【課題】投影システムの最終要素と基板の間の空間を充填する液体を有する装置の描画性能を向上させること。
【解決手段】リソグラフィ装置及びデバイス製造方法が、投影レンズの最終要素と基板の間の描画領域の少なくとも一部を充填する、液溜め１３の中に閉じ込められた大きな屈折率の液体を利用する。溶解した大気ガスに由来するか又は液体に曝された装置要素からのガス放出に由来する、液体中で発生する気泡が、露光に干渉して基板上の焼き付け欠陥を招かないように検出されかつ除去される。検出は液体中の超音波減衰の周波数依存を測定することによって実行可能であり、気泡除去は、液体の脱気及び加圧を行い、液体を大気から隔離し、低表面張力の液体を使用し、描画領域を通過する連続的な液流を供給し、さらに超音波定常波形の節を移相することによって実施可能である。 （もっと読む）

【課題】 従来、温泉水中を５％ＬＥＬ以下（ヘッドスペース法）にまでメタンガスの濃度を下げ、温泉水の酸化、雑菌の混入、スケールの発生を抑え、かつ、コンパクトな設計でメンテナンスも容易で、費用、経費的にも有利となり、環境省の規定に準拠し、改正された温泉法に適応することができる温泉水のガスセパレーターシステムは存在していなかったという点である。
【解決手段】 エゼクターから供給される地下水を気水分離し、分離したガスの排気パイプを備えた気密な気水分離装置と、その気水分離装置で分離された地下水がパイプを通して送り込まれ、連接された減圧ポンプで内部に負圧を発生させる気密な負圧装置とを有し、その負圧装置内で地下水に溶存しているガスを気化し、その気化されたガスを前記エゼクターへ戻す戻しパイプと、負圧装置から使用場所へ地下水を送る送りパイプ中から分岐され、前記エゼクターの一次側へ地下水の一部を循環させる流量調整パイプとを有していることとする。 （もっと読む）

【課題】 異常発泡による装置の運転停止等がなく安定した連続運転を可能とし、高濃度の混合液であっても希釈することなく処理することができ、長期間腐敗しない安定した、再利用が可能で二次公害もない処理液を作り出す強制発泡型有機物混合液処理装置と処理方法を提供する。
【解決手段】 密封構造の発泡タンク（１）の天井部に液投入口（２９）と混合液供給弁（３０）を設け、発泡タンク（１）の底部より泡発生器（１３）、泡液混練器（１５）、循環ポンプ（１６）を直列に接続し天井部液投入口（２９）へと連結する。また、発泡タンク（１）の下部にばっ気管（７）とばっ気ブロワ（６）を設置し、発泡タンク（１）の上部と密封構造の泡受タンク（１０）の上部を泡液分離器（８）で連結し、泡受タンク（１０）の底部から泡供給弁（１４）を介して泡液混練器（１５）に接続して泡受タンク（１０）の天井部に排気ファン（１９）を連結する。 （もっと読む）

【課題】蒸気ボイラへの給水のアルカリ成分が高濃度の場合においても、給水へのボイラ水の還流により予熱器における給水配管の腐食を効果的に抑制する。
【解決手段】陽イオン交換樹脂を用いた軟水器１５で硬度成分が除去されかつ脱気装置１６で溶存ガスが除去された給水は、薬剤添加装置１４からアルカリ金属水酸化物が添加された後、予熱器４１で加熱されながら給水経路１３を通じて蒸気ボイラ２０へ供給される。蒸気ボイラ２０において、濃縮によりアルカリ金属水酸化物濃度が高まることでｐＨが上昇したボイラ水の一部は、還流経路３８を通じて給水経路１３の給水と混合される。給水経路１３の給水は、陽イオン交換樹脂からの水素イオンとアルカリ成分との反応により炭酸が生成することでアルカリ成分濃度が抑制されるため、ボイラ水を混合したときにアルカリ成分の緩衝力を受けずにｐＨが上昇し、給水経路１３の腐食を抑制する。 （もっと読む）

