【課題】優れたラインエッジラフネス（ＬＥＲ）を有するレジストパターンを得ることができるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】式（ａ）で表される塩、酸発生剤及び樹脂を含有するレジスト組成物。


［式（ａ）中、Ｒ^１及びＲ^２は、互いに独立に、炭素数１〜１２のアルキル基又は炭素数３〜１２のシクロアルキル基を表す。Ｚ'^＋は、有機カチオンを表す。］ （もっと読む）

【課題】得られるパターンのマスクエラーエンハンスメントファクターが良好なレジスト組成物を提供する。
【解決手段】樹脂、酸発生剤及び式（Ｉ）で表される化合物を含むレジスト組成物。［式（Ｉ）中、Ｒ¹は、炭素数２〜１２のアルキル基又は炭素数７〜１２のアラルキル基を表し、Ｒ^２及びＲ^３は、それぞれ独立に、水素原子、又は炭素数１〜１２のアルキル基を表すか、或いはＲ^１及びＲ^２は互いに結合して炭素数３〜３６の環を形成する。Ｒ^４、Ｒ^５及びＲ^６は、それぞれ独立に、水素原子、炭素数１〜６のアルキル基、炭素数３〜１２の飽和環状炭化水素基、炭素数６〜１２の芳香族炭化水素基又は炭素数５〜９の芳香族複素環基を表すか、或いはＲ^４及びＲ^５は互いに結合して炭素数５〜６の複素環を形成していてもよい。Ａ^１は、単結合或いは炭素数１又は２のアルキレン基を表す。］
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【課題】ＲＮＡを、配列特異的、かつ部位特異的に、迅速に修飾するための、新規な化合物の提供。
【解決手段】下記一般式で示される化合物。


上記の化合物と、６-チオグアノシンを含むオリゴヌクレオチドとを反応させて官能基転移核酸を製造し、得られた官能基転移核酸とＲＮＡとを反応させ、機能分子の導入されたＲＮＡを製造する。 （もっと読む）

【課題】高い反応性を有する新規な酸素架橋型超原子価ヨウ素化合物、これを含有する酸化剤を提供する。
【解決手段】（１）一般式［１］


（式中、ｎ個のＲ^１及びｍ個のＲ^２は夫々独立してハロゲン原子等を表し、２個のＸ_１は夫々独立してハロゲン原子等を表し、ｎ及びｍは夫々独立して０〜４の整数を表す。）で示される酸素架橋型超原子価ヨウ素化合物。（２）当該化合物を含んでなる酸化剤。（３）当該化合物を酸化剤として用いて行う酸化方法。 （もっと読む）

【課題】目視観察によってカラムクロマトグラフィーでの分離が容易な光学活性アズレン誘導体からなる新規な光学分割剤、並びに当該光学分割剤を用いる光学活性アルコールの新規な製造方法を提供する。
【解決手段】下式［１］で示される光学分割剤、並びに当該光学分割剤を用いて、アルコールの光学異性体混合物を光学分割することを特徴とする、光学活性アルコールの製造方法。


（式中、Ｒ^１はハロゲン原子、ヒドロキシル基又は炭素数１〜６のアルコキシ基を表し、Ｒ^２は炭素数２〜１０のアルケニル基、炭素数２〜１０のアルキニル基又は置換基を有していてもよい炭素数６〜１０のアリール基等を表し、Ｒ^３は炭素数１〜６のアルキル基を表し、Ｒ^４は水素原子等を表し、Ｒ^５は炭素数１〜６のアルキル基等を表し、ｎは０〜５の整数を表す。） （もっと読む）

【課題】一液若しくはフィルム状態での安定性と、絶縁信頼性を得るのに十分な硬化性とを両立する硬化システムの実現を可能とする光重合性化合物及び光アミン発生剤、並びに、感光性樹脂組成物及び感光性フィルムを提供すること。
【解決手段】光重合性化合物は、式（１）または（２）で表される化合物である。


［式（１）中、Ｒ^１及びＲ^４は、エチレン性不飽和結合を有する光重合性基を示し、Ｒ^２は、水素原子又は炭素数１〜２０の有機基を示し、Ｒ^３は、炭素数１〜２０の有機基を示し、ｎは、１〜５の整数を示す。］
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【課題】低融点の新規なイオン液体、特に低融点でかつ水溶性がきわめて高い新規な親水性イオン液体を提供する。
【解決手段】下記式（I）：
【化１】


（式中、R¹、R²、R³、R⁴はそれぞれ独立に炭素数1〜5の直鎖もしくは分岐のアルキル基、または−R⁵−Aで示される水溶性官能基（R⁵は炭素数1〜10の直鎖もしくは分岐のアルキレン基を示し、Aは水酸基またはカルボキシル基を示す。）を示し、R¹、R²、R³、R⁴のうち1〜3個が水溶性官能基である。水溶性官能基が2個以上の場合、それぞれのAは同一である。X^-はアニオンを示す。）で表される親水性イオン液体。 （もっと読む）

