【課題】被加工物の被加工面を加工することにより平坦性が高く、かつ加工変質層のない被加工面を形成することのできる加工方法を提供する。
【解決手段】処理溶液３０中に被加工面２０ａを有する被加工物２０を設置する被加工物設置工程と、光触媒膜１２を被加工面２０ａに対向させて処理溶液３０中に設置する光触媒膜設置工程と、光触媒膜１２に光を照射して、光触媒膜１２の光触媒作用により処理溶液３０から活性種４０を生成させる活性種生成工程と、処理溶液３０に添加されたラジカル捕捉剤４２により、処理溶液３０中における活性種４０の拡散距離を制御する活性種拡散距離制御工程と、被加工面２０ａの表面原子２２と活性種４０を化学反応させ、処理溶液３０中に溶出する化合物５０を生成させることにより被加工物２０を加工する加工工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】光照射装置から無駄に消費されるエネルギーを再利用できるようにすること。
【解決手段】光照射装置１０は、接着シートＳに相対する位置に設けられ、紫外線を接着シートＳに向かって発する発光手段１５を備えている。光照射装置１０には、第１〜第３変換手段４１〜４３が設けられている。第１変換手段４１は、発光手段１５から照射された紫外線を電力に変換する紫外線太陽電池により構成される。第２変換手段４２は、発光手段１５から伝播される熱を電力に変換する熱電発電素子により構成される。第３変換手段４３は、換気手段１８から吹き出される送風の風力を電力に変換する風力発電ユニットにより構成される。 （もっと読む）

【課題】被照射物が受ける紫外線の照度を、低コストで効果的に向上することが可能な紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】被照射物の搬送方向と直交する照射物幅方向に沿って並ぶ複数の紫外線光源３２を有する少なくとも１つの光源ユニットと、光源ユニットと被照射物との間に配置され、前記各光源ユニットを搬送方向の上流側及び下流側から挟むように配置された一対の反射部材６１及び６２と、を備え、各反射部材は、被照射物と対向する第１反射部６１１及び６２１を有する紫外線照射装置。 （もっと読む）

【課題】微小液滴をより低コストで、効率的に、しかも大量生産することができる微細流路を用いた微小液滴の製造装置を用いて、２色性微小液滴、ならびにそれから得られる２色性微粒子、を製造する方法を提供し得る。
【解決手段】微細流路基板と微細流路基板保持用ホルダーを備え；微細流路基板が、微小液滴の排出口と、この排出口に微細流路によって接続され、複数配置される微小液滴生成部と、微小液滴の排出口を中心として配置される第 1の液体の導入口と、その外側に配置される第２および３の液体の導入口と、複数の微小液滴の生成部に第１〜３の液体を供給する微細流路を有し；微細流路基板保持用ホルダーが、３個の環状流路を有する多重管構造を有し；第１の液体が連続相、第2の液体が第1分散相、第3の液体が第2分散相であり、第２および3の液体は相異なる色相を有し、かつ生成液滴が第 1分散相と第2分散相からなる。 （もっと読む）

【課題】エキシマランプが複数並列に配置された光照射装置において、エキシマランプの照度を測定する照度センサーを適正に配置して、エキシマランプからの照射光を遮断することなく、有効照射領域内にあるランプ中央部の正常なエキシマ放電を正確に検出することのできる構造を提供することである。
【解決手段】前記エキシマランプの放射光を受光する照度センサーが、当該エキシマランプの長手方向における一方の端部に対応して配置され、受光面がエキシマランプの中央部に向いて傾斜していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】縦ラインごとの発光ダイオードによる照度を計測可能とし、これら縦ラインからの光によって形成されるライン光の照度を所定値以上に保つことのできる光照射装置及び照射方法を提供すること。
【解決手段】一体物Ｗに対して相対移動可能に設けられるとともに、接着剤層ＡＤに光照射を行う発光ダイオード２０を含む発光手段１２を備えて光照射装置１０が構成されている。発光ダイオード２０は、縦ラインＶＬと、横ラインＨＬに複数並べられており、ライン光形成手段２１により横ラインＨＬに沿うライン光を形成するように設けられてる。各縦ラインＶＬの照度は、照度計測手段１５で計測され、所定値を上回るように調整可能に設けられ、これにより、ライン光ＬＢの一部に照度不足がないようになっている。 （もっと読む）

【課題】裏面研削して薄化したウェーハからの紫外線硬化テープ剥離をウェーハの破損を招くことなく円滑に行うことができる紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】保持部２３の保持面２３ａに吸着保持した裏面研削後のウェーハ１の表面１ａに貼着されている保護テープ３に、ウェーハ１を搬送する過程で紫外線照射手段１４より紫外線を照射する際に、保持部２３が固定されているベース２１に設けた噴射部２１ｂから、ウェーハ１の外周部１ｄと保護テープ３の外周部との境界部に窒素ガスを噴射し、保護テープ３の外周部の粘着層３ｂに酸素が接触しないようにして、該粘着層３ｂが紫外線で確実に硬化し粘着力が低下するようにする。 （もっと読む）