【課題】脱硫器下流のポンプの安定制御を可能とし、効率よく液体燃料を送液することのできる送液システム及びそれを備える燃料電池システムを提供する。
【解決手段】ポンプ１０５の上流側において、気液分離部１０３に液体燃料を通過させることにより、冷却機構１０１で冷却され、減圧機構１０２で減圧されることで溶解度が低下した液体燃料中の気泡を取り除き、液体燃料から気体を分離する。更に、気液分離部１０３を通過した液体燃料を気液分離槽１０４に貯留することによって、液体燃料中に含まれていた気体を液体中で上昇させて気液分離槽１０４の上部側に溜め、液体を底部側に溜める。このように、液体燃料を気液分離することで、気体が十分に除去された液体燃料をポンプ１０５に供給することを可能とする。 （もっと読む）

【課題】供給しようとする液体に対する不都合を生じさせずに、流量制御器における気泡の発生を確実に防止することができる液供給機構を提供すること。
【解決手段】処理液供給機構３は、処理液タンク２１と、処理液供給配管２２と、処理液の通流断面積を変化させる可変オリフィス部を有する流量制御器２７と、可変オリフィス部より前段の一次側の液圧および後段の二次側の液圧を求める圧力検出器２６，２８と、予め記憶された、処理液の液圧と対応する液圧における溶存可能な気体成分の量との関係から、処理液から気泡が発生し始める一次側の液圧と二次側の液圧との差圧ΔＰｓを求め、このΔＰｓの値以下の閾値ΔＰｔを設定し、実際に求められた一次側の液圧と二次側の液圧との差圧ΔＰｅの値がΔＰｔに達したか否かを判断し、ΔＰｅの値がΔＰｔに達したと判断した場合に、処理液の気泡の発生を抑制するように処理液の状態を制御する制御機構３０とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、２台の脱気槽を１台のポンプによって連続した脱気処理を行うことができる水中溶存酸素の脱気装置を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、貯水槽４の下方位置に設置され、貯水槽４から給水された被処理水の溶存酸素を除去し、貯水槽４に還流する脱気装置１であって、その上部に給水管５Ａ、５Ｂが連通状に接続され、かつその下部に排水管６Ａ、６Ｂが連通杖に接続された２台の気密状の脱気タンク３Ａ、３Ｂと、排水管６Ａ，６Ｂに設けられた電動弁１０Ａ、１０Ｂと、排水管６Ａ、６Ｂに電動弁１０Ａ，１０Ｂによって切り替え可能な状態で接続された吸引ポンプ７と、吸引ポンプ７に接続された貯水槽還流用としての循環用水管１１と、脱気タンク３Ａ、３Ｂ内の上部に、その排気口が開口され、かつ外部に排気されるように配管された排気管１５とから構成される。 （もっと読む）

【課題】液体が気泡を含むことによってシリンジによる送液精度が低下することを防止する。
【解決手段】制御部は、液体容器とシリンジとを接続してシリンジ内に液体を吸引した後、シリンジが密閉されるように切替えバルブを切り替えた状態でシリンジを吸引側へ駆動することによりシリンジ内を減圧して液体の脱泡を行なう脱泡手段を備えている。 （もっと読む）

【課題】処理液の無駄をなくすことができると共に、廃液中に溶存するガスを効率的に除去でき、かつ処理液の種類に影響を受けることなく処理の最適化が図れると共に、処理効率の向上が図れるようにする。
【解決手段】気体供給管路６ａを介してＮ２ガス供給源７１に接続される薬液ボトルと、被処理基板に処理液を供給する供給ノズル７０ａとを接続する供給管路７ａ，７ｂにバッファタンク２とフィルタ３を介設する。バッファタンクを大気側に連通可能に形成すると共に、気体供給管路６ｂを介してＮ２ガス供給源７１とバッファタンクとを接続する。フィルタ３に接続するドレイン管路７ｃと、ドレイン管路から分岐され、薬液ボトルとバッファタンクとの間の供給管路に接続する戻り管路８ａとからなる循環管路８を設け、循環管路に設けた可変絞り９によって循環管路中を流れるレジスト液の液圧を低下してレジスト液中に溶存する気体を気泡化して除去する。 （もっと読む）

