【課題】グリーンシート積層体に分割溝をレーザで形成する際に発生するセラミック成分または金属成分からなる塵埃を極力外部へ排出できる溝加工装置、および該加工装置を用いた高歩留まりの多数個取り配線基板の製造方法を提供する。
【解決手段】主面３に導体層５が形成されたグリーンシート積層体２を載置する載置部１３を有し、且つ平面視で該積層体２を縦横方向に沿って移動させるテーブル１０と、該テーブル１０の主面１１の上方において、軸方向が該テーブル１０の主面１１に対して直交する垂直方向に沿って配置されたレーザ照射ヘッド２０と、該ヘッド２０の先端２０ａ側の周囲に配置され、平面視の軸方向がテーブル２０の移動方向と逆向きで、且つ側面視の軸方向とレーザ照射ヘッド２０の軸方向との間が鋭角θ１であるガス吹き付けノズル２６，２８と、レーザ照射ヘッド２０の周囲において、該ヘッド２０を囲むように配置されたガス吸引口２２と、を含む、グリーンシートの溝加工装置１。 （もっと読む）

【課題】加工物にレーザ光を照射することによって生じる金属蒸気（プルーム）を確実に除去して溶接の品質を高める。
【解決手段】ワークの上方にスキャナ装置と共にエアブロー装置１６を設け、スキャナ装置から照射されるレーザ光の光軸を包囲するリング状のエアをエアブロー装置１６からワーク５に向けて吐出する。エアブロー装置１６のハウジング２１はリング状に形成され、ハウジング２１にはリング状のキャビティが形成され、ハウジング２１の下面２１Ａには、内側リング部材２５が取り付られ、その外周側には外側リング部材２７が取り付けられ、内側リング部材２５と外側リング部材２７との間にはリング状の吐出口２９が形成されている。内側リング部材２５の外周側端面の傾斜と外側リング部材２７の内周側端面の傾斜によりエアの吐出方向が定まる。 （もっと読む）

【課題】板厚のあるアルミニウム材をレーザビームにより切断するに際して、レーザパワーを上昇させることなく、アルミニウム材の表面近傍のみならず板厚方向の奥側においても、切断面粗さを向上させることが可能なレーザ切断方法を提供する。
【解決手段】ワークＷの切断部Ｗｂに向けてレーザビームＬＢを照射し且つ切断部Ｗｂに向けて窒素ガスＧを噴射する同軸ノズル１を用いて、ワークＷを切断するに際して、同軸ノズル１の溶接進行方向の後ろ側に、窒素ガスＧを噴射する補助ガスノズル２を配置し、同軸ノズル１からレーザビームＬＢを照射させると共に窒素ガスＧを噴出させつつ、補助ガスノズル２からワークＷの切断部Ｗｂにおける板厚方向中央に向けて窒素ガスＧを噴出させる。 （もっと読む）

【課題】光学部品の保護をより適切に行うことが可能なレーザー加工装置を提供することを目的の一とする。
【解決手段】本発明のレーザー加工装置１は、加工点と保護部材の間の空間において、保護部材側から加工点側に向けて気体の流れを発生させるノズルを有することを特徴としている。ノズルは、集光器で集光されるレーザービームの光路の周囲に気体を導く第一の流路部と、第一の流路部に連続して形成され、集光器で集光されるレーザービームの周囲から中心へ向けて保護部材の表面に沿うように気体を導くと共に集光器で集光されるレーザービームの光路に沿って保護部材側から加工点側に向けて前記気体を導く第二の流路部と、を含み、第二の流路部は保護部材側から加工点側へ向けて徐々に流路径が小さくなる逆円錐形状の空洞によって形成される。 （もっと読む）

【課題】レーザ光加工時に照射部に吹き付けられるガスの吹き付け角度を任意に調整できるようにする。
【解決手段】レーザ光の光軸を取り囲むように順にレーザ誘導筒３０、中筒２０及び外筒１０を設け、中筒２０と外筒１０との間に形成される空間を利用してパージエアをレーザ加工位置に吹き付け、吹き付けられたパージエアを中筒２０とレーザ誘導筒３０との間に形成される空間を利用して吸引排出する。外筒１０のノズル先端部はテーパ状に形成されているので、中筒２０のレーザ光出射側の先端部端面と外筒１０のレーザ光出射側の先端部端面との間の距離を調整することによってワークに吹き付けられるパージエアの角度を種々調整することができる。 （もっと読む）