【課題】ラフネスがより低減され、良好な形状のレジストパターンを形成できるポジ型レジスト組成物及びレジストパターン形成方法の提供。
【解決手段】α位の炭素原子に水素原子以外の原子又は置換基が結合していてもよいアクリル酸エステルから誘導される、酸解離性溶解抑制基を含む構成単位（ａ１）及び−ＳＯ_２−含有環式基を含む構成単位（ａ０）を有する樹脂成分（Ａ１）と、一般式（ｃ１）で表される化合物（Ｃ１）と、露光により酸を発生する酸発生剤成分（Ｂ）とを含有するポジ型レジスト組成物。一般式（ｃ１）中、Ｒは水素原子、炭素数１〜５のアルキル基又は炭素数１〜５のハロゲン化アルキル基；Ｙ^１は２価の脂肪族炭化水素基；Ｒ^１は水素原子、フッ素原子、アルキル基又はフッ素化アルキル基である。ｐは１〜１０の整数、Ａ^＋は有機カチオンを表す。
［化１］
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【課題】検量線を作成するフッ素、塩素、臭素、ヨウ素を含む４種のハロゲン及び硫黄分析用の標準物質の収率を向上させて、また、氷冷下での滴下ではなく室温の環境下で合成することで生産環境を向上させて生産性を高めることで、工業生産が容易な上記４種のハロゲン及び硫黄分析用の標準物質及びその製造方法を提供することである。
【解決手段】４種のハロゲン及び硫黄分析用の標準物質は、標準物質が２−フッ化−３−塩化−４−臭化アニリン又は３−塩化−４−ヨウ化アニリンと、ハロゲン化ベンゼンスルホニルクロリド化合物の群から選ばれた一種の化合物との縮合反応によって得られる化１〜化４の何れか一つの構造式を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【解決手段】ジアルキルジグリコールアミド酸を抽出剤成分とする希土類金属抽出剤を、ジグリコール酸Ｘｍｏｌ、エステル化剤Ｙｍｏｌ中、モル比Ｙ／Ｘを２．５以上、反応温度７０℃以上、反応時間１時間以上で反応させ、減圧濃縮することで、未反応物及び反応残分を除去して反応中間生成物を得、更に、反応溶媒として、希土類金属の溶媒抽出における有機相を形成する有機溶媒であり、かつジアルキルジグリコールアミド酸を溶解可能である無極性又は低極性溶媒を加え、反応中間生成物とジアルキルアミンＺｍｏｌとを、モル比Ｚ／Ｘを０．９以上として反応させることにより合成する。
【効果】軽希土類元素の分離に優れたジアルキルジグリコール酸を、高価な無水ジグリコール酸及び有害なジクロロメタンを用いることなく、低コストで、効率よく、かつ高収率で合成できるため、工業的利用価値が高い。 （もっと読む）

【課題】本発明は、化学蒸着用の有機ルテニウム化合物として良好な成膜特性を備え、蒸気圧も高いものであって、さらに反応ガスに水素を用いた場合にも容易に成膜可能な有機ルテニウム化合物の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、異性体１〜３の異性体をとりうるジカルボニル−ビス（５−メチル−２，４−ヘキサンジケトナト）ルテニウム（II）において、異性体２の含有率が３０質量％以上である有機ルテニウム化合物に関する。 （もっと読む）

【課題】優れた解像度及びラインエッジラフネスを有するパターンを形成することができるレジスト組成物の酸発生剤用の塩を提供する。
【解決手段】トリアリールスルホニウムカチオンとα，α−ジフルオロアダマンチルオキシカルボニルメタンスルホン酸アニオンなどからなる塩（Ｉ）。


フォトレジスト組成物は、特に、化学増幅型フォトレジスト組成物に有用であり、半導体の微細加工、液晶、サーマルヘッド等の回路基板の製造、さらにその他のフォトファブリケーション工程等、広範な用途に好適に利用することができる。特に、ＡｒＦやＫｒＦなどのエキシマレーザリソグラフィならびにＡｒＦ液浸露光リソグラフィ、ＥＢ露光リソグラフィ、ＥＵＶ露光リソグラフィに好適な化学増幅型フォトレジスト組成として用いることができる。また、液浸露光のほか、ドライ露光などにも用いることができる。 （もっと読む）

【課題】広い露光マージン、低いマスクエラーファクターでパターンを形成することができ、優れた解像度及びラインエッジラフネスを有するパターンを得ることができるレジスト組成物を提供することを目的とする。
【解決手段】酸に不安定な基を有し、かつアルカリ水溶液に不溶又は難溶であり、酸の作用によりアルカリ水溶液で溶解し得る樹脂と、酸発生剤と、式（Ｘ）で表される化合物及び式（Ｙ）で表される化合物からなる群から選ばれる少なくとも１種とを含有するレジスト組成物。


