【課題】異常時にもスパークが起きにくいという安全な面状発熱体を提供することを目的とする。
【解決手段】電気絶縁性基板２と、この電気絶縁性基板２に対向するように配置さあれた主電極３ａ〜３ｄと、それぞれの主電極３ａ〜３ｄに対し交互に配置された櫛形形状の枝電極４ａ〜４ｄと、これら枝電極４ａ〜４ｄと電気的に接続して形成される高分子抵抗体５とを備えた面状発熱体１において、同一電気絶縁性基板２内に主電極３ａ〜３ｄを少なくとも２対以上配設した構成としている。 （もっと読む）

【課題】自己加熱可能であり、特に多次元で湾曲した表面に固定するのに適した平面要素を提供すること。
【解決手段】このために、平面要素は、特に高い変形可能性を有し、これは、本発明によれば、加熱層と接触層からなる層構造を有する平面要素によって達成され、これら両層がそれぞれ、特別な破断伸びと、同時に特別な引張弾性率とを有するエラストマーおよび／またはプラスチックポリマーをベースとするポリマー材料からなる。さらに、本発明は、接着基板とこの種の平面要素とからなる接着複合体と、この種の平面要素を製造するための方法、ならびに接着複合体を加熱するためのそのような平面要素の使用を提供する。 （もっと読む）

【課題】発熱の均一性に優れたアンテナ一体型発熱フィルムを得る。
【解決手段】アンテナ一体型発熱フィルム１０は、透明なフィルム本体１２の表面に長手方向に沿って形成された帯状のアンテナ部１４と、アンテナ部１４の下方にアンテナ部１４の長手方向に沿って形成された帯状の発熱部１６と、を備えている。アンテナ部１４は、フィルム本体１２の長手方向の一辺１２Ａに沿った所定幅を占有して形成されており、金属の線状部１９からなるアンテナ用導電層１８を備えている。発熱部１６は、帯状に配置された発熱用導電層２０を備えており、発熱用導電層２０は、導電性の金属細線２２にて構成された多数の格子の交点を有するメッシュ状パターン２４と、メッシュ状パターン２４の両端部に略平行かつ略同じ長さに形成された第１電極２６及び第２電極２８とを備えている。第１電極２６と第２電極２８には電源３０が接続されている。 （もっと読む）

【課題】 ウエハの大口径化及び配線の微細化に伴って要望される高い均熱性及び信頼性を有するウエハ保持体を提供する。
【解決手段】 ウエハを載置して加熱する加熱体１１と、この加熱体１１をチャンバー内で支持する支持部材１５とからなる半導体製造装置用ウエハ保持体であって、加熱体１１は、そのウエハ載置面を複数の領域に分割して得られる各領域毎に、加熱体１１内に埋設されている発熱体１２ａ、１２ｂと、発熱体１２ａ、１２ｂに接続されている電極部１３ａ、１３ｂと、発熱体部１３ａ、１３ｂが埋設されている領域の温度を測定する温度測定素子部１４ａ、１４ｂとを有しており、支持部材１５は、電極部１３ａ、１３ｂと温度測定素子１４ａ、１４ｂとを全て内包し、且つウエハ載置面上に載置されるウエハを着脱するためのリフトピンを内包していない。 （もっと読む）

【課題】 冷却時の均熱性を維持しながら、温度変更速度を速めるとともに、冷却終了後にヒータの温度を安定させるまでに要する時間を短縮することによって、被処理物を速やかに載置することができるようにし、スループットの向上を図る。
【解決手段】 被処理物を載置して処理するための載置面を有した好適にはセラミックス製のヒータ基板１と、このヒータ基板１を冷却する冷却ブロック２とを備えたヒータユニット１０であって、ヒータ基板１と冷却ブロック２との間に一定高さの介在層６が存在している。この介在層６は、ヒータ基板１の加熱時に相対的に高温部となる領域が、相対的に低温部となる領域に比べて高密度となるような密度分布をもって配置されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】主に電気・電子部品その他の部材に使用される面状発熱体において、薄型であると同時に均一に放熱可能な面状発熱体の製造方法を提供する。
【解決手段】液晶ポリエステルからなる溶質を溶媒に溶解させて液晶ポリエステル溶液を調製する。次いで、液晶ポリエステル溶液を導電性シート２の少なくとも片面に塗工する。最後に、液晶ポリエステル溶液を加熱処理して液晶ポリエステル製の第１フィルム３、第２フィルム４を成膜する。溶媒キャスト法により、膜厚Ｔ２、Ｔ３が薄くて均一な液晶ポリエステル製の第１フィルム３、第２フィルム４が得られる。液晶ポリエステルの分子がランダムに配向して異方性がなくなるので、面状発熱体１の特定方向における引裂強度の低下を容易に回避できる。 （もっと読む）

