【課題】結晶性の高い良質なグラフェンを、極力低い温度で効率よく成長させる方法を提供する。
【解決手段】グラフェンの成長に先立ち、前処理を行う。前処理は、排気装置９９を作動させて処理容器１内を減圧排気しながら、シャワーリング５７から処理容器１内に希ガスを導入するとともに、シャワープレート５９から処理容器１内に還元性ガス及び窒素含有ガスをそれぞれ導入する。この状態で、マイクロ波発生部３５で発生したマイクロ波を、導波管４７及び同軸導波管４９を介して所定のモードで平面アンテナ３３に導き、平面アンテナ３３のマイクロ波放射孔３３ａ、透過板３９を介して処理容器１内に導入する。このマイクロ波により、還元性ガス及び窒素含有ガスをプラズマ化し、ウエハＷ表面の触媒金属層に活性化処理を施す。 （もっと読む）

【課題】量産に適したグラフェンの製造方法及びグラフェン製造装置を提供すること
【解決手段】、本技術のグラフェンの製造方法は、導電性を有するフレキシブルな成膜対象物の表面に炭素源物質を接触させる。グラフェンは、成膜対象物に電流を印加して成膜対象物をグラフェンの生成温度以上に加熱することによって成膜対象物の表面において前記炭素源物質から生成される。 （もっと読む）

【課題】トンネル炉内に異常が発生した場合に、炉内の賦活反応生成物、未反応物を安全に炉外に排出することができ、また、炉壁等に付着したアルカリ化合物を効率良く除去し、安定してアルカリ賦活炭を製造することができるアルカリ賦活炭の製造装置を提供する。
【解決手段】炭素材をアルカリ金属化合物で賦活することによりアルカリ賦活炭を製造するアルカリ賦活炭の製造装置において、加熱手段と不活性ガス導入路１２ａを備え、原料仕込み後の容器が通過する間に脱水および上記炭素材の賦活反応が行われるトンネル炉３と、上記トンネル炉３内に第二導入路１２ｂを通じて水蒸気を導入する三方弁１４、水蒸気導入路１５と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】触媒層上に秀麗な配向ＣＮＴを合成でき、ＣＮＴを分離回収した後、基板層の再利用を実現することを目的とする。
【解決手段】本発明のＣＮＴ製造用の四層型触媒基体１は、基板層２の上に耐熱性樹脂層４を形成し、前記耐熱性樹脂層４の上にＡｌ層６を形成し、前記Ａｌ層６の上にＣＮＴ合成用の触媒層８を形成している。また、前記基板層２がベルト状に形成された基板ベルトであり、前記基板ベルトの上に前記耐熱性樹脂層４、前記Ａｌ層６及び前記触媒層８を積層して四層型触媒基体ベルトも提供できる。４００℃以上、好適には５００℃以上の耐熱温度を有した耐熱性樹脂層４を形成して、ＣＮＴ合成時に耐熱性樹脂層４が基板層２と樹脂層８との反応を防ぎ、触媒層８上に配向ＣＮＴを合成でき、ＣＮＴを分離回収しても基板層２の表面は合成前の状態であり、基板ベルトを含む基板層２の再利用を実現できる。 （もっと読む）

【課題】ＣＮＭ等の難溶解性粉体の表面修飾処理を高速化して、大量の表面修飾処理を低コストで行うことのできる粉体可溶化方法及びその粉体可溶化方法に基づき粉体可溶化処理を行える粉体可溶化装置を提供することである。
【解決手段】攪拌部材４の終端部５を液中電極１４の対向電極として、両電極間に高電圧高周波パルス発生装置１７の合成電圧Ｖが印加される。合成電圧Ｖの印加により、水面３２近傍のＣＮＴあるいは水面３２に浮遊するＣＮＴ１１が粉体電極となって、液中電極１４との間で液中プラズマ放電２７を発生させる。液中プラズマ放電２７により液中電極１４の周囲が沸騰状態に達し、Ｈ^＋やＯＨ⁻等のラジカルを含む活性水蒸気２８が生ずる。活性水蒸気２８及び液中プラズマに接触することにより、浮遊ＣＮＴ粉体はＣＮＴ周囲に水和層が形成され親水化される。 （もっと読む）