【課題】光制御部の光学要素をコンタミから保護することのできるファイバレーザ加工機の加工ヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】ファイバレーザ加工機の加工ヘッド１０であって、ヘッド本体１１と、ヘッド本体内に収容され、伝送用光ファイバ１から出射されたレーザ光を集光制御するレンズ鏡筒ユニット２０と、このレンズ鏡筒ユニットで集光されたレーザ光を被加工材に向けて出射するノズル５０と、ヘッド本体内に設けられ、レーザ光と共にノズルから噴射されるアシストガスが流通するアシストガス流路３０と、を備え、アシストガス流路の途中のレンズ鏡筒ユニットの保護ウインドウ２６とノズル５０との間に、ノズルよりヘッド本体内に侵入したダストの保護ウインドウ側への進行を阻止するトラップ機構４５が設けられている。トラップ機構は、局部的に流速を速める絞り部４５ｂ、４５ｅと、ダストを捕捉可能な滞留捕捉部４５ｆとを有する。 （もっと読む）

【課題】保護部材の定期的なメンテナンス作業を容易に行うことができるレーザー加工装置を提供すること。
【解決手段】集光レンズ４２を内部に保持するレンズホルダー５１と、集光レンズ４２によりウェーハＷに集光されるレーザービーム４７の加工点に向けて、エアーを噴射するブローノズル５２とを備え、ブローノズル５２には、集光レンズ４２の加工点側においてレーザービーム４７を透過すると共に、加工点側からの異物から集光レンズ４２を保護する保護部材７５が設けられ、ブローノズル５２がレンズホルダー５１に対して位置決め状態で着脱自在な構成とした。 （もっと読む）

【課題】光制御部の光学要素をコンタミから保護することのできるファイバレーザ加工機の加工ヘッドを提供することを目的とする。
【解決手段】ファイバレーザ加工機の加工ヘッド１０であって、ヘッド本体１１と、ヘッド本体内に収容され、伝送用光ファイバ１から出射されたレーザ光を集光制御するレンズ鏡筒ユニット２０と、このレンズ鏡筒ユニットで集光されたレーザ光を被加工材に向けて出射するノズル５０と、ヘッド本体内に設けられ、レーザ光と共にノズルから噴射されるアシストガスが流通するアシストガス流路３０と、を備え、アシストガス流路の途中のレンズ鏡筒ユニットの保護ウインドウ２６とノズル５０との間に、ノズルよりヘッド本体内に侵入したダストの保護ウインドウ側への進行を阻止するトラップ機構４５が設けられている。トラップ機構は、局部的に流速を速める絞り部４５ｂ、４５ｅと、ダストを捕捉可能な滞留捕捉部４５ｆとを有する。 （もっと読む）

【課題】 レーザビームにより被加工物の切断加工を行うレーザ加工方法において、ピアシング穴径を縮小し、飛散する溶融金属量を低減し、かつ短時間で貫通穴を形成するレーザ加工方法を得る。
【解決手段】 第１のピアシング条件にてビームを照射する第１の工程と、一旦ビーム照射を停止する第２の工程と、第２のピアシング条件にて再度ビームを照射する第３の工程からピアシング加工を行うことにより、ピアシング中における酸化燃焼反応を抑制し、飛散する溶融金属量を低減させる。 （もっと読む）