本発明は、ａ）透明基材、およびｂ）前記透明基材の少なくとも一面に備えられたボロノイダイアグラム（Ｖｏｒｏｎｏｉ ｄｉａｇｒａｍ）をなす図形の境界線形態の導電性発熱パターンとして、２以上の境界線が互いに接する点である境界線の交点部が曲線（ｃｕｒｖｅ）形態を有する導電性発熱パターンを含む発熱体およびその製造方法を提供する。
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【課題】定着用ヒータとしての特性に優れた材料を発熱体とする定着用ヒータを提供する。
【解決手段】フラン樹脂、塩素化塩化ビニル樹脂などの炭素含有樹脂に窒化硼素などの導電阻害物質となり得る金属または半金属化合物を混合し、基材上にスクリーン印刷により発熱体のパターンを形成し、１０００℃程度の温度で焼成してＮＴＣ特性の定着用ヒータを得る。 （もっと読む）

【課題】面状ヒータで発生した熱エネルギーを被加熱物に伝導する効率を従来よりも上げる。
【解決手段】ヒータ１０は線状発熱体、第１絶縁体板２１、第２絶縁体板２２、第３絶縁体板２３、断熱部材３０、カバー３３、第１端子および第２端子を備える。第１絶縁体板２１に巻き付けられた線状発熱体を第２絶縁体板２２と第３絶縁体板２３により挟む。第３絶縁体板２３の外側に断熱部材３０が配設される。第２絶縁体板２２および断熱部材３０を被うように熱伝導性あるカバー３３が配設され、第１端子が線状発熱体の第１の所定箇所に接続され、第２端子が線状発熱体の第２の所定箇所に接続される。 （もっと読む）

【課題】加熱平面要素およびその取付方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、電気接触層を有する両面結合可能な平面要素であって、電気接触層を介して自己調整的に内部加熱可能であり、同時に高い可撓性を有する平面要素を提供する。この平面要素の具体的な特徴は、保管状態での平面要素が、片側でのみ接着性をもち、したがって特に取り扱いやすいこと、および結合時に、接着剤が接触層の切欠を通過し、それにより平面要素が両面結合可能になることである。さらに、本発明は、重要なステップとして、接触層の切欠を通る接着剤の通過を含み、それにより片面接着性の平面要素を両面接着性の平面要素に変える、この平面要素の結合のための方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】発熱抵抗体とコネクタとの距離を離さない場合においてもコネクタとの接触不良の発生を抑えるようにする。
【解決手段】長尺平板状のセラミック基板１１の長手方向に平行してＡｇとＰｄ合金を主成分とする発熱抵抗体１２，１３を形成する。発熱抵抗体１２の一端には接続パターン１６を介して通電用の電極１４を、発熱抵抗体１３の一端には接続パターン１７を介して通電用の電極１５を他端には接続パターン１８を接続し、発熱抵抗体１２，１３を直列的に接続する。発熱抵抗体１２，１３上にはオーバーコート層１９を形成する。電極１４，１５は接続パターン１６，１７より厚くし、コネクタが嵌合される側には摺動部２０，２１が形成される。 （もっと読む）

【課題】均一加熱性及び耐久性に優れ、電気的短絡も発生しない加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱装置１０は、密着状態に積層された複数の電気絶縁性基材１１，１２と、電気絶縁性基材１１，１２同士を接合するため電気絶縁性基材１１の凹溝１５内に充填された状態で融着された抵抗発熱材１３と、を備え、抵抗発熱材１３はケイ素若しくはケイ素化合物を含んでいる。抵抗発熱材１３は、電気絶縁性基材１１，１２同士の接触領域１４における一方の電気絶縁性基材１１に形成された凹溝１５内に隙間無く充填された状態で融着されている。電気絶縁性基材１１，１２は、窒化アルミニウムを主成分とするセラミックスで形成されている。また、電気絶縁性基材１１，１２同士の接触領域１４の外周１４ａの一方の電気絶縁性基材１１の全周に渡って形成された開先部１１ａ内にも抵抗発熱材１３ａが充填された状態で融着されている。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム製の支持板を使用したものであっても、高温時の剛性を確保し、高温の下で反りや曲がりが無く、しかもアルミニウム製の支持板としての諸特性（耐食性の優れた絶縁皮膜いわゆるアルマイト処理）を満足することが出来る基板加熱プレートヒータを得る。
【解決手段】基板加熱プレートヒータは、金属製の板体からなる支持板１と、この支持板１の中に埋設されたヒータ線３とを有する。支持板１にヒータ線３に沿って同支持板１より剛性の高い補強部材４が埋め込まれ、この補強部材４が支持板１と同じ材質の蓋体７により覆われている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、マイグレーションパターンにより抵抗発熱体の耐久性をより向上させることを目的とする。
【解決手段】長手方向に延び、第１主面および第１主面と対向する第２主面を備える長板状のセラミック基体と、第１主面上に配置され長手方向先端側に配置された発熱部及び長手方向に延びるように第１主面上に配置され、発熱部に電流を供給する一対の発熱リード部を有する抵抗発熱体と、第２主面上に配置され、長手方向先端側に配置された導体部及び導体部と発熱リード部の一方とを接続する導体リード部、を有するマイグレーションパターンと、を備えるセラミックヒータは、第１主面と第２主面との対向方向に見たときに導体部の面積は発熱部の面積より大きい。 （もっと読む）

