【課題】比較的電子温度の低い高密度プラズマを用いた方法で、炭素−窒素（Ｃ−Ｎ）結合を含む炭化水素化合物を材料ガスとして、安定的に炭素−窒素（Ｃ−Ｎ）結合が含まれる欠陥の少なく特性の良いａ−ＣＮ：Ｈ_ｘ膜を形成し、ａ−ＣＮ：Ｈ_ｘ膜を用いた有機デバイスを提供する。
【解決手段】Ｃ−Ｎ結合を含む炭化水素化合物と窒素もしくはアンモニアを材料ガスとして用いて発光層１２の成膜を行い、発光層１２の下部にホール注輸送層１１、発光層１２の上部に電子注入層１３を形成し、アモルファスハイドロカーボンナイトライド（ａ−ＣＮ：Ｈ_ｘ）膜を発光層とした有機デバイスが得られる。 （もっと読む）

【課題】ガスバリア性のみならず、耐酸化性にも優れるガスバリア膜の製造方法、および、これを利用する太陽電池用ガスバリアフィルム、および、ディスプレイ用ガスバリアフィルムを提供する。
【解決手段】ガスバリア膜の成膜のためのプラズマ放電を開始した後に、所定の時間が経過する前のプラズマを、前記ガスバリア膜の製造に用いないことにより、前記課題を解決する。 （もっと読む）

本発明は、オプトエレクトロニクス構成素子のための薄膜カプセル化部（１）に関している。この薄膜カプセル化部（１）は、原子層堆積法を用いて堆積された第１のＡＬＤ層（３）と、原子層堆積法を用いて堆積された第２のＡＬＤ層（４）とを含んだ積層構造体（２）を有している。さらに本発明は、そのような薄膜カプセル化部を製造する方法並びにそのような薄膜カプセル化部を備えたオプトエレクトロニクス素子にも関している。
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【課題】従来よりも少ないマスク数により作製でき、光電流による影響が抑えられた薄膜トランジスタ及び表示装置の作製方法を提供する。
【解決手段】遮光膜、下地膜、第１の導電膜、第１の絶縁膜、半導体膜、不純物半導体膜及び第２の導電膜を順に積層して形成し、第２の導電膜上に第１のレジストマスクを形成し、第１のレジストマスクを用いて、第２の導電膜、不純物半導体膜、半導体膜、第１の絶縁膜、第１の導電膜、下地膜及び遮光膜に第１のエッチングを行い、第１の導電膜の一部にサイドエッチングを伴う第２のエッチングを行ってゲート電極層を形成し、第２の導電膜上に第２のレジストマスクを形成し、第２のレジストマスクを用いて、第２の導電膜、不純物半導体膜及び半導体膜の一部に第３のエッチングを行ってソース電極及びドレイン電極層、ソース領域及びドレイン領域並びに半導体層を形成することで薄膜トランジスタを作製する。 （もっと読む）

【課題】結晶性の良好な半導体膜を成膜する。
【解決手段】処理室１０と、処理室１０の内部に互いに対向するように配置された第１電極２１及び第２電極２５とを備え、第１電極２１の第２電極２５側にはガス導入口２３を内部に有する凹部２２が設けられ、凹部２２は、ガス導入口２３から導入された原料ガスのプラズマ状態における電子密度を高めるように構成されたホロー放電部２２ｈと、ホロー放電部２２ｈで解離させた原料ガスの反応を促進させて処理室１０の内部に供給するためのバッファ部２２ｂとを有している。 （もっと読む）

【課題】有機ＥＬ素子を簡便な工程で作製することが可能な有機ＥＬ装置の製造方法を提供する。
【解決手段】支持基板１１と、該支持基板１１上に設けられる複数の有機ＥＬ素子１８と、前記有機ＥＬ素子１８を区画する複数本の隔壁１５とを備える有機ＥＬ装置１０の製造方法。有機ＥＬ素子１８は、第１電極１２と、第２電極１７と、第１および第２電極間に配置される有機化合物を含む発光層１６とを有する。有機ＥＬ装置１０の製造方法は、前記第１電極１２が形成された支持基板１１を用意する準備工程と、前記隔壁１５となる材料を含むインキを当該隔壁１５が設けられる部位に沿って液柱状に吐出しつつ供給し、さらに固化することにより複数本の隔壁１５を形成する隔壁形成工程と、隔壁１５間に前記発光層１６を形成する発光層形成工程と、前記第２電極１７を形成する第２電極形成工程とを含む。 （もっと読む）

