【課題】被処理物の品質低下を抑制すること。
【解決手段】相対向する放電電極と対向電極との間に電圧を印加して放電を発生させることにより、前記放電電極と前記対向電極との間に位置する被処理物の表面を改質する表面処理装置であって、前記放電電極と前記被処理物との間に、前記被処理物の表面のうち表面改質しない非処理領域を形成するための、遮蔽物が設けられること、を特徴とする表面処理装置。 （もっと読む）

【課題】プラズマ発生領域の体積を大きくしたプラズマ発生装置の提供。
【解決手段】大気圧プラズマ発生装置１００であって、長手方向に伸び、プラズマを発生する柱状のプラズマ化領域Ｐを内包する絶縁体から成る筐体１０と、プラズマ化領域Ｐにプラズマ発生ガスを前記長手方向に対して垂直な方向から長手方向に一様に供給するガス導入部１２と、プラズマ化領域Ｐにおいて、前記長手方向に離間して配置された１対の電極２ａ，２ｂと、プラズマ化領域Ｐに接続され、そのプラズマ化領域Ｐで生成された前記プラズマを排出し、プラズマ化領域Ｐの長手方向に沿って配列され、前記プラズマ発生ガスの流れる方向に長く伸びた多数の孔から成る排出部２４とを有する。 （もっと読む）

【課題】体格の小型化を図りつつ、製造コストを低減することができる反応器を提供する。
【解決手段】未反応物を反応させて水素と窒素を生成する反応部３２ａ、３２ｂと、水素および窒素から窒素を選択的に吸蔵することにより、窒素を分離除去する除去部３３ａ、３３ｂとを備え、除去部３３ａ、３３ｂは、窒素を選択的に吸蔵する際に熱を放出する吸収剤３３０ａ、３３０ｂと、吸収剤３３０ａ、３３０ｂが放出する熱を除去する冷却手段３５ａ、３５ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】放射導体の先端から筒長方向に沿って延びる状態でプラズマを発生させる。
【解決手段】一方の端部が閉塞板１１ｂによって閉塞されると共に他方の端部に噴出口２５が形成された筒体１１ａを有する筐体１１と、閉塞板１１ｂの内面に筐体１１の筒長方向に沿って延出するように立設されると共に入力した高周波信号Ｓ１を放射する棒状の放射器１４とを備え、ガス供給部４によって筐体１１内に放電用ガスＧが供給され、かつ放射器１４が高周波信号Ｓ１を放射している状態において、放射器１４の先端近傍から噴出口２５を介して筐体１１の外方に延びるプラズマＰを発生させるプラズマ処理装置１であって、筐体１１の内面には、ガス供給部４から供給される放電用ガスＧを筐体１１内に互いに異なる方向で放出するガス放出口２２が複数形成されている。 （もっと読む）

【課題】安全性を確保しつつ粉体を均一に処理することが可能な粉体攪拌装置を提供する。
【解決手段】粉体攪拌装置２０は、反応容器１００および回転駆動装置２００を含む。反応容器１００は、円筒形状の外周壁１１０および一対の端面壁１１１を有する。外周壁１１０の一端および他端にそれぞれ端面壁１１１が設けられる。反応容器１００は、外周壁１１０の軸心が水平方向に平行になるように断熱カバー４００内に配置される。外周壁１１０は、その軸心に関して回転対称な内周面を有する。粉体処理時には、反応容器１００内に粉体が収容され、反応容器１００が回転駆動装置２００により外周壁１１０の軸心を通る回転軸Ｒ１の周りで回転される。この状態で、反応容器１００内に処理ガスが供給される。また、反応容器１００内の処理ガスが排出される。 （もっと読む）

【課題】より実用的な噴霧熱分解装置用の粒子捕集装置を提供する。
【解決手段】噴霧熱分解法で合成された粒子を含む粒子含有ガスからの前記粒子の捕集装置であって、前記粒子含有ガスを導入及び排出が可能に形成された、所定の空間部を有する捕集部と、前記空間部中の前記粒子含有ガスに液滴を供給する液滴供給部と、を備えるようにする。 （もっと読む）