【課題】透明性と発熱機能および柔軟性と加工性に優れた透明フィルムヒーターを提供することにあり、さらには、それを用いた製造コストが改善されたヒーター機能付きガラスを提供する。
【解決手段】透明フィルム基材１１の表面に透明発熱層２１を有する透明フィルムヒーターにおいて、該透明発熱層が少なくとも金属ナノワイヤ３１を含むことを特徴とする透明フィルムヒーター。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも１層のグレージング材料と、アンテナと、加熱回路を形成している導電体の配列と、を具えている加熱車両窓を開示している。加熱回路は、複数の導電体と、導電体が接続され、直流を供給するための少なくとも２つのバスバーと、を具える。別個の導電層は、少なくとも２つのバスバーの少なくとも一部分を、直流的には電気絶縁状態で覆うように設けられている。バスバーおよび別個の導電層は、交流が存在する際には、キャパシタとして働く。 （もっと読む）

【課題】自己接着性を有して接着剤を不要にでき、発熱体２等の段差を吸収できるヒータ部材を提供する。
【解決手段】高耐熱性且つ熱硬化性を有する樹脂材料１１と高耐熱性を有するエラストマ１０とを含む樹脂組成物を有機溶剤に溶解させたワニスから、可撓性を有する未反応固形状態で膜形状に形成された未反応熱硬化性フィルム１と、電源に接続されることで電流経路が発熱する平面状抵抗体５からなる発熱体２とを備え、発熱体２は、未反応熱硬化性フィルム１を完全硬化させる温度以下に加熱した時に発生する接着性により、未反応熱硬化性フィルム１に結合される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、従来と同様に加熱の均一性が得られ、パーティクルが発生しないと共に、ヒーター線の異常及び被覆層の剥離を点検できる電熱ヒーターを提供する。
【解決手段】保温材の一面にヒーター線３０を配列した電熱ヒーターであって、ヒーター線３０が、発熱線３１と、発熱線３１の上に無機又は有機繊維を編組して形成された被覆層３２、３３と、被覆層３２、３３の上に形成された合成樹脂からなる樹脂被覆層３４を備えている。 （もっと読む）

【課題】一定の形状を維持し得るとともに、大きな発熱量を得ることができる発熱基板及びその製造方法を提供する。
【解決手段】亜鉛、錫等の不純物を添加して導電性を具備した半導体からなる発熱素子５をＳＵＳからなる金属箔Ｆに３〜７μｍ程度の厚さに塗布し、８００〜１２００℃で所定時間焼成して再結晶化させ、金属箔Ｆ上に発熱素子５の層を形成する。 （もっと読む）

【課題】加熱面を横断して比較的に一様な加熱特性を有するＰＴＣ（正の温度係数）特性を有するヒータを付与する。
【解決手段】基板層１２と、バス層２８であって、バス層２８の一側部に隣接して形成される第一電極及び第二電極と、第一電極からコネクタ部への電気的連通を付与するためのバスとを有し、コネクタ部は、第一電極と第二電極との間の距離よりも大きな、第二電極からの距離でバス層上に形成される、バス層２８と、選択的な伝導層４４であって、第一伝導ストリップと連通する第三電極と、第二伝導ストリップと連通する第四電極とを有し、第三電極は、第二電極と電気的連通し、第四電極はコネクタ部と電気的連通している、選択的な伝導層４４と、第一伝導ストリップと第二伝導ストリップとの間で電気的連通を付与するサーミスタ層５２と、を有する。 （もっと読む）