【課題】従来、ダイヤフラムの往復動により薬液を吸引・吐出して間欠的に散布する薬液散布機では、このダイヤフラムのポンプをモータで駆動して散布作業を正確なタイミングで行うようにしていたが、ダイヤフラムが大きく変形したままで停止すると、クリープによる塑性変形を起こすと共に、その材質も大きく劣化する、という問題があった。
【解決手段】薬液散布機１が所定距離移動するとダイヤフラム３５の往復動を開始させる起動信号６４を発信する起動信号発信手段６０と、前記ダイヤフラム３５の往復動を停止させる停止信号６５を発信する停止信号発信手段６１と、前記起動信号６４と停止信号６５に基づいてダイヤフラムポンプ２９のポンプ駆動装置２８の入切を行う制御手段６２を備えると共に、往復動を開始して薬液を吐出した前記ダイヤフラム３５が、該ダイヤフラム３５の変形量の小さな低歪み位置７９ａで停止する制御構成とした。 （もっと読む）

【課題】ベローズポンプにおける放電による制御部への影響をなくすことができる、基板処理装置を提供する。
【解決手段】ベローズポンプ４は、互いに間隔を空けて対向配置されたシリンダヘッド４１と、これらのシリンダヘッド４１の間の中央に配置されたポンプヘッド４２と、各シリンダヘッド４１とポンプヘッド４２との間に介在されたシリンダ４３とを備えている。各シリンダ４３内には、移動部材４６およびこの移動部材４６の移動に伴って伸縮するベローズ４７とが配置されている。シリンダヘッド４１とシリンダ４３とは、それらの接合部分の一部において、それぞれの基材が剥き出しの状態で接合されている。そして、シリンダヘッド４１にアース線６０が接続されることにより、シリンダ４３は、シリンダヘッド４１とともにアース接続されている。 （もっと読む）

【課題】 電気エネルギーが不要で、電気設備から遠く離れた屋外であっても、２２％〜３０％程度の酸素濃度、条件によっては３０％以上の酸素濃度を有する酸素富化空気を供給することが可能な携帯用の酸素富化空気供給器を提供する。
【解決手段】 酸素富化膜を内蔵し、空気を原料として該酸素富化膜を透過させて酸素富化空気を生成し、排出口から酸素富化空気を排出する手動のポンプ手段、例えば、蛇腹部及びバネ、ピストン及びバネを有してなる携帯用の酸素富化空気供給器とする。 （もっと読む）

【課題】薬液を高精度で吐出することができ、ピストンとシリンダとの間からの非圧縮性媒体の漏出を監視することができる薬液供給装置を提供する。
【解決手段】ポンプ１１はポンプ室１７と駆動室１８とを仕切る可撓性チューブ１６を有し、駆動室１８にはシリンダ１２のシリンダ孔３３内を往復動するピストン３４によって非圧縮性媒体３８が供給される。ピストン３４とシリンダ１２との間にはベローズカバー６４が設けられており、ベローズカバー６４によりピストン３４の摺動面に連なるシール室６３が形成されている。シール室６３内に封入されたシール用の非圧縮性媒体３８ａの圧力を検出するためにシリンダ１２にはシール室圧力センサ７１が取り付けられており、シール室６３の圧力を検出することによってシール材６９の劣化度が判断される。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラムの素材である耐食性金属材料の疲労強度を改善するとともに、該材料に含まれる不純物の粒界濃度を低下させて耐腐食性を改善することにより、前記ダイアフラムの耐用年数を向上させる。
【解決手段】耐腐食性金属材料により形成された圧縮機用ダイアフラム３は、互いに対向する窪み４，５を有するガスプレート１とオリフイスプレート２により挟持されており、前記金属材料の平均結晶粒径ｄ（ｍｍ）が下記（１）式を満足することを特徴とする。
１／ｄ^0.5 ≧ １５ （１） （もっと読む）

