【課題】塗布斑を生じさせることなく被処理基板に塗布膜を形成し、且つコストを低減し、生産効率を向上する。
【解決手段】基板搬送路上の基板Ｇに対しノズル１６を相対的に移動させるノズル移動手段２０と、前記ノズルと前記ノズル移動手段の駆動制御を行う制御手段５０とを備え、前記制御手段は、前記ノズル移動手段により前記ノズルを前記基板の塗布開始領域に配置し、前記塗布開始領域内において、前記ノズルの吐出口から処理液Ｒを吐出して前記基板に着液すると共に、該塗布開始領域内において、前記ノズル移動手段により前記ノズルをその走査方向に所定距離移動させる。 （もっと読む）

【課題】塗布層の面の乱れの発生を安定して抑えることができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】搬送される帯状のウェブに塗布装置を用いて塗布を行う塗布方法であって、塗布装置は、ウェブの片面に、最終的に得ようとする所望の塗布厚みよりも過剰量の塗布液を塗布するプレコート部と、プレコート部に対してウェブの搬送する方向の下流側に位置し、塗布液の一部を掻き落とす掻き落とし部と、掻き落とし部によって掻き落とされた塗布液を回収する回収ラインとを、備え、プレコート部で塗布する塗布液の量の変化に対する液溜まり部の圧力変化を抵抗係数Ｒとし、液溜まり部の抵抗係数をＲ１とし、回収ラインがないときの抵抗係数をＲ０としたとき、１＜Ｒ１／Ｒ０≦１．７を満たす。 （もっと読む）

【課題】浮上ステージにおいて分割ステージブロックの境界（繋ぎ目）にできる段差の許容度を大きくして浮上面の高さ位置調整作業を簡便に短時間で行えるようにする。
【解決手段】浮上ステージ１０において、左端の搬入用ステージブロックＳＢ_Aには、専ら噴出口１２を多数配設した第１のラフ浮上領域Ｍ_INが搭載される。真ん中のステージブロックＳＢ_Bには、搬送方向（Ｘ方向）の両端部に専ら噴出口１２を多数配設した突き上げ浮上領域Ｍ_P，Ｍ_Qが局所的に搭載されるとともに、それらの間に噴出口１２と吸引口１４とを混在して多数配設した精密浮上領域Ｍ_CTが搭載される。また、右端の搬出用ステージブロックＳＢ_Cには、専ら噴出口１２を多数配設した第２のラフ浮上領域Ｍ_OUTが搭載される。 （もっと読む）

【課題】ダイコータで、ガラス基板とダイ間のクリアランスを全幅に渡って略均一に非常に小さくすることで、ガラス基板に非常に薄い塗布膜を形成できる塗布装置および塗布方法、並びにディスプレイ用部材の製造方法を提供する
【解決手段】スリット状の吐出口を有する塗布器から、塗布液を被塗布部材上に吐出して塗布膜を形成する塗布方法で、被塗布部材表面が高さＨだけエアー浮上されて保持されている被塗布部材に、塗布器の吐出口面がＨ−６０μｍ〜Ｈ＋５０μｍの高さに位置するよう塗布器を近接させ、吐出口より塗布液を吐出しながら、塗布器および被塗布部材の少なくとも一方を相対的に移動させて、被塗布部材上に塗布膜の形成を行う塗布方法。 （もっと読む）

【課題】異なる塗工条件に低コストで対応できるとともに、塗工膜の厚みを高精度に管理することができる塗工装置、塗工方法及び電極製造方法を提供すること。
【解決手段】塗工装置は、基材１の表面に塗工材２を塗工する塗工ダイと、塗工ダイの上流側に設けられ塗工材２のビード２ａ上流側を減圧する減圧用スリットとを有する。塗工ダイは、上流側ブロック２１と下流側ブロック２５とを有し、上流側ブロック２１と下流側ブロック２５との間には、塗工材２を吐出するための塗工用スリット２６が形成される。上流側ブロック２１は、上流側から順に第１のパーツ２２、第２のパーツ２３及び第３のパーツ２４に分割形成される。第２のパーツ２３のリップ面２３ａは、第１のパーツ２２のリップ面２２ａ及び第３のパーツ２４のリップ面２４ａより凹んだ位置に配置されて、第２のパーツ２３のリップ面２３ａを底面とする凹部２７が形成される。 （もっと読む）