【課題】純度および安定性の高い高機能のナノカーボンを低コストで効率よく量産することができることを課題とする。
【解決手段】内部を還元雰囲気に保持しうる反応容器１と、この反応容器内に設けられ，ローラにより駆動するとともに表面にナノカーボンが生成される無端状で帯状のステンレス板３と、ステンレス板を加熱するヒータ４と、ステンレス板表面に触媒粉を供給する触媒供給手段７と、反応容器内に炭化水素を供給する炭化水素供給手段５と、反応容器内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段６と、ステンレス板に生成されたナノカーボンを回収する掻き取り回収手段８と、反応容器内のガスを排気するガス排気手段１０とを具備することを特徴とするナノカーボン製造装置。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの発生を抑えつつ、カーボンナノチューブの成長速度の低下を抑制できるカーボンナノチューブの形成方法、及びカーボンナノチューブの形成装置を提供する。
【解決手段】アセチレンガスを熱分解してカーボンナノチューブ３３を形成する際に、コバルトから構成される触媒金属層３２に対して、窒素プラズマによる窒化処理を行い、窒化金属層３２Ｎを形成する。次いで、アセチレンガスを熱分解する温度以下まで窒化金属層３２Ｎを加熱して窒化触媒金属を微粒子化して微粒子膜３２Ｐを形成する。その後、微粒子膜３２Ｐをアセチレンガスが熱分解される温度にまで昇温して且つ該温度に維持することによって、アセチレンガスを熱分解して微粒子層３２Ｐ上にカーボンナノチューブ３３を形成する。 （もっと読む）

【課題】大量・低コスト・高品質のナノカーボンを製造する方法及び装置を提供すること。
【解決手段】触媒支援化学的気相成長法を用い、４００〜１０００℃に加熱した触媒活性化ゾーン２１ａとナノカーボン合成ゾーン２１ｂと冷却ゾーン２１ｃを有する電気炉２１内に設置した反応管としてのスクリューコンベア２２に、多孔質複合金属酸化物と炭化水素ガスを触媒の供給用ホッパー２５から連続的に供給し、合成されたナノカーボンを連続的に排出ホッパー２６から取り出す。本発明によれば、大量・低コスト・高品質のナノカーボンの製造方法及び製造装置が得られる。さらに、ナノカーボン合成ゾーンにて生成される水素ガスを燃料電池２８ｂによる発電に有効利用することでエネルギーを回収することができるため、より低コストでナノカーボンを製造できるようになる。 （もっと読む）

【課題】カーボンナノチューブ配向集合体を連続的に製造する装置において、排気管からの排気流量を所定の範囲内に制御することによって、ＣＮＴ配向集合体の連続製造を安定的に保つことを可能にする。
【解決手段】炉内のガスを排気する排気管１４ａを備えるカーボンナノチューブ配向集合体の製造装置１００において、
排気管１４ａ内の排気流量を測定する排気流量測定手段１４と、排気流量測定手段１４が測定した結果に基づいて、排気管１４ａ内の排気流量を可変する排気流量可変手段１５とを備える排気流量安定化部２０を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、同位体をドープしたナノ材料、その製造方法及び該同位体をドープしたナノ材料を利用する標識方法に関し、特に同位体をドープしたナノ構造体、その製造方法及び該同位体をドープしたナノ構造体を利用する標識方法に関する。
【解決手段】同位体をドープしたナノ構造体は、少なくとも一つの同位体をドープしたナノ構造体セグメントを含み、且つ該少なくとも一つの同位体をドープしたナノ構造体セグメントは少なくとも一種の元素の少なくとも両種の同位体からなり、該少なくとも両種の同位体は所定の質量比で均一に分散する。また、本発明は、前記同位体をドープしたナノ材料の製造方法及び該同位体をドープしたナノ材料を利用する標識方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】下層の触媒金属を微粒にかつ高密度に形成して低欠陥で高密度のカーボンナノチューブ膜を形成することができるカーボンナノチューブ膜の成膜方法を提供すること。
【解決手段】表面に金属触媒層が形成された被処理基板を準備し（工程１）、金属触媒層に酸素プラズマ処理を施し（工程２）、酸素プラズマ処理後の金属触媒層に水素含有プラズマ処理を施して、金属触媒層の表面を活性化し（工程３）、その後、金属触媒層の上にプラズマＣＶＤによりカーボンナノチューブ膜を成膜する（工程５）。 （もっと読む）

本発明は、パルスパワーによって材料を再利用する方法であって、パルスパワーによって、周囲液体及び再利用される材料を収納する反応器内の少なくとも２つの電極間で、一連の電気放電が生成される、方法において、一連の上記電気放電は、エネルギー、該電気放電の周波数の結果として、並びに電極間の電圧及びスイッチング時間の結果として、反応器内で処理される材料にわたって伝搬する機械的衝撃波を生成することと、該方法の実施中に、上記周囲液体は、連続的な冷却システム又はカルーセル冷却システムによって冷却されることと、を特徴とし、該方法は、ナノ粒子の生成を可能にする、方法に関する。
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【課題】炭素含有物をコンテナ内に収納し、コンテナ搬送部により前側準備部から組成分離部、冷却部を経て後側準備部へと搬送経路上を搬送し、前側準備部及び後側準備部は組成分離部の組成分離室内の厳格な温度管理のために設けられ、組成分離部の各組成分離室において間接加熱され、各組成分離室は窒素置換密閉雰囲気に作製されているので炭素含有物は燃焼を伴わずに炭素化して工業用の炭素原料が製造される。
【解決手段】コンテナＷを搬送可能なコンテナ搬送部Ａと、コンテナ搬送部の搬送経路Ｒの前側位置に配置された前側準備部Ｂと、前側準備部の後側位置に配置された組成分離部Ｃと、組成分離部の後側位置に配置された冷却部Ｄと、冷却部の後側位置に配置された後側準備部Ｅと、後側準備部の搬送経路上を搬送されてくるコンテナ内の炭素素材及び各種素材を分別回収する分別回収部Ｆとを備えてなる。 （もっと読む）