本発明は、例えば有機エレクトロニクス素子の製造に利用されるような透明導電性金属酸化物表面上の有機化合物単分子層の新規な選択に関する。本発明による選択によって、これを用いて製造された装置の寿命の長さが全く新規な次元のものとなる。 （もっと読む）

本発明は、特に正孔注入層および／または正孔ブロッキング層および／または電子輸送層および／または発光層において、芳香族窒素複素環式化合物を含む有機エレクトロルミネセンスデバイスに関する。 （もっと読む）

【課題】真空蒸着法が可能な有機ラジカル化合物、それを用いた有機デバイスの提供。
【解決手段】下記一般式（１）


（式中、Ａｒ^１〜Ａｒ^３は芳香族基、縮合多環芳香族基よりなる群からそれぞれ独立して選ばれた基である。）で示されることを特徴とする有機ラジカル化合物、それを用いた有機デバイス。 （もっと読む）

【課題】成膜工程とクリーニング工程の繰り返しの間に、真空槽の温度上昇を抑え、かつ槽内を効率良く均一にクリーニング可能なプラズマ成膜装置および成膜方法を提供する。
【解決手段】本願の成膜方法は、真空槽内にプラズマを発生させながら成膜対象物に膜を形成する成膜工程と、一回又は複数回の成膜工程毎に、真空槽内にクリーニングガスを導入してクリーニングを行うクリーニング工程を有する。クリーニング工程において、クリーニングガスは、真空槽に導入される前に活性化されて真空槽に導入される際にイオンまたはラジカルを含み、かつ、真空槽内のカソード電極に高周波電圧が印加される。 （もっと読む）

【課題】基体５８上に有機薄膜を形成する方法を提供する。
【解決手段】基体５８上に有機薄膜を形成する方法であって、その方法は、複数の有機前駆物質（１４、４８）を気相で与え、前記複数の有機前駆物質（１４、４８）を大気圧未満で反応させる工程を有する。そのような方法により製造された薄膜及びそのような方法を実施するのに用いられる装置も含む。本方法は、有機発光デバイスの形成及び他のディスプレイ関連技術によく適している。 （もっと読む）

【課題】バリアー性および透明性に優れた有機素子の封止膜を備える有機電子デバイスを提供するとともに、該有機電子デバイスの製造方法および製造装置を提供する。
【解決手段】基板処理システムＳｙｓでは、蒸着装置ＰＭ１、マイクロ波プラズマ処理装置ＰＭ３を含む基板処理装置１０がクラスタ構造に配置され、基板Ｇの搬入から搬出までに基板Ｇが移動する空間を所望の減圧状態に保ちながら有機電子デバイスを製造する。蒸着装置ＰＭ１にて有機ＥＬ素子を形成し、マイクロ波プラズマ処理装置ＰＭ３にてマイクロ波のパワーによりＡｌ（ＣＨ_３）_３ガス、ＳｉＨ_４ガス、Ｎ_２ガスをプラズマ化し、有機ＥＬ素子を覆うようにＳｉＡｌＯＮ膜１４を形成する。 （もっと読む）

第１および第２の電極（５１５、５３６）、少なくとも１つの機能層（５３２、５３４）を含み電極に電気的に結合される機能構造体（５３０）、電極のうちの少なくとも一方（５１５）に電気的に結合されるエッチングされた金属構造体（５１２）、を支持する基板（５７０）を含む電気光学素子（５０１）が提供される。 （もっと読む）

【課題】固体原料を加熱して蒸発させて成膜用の原料ガスを得るにあたって、熱による劣化や変質を抑えながら長時間に亘って安定した量の原料ガスを得ること。
【解決手段】固体原料を貯留する粉体貯留部と、この粉体貯留部から供給される固体原料を溶融させて液体原料を得る粉体受け入れ室と、この粉体受け入れ室から取り出した液体材料を気化させることにより原料ガスを得る気化室と、を設けて、気化室では成膜処理に必要な生成量となるように液体材料に大きな熱量を加えて原料ガスを発生させる一方、粉体受け入れ室では固体原料が溶融できる程度の小さな熱量を加えて熱劣化を抑えながら液体原料を得て、この液体原料を粉体受け入れ室から気化室に向かって通流させる。 （もっと読む）