【課題】放電空間におけるプラズマの分布及び流れを好適化できるプラズマ発生体を提供する。
【解決手段】誘電体３の貫通孔９は、放電空間９ａと、放電空間９ａとは反対側を拡径させる傾斜面３ｅを内周面の一部とする導入空間９ｂとを含む。第１対向電極５Ａは、ｚ方向の正側から放電空間９ａに面し、放電空間９ａ側が誘電体３により覆われている。第２対向電極５Ｂは、第１対向電極５Ａと放電空間９ａを挟んで対向している。第１イオン風用電極７Ａは、第１対向電極５Ａ側の傾斜面３ｅに位置している。プラズマ発生体１は、第１対向電極５Ａ及び第２対向電極５Ｂの間に電圧が印加されることにより放電空間９ａにプラズマを発生可能であり、第１対向電極５Ａ及び第１イオン風用電極７Ａの間に電圧が印加されることにより導入空間９ｂから放電空間９ａへ流れるイオン風を発生可能である。 （もっと読む）

【課題】本発明は、プラズマを用いてシランガスを効果的に分解するための手段を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、プラズマを用いたシランガス除去装置に関する。本発明の一実施形態によるシランガス除去装置は、既設定された周波数の電磁波を発振する電磁波供給部と、前記電磁波供給部から供給された前記電磁波及び渦流ガスからプラズマを発生させる放電管と、前記放電管に前記渦流ガスを供給する渦流ガス供給部と、前記放電管で発生された前記プラズマとシランガスとの反応により二酸化珪素及び水が生成される反応炉と、前記放電管内に前記プラズマの発生のための初期電子を供給する点火部と、前記反応炉の上端に形成され、前記反応炉内部の前記プラズマに前記シランガスを供給するシランガス供給部と、前記反応炉で生成された前記二酸化珪素及び水を排出するガス排出部とを備える。 （もっと読む）

【課題】分解過程のガス濃度の変化に対応して、最適な配合割合の触媒を採用させることにより、ガスの分解効率を高めたガス分解装置を提供する。
【解決手段】固体電解質層１０１と、この固体電解質層の一側に設けられる第１の電極層１０２と、他側に設けられる第２の電極層１０５とを備える複数のガス分解素子１００ａ，１００ｂ，１００ｃを含んで構成されるガス分解装置であって、上記第１の電極層又は／及び第２の電極層に含まれる触媒の組成が、上記ガス分解素子によって異なるように構成されているとともに、上記複数のガス分解素子に、ガスを順次作用させて分解するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 プラズマ放電部を複数並べて任意の大きさの試料に対応できるように放電面積を拡大する場合であっても、単位あたりの電力コストを増加することなく、均一なプラズマ生成が可能なプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】 高周波信号回路１３及び高周波電力回路１１を有する高周波電源と筐体２１と放電電極２とを備えたプラズマ処理装置において、筐体２１内に設置された放電電極２と高周波電力回路１１とでプラズマモジュールを構成し、複数個並列接続されたプラズマモジュールに高周波信号回路１３からの周波数信号を入力する。 （もっと読む）

【課題】回転ディスクが高速で回転した場合であっても、振動や回転軸のブレが生じることがなく、軸受部の温度上昇を防止する一方で反応室内の温度低下を防ぎ、反応室の掃除や保守管理が容易で被処理液の連続処理が可能な液体廃棄物処理装置を提供する。
【解決手段】中心部に冷却通路を有し、冷却手段を具える上部軸受部および下部軸受部に軸支され、該下部軸受部よりも下方に延伸する部分を有する回転軸の延伸部分が、正八角形の壁面を有する気密空間の反応室に囲繞され、さらに該反応室が蒸気貯留室に囲繞され、該反応室には該回転軸に固定されて高速回転する複数の有孔回転ディスクと該反応室に固定される複数の邪魔板とが相互に配置され、該反応室にナトリウムが混入された被処理液が送り込まれて該反応室内で無害化処理され、無害化処理された処理済液が該蒸気貯留室に送出された後、外部に排出するようにした。 （もっと読む）