【課題】ポンプ室の容積を小さくすることができ、かつ、微小吐出と微小な吐出量の制御が可能なマイクロポンプ及びそれを備えた徐放装置を提供する。
【解決手段】マイクロポンプ１００は、ポンプ室１と、外部からポンプ室１に液体を吸入するための吸入口２と、吸入口２において液体の流れを調節するための吸入側逆止弁３０と、ポンプ室１の内部からポンプ室１の外部に液体を吐出する吐出口４と、吐出口４において液体の流れを調節するための吐出側逆止弁５０と、ポンプ室１の容積を変化させるための振動板６とを備え、吸入側逆止弁３０は、その一部が振動板６に接触するようにポンプ室１に組み込まれている。 （もっと読む）

水入口（４６ａ）および蒸気出口（５３）が配置されたボイラ（４６）を有する本体（１６）と、入口（２９ａ）および出口（２９ｂ）を有し、ポンプ出口はボイラ入口に連結されているポンプ（２９）と、ポンプ入口に連結された水を貯蔵するための水容器（１４）と、蒸気出口に連結された蒸気ポケットフレーム（２１）と、を有し、蒸気を生成するために、ポンプの作動により、水容器からボイラに水がポンピングされる蒸気モップ（１０）。本発明の一実施形態において、ボイラを有する本体と、水容器と、ボイラおよび容器間にあるメカニカルウォーターポンプと、ボイラ蒸気出口を布帛蒸気ポケットフレームに連結している少なくとも１本のサイドアームと、を有する蒸気モップ。清掃時に、水をボイラに送るために、モップの動きによってウォーターポンプが作動される。蒸気パッドフレーム（１２１）は、実質的に長方形であり、正方形の格子構成の複数のバッフル（１８８）を有し、バッフル間に蒸気を供給するために外に向かって延びている。清掃する面に清掃用の蒸気を供給するために、交換可能な布帛パッド（１２４）がフレームにぴったりと装着される。

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【課題】薬液を高精度で吐出することができる薬液供給装置を提供する。
【解決手段】薬液供給装置１０ａは薬液タンク２５内の薬液を塗布ノズル２７から吐出させるために使用される。薬液供給装置１０ａは、ポンプケース１１とシリンダ１２とが一体となった合体部材１３を有し、ポンプ部材である可撓性チューブ１５はポンプケース１１に設けられており、その内側はポンプ室１６であり外側は駆動室１７である。シリンダ１２には駆動室３３を形成するピストン３１が組み付けられ、両方の駆動室１７，３３には非圧縮性媒体３５が封入されており、モータ４９によりピストン３１を往復動すると、ポンプ室１６は膨張収縮する。ピストン３１とシリンダ１２との間の隙間はベローズカバー６１により覆われ、ピストン３１とシリンダ１２との間から漏れた非圧縮性媒体３５はシール室６６ａ，６６ｂ内に入り込み外部には漏出しない。 （もっと読む）

【課題】合成噴流を発生する噴流発生装置において、簡易な構成で振動板の状態を監視することができる技術を提供すること。
【解決手段】状態検出回路３０は、増幅器２２の電源（Vcc）ラインに流れる電源の信号を検出するための、検出抵抗２９及び差動増幅器２３、この差動増幅器２３の出力信号Ｓ２のピーク値を検出するピーク検波器２６、上記駆動信号発生器２１で発生した駆動入力信号Ｓ１を半波整流する半波整流器２７、及び、ピーク検波器２６で検出されたピーク信号Ｓ３及び半波整流器２７で整流された半波整流信号Ｓ４とを比較し、振動板９の状態信号Ｓ５を出力する比較器２８を備えている。 （もっと読む）

【課題】ヘルムホルツ共鳴の発生を抑制して、騒音を低減することができる噴流発生装置及びこの噴流発生装置を搭載した電子機器を提供すること。
【解決手段】噴流発生装置１０は、筐体５、振動アクチュエータ１５及びノズル体２を備えている。振動アクチュエータ１５は、対向して配置された２つのマグネット４及び６、これらのマグネット４及び６の間に配置されたスペーサ７、スペーサ７の周囲に配置された駆動コイル１２、駆動コイル１２が装着された振動板９、振動板９の周囲に装着され振動板９を支持する弾性支持部材１１、マグネット４及び６にそれぞれ接続されたヨーク１４及び１６を有している。振動板９を含む振動系の固有振動数が、この筐体５及びノズル体２の構造によるヘルムホルツ共鳴周波数から外れるように設計されることにより、騒音が低減される。 （もっと読む）

