【課題】シール材の供給量が調整され、シール材を被塗布部材に適切に塗布することが可能なシールガン吐出口速度通知装置、シールガンシール吐出量調整装置及びシールガンを提供することを目的とする。
【解決手段】シールガン２は、シール材を被塗布部材に吐出する吐出口を備え、更に、吐出口に隣接して設けられ被塗布部材と接触しながら回転する回転体２４と、回転体２４の回転速度に基づいて吐出口の移動速度を通知する表示部３１とを有するシールガン吐出口速度通知装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ダイリップ部の割れや欠けを抑制し、加工精度を向上させたクロム層を有する金属材、およびその製造方法、並びに該金属材を使用したダイを提供する。
【解決する手段】上記ダイは、金属母材１０表面にクロム層１２を形成し、該クロム層１２表面に摩擦攪拌プロセスを施すことにより、クラック密度の小さいクロム層を形成させる。 （もっと読む）

【課題】高速間欠塗布、および被塗布材全域への塗布を可能にする、塗布装置を提供することを目的とする。
【解決手段】液体を塗布対象物に塗布する液体塗布装置において、気体の吸引口を有し、且つ、吸引口側の壁面に複数の凹凸が存在する、もしくは吸引口側の壁面の濡れ性が一定ではない部分を設けたノズルを用い、塗布終端において吸引を強めることで選択的に塗布液をノズル壁面に濡れ上がらせ、ビードに細かい亀裂を複数生じさせる。 （もっと読む）

【課題】塗布対象物に溶液を均一に塗布することができる塗布装置、ならびに塗布対象物への溶液の塗布によって均一な薄膜を形成することができる薄膜製造方法を実現する。
【解決手段】吐出部から吐出されている溶液が塗布対象物の上に塗布されて、塗布対象物の上に皮膜が形成される。この皮膜が形成される工程において、吐出部から吐出されている溶液が塗布対象物に塗布される前または吐出部から吐出されている溶液が塗布対象物に塗布され始める際に帯電によって吐出部に蓄積されている電気量が低減される。 （もっと読む）

【課題】 吐出口に連通する全ての流路からの流入量を均一にすることができ、塗布ギャップの影響を最小限とし、従来よりも精度良く膜状塗布を行う技術の提供。
【解決手段】 分岐路構造を有する分岐ブロックと、長手方向に幅広に形成された吐出口を有する先端部材と、分岐路構造に連通する細管流入口および先端部材の吐出口に連通する細管流出口を有する細管を複数本設けてなる管部と、を備え、分岐ブロックは、流入口に連通する流路を分岐させる室からなる分岐部を複数段備え、同一段に設けられた分岐部で分岐された流路の流出口までの長さは等しく構成されており、先端部材は、吐出口を構成する溝部を有しており、吐出口の端面の短手方向の長さＳが細管流出口の内径Ｄより長く構成されており、細管流出口が溝部の最奥面に略等間隔に配設されている膜状塗布ノズル。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、ファスナーの軸部にシール剤を塗布する用途に好適なシール塗布装置及びシール塗布方法を提供することである。
【解決手段】シール塗布装置１は、シール剤が塗布されるべきファスナー２５をファスナー２５の中心軸まわりに回転するファスナー回転装置１２を具備する。ファスナー回転装置１２は、ファスナー２５を軸方向に把持する第１把持部１２３及び第２把持部１２５と、第１把持部１２３及び第２把持部１２５の少なくとも一方に対してトルクが伝達可能に接続されたモータ１２２とを備える。 （もっと読む）

【課題】空気浮上搬送方式に好適なスリット状開口部の清浄化機構を備えたスリットコート塗布装置を提供することを課題とした。
【解決手段】エアー噴出装置から噴出するエアーによって浮上した状態でスライダーにより所定方向に移動する基板に対し、スリット状開口部から塗布液を吐出して基板上に塗布層を形成する基板浮上型搬送機構用スリットコート式塗布装置であって、前記塗布装置は、少なくとも、スリット状の開口部を備える塗布ヘッドと、前記塗布ヘッドを略上下方向に移動させる塗布ヘッド移動機構と、前記エアー噴出装置から噴出するエアーによって浮上した状態でスライダーにより所定方向に移動する拭き取り機構と、を備え、前記拭き取り機構は、ゴムパッドがスリット状の開口部に当接したまま開口部に沿って移動することでスリット状開口部を洗浄する機構である。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルを用いて基板上に塗布液を塗布する基板塗布方法及び装置において、待機時間におけるスリットノズル内の塗布液の乾燥及び酸化等の液劣化を抑制する。
【解決手段】スリットノズル３１から塗布液２０を塗布して塗布膜を形成する第１の工程と、次なる基板上に塗布液２０を塗布せずに待機する第２の工程と、スリットノズル３１の下方位置にその吐出口３０から間隔を経て配置されるローラ部５０に塗布液２０を吐出する第３の工程と、を含み、第２の工程において、スリットノズル３１からローラ部５０へ塗布液２０を吐出させる。こうすれば、塗布液２０が適宜に循環されるので、スリットノズル３１内の塗布液２０の乾燥及び酸化等の液劣化を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】ステンレス鋼にシャープエッジを形成する際にバリが根元から折れてシャープエッジが欠けてしまうことを防止することができるステンレス鋼製部材の製造方法及び塗布フィルムの製造方法を提供する。
【解決手段】ステンレス鋼を研削することで幅１５０μｍ以下のシャープエッジを有する部材を製造するステンレス鋼製部材の製造方法であって、ステンレス鋼のシャープエッジを形成する面を、シャープエッジの長さ方向に研削するステップと、シャープエッジの長さ方向に接する両側面を、シャープエッジの長さ方向に研削しつつ、シャープエッジの非先端面からシャープエッジ先端方向に向けて研削するステップと、前記シャープエッジを形成する面を、研磨手段３０をシャープエッジの長さ方向に動かすことで研磨するステップと、を有する。 （もっと読む）