【課題】本発明は、工程チャンバと真空ポンプの間に位置し、低圧プラズマを生成して工程チャンバから排出される汚染物質を除去するプラズマ反応器を提供する。
【解決手段】プラズマ反応器３１０は、内部にプラズマ生成空間を形成する少なくとも１つの誘電体３０と、誘電体３０の少なくとも一端に連結する接地電極４１，４２と、誘電体３０の外周面に固定され、交流電源部６０と連結して交流駆動電圧が印加される少なくとも１つの駆動電極５０と、を含み、接地電極４１，４２は、プラズマ反応器３１０の長さ方向に沿って非均一直径を有する。 （もっと読む）

【課題】分解過程のガス濃度の変化に対応して、最適な配合割合の触媒を採用させることにより、ガスの分解効率を高めたガス分解素子を提供する。
【解決手段】固体電解質層１０１と、この固体電解質層の一側に設けられる第１の電極層（アノード電極）１０２と、他側に設けられる第２の電極層（カソード電極）１０５とを備えて構成されるガス分解素子１００であって、上記第１の電極層又は／及び第２の電極層に設けられる触媒１５１、１５２の配合割合が、ガスの流動方向に向けて変化するように形成されている。 （もっと読む）

【課題】 養殖池や湖沼のような静水域の水質保全に横軸水車や噴水で水を跳ね上げる方法がとられているが、これでは表面の流れを起こすだけで、静水域全体に大きな対流を発生させることができず、溶存酸素を水底まで到達させることができないため、ヘドロの堆積に伴う水質劣化に対応できない。
【解決手段】 本発明では、水面上で自己浮遊式の水平回転翼を、低速で回転させるとともに、その水平回転翼の真下の散気ヘッダーパイプの多数の微細な穴から、１〜２０テラヘルツの共鳴電磁波を発振するフィルターを吸気側に取り付けた送風機からの供給空気を放出することにより、エアーリフト効果で水底部の水を水面部まで上昇させ、大きな対流を発生させるとともに、活性化された空気や酸素を、高濃度で水に溶存させ、水質を保全する。 （もっと読む）

【課題】水蒸気改質等の吸熱反応を行うための熱効率を向上させた熱交換型反応器を提供する。
【解決手段】シェル１内に封入されて、吸熱化学反応を行う複数の差し込み管４と、上部ドーム２に吊された複数の垂直状蒸気発生管５とを備えており、高温煙道ガスの入口管Ｅと、熱交換後の低温煙道ガスを排出するための出口管Ｓとを備えており、前記蒸気発生管は、内部じゃま板Ｂｉおよび垂直壁１間の周辺スペース内に収容されており、前記内部じゃま板Ｂｉは、煙道ガス１０を、前記反応器の中央スペースから前記周辺スペースに通過させるための少なくとも１つの開口を有しており、前記蒸気発生管５には、下部フィーダーヘッド９を介して、水が供給され、前記蒸気発生管５からの液体−水蒸気の混合物は、上部収集器７内に収集され、下部ライン１４が、分離ドラム６の液相に接続されており、上部ライン１３が、分離ドラム６の蒸気相に接続している熱交換型反応器。 （もっと読む）

【課題】速やかに成膜でき、不純物が少なく、緻密な有機薄膜を安定に複数回連続して形成可能な有機薄膜製造方法の提供。
【解決手段】基板上に形成されてなる化学吸着膜であって、前記基板が結晶性を有さず、かつ、化学吸着膜が結晶性を有しており、膜を構成している分子が規則的に高密度充填しており、かつ膜の面間隔が約４．１Åであることを特徴とする化学吸着膜。 （もっと読む）

