で変化させる。圧力室８０の容積変化量（排除体積）は切除力を変化させ、排除体積と駆動周波数の積は切除速度を変化させることから、切除力と切除速度を独立して調整できる。 （もっと読む）

【課題】外形寸法が極めて小さく、生産性が良く、流量制御精度が高く、動作が円滑であり、吸引力と吐出力が大きく、信頼性が高いマイクロダイヤフラムポンプを提供する。
【解決手段】吸入弁２６および吐出弁２８の一方の弁板１４と他方の弁の流路となる流路開口１６とが形成され、互いに逆向きに積層された二枚の弁板シート１２と、この積層体に積層され弁座２０および弁ストッパ２２とが形成された二枚の弁座シート１８と、ベース板３２と、枠体３４と、ダイヤフラム３６と、駆動素子４２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラム式の圧縮機において、ダイヤフラムが半径方向に引っ張られる際に生ずる応力に対する疲労強度を向上させる。
【解決手段】ダイヤフラム式圧縮機は、凹部を有する第１の部材と、凹部を有する第２の部材と、外縁から所定の距離だけ離れた位置に、水平方向の動きを吸収可能に形成された吸収部を備える金属製のダイヤフラムとを備える。第１の部材の凹部と、第２の部材の凹部とが、ダイヤフラムを挟んで対向した状態で結合され、第１の部材の凹部とダイヤフラムによりポンプ室が、第２の部材の凹部とダイヤフラムにより加圧室が、それぞれ形成されている。 （もっと読む）

【課題】ポンプ室の容積を変化させるための可動体を効率よく駆動できる容積型ポンプを提供すること。
【解決手段】容積型ポンプ１は、直動可能な移動体３３、固定体３４およびポンプ室８の容量を変化させるために移動体３３に取り付けられた可動体１２を有する。移動体３３はマグネット３３１を備え、固定体３４はヨーク３７と駆動コイル３８を備える。ヨーク３７は移動体３３の移動方向に延びる軸部３７１、軸部３７１の両端分からマグネット３３１の側に突出する第１突部３７２、第２突部３７３を備える。駆動コイル３８はヨーク３７の第１突部３７２と第２突部３７３の間の部位に移動体３３の移動方向と直交する方向に巻き回されてマグネット３３１の磁極面３３１ａ、３３１ｂと対向している。移動体３３の移動方向におけるマグネット３３１の長さ寸法はヨーク３７の長さ寸法よりも短い。 （もっと読む）

【課題】流体入口側の圧力が上昇しても、流体が流体入口からポンプ室を経由して流体出口へ流通してしまうことがない容積型ポンプを提供すること。
【解決手段】ポンプ室８と流体入口６ａの間に配置されたアクティブバルブ４は、弁体４３が弁座４４よりも流体の流通方向の上流側に位置している。また、弁体４３は、流体の流通方向の上流側から弁座４４に当接して下端開口４２３ａを閉鎖する閉鎖位置４３Ａと、閉鎖位置４３Ａよりも流通方向の上流側に離れて下端開口４２３ａを開放する開放位置４３Ｂの間を移動する。この結果、流体入口６ａからアクティブバルブ４内へ流れ込む流体の流体圧に起因する力Ｆ６は、弁体４３を閉鎖位置４３Ａに向かって移動させる方向に働くので、流体入口６ａの側の圧力が上昇すると、流体の流体圧に起因する力Ｆ６よって弁体４３は閉鎖位置４３Ａに付勢される。よって、流入側流路９は開かない。 （もっと読む）

【課題】往復運動する振動板によってポンプ室の容積を変化させることで流体を送給するポンプにおいて、振動板の往復運動にともなってバルーン部が変形することによる膜自体の伸縮を抑制し、省エネルギー化を達成することで効率を向上させ、寿命を長くする。
【解決手段】往復運動することでポンプ室の容積を変化させる振動板３を、中空状のバルーン部１３を介して支持する構成において、ハウジング４の斜面部１１ｂ、１２ｂの傾斜角度α、バルーン部１３の周長Ｌ、および径方向の寸法（高さσ）、並びに振動板３の半径ｔ、が、振動板３の往復運動の範囲で、次式により定義されるひずみの値が最小となるように設定されている。
ε＝｛（ｖ−ｖ_n）／ｖ_n｝×１００
ここで、ε：ひずみ（％）、ｖ：振動板３の中心位置からバルーン部１３の周方向の所定の位置までの距離、ｖ_n：振動板３が往復運動の範囲の中央位置にあるときのｖである。 （もっと読む）

【課題】高粘度の流体を搬送する場合であっても、定量搬送を実現可能な往復動ポンプを提供することを課題とする。
【解決手段】流体を搬送すべく往復動するダイヤフラムを設けたダイヤフラム駆動室と、ダイヤフラムを往復動させるための駆動力を供給する駆動力供給部とを備えた往復動ポンプであって、駆動力供給部が、一つの偏心カムと、偏心カムの回転によって往復動する第一ピストン部および第二ピストン部とを用いて構成され、ダイヤフラム駆動室内には、第一ダイヤフラムおよび第二ダイヤフラムが設けられ、第一および第二ピストン部の駆動力が、作動油を介して、第一および第二ダイヤフラムに伝達されるべく構成され、ダイヤフラム駆動室内の流体搬送室に流体を搬送すべく、補助駆動部が設けられている。 （もっと読む）

【課題】従来技術の欠点を克服できるマイクロ流体チップデバイスとその製造方法を提供する。
【解決手段】マイクロ流体チップデバイスが提供される。マイクロ流体チップデバイスは、基板層（２）とマイクロ流体層（３）を含むマイクロ流体チップデバイスとする。基板層（２）は、形状記憶高分子により形成され、記憶された形状と一時的な形状の間で変形する際に体積変動が生じる変形可能部分（２１）を含む。マイクロ流体層（３）は、基板層（２）にラミネートされており、変形可能部分（２１）と流体連通されたマイクロチャンネル（３１）を有する。変形可能部分（２１）は、記憶された形状と一時的な形状の間で変形する際に、マイクロチャンネル（３１）内に流体駆動圧を発生させる。マイクロ流体チップデバイスの製造方法も提供される。 （もっと読む）