【課題】塗布膜に形成されるムラの発生を抑えるとともに、タクトタイムを短縮できる塗布装置および塗布方法を提供する。
【解決手段】基板１０上に吐出装置３aから塗布液を吐出し、塗布後に塗布基板を乾燥装置５に浮上搬送機構６により搬送する塗布装置１であって、前記浮上搬送機構は振動浮上機構４２を有し、搬送工程において基板上に塗布された塗布膜を前記振動浮上搬送機構により基板に生じる振動により引き起こされるレベリング効果より塗布膜に生じる塗布ムラを解消する。 （もっと読む）

【課題】塗布環境の変化を抑制すること。
【解決手段】易酸化性の金属及び溶媒を含む液状体を基板に塗布する塗布部と、前記塗布部によって前記液状体の塗布を行う塗布空間及び前記液状体の塗布された前記基板の塗布後移動空間を囲むチャンバーと、前記チャンバー内の雰囲気中における前記溶媒の濃度が閾値を超えたときに前記液状体を前記チャンバー内の雰囲気から隔離させる隔離部とを備える。 （もっと読む）

【課題】コータヘッドと液体が塗布される被塗布体との距離を迅速かつ高精度に測定する。
【解決手段】コータヘッド１１は、保持部２に面し第１の開口１２と同一面上に位置する第２の開口２０を備えた少なくとも１つの内側空間部２１を有している。距離測定器２２は、被塗布体３または保持部２、及び第２の開口の位置２０に設けられレーザ光を反射する遮へい体２３ａを測定位置として、内側空間部２１を通してレーザ光を出射することにより、被塗布体３または保持部２と距離測定器２２との距離である第１の距離Ｄ１、及び遮へい体２３ａと距離測定器２２との距離である第２の距離Ｄ２を、同時にまたは別々に測定する。距離算出器２２は、第１の距離Ｄ１と第２の距離Ｄ２との差分に基づき、コータヘッド１１の第１の開口１２と被塗布体３または保持部２との距離である第３の距離Ｄ３を算出する。 （もっと読む）

【課題】塗工品質を向上させることができる塗工装置、塗工方法を提供すること。
【解決手段】本発明の一態様は、バックアップローラ１４とバックアップローラ１４により搬送される金属箔３０に対してペースト材料を吐出するリップ２２を備える塗工ダイ１０とリップ２２に対しバックアップローラ１４の回転方向の上流側の位置で減圧を行う減圧チャンバ１８とを有する塗工装置１において、減圧チャンバ１８は、チャンバ室３２とチャンバ室３２にエアを取り込む取り込み口４６とチャンバ室３２に取り込んだエアを吸引する減圧穴４０とを備え、チャンバ室３２の内部にて取り込み口４６から減圧穴４０に向かう渦巻き状の気流を発生させること、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】枚葉処理される基板間の処理時間間隔を短縮し、生産効率を向上することのできる基板処理装置及び処理液供給方法を提供する。
【解決手段】制御手段１０はノズル１１の吐出口１１ａからプライミングローラ３５に所定量の処理液Ｒを吐出させ、プライミング処理部３６により前記プライミングローラ３５を回転させて吐出口１１ａに付着しているレジスト液を整える一方、ポンプ２２に、吸入管２１を介して処理液供給源２０から処理液を吸入させる。 （もっと読む）