【課題】大気圧下で長時間プラズマを生成することができるプラズマ生成装置を提供する。
【解決手段】プラズマ生成装置は、第１導電体と、第２導電体と、第１導電体と第２導電体との間に備えられた少なくとも１層の絶縁層とを備えたプラズマ生成部を有し、第１導電体と第２導電体との間に電圧を印加することによってプラズマを生成するプラズマ生成装置であって、プラズマ生成部は、第１導電体と第２導電体とは絶縁層を介して互いに接触する接触部を有するとともに、接触部の周囲における、第１導電体と絶縁層との間、第２導電体と絶縁層との間、絶縁層同士の間のいずれか１つ以上に、プラズマを生成するための流体に晒された隙間を有し、絶縁層はセラミック層からなる。このプラズマ生成装置は、絶縁層をセラミック層とするため、長時間プラズマを生成させることができる。 （もっと読む）

【課題】放射導体の先端近傍を内包する空間内での放電用ガスの流れをより均一にする。
【解決手段】筒体１１ａの一方の端部が閉塞板１１ｂで閉塞されて筒体１１ａの他方の端部側が開放端に形成された筐体１１と、閉塞板１１ｂに立設された放射器１４とを備え、筐体１１の内部には、閉塞板１１ｂ側の内部空間ＳＢ１と、放射器１４の先端近傍を内包して筒長方向に沿って延び、かつ内部空間ＳＢ１に供給された放電用ガスＧを筒長方向に沿って放射器１４の先端近傍を経由して筐体１１の他方の端部から外方へ放出する内部空間ＳＢ２と、筒体１１ａに設けられたガス放出口２２ｃから放出された放電用ガスＧを筒長方向に沿って内部空間ＳＢ１に誘導する誘導流路ＳＡとが形成されて、放電用ガスＧの供給状態において、内部空間ＳＢ２から放出される放電用ガスＧの気流に乗って放射器１４の先端近傍から筐体１１の開放端を越えて伸びるプラズマＰを発生させる。 （もっと読む）

【課題】高温セラミック膜反応装置の分野では、これらの潜在的な運転上の問題に対処しこれらを克服する新しい膜モジュール及び反応装置システム設計に対するニーズが存在する。
【解決手段】（ａ）各々反応物質ゾーン、酸化剤ゾーン、該反応物質ゾーンと該酸化剤ゾーンを分離する単数又は複数のイオン輸送膜、反応物質ガス入口領域、反応物質ガス出口領域、酸化剤ガス入口領域及び酸化剤ガス出口領域を含む２つ以上の膜酸化段；（ｂ）各々の膜酸化段対の間に配置されかつ該対の第１の段の反応物質ガス出口領域を該対の第２の段の反応物質ガス入口領域と流動連絡状態に置くように適合されている段間反応物質ガス流路；及び（ｃ）各々、任意の段間反応物質ガス流路又は段間反応物質ガスを収容する任意の膜酸化段の反応物質ゾーンと流動連絡状態にある、単数又は複数の反応物質段間フィードガスライン、を含んで成るイオン輸送膜酸化システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】電極剥がれや電極内での放電等を防止し、耐熱性に優れた放電電極および放電装置を提供することを目的とする。
【解決手段】従来の電極の部分を導電性の粉体５に替えることで、温度影響による電極剥がれを防止することができる。また、従来の誘電体バリアの部分を、セラミックあるいは石英で形成され、粉体５を収容可能に構成した筒６に替えることで、筒６と粉体５との間に隙間が生じにくいので、放電電圧が上昇しにくく、発熱しにくくなる。また、筒６がセラミックあるいは石英で形成されているので、耐熱性に優れ、ピンホールもなく、非常に長寿命が期待できる。その結果、電極剥がれや電極内での放電等を防止し、耐熱性に優れたプラズマ用電極１を実現することができる。 （もっと読む）