【課題】上下方向に多列のノズルが設けられる噴流発生装置であっても、適切に合成噴流を発生することができる噴流発生装置、ノズル体及び電子機器を提供すること。
【解決手段】第１の流路群２ａは、第１のチャンバ５ａし、当該第１の流路群２ａのノズル体２前面２ｅにおける開口は、例えばその前面２ｅの上側半分であって右側半分に配置される。第２の流路群２ｂは、第２のチャンバ５ｂに連通し、当該第２の流路群２ｂの前面２ｅにおける開口は、例えばその前面２ｅの上側半分であって左側半分に配置される。第３の流路群２ｃは、第３のチャンバ５ｃに連通し、当該第３の流路群２ｃの前面２ｅにおける開口は、例えばその前面２ｅの下側半分であって左側半分に配置される。第４の流路群２ｄは、第４のチャンバ５ｄに連通し、当該第４の流路群２ｄの前面２ｅにおける開口が、例えばその前面２ｅの下側半分であって右側半分に配置される。 （もっと読む）

本発明は、特に定量流体ポンプや流体モータ用で、好ましくは、少なくとも一つの軸方向に伸び少なくとも一つの脈動する内部作動室を規定する管状のピストンを備えたシリンダピストン装置に関する。かかるポンプやモータが適用される特定の分野は、異物、特に摩耗粉も混ざった流体の作動である。特に、２，３百バールから１千バールに至る範囲の高い作動圧力を備えた、特に高速の機器が必要とされ、エネルギ上の効率ファクタと同様に、容積上の効率ファクタも極めて重要な因子になる。従って、本発明の目的は、高い耐久性と同じく上述の類の高い効率ファクタでもって傑出したポンプ或いは流体モータを創り出すことである。この目的のため、少なくとも一つの隙間駆動体（ＴＫ１）が脈動する作動室（ＡＲ）に対し動けるように結合されている。
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【課題】均一で正確な吐出量、吐出圧力で、レジスト液などの薬液の塗布を行うことが可能な定量送液ポンプ、およびそれを用いた薬液塗布装置を提供する。
【解決手段】シリンジ本体内を軸方向に往復動するピストン部材と、ピストン部材によって区画され、ピストン部材の移動に連動して、容積が相互に逆方向に増減する２つのシリンジ室と、２つのシリンジ室にそれぞれ連結され、非圧縮性流体の作用によって作動する２つのポンプとを備え、ピストン部材を駆動装置により往復動させることで、２つのシリンジ室の容積を相互に逆方向に増減させて、２つのポンプの吸入工程と吐出工程とを相互に逆に行うように構成した。 （もっと読む）

【課題】体積が小さく、搬送効率が高く、騒音が低く、有効寿命が長く、保守の容易な多段ダイアフラムポンプを得ること。
【解決手段】多段ダイアフラムポンプが、ポンプ体と、主軸１と、主軸１によって駆動される往復駆動機構と、往復駆動機構と接続され、ポンプ体の作業チャンバ内へ延びている駆動軸１５と、作業チャンバ前端に配置された吸い込み逆止め弁及び排出逆止め弁とを含み、しかも、関連駆動軸１５には、直列配置された複数の皿状ダイアフラム４が取り付けられ、各皿状ダイアフラム４の前方にはピストン６が固定され、隣接する皿状ダイアフラムの間には液圧媒体が充填され、最前部の皿状ダイアフラムの前方に配置されたピストンが、作業チャンバ内の液体材料と直接に接触しており、各ピストン６と作業チャンバ壁との間にシールリング５が配置されている。 （もっと読む）