【課題】混入気泡を含む樹脂の脱気方法及びシステムを提供。
【解決手段】回転可能な遠心分離チャンバ２００に、樹脂を入れ、遠心分離チャンバの回転により樹脂中の混入気泡の量を低減するシステムで、遠心分離チャンバに接続した真空源を備え、真空源が遠心チャンバを真空にして混入気泡の低減を促進する装置、遠心分離チャンバと熱的に連通し、樹脂を加熱したり、冷却したりできる熱処理装置、脱気操作の進行を追跡するモニタリング装置を備えたシステムである。 （もっと読む）

【課題】蛋白質などの発泡性物質が含まれている廃水であっても、発泡を防止して、アンモニアなどの揮発性物質を気相中に減圧状態でストリッピングすることを課題とする。
【解決手段】揮発性汚濁物質及び発泡性物質を含有する廃水をストリッピング槽１１内に供給し、前記ストリッピング槽１１内を減圧状態にした状態で前記廃水を加温ガスと接触させることにより、前記揮発性汚濁物質を気相中にストリッピングする構成であることを特徴とする廃水処理装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、少量の触媒金属を担持した触媒樹脂で被処理水中の過酸化水素を迅速かつ確実に処理することができる過酸化水素低減方法及び装置、並びに当該装置を備える超純水製造装置を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、過酸化水素分解能力を有する触媒金属をアニオン交換樹脂に担持させた触媒樹脂に過酸化水素を含む被処理水を接触させて、被処理水中の過酸化水素を低減する過酸化水素低減方法であって、前記アニオン交換樹脂の総交換容量の７０％以上がＯＨ形である。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、炭酸塩／重炭酸塩抽出およびＣＯ_２濃縮に対するこれらの限界を打破するために、既存の概念に対して改良したＣＯ_２回収システム及び方法を提供することである。
【解決手段】ＣＯ_２回収システムには、捕獲溶液を有する水系捕獲装置が含まれ、その水系捕獲装置は、ガスを受け取り、その少なくともＣＯ_２を含むガスから成分を捕獲するように配列され、捕獲装置に運転可能に結合された電気透析ユニットが、少なくともＣＯ_２を含む捕獲溶液に対して電気透析の運転を行うが、ここで、ＣＯ_２リッチなプロセスストリームと再生された捕獲溶液が、その少なくともＣＯ_２を含む捕獲溶液から発生する。そのＣＯ_２リッチなプロセスストリームは、電気透析ユニットの中にある間は、ＣＯ_２を実質的にＣＯ_２リッチなプロセスストリームの中に保持するような圧力で加圧されたプロセスストリームである。 （もっと読む）

【課題】還元性窒素化合物を注入し炉原子炉内構造材の腐食を抑制するプラントにおいて、還元性窒素化合物から生成するアンモニアを分離、分解処理する設備を提供する。
【解決手段】原子力発電プラントの復水脱塩器の再生時に排出されるアンモニア含有再生廃液の処理方法であって、排出されたアンモニア含有再生廃液にアルカリを添加する工程と、加熱下に空気を通気してアンモニアを気相分離させる工程と、生じたアンモニアガスを触媒で分解する工程とを含む前記方法。 （もっと読む）

【課題】真空度の向上、真空ポンプの小形化及び省エネルギー化をはかることができるようにした真空撹拌脱泡装置を提供する。
また、装置全体として小形軽量化ができ、構造簡単で安価に製作できる真空撹拌脱泡装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバー７０１内に、被撹拌脱泡物質を入れた容器８０を搭載して、容器８０を自転させると共に、公転させる回転フレーム２０を設けた真空撹拌脱泡装置において、回転フレーム２０の回転空間を埋める回転空間埋設物２００を、回転フレーム２０又はその回転軸２１に設けて、共に回転できるようにすると共に、回転フレーム２０の回転及びその機構に支障のないケース内空間を埋めるケース空間埋設物７００をケース７０内に設けて、真空チャンバー７０１内の真空容積を減少できるようにした真空撹拌脱泡装置。 （もっと読む）