［式中、Ｒ^x1は、水素原子、フッ素原子、飽和環状炭化水素基等；Ｘ^x１は、単結合又はアルカンジイル基等；Ｘ^x２は、−Ｏ−、−Ｓ−等；Ｒ^x２、Ｒ^x３及びＲ^x４は、それぞれ独立に、水素原子、アルキル基又は芳香族炭化水素基等を表す。］ （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、水に可溶な化合物であって、光開始重合剤としても使用可能である新規な化合物を提供することである。
【解決手段】本発明は、下記一般式（１）で表される化合物又はその塩に関する。



（式中、Ｒ^１は、水酸基で置換されていてもよい炭素数１〜６のアルキレン基を示す。Ｒ^２及びＲ^３は、それぞれ独立に炭素数１〜６のアルキル基を示す。Ｘは、スルホ基、ホスホン酸基、カルボキシル基、又はアンモニウム基を示す。） （もっと読む）

【課題】光硬化に好適な、優れた硬化速度と保存安定性を有する光硬化型樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】アニオン硬化型樹脂（ａ）、光塩基発生剤（ｂ）、及びｐＫｂが３．８を超える値を持つ第２塩基性物質（ｃ）を含有する、光硬化型樹脂組成物。 （もっと読む）

【課題】光酸発生剤、この製造方法、及びこれを含むレジスト組成物を提供する。
【解決手段】光酸発生剤は下記化学式で表される化合物である。Ｘ、Ｙ、Ｑ₁、Ｑ₂、ｎ、及びＡ＋の定義は詳細な説明に記載した通りである。光酸発生剤は、露光時に発生する酸の拡散速度が遅く、拡散距離が短く、適切な酸度を有するため、ＬＷＲ特性を改善でき、工程に使用する純水などの溶媒への溶出を制御することができる。
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【課題】優れた解像度及びラインエッジラフネスを有するパターンを形成することができるレジスト組成物の酸発生剤として有用な塩を提供する。
【解決手段】式（Ｉ）で表される塩。［Ｗ^１は炭素数３〜３６の飽和炭化水素環を表し、該飽和炭化水素環に含まれる水素原子は炭素数１〜６のアルキル基で置換されていてもよく、該飽和炭化水素環に含まれる−ＣＨ_２−は−Ｏ−、−ＳＯ_２−又は−ＣＯ−で置き換わっていてもよい。Ｌ^１は単結合又は２価の炭素数１〜１７の飽和炭化水素基を表し、該２価の飽和炭化水素基に含まれる水素原子はフッ素原子で置換されていてもよく、該２価の飽和炭化水素基に含まれる−ＣＨ_２−は−Ｏ−又は−ＣＯ−で置き換わっていてもよい。Ｒ¹及びＲ²はフッ素原子を有してもよい炭素数１〜６のアルキル基を表す。Ｒ^３及びＲ^４はフッ素原子又は炭素数１〜６のペルフルオロアルキル基を表す。Ｚ^＋は有機カチオンを表す。］
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【課題】 医薬原料として重要な光学活性３−アミノピペリジン誘導体を安価で入手容易な原料を使用し、工業的に適した方法で製造する方法を提供する。
【解決手段】
光学活性１−フェニルエチルアミンを光学分割剤として用い、含水溶媒中でニペコチン酸誘導体のラセミ混合物を光学分割して光学活性ニペコチン酸誘導体を製造する工程を有する一般式
【化１】


（＊は当該炭素原子が光学活性中心であることを示す）で表される光学活性３−アミノピペリジンの製造方法。 （もっと読む）

【課題】容易に調製でき、かつ様々な経路により様々な活性薬剤を送達できる簡単で安価な化合物及び組成物を提供する。
【解決手段】活性薬剤の伝達のための化合物および組成物及び、投与方法および調製方法。これらの組成物は、送達剤化合物を含まない活性薬剤の投与と比べて、活性薬剤の生物学的利用能を増大させるか改善して、選択された生物学的系に活性薬剤を送達する。代表的化合物には例えば３−（５−クロロ−２−ヒドロキシベンズアミド）プロパン酸や３−（２−ヒドロキシ−３，５−ジイソプロピルベンゾイルアミノ）酪酸がある。 （もっと読む）

【課題】光酸発生剤化合物（ＰＡＧ）の合成のための新規の方法、新規の光酸発生剤化合物およびこのＰＡＧを含むフォトレジスト組成物が提供する。
【解決手段】１）ＳＯ_３⁻部分；２）１個以上のフッ素化炭素；および３）エステルケト基によって直接的にまたは非直接的に置換されている１個以上のフッ素化炭素を含む、新規な光酸発生剤化合物。好ましくは、下記式（Ｉ）の構造を含む光酸発生剤化合物。


（Ｒは水素、または非水素置換基であり；ＸおよびＹはそれぞれ独立して水素もしくは非水素置換基であり；ｐは０もしくは正の整数であり；ｍは正の整数であり；Ｍ＋は対イオンである。） （もっと読む）