【課題】紫外光発光ダイオード固化装置を提供する。
【解決手段】本発明は改良された殻体及びスイッチ制御器を有するＵＶＬＥＤ固化装置に関し、好適には、複数の手指又は足指の爪に塗布されたＵＶ硬化ゲルの固化を自動制御することができ、且つＵＶＬＥＤ固化装置は、以下を含む：正面開口を有する固化チャンバを包囲する光反射性内殻と、内殻上に安置され、固化チャンバ内において大空間を覆う照射を提供可能にするＵＶＬＥＤ光源と、を含む。フォトインタラプトモジュール、タイマー及び電流調節器を有し、本装置の自動化制御を達成し、ＶＵＬＥＤ光源からのＵＶ光は、フォトインタラプトモジュールのセンサによりオン状態に触発され、タイマー及び電流調節器により所定固化時間を自動で参考する。外殻は、着脱可能に光反射性内殻に接続され、装飾及び娯楽用途で良好なユーザインタラクションを提供し、同時に保護及び散熱装置となる。 （もっと読む）

【課題】小さく軽い浄化装置を提供する。
【解決手段】浄化装置１４は、空間１１を挟んで対向して設けられた光源部７と光触媒部１０とを備え、前記光源部７は、第１基体１と、第１基体１の前記光触媒部１０側に設けられた第１電極３と、第１電極３上に設けられ、かつ、発光体を内部に有する誘電体層５と、前記誘電体層５の上に設けられた透光性電極６とを備え、前記光触媒部１０は、第２基体８と、第２基体８の前記光源部７側に設けられ、かつ、前記空間１１と接する光触媒層９とを備え、第１電極３と前記透光性電極６の間に電圧を印加することにより前記発光体を発光させ、前記発光体が発した光を前記光触媒層９が受光することにより前記空間１１に存在する気体または液体を浄化することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】処理条件を効率的に設定することができる表面改質処理装置を提供する。
【解決手段】被処理物１０を真空に保持する第１処理室４と、前記被処理物１０の表面に紫外光を照射する第１紫外光照射部６とを有する表面改質処理装置１において、酸素を励起して処理ガスを生成するガス生成部３を備え、前記処理ガスを前記第１処理室４に供給する。前記ガス生成部３は、第２処理室２５と、前記第２処理室２５内に酸素を供給する第２酸素供給路２７と、前記酸素に紫外光を照射する第２紫外光照射部２６とを有し、前記第２処理室２５と前記第１処理室４とは連通路３０を介して連通されており、前記第２処理室２５内で生成された前記処理ガスを前記第１処理室４内に供給するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】不要な紫外線をカットする効果が高くかつ低コストの紫外線カットフィルタを備えた紫外線照射装置、紫外線照射方法、および紫外線照射装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】筒状、石英ガラス素材の発光管を有するメタルハライドランプと、メタルハライドランプの発光管を筒状に包囲する位置に設けられた筒状、石英ガラス素材の第１の管である内管と、該内管を筒状に包囲する位置に設けられた筒状、石英ガラス素材の第２の管である外管とを備え、第１の管と第２の管との間の空間に流体を流し得るように該第１の管と該第２の管との間の空間が閉じられた空間である二重管と、二重管の外管の外面上、または二重管の内管のメタルハライドランプに対向する面上に形設された、膜厚が０．３μｍ以上、１．３μｍ以下の、チタンを含有する酸化膜とを具備する。 （もっと読む）

【課題】ケース内部の気密性をある程度維持しつつ窓板の破損を防止する。
【解決手段】紫外線照射器のケースは、紫外線照射器１１を収納可能に構成され紫外線出射のための開口部２１ａが形成された外郭２１と、紫外線透過可能な窓板２３を有し開口部２１ａを封止するように外郭２１に取付けられた蓋体２２とを備える。窓板２３が長手方向で複数に分割され、窓板２３の分割箇所を外郭の内側から覆う短冊状封止板３１を備え、外郭内部に流通する冷却用エアの圧力を高めることにより短冊状封止板を窓板の分割箇所に押し付けるように構成される。蓋体は外郭に取付けられ外側から窓板が装着される窓枠２６を有し、短冊状封止板の両端部を収容する横溝２６ｆが内周から窓板の幅方向に伸びて形成される。窓枠２６に窓板に接触するＯリング２４を収容可能な凹溝２６ｃが形成され、横溝２６ｆが窓枠２６の内周から凹溝２６ｃに連通して形成される。 （もっと読む）

【課題】複数のヘッド部の位置に応じた紫外線の強度の調整を可能にしながらも、複数のヘッド部の組み合わせによる照射の強度を適正化する。
【解決手段】紫外線源としての発光ダイオードを備えたヘッド部２がコントローラ１に複数個接続される。紫外線センサ３は、ヘッド選択機能部１６ａにより選択されたすべてのヘッド部２から出力される紫外線の合計の強度を検出する。コントローラ１は、紫外線の強度の目標値の比率を設定する比率設定機能部１６ｂと、比率設定機能部１６ｂで設定した比率を維持した状態で、紫外線センサ３により検出される紫外線の強度が目標値になるように電源部１３の出力を調整する出力調整機能部１６ｃとを備える。 （もっと読む）