【課題】ニッケル酸化鉱石を高温加圧酸浸出し粗硫酸水溶液を得る工程（１）、脱亜鉛終液を得る工程（２）、製錬廃液を得る工程（３）、及び排ガス中の硫化水素ガスを除害処理する工程（４）を含む湿式製錬方法で、高ニッケル回収率を維持しながら、硫化水素ガスの利用効率を向上させる湿式製錬方法を提供する。
【解決手段】下記の（ａ）〜（ｄ）の少なくとも１種の操作を採用することを特徴とする。（ａ）工程（３）の硫化反応槽の全容量（ｍ^３）を、導入するニッケルの投入質量（ｋｇ／ｈ）に対し、０．２〜０．９の比率に調整する。（ｂ）工程（３）のスラリーを負圧下に曝気し回収した硫化水素ガスを工程（３）に添加する。（ｃ）工程（３）の硫化反応槽から排ガスを抜き出し、工程（２）に添加する。（ｄ）工程（３）の製錬廃液と工程（４）の排ガスを、向流接触させた後、排ガスを再び除害塔へ導入し、除害塔廃液を工程（３）の硫化反応槽に装入する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、消化ガス中に含有する硫化水素の量が多くなった場合にも制約なく適宜、硫化水素を希釈し、効率的な脱硫が可能であり、さらに爆発防止のための硫化水素及び酸素の濃度測定や酸素の供給量制御が不要であるばかりか、硫化水素の除去処理部をコンパクトにできる消化ガスの脱硫方法及び装置を提供すること目的とする。
【解決手段】消化ガスから二酸化炭素及び硫化水素を分離し、メタンを精製する吸収塔４と、この吸収塔４から抜き出された二酸化炭素及び硫化水素が溶解した高圧水を減圧し、かつ、二酸化炭素及び硫化水素を分離させる分離手段としての減圧タンク１１と放散塔１２と、この分離させた二酸化炭素及び硫化水素と酸素含有ガスとしての空気１４を受入れ、硫化水素を分解する微生物が付着した充填材層１５を有した生物脱硫塔１６と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長期間にわたって連続的かつ安定的に運転することが可能なガス溶解水供給装置及びガス溶解水の製造方法を提供する。
【解決手段】脱気膜モジュール１０で脱気した後の脱気水を、気体溶解膜モジュール２０の液相室２２内に供給する。酸素（目的ガス）を、目的ガス供給源３１から気相室２３内に供給する。ここで、気相室２３に供給する酸素量が、液相室２２に供給する脱気水の供給水量から算出される飽和溶解量よりも多い酸素量となるようにする。気相室２３に供給した酸素のうち、前記の算出される飽和溶解量が脱気水に溶解し、飽和酸素水が得られる。酸素の残部が、余剰ガスとして気相室２３外に排出される。この余剰ガスと共に、気相室２３内の凝縮水が排出されるので、運転を停止して気相室２３内の凝縮水を排出する必要がなくなり、連続して効率よく飽和酸素水を製造することができる。 （もっと読む）

【課題】水中に存在する有機物を低いエネルギー消費及びコストで効率的かつ安全に分解することができる超純水製造装置及び超純水製造方法を提供する。
【解決手段】前処理装置と、イオン交換装置と、逆浸透装置と、有機物分解装置Ｄと、脱気装置と、イオン吸着装置と、限外ろ過装置とを備えた超純水製造装置であって、前記有機物分解装置Ｄは、被処理水を一方向に流動させる流動槽１０と、表面に酸化チタンを含む光触媒繊維からなる平板状不織布を備える光触媒カートリッジ３０と、１８０〜１９０ｎｍ間と２５０〜２６０ｎｍ間にそれぞれピーク波長を有する紫外線を照射可能な、長手方向に延びる形状を有する紫外線ランプ２０とを備え、前記平板状不織布と紫外線ランプの長手方向とは平行であることを特徴とする超純水製造装置である。 （もっと読む）

【課題】短時間で高い脱気度の液体を生成可能な脱気装置及び脱気・注気装置を提供する。
【解決手段】液体を貯留するタンクと、このタンク内の液体を下流方向に圧送する圧送手段と、タンクに一端を連通連結するとともに他端を圧送手段の吸引部に連通連結する第１配管と、圧送手段の吐出部に一端を連通連結するとともに他端をタンクに連通連結する第２配管と、この第２配管の途中に設けてスーパーキャビテーションによる空洞を生成する空洞生成手段と、タンク内を減圧する減圧手段とを有する脱気装置及び脱気・注気装置とする。 （もっと読む）