【課題】ノズルの清掃作業を効率的に行うこと。
【解決手段】基板に対して液状体を吐出するスリット開口が先端部に形成されたノズルを有する塗布部と、前記基板と前記ノズルとが相対的に移動するように前記基板及び前記ノズルのうち少なくとも一方を駆動する駆動部と、前記スリット開口に挿入可能に形成された清掃部材と、前記清掃部材を前記スリット開口の長手方向に移動させる清掃部材駆動部とを備える。 （もっと読む）

【課題】基材に対して良好に塗布膜を塗布することができる塗布装置、および、この塗布装置を組み込んだ塗布膜形成システムを提供する。
【解決手段】ノズル１１の第１回転角θ１は、膜厚測定部１９により取得された塗布済膜の形状に応じて演算される。そして、塗布開始期間におけるノズル１１の姿勢が第１回転角演算部９３ｃにより演算された第１回転角θ１となるように、第１駆動制御部９３ａがノズル１１を揺動させた状態で、塗布膜７が基材５上に形成される。これにより、塗布開始期間における塗布膜７は、「かすれ」や「盛り上がり」等の発生が抑制され、均一な膜厚とされる。 （もっと読む）

【課題】一対の本体ブロックの先端部に形成されたスリットの隙間の大きさを微細に再現性良く調整することができるとともにこのスリットの隙間の大きさを十分に大きなものとすることができるダイヘッドおよびそのスリットの隙間の大きさの調整方法を提供する。
【解決手段】一対の本体ブロック１２、１４のうちいずれか一方の本体ブロックに締結／調整ボルト２６が設けられている。また、一対の本体ブロック１２、１４のうちいずれか一方の本体ブロックにおいて締結／調整ボルト２６よりもスリット１８から遠い側に、他方の本体ブロックを押圧する第１の押しボルト２４が設けられている。また、一対の本体ブロック１２、１４のうちいずれか一方の本体ブロックにおいて締結／調整ボルト２６よりもスリット１８に近い側に、他方の本体ブロックを押圧する第２の押しボルト２８が設けられている。 （もっと読む）

【課題】塗布装置における塗布液供給装置において、塗布品質不良の原因となりうる液中の顕在または溶存する気体を除去する機能をそなえたものを提供する。
【解決手段】塗布に必要な塗布液を貯める空間である接液部を内部に有するケーシング部材と、ケーシング部材内を往復動し、接液部内の塗布液を送液するためのピストン部材と、ケーシング部材の内部を接液部と、塗布液が接しない空間である非接液部とに分割する薄膜と、を備え、接液部材内の塗布液をピストン部材が押し出すことで、塗布液を送液する塗布液供給装置であって、薄膜によって隔離された非接液部の雰囲気は大気圧より低い減圧状態であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザー光を利用した基板上の異物を検知する異物検知装置の光軸がズレることなく、吐出装置と固定する。
【解決手段】シート状基板と相対的に移動することにより基板を走査し、基板表面に塗布液を吐出する塗布装置において、塗布液の吐出装置の走査方向上流側に配置され、基板上の異物を検知する異物検知装置を少なくとも有する塗布装置であって、前記異物検知装置はレーザー光を基板表面と平行に照射する投光装置、前記投光されたレーザー光を受光する受光装置、投光装置ならびに受光装置それぞれに当接する面に弾性体を有し前記投光装置または受光装置の保持部材に対し接離自在のＬ型部材、および前記Ｌ型部材を前記投光装置または受光装置の保持部材に対し接離動作を行う作動部材により構成する。 （もっと読む）