【課題】エア排出時間を短縮するために内部流路に接続するエア排出経路の個数を増加させても、エアを塗布器外部へ排出する排出口の個数は最小限に保つ手段を実現することで、排出口に接続されるエア排出用付帯部品の個数も最小限にして、低コスト化を図るだけでなく、塗布以外の作業時間を短縮して塗布生産時間を増やし、生産性と塗布品質に優れる塗布器を提供する。
【解決手段】
塗布液が供給される供給口、供給される塗布液を長手方向に拡幅するマニホールド、塗布液を吐出する吐出口、マニホールドと吐出口を連通するスリット、マニホールドに存在する塗布液／エアをマニホールドから流出させる複数のベント口とそれに連なるベント経路、ベント口から流出する塗布液／エアを塗布器の外部に排出する排出口を備えるとともに、排出口の個数がベント口の個数よりも少ない塗布器。 （もっと読む）

【課題】吐出幅の変更が容易でありながら、塗布した塗布液による塗膜の幅方向寸法の変動を抑える。
【解決手段】幅方向に長いスリット１６からなる吐出口１１が形成され塗布液を吐出口１１から基板Ｗに対して吐出して塗布するスリットノズル１０と、このスリットノズル１０に対して基板Ｗを前後方向に移動させる駆動部４と、スリット１１内を幅方向に移動することにより吐出口１１の幅方向寸法を変更する吐出幅変更部材１７と、吐出口１１から吐出された塗布液の幅方向両外側の領域に対してエアを吹き付けるエアノズル２２を有し吐出口１１の幅方向寸法の変更に応じてエアノズル２２によるエアの吹き付け位置の調整が可能であるエア供給ユニット２１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 塗布膜の膜厚バラツキを抑制し得る塗布装置を提供する。
【解決手段】 第１の方向に搬送される透明のフィルム（１６）の一方の面（１６a）に接触する第１ローラー（１２）と、前記第１ローラーに対して前記第１の方向に、前記第１ローラーに隣接して配置され、前記一方の面に接触する第２ローラー（１４）と、前記第１ローラーと前記第２ローラーの間に位置する前記フィルムの他方の面に対向するように配置され、前記他方の面に塗布液を塗布する塗布ノズル（２０）と、を有し、前記塗布ノズルにおいて前記塗布液を放出する開口（２２）と、前記第２ローラーの中心軸である第２中心軸（１４ａ）との前記第１の方向に沿う間隔である第２間隔（Ｌ２）は、前記第２ローラーの半径（Ｒ）以上であって５０ｍｍ以下であり、前記開口と、前記第１ローラーの中心軸である前記第１中心軸（１２ａ）との前記第１方向に沿う間隔である第１間隔（Ｌ１）は、前記第２間隔より長い塗布装置。 （もっと読む）

【課題】流体材料をスロットの長手方向に略均一に押し出すことができるスロットノズル組立体を提供する。
【解決手段】流体材料を押し出すスロットノズル組立体（１）であって、流体材料を押し出すスロット（９）と、複数の材料出口（５ｂ）と、スロット（９）と複数の材料出口（５ｂ）のそれぞれを連通する複数の材料分散通路（７）とを有し、複数の材料分散通路（７）のそれぞれのスロット（９）の長手方向における幅は、複数の材料出口（５ｂ）のそれぞれからスロット（９）へ向かって拡大しているスロットノズル組立体（１）。 （もっと読む）

【課題】口金近くに設置された基板上の異物を検知する異物検知装置が気流等の外乱で検知精度が低下することを防止する。
【解決手段】シート状基板と相対的に移動することにより基板を走査し、基板表面に塗布液を吐出する塗布装置において、塗布液の吐出装置の走査方向上流側に配置され、基板上の異物を検知する検知装置を少なくとも有し、前記検知装置はレーザー光を基板表面と平行に照射する投光装置と、前記投光されたレーザー光を受光する受光装置と、少なくとも前記投光領域直下の空気流れを遮蔽する装置を設ける。 （もっと読む）