繊維材料上のカーボン・ナノチューブ（ＣＮＴ）合成システムは、カーボン・ナノチューブが成長するバリア・コーティングを受入れるために前記繊維材料の表面を改質するのに適用された表面処理システム、前記処理された繊維材料表面に前記バリア・コーティングを塗布するのに適用された、前記表面処理システム下流側のバリア・コーティング塗布システム、及び、ＣＮＴ成長触媒ナノ粒子の受入れを強化するため前記塗布されたバリア・コーティングを部分的に硬化するための、前記バリア・コーティング塗布システム下流側のバリア・コーティング硬化システムを含んで構成される。
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【課題】原料炭素成分を含む混合物を触媒粒子に接触させる方法において、カーボンナノチューブの長尺化を図り易いカーボンナノチューブの製造方法を提供する。
【解決手段】原料炭素成分を含む混合物を触媒粒子５５に接触させて、混合物中の原料炭素成分により触媒粒子５５からカーボンナノチューブ５７を成長させる製造方法であり、混合物中の原料炭素成分以外の成分や触媒活性を低下する成分を固定化するための固定化材料４１に混合物を接触させることで、混合物中の原料炭素成分以外の成分や活性低下成分を減少させて原料炭素成分の存在割合を増加させた後、カーボンナノチューブ５７を成長させる。 （もっと読む）

本発明は、下記の工程：ａ） 金属凝集体(３)を金属酸化物基体(２)上に形成させる工程；および、ｂ） ナノ構造体(１)を、金属凝集体で被覆した金属酸化物基体(２)上で気相成長させる工程を含み、上記基体を１種以上のプレカーサーガスの存在下に加熱し、ナノ構造体(１)の気相成長を金属凝集体(３)によって触媒する、ナノ構造体(１)の金属酸化物基体(２)上での製造方法に関する。本発明によれば、上記金属凝集体の形成工程ａ）は、上記金属酸化物基体の表面を還元性プラズマ処理によって還元して、上記基体(２)上に金属凝集体(３)の液滴を形成させる操作を含み；上記金属凝集体形成工程ａ）および上記ナノ構造体成長工程ｂ）を単一の共用プラズマ反応器チャンバー(４)内で連続して実施し、上記ナノ構造体成長を金属凝集体(３)の液滴上で直接実施する。 （もっと読む）

【課題】炭素材料を加熱処理する熱処理装置において生産性が高く維持しかつ搬送経路における炭素材料の詰まりを防止する。
【解決手段】繊維状あるいは粉体状の炭素材料を加熱処理する熱処理装置であって、上記炭素材料を収容すると共に導電材料からなる坩堝４と、該坩堝４に収容された上記炭素材料を圧縮する圧縮手段２５と、該圧縮された上記炭素材料に対して上記坩堝４を介して通電することにより加熱処理する通電手段２５とを備える。 （もっと読む）

【課題】高品質なカーボンナノチューブを高いスループットにて形成することができるカーボンナノチューブ形成技術を提供する。
【解決手段】真空チャンバ１０にはラジカルビーム照射部５０およびナノ粒子ビーム照射部７０が設けられている。基板Ｗは基板保持部３０によって保持されている。ナノ粒子ビーム照射部７０から触媒となる金属のナノ粒子のビームを基板Ｗに照射して触媒形成を行う。その後、ラジカルビーム照射部５０にて原料ガスからプラズマを発生させ、生成された中性ラジカル種のビームを基板Ｗに照射してカーボンナノチューブを成長させる。ラジカルビーム照射部５０にはアパーチャ５９が設けられているため、プラズマ発生に伴う圧力が高かったとしても、真空チャンバ１０内を１０^-5Torr〜１０^-3Torrの比較的高い真空度に維持し続けることができる。 （もっと読む）

【課題】高効率にてカーボンナノチューブを製造することができるカーボンナノチューブの製造装置及び製造方法を提供する。
【解決手段】配管１４から容器１３内に高圧ガスを供給し、粉末１５を高圧ガスと共にノズル１１から筒状体１の周面に吹き付けて、筒状体１の周面に厚さ５μｍのＳｉＣ膜を形成した（ＳｉＣ膜生成工程）。筒状体１を回転させて、レーザー装置２１からレーザーＣをＳｉＣ膜に照射させ、Ｓｉを分解除去して、筒状体１の表面にカーボンナノチューブを生成させた（生成工程）。筒状体１を回転させ、該筒状体１の表面に形成されたカーボンナノチューブを除去手段３０によって除去した（除去工程）。これらＳｉＣ膜生成工程、生成工程及び除去工程を１サイクルとして、当該サイクルを繰り返し行った。 （もっと読む）