【課題】有機発光ダイオードＯＬＥＤのためのナノ構造化表面を具える基板の製造方法を提供する。
【解決手段】第１のナノ構造を有する有機樹脂又は無機材料の層がナノインプリントにより作製され、前記有機樹脂又は前記無機材料はそのガラス転移温度Ｔ_ｇ以上又はその融点以上の温度まで加熱され、前記有機樹脂又は前記無機材料はアニール時間と呼ばれる時間Ｔ_Ｒの間この温度に維持され、前記有機樹脂又は前記無機材料がフローして前記有機樹脂又は無機材料の層の第１のナノ構造が修正され第２のナノ構造を形成し、前記有機樹脂又は前記無機材料が冷却される。
ＯＬＥＤの製造方法は、前記方法によりナノ構造化表面を具える基板を製造するステップを含む。 （もっと読む）

【課題】成膜用マスクに光を照射して成膜用マスクの位置を認識する際、コントラストの高い画像が得られないためアライメントマーク位置の計測精度の再現性が安定せず、基板とマスクの位置合わせ誤差が生じる。
【解決手段】位置決め用開口１０６を有するマスクシート１０３と、マスクフレーム１０４とを有する成膜用マスク１０２において、前記位置決め用開口にマスクシートよりも反射率の高い反射部材を配置する。このような成膜用マスクの位置決め用開口に光を照射すると、前記マスクシートで反射される光と前記反射部材で反射される光と強度差が安定するため、再現性よく成膜用マスクの位置を計測することができる。 （もっと読む）

【課題】封止端部、特に接着層そのものと、接着層と基板との界面において、酸素や水の浸入を長期にわたり抑制し、長寿命な薄型・軽量の有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】基板と、基板上に形成された第１の電極と、第１の電極上に形成された有機発光層を含む有機発光媒体層と、有機発光媒体層上に形成され、第１の電極と対向するように配置された第２の電極と、第２の電極上に形成された第１のパッシベーション層と、第１の電極と有機発光媒体層と第２の電極と第１のパッシベーション層とを覆うように形成され、基板と接着された接着層と、接着層上に形成された封止基板と、封止基板を含む全面を覆うように形成され、基板に接合された第２のパッシベーション層と、を備えることを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。 （もっと読む）

【課題】本発明は上記問題に鑑みてなされたものであり、劣化要因因子の影響が防止された高発光効率、高発光輝度、長寿命、かつ欠陥が無い有機ＥＬ素子を提供することを課題とする。
【解決手段】基板と、前記基板上に設けられた第一電極と、前記第一電極上に設けられた少なくとも有機発光層と酸化モリブデン含有層を含む発光媒体層と、前記発光媒体層を挟んで前記第一電極と対向する第二電極とを有し、且つ、前記酸化モリブデン含有層が少なくとも三酸化モリブデンと他の無機化合物を含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子とする。 （もっと読む）

【課題】電子注入性に優れた電子供与性ドーパントを用いた有機発光素子において、高温保管時の駆動電圧上昇を抑制する。
【解決手段】陽極と陰極からなる一対の電極と、該一対の電極間に、発光層、電子供与性ドーパントを含有する電子注入層を含む有機層を有する有機発光素子であって、前記陽極の前記有機層側表面に、フッ素を含有する表面層を有する有機発光素子。 （もっと読む）

本発明は、薄膜の形をとる密封カプセル化によって周囲空気から保護される、ディスプレイ装置、照明装置、信号装置などの有機光電子装置、及びかかる装置をカプセル化する方法に関する。本発明による光電子装置（１）は、交互する無機物層（２１ａ〜２６ａ）及び有機物層（２１ｂ〜２５ｂ）を含む密封多層カプセル化構造（２０）で被覆される。本発明によれば、この装置は、前記有機物層のうちの少なくとも１つが、熱的に又は電磁放射によって架橋されうる接着剤をベースとする架橋接着膜（２１ｂ〜２５ｂ）から成るようなものであり、前記又はそれぞれの接着膜は均一に２００ｎｍ未満の厚みを有し、前記厚みは、堆積されているがまだ架橋されていない前記膜を真空に通すことによって得られ、それによってカプセル化構造の全厚みが最小化される。
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