【課題】被溶接材の溶接部にレーザ光を照射し、レーザ光の照射部に溶接ワイヤを供給しながら開先部を積層溶接するレーザ溶接方法において、特に溶接品質が安定し、連続的な積層溶接が可能なレーザ溶接装置を提供する。
【解決手段】レーザ光を集光し被溶接材に照射する加工ヘッド８と、レーザ光の照射部に溶接ワイヤを給送する給送手段１６と、レーザ光の照射により形成された溶融プールおよびその近傍を保護するシールドガス供給手段６と、加工ヘッドあるいは被溶接材を移動させる手段と、溶融部から生ずる溶接生成物から加工ヘッドの光学部品を保護する加工ヘッド保護手段と、溶接において生じたヒュームを吸引する吸引手段１９と、レーザ光の反射光及び溶接部からの輻射熱から該加工ヘッドを保護する保護手段１８と、積層溶接された溶接金属の表面に堆積した溶接生成物を除去するクリーニング手段２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 レーザビームにより被加工物の切断加工を行うレーザ加工方法において、ピアシング穴径を縮小し、飛散する溶融金属量を低減し、かつ短時間で貫通穴を形成するレーザ加工方法を得る。
【解決手段】 第１のピアシング条件にてビームを照射する第１の工程と、一旦ビーム照射を停止する第２の工程と、第２のピアシング条件にて再度ビームを照射する第３の工程からピアシング加工を行うことにより、ピアシング中における酸化燃焼反応を抑制し、飛散する溶融金属量を低減させる。 （もっと読む）

【課題】アシストガスおよびシールドガスを効果的に噴射できるとともに、光学系をスパッタから効果的に保護できるレーザ切断・レーザ溶接両用ノズルを提供する。
【解決手段】レーザ切断時およびレーザ溶接時にレーザ光を照射するための内側ノズル空間１０７ｄ、レーザ切断時にアシストガスを噴射するための中間ノズル空間１０７ｅ、およびレーザ溶接時にシールドガスを噴射するための外側ノズル空間１０７ｆを形成するノズル本体部１０７と、内側ノズル空間１０７ｄに進入したスパッタを排出するスパッタ排出手段１０６とを備える。具体的には、ノズル本体部１０７には、中間ノズル空間１０７ｅと連通するアシストガス噴射口１０７ｈと、外側ノズル空間１０７ｆのシールドガスを噴射するシールドガス噴射口１０７ｊとが形成され、シールドガス噴射口１０７ｊの開口面積は、アシストガス噴射口１０７ｈの開口面積よりも大きくなっている。 （もっと読む）

【課題】粉塵や飛沫のある場所でも撮像や検出が可能な光学検出装置を提供する。
【解決手段】気体供給孔１９８,１９９は、圧縮空気源から内部空間１９２へ与圧気体を供給する。気体供給孔１９８,１９９を通して内部空間１９２に供給された気体は、開口１９３からハウジング１９１の外部に噴き出される。開口１９３から気体を噴き出すことで、切削液や削り屑又はその混合物による検出部１９５のレンズあるいは照明部１９７の汚染を防止できる。また、開口１９３がオリフィスの役割をし、気体の流速を増加させ、ワーク上の切削液等を吹き飛ばすことができる。 （もっと読む）

【課題】 レーザ加工される被加工物の形状を所望形状に近づけることができるレーザ加工に用いるアシストガスの噴射ノズル及びレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】レーザ加工において被加工面に吹き付けるアシストガスを噴射するための噴射ノズルであって、被加工面に対向するノズル面と、アシストガスとレーザビームとを内部空間から外部空間に通過させるノズル面に形成された噴射口と、噴射口を通過するようノズル面に形成された凹条と、を備えてなる、噴射ノズルである。そして、レーザ加工に際し、被加工面の、レーザービームが照射されている部分である照射部分、照射後の部分及び照射前の部分の少なくともいずれかの部分である冷却部分を冷却しつつレーザー加工するレーザー加工装置であって、照射部分に向けて又は照射部分を包囲するように、脱湿した気体を被加工面に向けて噴射する脱湿気体噴射孔を備えてなる、レーザー加工装置である。 （もっと読む）

【課題】従来よりも幅が広いバンドを製造し、厚み及び光学特性が均一な従来よりも幅が広い長尺のフィルムを製造する。
【解決手段】幅広のシート材である中央部材１２の側縁１２ｅを位置検出手段３４で検出し、この検出結果に基づいて第１ローラ２６、第２ローラ２７により中央部材１２の搬送経路を制御する。幅狭のシート部材である側部材１１を第３ローラで中央部材１２に寄せる。これにより、側部材１１の側縁１１ｅと中央部材１２の側縁１２ｅとの突き合わせ位置Ｐｃが第４ローラ２９上になるようにする。突き合わせた側部材１１と中央部材１２とを溶接装置４２に送り、長手方向に溶接する。 （もっと読む）