【課題】ダイコータによる塗布の直前に吐出口を複数の清掃部材で拭取るのは、安定した塗布膜を得るために効果的な方法であるが、ノズルを交換する毎に、清掃部材を取り替えて、個々に吐出口にフィットするように調整するのは、時間がかかっていた。
【解決手段】塗布装置は、支持部材上に支持された清掃部材による清掃ユニットと、前記清掃ユニットを前記拭取り方向に複数個載置可能で、上面に垂直な回転軸を有するθステージと、前記θステージを支持する台座を含む拭取りユニットを有し、前記清掃ユニットの前記支持部材と前記θステージには、高さ調節部材を挟持するための高さ調節面が形成されている清掃手段を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板の姿勢を安定に保ちつつ浮上搬送のゆらぎやうねりを補償して塗布膜の膜厚均一性を改善する。
【解決手段】このレジスト塗布装置では、浮上ステージ上で基板の左右両側の縁部を保持する各吸着パッド４２から見てパッド支持部材４０の反対側つまり外側の面に、各吸着パッド４２と同じ形状および同じ材質を有する被測定部材としてのダミーパッド４６を同じ高さ位置に取り付けている。そして、搬送方向（Ｘ方向）においてレジストノズル１８の吐出口１８ａ付近に監視点が設けられ、この監視点を通過する吸着パッド４２の吸着面高さ位置のプロファイルを光学的に監視するための監視部４８が備えられている。 （もっと読む）

【課題】支持体の厚み分布による影響を抑えることで、最終的に製造しようとする塗布層の所望の塗布厚み分布に制御できる塗布装置、塗布方法、及び塗布製品の製造方法を提供する。
【解決手段】搬送される帯状の支持体に塗布液を塗布する塗布装置であって、塗布液を塗布することによって塗布層を形成する塗布部と、塗布部よりも支持体の搬送方向の上流側に配された厚み調整部と、を備え、厚み調整部は、支持体に該支持体の幅方向の塗布厚み分布を調整するための厚み調整層を形成し、厚み調整層は、最終的に得ようとする塗布層の所望の塗布厚み分布に対して略反転した形状の塗布厚み分布である。 （もっと読む）

【課題】２つのノズルを用いることによって基板の塗布処理にかかるタクトタイムを向上し、且つ、かかるコストを抑制する。
【解決手段】基板搬送方向に沿って前後に配された第１のノズル１６と第２のノズル１７とを保持するノズル保持手段１２と、前記ノズル保持手段を基板搬送方向に沿って移動させるノズル移動手段１１と、前記第１のノズル及び前記第２のノズルの駆動制御と前記ノズル移動手段の駆動制御とを行う制御手段４０とを備え、前記制御手段は、前記第１のノズルと前記第２のノズルが基板搬送路上の同一の塗布位置に配置されるよう前記ノズル移動手段を制御し、該ノズル移動手段により前記ノズル保持手段を移動させ、前記同一の塗布位置に配置された前記第１のノズルと第２のノズルのいずれか一のノズルにより前記基板に処理液を吐出させるよう制御する。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルにおける塗布液の漏れを防止する性能を高める。
【解決手段】吐出幅変更手段９は、スリットノズル１０に形成されている幅方向に長い孔１５及びスリット１６に設けられ、幅方向に移動することによりスリット１６からの塗布液の吐出幅Ｄを変更する。吐出幅変更手段９は、孔１５の内壁面１５ａに接触するＯ形の弾性部材４１を有し孔１５を塗布液側とその幅方向外側とに区画するシール本体部１８と、スリット１６内で塗布液が幅方向外側へ流れ出るのを規制すると共に、弾性部材４１よりも硬質であって当該弾性部材４１の外周の一部に端縁部５７が食い込んでいる薄板状のスペーサ１７とを有している。 （もっと読む）

【課題】第１のスリット・セグメントおよび第２のスリット・セグメントを含む塗布装置を提供すること。
【解決手段】第１のスリット・セグメントは、第１の壁および第２の壁を有し、その第１の壁と第２の壁との間に第１のスリットが形成される。第２のスリット・セグメントは、第１の塗布リップおよび第２の塗布リップを有し、第１の塗布リップは第１の壁につながり、第２の塗布リップは第２の壁につながり、第１の塗布リップと第２の塗布リップとの間に第２のスリットが設けられる。第２のスリットの幅は第１のスリットの幅より大きい。第１のスリットの幅に対する第２のスリットの幅の比は１．２と３．８との間にある。第２の塗布リップから第１のスリットの中心線までの距離に対する、第１の塗布リップから第１のスリットの中心線までの距離の比は、０．５と１．５との間にある。したがって、この塗布装置により、安定した双方向極薄膜塗布が可能になる。 （もっと読む）