【課題】コールドミラーである反射鏡を液体で効率よく冷却する手段を、簡便な構造により実現し、小型で安価な構成とすること
【解決手段】長尺なランプと、該ランプに沿って長手方向に配置される反射鏡を備え、該反射鏡の内面に紫外線を反射し赤外線を透過する反射膜を有する紫外線照射装置において、前記反射鏡の外面に近接して配置されるとともにこれを保持する反射鏡冷却保持体を備え、該反射鏡冷却保持体は内部に冷却液体が流通する流路を複数備え、該流路は該反射鏡冷却保持体の長手方向の両端部に開口を有し、該端部は蓋部材によって密閉されてなり、該蓋部材の内側に、溝状の折り返し流路部が形成されるとともに、一の流路と他の流路が折り返し流路部を介して空間的に連結されていること。 （もっと読む）

【課題】マイクロチップ用基板に紫外光を照射し、検査体を変質させることなく、基板の表面を良好に改質することを可能とすること。
【解決手段】検査体３１を載置した基板（ワーク）３０をワークステージ４０上に保持させ、その上にマスク２０を載せて、光照射ユニット１０から紫外光を照射して基板表面を活性化させる。マスク２０には、凹部が形成されその内面に遮光手段２０ｃが設けられ、この凹部と基板３０で閉空間が形成され、検査体３１が閉空間の中に配置される。このため、検査体３１に紫外光が照射されることがなく、また、紫外光をワーク３０に照射する際に発生するオゾンや酸素原子に上記検査体３１は暴露されることがない。このため、検査体３１に変質といった不具合が発生することがない。 （もっと読む）

【課題】ランプハウス内に格子状に配置された複数の紫外線照射部のメンテナンス性の向上を図る。
【解決手段】マイクロ波に基づき、紫外線を発光することが可能な放電媒体が封入された無電極ランプ１２が収容されたランプハウス１１からモジュール化された紫外線照射部１００を構成する。紫外線照射部１００から放射される紫外線は、リフレクタ２１１，２１２を用いて集光または拡散させながら照射室２００に配置される被照射体に照射させる。紫外線照射部１００と照射室２００は、紫外線は通過し、マイクロ波は遮蔽する電磁シールド２４が配置される。格子状に配置の紫外線照射部１００の何れかのメンテナンスを行う場合、行方向に選択的に紫外線照射部１００を取り出すようにした。 （もっと読む）

【課題】 不要でありカットしたい光の波長域と所望な光の波長域とが接近している場合でも、光学フィルター等の付帯的部材を用いることなく、所望の波長域の光を効率よく照射することができる紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】 主に紫外線を照射するための紫外線ランプと、該ランプの外周に水を流通させて該ランプを冷却する水冷ジャケットを備える紫外線照射装置において、ランプ発光管は普通石英ガラスから構成し、前記水冷ジャケットは、チタン、セリウム、スズ、バナジウムの酸化物が少なくとも１種以上添加した石英ガラス管から構成し、その表面温度をランプ動作中においても８０℃以下に維持する。 （もっと読む）

【課題】光に反応する被照射体を効率よく反応させることが可能であるととともに、装置の大型化とコストの高騰化を抑制可能な光照射装置および光照射方法を提供すること。
【解決手段】光照射装置１は、接着シートＳを構成する接着剤ＡＤに対して、単波長の第１〜第４のライン光Ｌ１〜Ｌ４を照射する第１〜第４のＬＥＤ４２３Ａ〜４２３Ｄと、複数の波長の光を含む第５のライン光Ｌ５を照射するブラックライト４３１とを備え、第１〜第４のライン光Ｌ１〜Ｌ４のうちの少なくとも一種と、第５のライン光Ｌ５とを照射する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、必要なオゾン量も軽減して水処理処理を行なう。
【解決手段】被処理水導入管１から導入される被処理水が内部で旋回するサイクロン型反応槽３と、オゾンの気泡を発生して被処理水に混入させるオゾン発生装置２と、サイクロン型反応槽から処理水を排出する処理水排出管４と、処理水排出管４の外周部に配置され、サイクロン型反応槽３内を旋回する被処理水に超音波を照射する第１超音波照射手段５ａとを備える。 （もっと読む）

【課題】被処理流体の変化に基づく異常を効果的に検知する。
【解決手段】温度センサは、被処理水の減少に伴い紫外線照射槽１０の上部に空気層ができた場合、紫外線ランプ２の発光体による空気層の温度変化を、検出可能な設置エリアに、設置される。この設置エリアは、発光体の最上端に水平な露出水位線より上および下のエリアであって、紫外線照射槽１０の外壁に沿ったエリアＡ１、内壁に沿ったエリアＡ２、紫外線照射槽の内壁の内部のエリアＡ３などである。 （もっと読む）