【課題】ウェハから補強部をなくす際のスループットの低下を防ぐこと。設備コストの増大を抑制すること。ウェハ当たりのチップの取れ数が減るのを防ぐこと。
【解決手段】ウェハを垂直または任意の角度で傾いた状態で保持して回転するレーザ加工ステージ２と、レーザ加工ステージ２に保持されたウェハの素子領域とその素子領域よりも厚い補強部との境界またはその境界よりも内側の部位に固定位置からレーザを照射するレーザヘッド３と、レーザ照射部位に斜め上方から、ウェハの回転の向きに対して逆向きでかつウェハの外へ向けてガスを吹き付けるガス噴射部４と、レーザ照射後のウェハに、ダイシング時にウェハを保護するテープを貼り付けるテープ貼り付け装置１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ピアシング時に発生するスラグを処理すると共に連続的に切断を開始するための新たな提案を行うものであり、ガス切断法、プラズマ切断法及びレーザ切断法のいずれにも共通して適用し得るピアシング方法及びピアシング装置を提供する。
【解決手段】 切断トーチ16の加工中心線と一致した軸線３を有し、該軸線３を中心として設定された円周上で且つ該軸線３を通る複数の直線４上にピアシング時に発生するスラグ25を吹き飛ばすためのスラグ排除ガスを噴射する噴射口２を形成し、該切断トーチ16に装着したノズルＡによって被切断材Ｄに対するピアシングを実施する際に噴射口２からピアシング部の周囲にスラグ排除ガスを噴射し、ピアシング後で切断を開始する前にスラグ排除ガスを停止するか、或いはピアシング時のスラグ排除ガスの流量或いは圧力よりも該スラグ排除ガスの流量或いは圧力を低減して発生したスラグ25を排除することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークに対する往路加工と復路加工とを同じ加工品質で行うこと。
【解決手段】ある実施の形態におけるレーザー加工装置において、レーザー照射機構５は、レーザービームを発振するレーザービーム発振器と、レーザービームを保持機構２に保持されたワークＷに向かって集光する集光レンズ５４１と、噴射口５３１からワークＷに向けて気体を噴射する保護ブローノズル５３とを有し、保護ブローノズル５３は、集光レンズ５４１によって集光されたレーザービームが噴射口５３１を通過してワークＷに照射されるように配設され、保持機構２とレーザー照射機構５とを加工送り方向に沿って相対的に往復移動させながらワークＷにレーザービームを照射することで行う往路加工時と復路加工時とで加工屑のワークＷへの付着が同程度となるように、ワークＷに対するレーザービームの照射位置と噴射口５３１の中心位置とが調整される。 （もっと読む）

【課題】切断加工初期においても、安定して微細かつ高精度の切断加工ができるレーザ加工機を提供すること。
【解決手段】被加工物Ｗへ向けてレーザ光を照射すると共にアシストガスを噴射するノズル１２及びそのノズル１２の周囲に配設される押え部１８を有する加工ヘッド１０と、押え部１８に対向して配設され押え部１８との間で被加工物Ｗを挟持する加工台部２０とを備えるものであり、ノズル１２の外周上部および押え部１８の上端側を連結する連結部１５に排出孔１６が形成されている。これにより、排出孔１６は押え部１８の構造等に制約を受けることなく形成されるため、アシストガスの排出量を十分に確保することができ、被加工物Ｗの切断加工初期においても、安定して微細かつ高精度の切断加工を可能にできる。 （もっと読む）

【課題】厚い被加工物の切断に適したレーザ切断装置およびレーザ切断方法を提供する。
【解決手段】レーザビームを通すとともに、レーザビームによって溶融した溶融物を吹き飛ばすためのアシストガスを噴射するアシストガスノズル２１、２２と、アシストガスノズル２１、２２に粉体を供給する粉体供給装置４５とを備え、アシストガスノズル２１、２２は、アシストガスに粉体を混入して噴射する。 （もっと読む）