一体的なポンプである内蔵型ポンプが、開示されている。このポンプは、リザーバと、ポンピングメカニズムと、少なくとも1つの出口とを有している。前記ポンピングメカニズムは、リザーバの制御された圧縮のために、リザーバ中の必要とされる量の流体を少なくとも1つの出口へと吐出する。
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【課題】吐出する液体に混入した気体を効率的に排気するチューブフラムポンプを提供する。
【解決手段】筐体１１には、その下端に設けられた移送流体を吸入する吸入口１１１及び移送流体を吐出する吐出口１１２が設けられており、その上端に移送流体に混入した気体を排出するエア抜き口１１３が設けられている。さらに、筐体１１には、上述した吸入口１１１と吐出口とを連通する第１の流路１１４が形成されている。また、第１の流路１１４を内包した環状に形成され、吸入口１１１と吐出口１１３とエア抜き口１１２とに連通し、筐体１１の上端近傍において第１の流路１１４と連通する第２の流路１１５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】小型で構成が簡単なマイクロポンプを提供する。
【解決手段】マイクロポンプは、（ａ）ゴム弾性を有する絶縁体の膜の周辺部を支持することにより、周辺部の内側に形成されたダイヤフラム部２５と、（ｂ）ダイヤフラム部２５の面を面方向に拘束することなく該両面にそれぞれ接する一対の電極２６，２８と、（ｃ）ダイヤフラム部２３に隣接して配置され、ダイヤフラム部２３の変形に連動して容積が変化する流路１２ｄとを備える。マイクロポンプは、電極２６，２８間に電圧が印加されるとダイヤフラム部２５の面積が変化して流路１２ｄの容積が変化することにより、流路１２ｄ内の流体を搬送する。 （もっと読む）

【課題】直管型又は直線的流路を輸送流体の流路として使用するとともに、駆動力を得るための熱が輸送流体に影響するのを防止しつつ、沸騰伝播現象により発生する駆動力を搬送動力として利用して任意の流体を輸送する。
【解決手段】流体輸送機構(1) は、輸送流体(4)の流路(5) 、駆動液収容域(3) 及びダイヤフラム(6) を有する。駆動液(2) を加熱する発熱面(10a) を備えた発熱体(10)が、駆動液収容域に配設される。発熱面の過熱温度よりも高い過熱温度に昇温したトリガー部(11)が、トリガー気泡(P) を発熱体端部に発生させ、発熱面上に沸騰伝播現象を誘起する。駆動液収容域、発熱体及びダイヤフラムは、流路に沿って延び、気泡(B)が、沸騰伝播現象によって収容域に発生する。ダイヤフラムは、流路内に隆起し且つ流路に沿って遷移する変形部(6a)を形成する。 （もっと読む）

【課題】腐食性の液体を供給するためのポンプに用いることができ、しかも耐久性、ポンプの定流量性能、定量性能、液置換性能を向上することができ、またポンプ圧力室の洗浄時間を短縮することができるピストンとそのピストンの製造方法及びそのピストンを備えたポンプを提供する。
【解決手段】シリンダ１１内に移動自在に支持され往復駆動されるピストン１は、腐食性の液体によって劣化しないようフッ素樹脂で形成される。該ピストン１のローリング部２は１ｍｍ以下の厚さで、可撓性を有し、略１８０度の折返し部３を経て開放端部にフランジ部７を有し、該フランジ部７がシリンダ１１に取付けられ、ピストン支持体１５の外周面とシリンダ１１の内周面に密着しながら、この２面間の隙間で撓みや折曲りを生じることなく円滑にローリングする。 （もっと読む）

【課題】 ダイアフラムの可動部の変形を防止して駆動の負荷を小さくできるダイアフラムポンプを提供する。
【解決手段】 ダイアフラム３２の外周縁部７４が第１のフレーム体３３と第２のフレーム体４２との間で挟圧保持され、第１のフレーム体３３には、ダイアフラム３２の外周縁部７４の厚さ方向の一方側部分７４ａを収納する第１の凹部７６が形成され、第２のフレーム体４２には、ダイアフラム３２の外周縁部７４の厚さ方向の他方側部分７４ｂを収納する第２の凹部７７が形成され、第１の凹部７６および第２の凹部７７の少なくともいずれか一方の内周側には、外周縁部７４の内側端面７４ｃに当接する当接壁７８が形成され、第１の凹部７６および第２の凹部７７の少なくともいずれか一方の外周側には、挟み込まれて押し潰されるダイアフラム３２の外周縁部７４の変形した部位が逃げるための逃げ空間８０ａ，８０ｂが形成されている。 （もっと読む）