【課題】ノズルからの塗布液の吐出開始および終了を明確に区切りつつも、簡素な構造の塗布装置および該塗布装置を組み込んだ塗布膜形成システムを提供する。
【解決手段】閉止バルブ２０の弁体４０の移動方向と垂直なシリンダ３０の流路端面に入側開口３３を形成するとともに、その移動方向と平行なシリンダ３０の側面に出側開口３６を形成する。閉止バルブ２０の閉止時には出側開口３６が形成された流路端面に弁体４０が接触するとともに、閉止時以外ではシリンダ３０の流路端面および側面のいずれとも弁体４０が非接触である。塗布ノズルからの塗布液の吐出を停止すべく弁体４０がシリンダ３０内にて前進すると、弁体４０が流路端面に当接して入側開口３３を閉塞するに至る過程で出側開口３６に負圧が作用する。これにより、シリンダ３０の出側開口３６から塗布ノズルに至るまでの流路に存在している塗布液がシリンダ３０に向けて吸引される。 （もっと読む）

【課題】分解可能な浮上ステージの再組み立て作業における高さ調整を簡便で短時間に行えるようにすること。
【解決手段】このレジスト塗布装置の浮上ステージ１０において、出口側のステージブロックＳＢ_aは、独立して輸送可能な架台ＦＬ_Aの上に多数の支柱１８およびアジャスタ２０を介して取り付けられている。中間の３つのステージブロックＳＢ_b，ＳＢ_c，ＳＢ_dは、独立して輸送可能な架台ＦＬ_Bの上に多数の支柱２２，２４，２６およびアジャスタ２８，３０，３２を介してそれぞれ取り付けられている。出口側のステージブロックＳＢ_eは、独立して輸送可能な架台ＦＬ_Cの上に多数の支柱３４およびアジャスタ３６を介して取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】基板に対する前処理後、塗布までの間に基板の表面の状態が変化するのを抑えること。
【解決手段】易酸化性の金属を含む液状体を基板に塗布する塗布部と、前記液状体が塗布される前の前記基板に対して前処理を行う前処理部と、前記塗布部によって前記液状体が塗布される塗布空間と前記前処理部によって前記前処理が行われる前処理空間とを接続する接続空間を有し、前記接続空間の雰囲気が不活性ガスの雰囲気となるように調整可能に設けられた接続部とを備える。 （もっと読む）

【課題】基材の左右方向の脈動を抑え、良好な両面同時塗布を行うこと。
【解決手段】基材Ｓを送出方向に搬送する送出機構２０と、基材Ｓの表面Ｓ１側に配置され、塗液Ｄを送出方向に交差する向きに塗布領域Ｓａと非塗布領域Ｓｂとを交互に形成して塗液Ｄを塗布する第１塗布ヘッド３１と、基材Ｓの裏面Ｓ２側に配置され、塗液を送出方向に交差する向きに塗布領域Ｓａと非塗布領域Ｓｂとを交互に形成して塗液を塗布する第２塗布ヘッド４１と、基材Ｓの表面Ｓ１側で且つ第２塗布ヘッド４１の基材Ｓを挟んだ対向する位置近傍に配置され、軸方向に沿った両端部に大径の第１ローラ、これら第１ローラの間に設けられた小径の第２ローラ、これら第１ローラと第２ローラを一体、かつ、同軸で連結する軸体を有する塗工ロール５０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】バックアップローラの表面に塗工液を付着させることなく、塗工ヘッドからの塗工液だれ、塗工液の乾燥や固化による塗工ヘッドの閉塞を防止することが可能で、しかも、搬送されるシート状基材に弛みや偏りが生じない塗工装置を提供する。
【解決手段】バックアップローラ２と、塗工ヘッド４とを備えた塗工装置において、塗工しないときには、塗工ヘッドとバックアップローラの間に位置し、塗工ヘッドとバックアップローラの少なくとも一方が他方に向かって付勢されたときに、塗工液供給口３と当接して、塗工液供給口を密閉する樹脂層２３と、樹脂層とバックアップローラの間に介在し、塗工ヘッドとバックアップローラの少なくとも一方が他方に向かって付勢されたときに、弾性変形してバックアップローラに加わる応力を緩和する緩衝層（第１および第２の緩衝層２１，２２）とを有する封止治具１０を備えた構成とする。 （もっと読む）