【課題】光電変換層に結晶質シリコンｉ層を備える高効率の光電変換装置を得る。
【解決手段】基板１上に、結晶質シリコンを主とするｉ層４２を備える光電変換層３を形成する工程を含む光電変換装置１００の製造方法であって、前記ｉ層４２のラマン比に応じて、前記ｉ層４２中の不純物の濃度の上限値を決定し、該決定された不純物の濃度の上限値以下の前記ｉ層４２を製膜する。または、前記ｉ層４２のラマン比に応じて、製膜雰囲気中の不純物ガスの濃度の上限値を決定し、該決定された上限値以下となるように、前記不純物ガスの濃度を制御して前記ｉ層４２を製膜する。 （もっと読む）

【課題】高い変換効率を発現できる光電変換装置を提供する。
【解決手段】少なくとも１つ以上の光電変換ユニットを有する光電変換装置であって、前記１つ以上の光電変換ユニットのうち、光入射側に最も近くに配置された光電変換ユニットに対して光入射側に希土類元素を含む第１波長変換ユニットを配置し、あるいは前記１つ以上の光電変換ユニットのうち、光入射側から最も遠くに配置された光電変換ユニットに対して光入射側の反対側に希土類元素を含む第２波長変換ユニットを配置し、波長を光電変換に有効な波長に変換する機能を有することを特徴とする光電変換装置。 （もっと読む）

【課題】レーザスクライブ法による太陽電池セル分離時における残余物質に起因した出力特性の低下が抑制された高品質の薄膜太陽電池およびその製造方法を得ること。
【解決手段】透光性絶縁基板１０上に、第１電極層１２と光電変換層１３と第２電極層１４とがこの順で積層されてなり、透光性絶縁基板１０よりも上部の層１２、１３、１４が分離溝２０、２１、２２により短冊状に分割された複数の薄膜太陽電池セルが配設された薄膜太陽電池の製造方法であって、遮光性材料からなる線形状のマスク層１１を分離溝２０、２１、２２により分割される層よりも下層または同層に形成し、マスク層１１を含む領域に透光性絶縁基板１０側からレーザ光を照射し、透光性絶縁基板１０の面内方向における一部分がマスク層１１によってマスクされることにより成形されたレーザ光により透光性絶縁基板１０よりも上部の層に分離溝を形成する。 （もっと読む）

【課題】光の有効利用が可能な、光電変換効率に優れた薄膜太陽電池およびその製造方法を得ること。
【解決手段】透光性基板１上に、透明導電膜からなる第１電極層２と、光電変換を行う第１光電変換層３と、中間層４と、光電変換を行う第２光電変換層５と、第２電極層７と、をこの順で有する薄膜太陽電池であって、前記第１光電変換層３の光入射側に複数の凹凸からなる第１のテクスチャ構造２ａが形成され、前記第２光電変換層５の光入射側であって前記第１光電変換層３と前記第２光電変換層５との間に複数の凹凸からなる第２のテクスチャ構造４ａが形成され、前記第１のテクスチャ構造２ａにおける前記凹凸の形成間隔Ｐ１が前記第２光電変換層５で光電変換に用いる光の波長よりも短く、前記第２のテクスチャ構造４ａにおける前記凹凸の形成間隔Ｐ２が前記第１のテクスチャ構造２ａにおける前記凹凸の形成間隔Ｐ１よりも長い。 （もっと読む）

【課題】光電変換装置における光電変換効率を向上させる。
【解決手段】ｐ型のドーパントを含むｐ型層４０、発電層となる微結晶シリコン層であるｉ型層４２及びｎ型のドーパントを含むｎ型層４４を積層した光電変換ユニットを含む光電変換装置であって、ｐ型層４０は、微結晶シリコン層である第１のｐ型層４０ａと、微結晶シリコンｐ型層４０ａとｉ型層４２との間に配置されたアモルファスシリコンｐ型層及びアモルファス炭化シリコンｐ型層の少なくとも一方を含む第２のｐ型層４０ｂと、の積層構造を有するものとする。第２のｐ型層４０ｂは、ｉ型層４２側に酸化層を備える。 （もっと読む）

【課題】液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス表示装置等に用いられ、特に、太陽電池に用いられるのに好適な透明導電膜を提供するとともに、この透明導電膜を用いた太陽電池さらにはこの透明導電膜を形成するのに適したスパッタリングターゲットを提供する。
【解決手段】金属成分元素の含有割合が、原子比で、Ａｌ：０．７〜７％、Ｍｇ：１０〜２５％、Ｇａ：０．０１５〜０．０８５％、残部ＺｎのＡｌ−Ｍｇ−Ｇａ−Ｚｎ系酸化物からなり、耐湿性に優れた透明導電膜。 （もっと読む）

【課題】製膜に寄与しなかったガスが基板周辺へ向かう排気ガス流れを低減して放電電極間スリットから排気する排気ガス流量を増加させることにより、製膜条件の分布による基板周辺の膜質低下を抑制した真空処理装置を提供する。
【解決手段】放電電極６から製膜ガスを噴出し、放電電極６のプラズマ雰囲気で製膜ガスの分解及びラジカル生成を行って基板に真空プラズマ処理を行う真空処理装置１Ａが、基板テーブルと放電電極６との面間距離を狭めるガスブロックバリア材３０を基板から所定の距離が離れた前記基板テーブルの周縁部に取り付け、プラズマ雰囲気から基板の端部を経て防着板７の背面へ、または真空排気部へ流出するガス流れの流路面間幅を狭めて、ガス流れ流路の圧力損失を増加させるガスブロックバリア構造部を備えている。 （もっと読む）

【課題】コンタクト抵抗を低減することによって光電変換素子構造の変換効率を改善することである。
【解決手段】発電層と電極との間に、仕事関数の低い下地金属層を設けることにより変換効率を向上させる。 （もっと読む）

【課題】保護シートは、耐湿熱性、ガスバリア性に優れており、湿熱環境下における層間接着剤の劣化が少なく耐久性に優れた太陽電池モジュール用保護シートの提供。
【解決手段】ポリエチレンナフタレート製の基材シートの一方又は両方の面側に熱可塑性樹脂層が積層されてなることを特徴とする太陽電池モジュール用保護シート。この太陽電池モジュール用保護シートが接着されてなる太陽電池モジュール。 （もっと読む）

【課題】多接合型薄膜太陽電池の特性を改善する。
【解決手段】少なくとも２層以上の光電変換層３，５を含む多接合型太陽電池において、隣り合う光電変換層どうしの間に形成された積層領域４に、該積層領域の平面方向に沿って島状に分布する、表面を酸化させた金属粒からなる中間反射構造体８を形成する。 （もっと読む）

【課題】生産性や製造コスト面に優れ、かつ、高スループットを実現することができるとともに、薄膜太陽電池としての変換効率の低下を防ぐことができる薄膜太陽電池製造装置を提供する。
【解決手段】成膜室１１と、仕込・取出室と、基板脱着室と、基板を被成膜面が重力方向と略並行を成すように保持するキャリアと、を備え、仕込・取出室と成膜室との間で、複数のキャリアが並列に搬入・搬出可能に構成され、成膜室で、複数のキャリアに保持された複数の基板に同時に成膜を行うことができる薄膜太陽電池製造装置であって、成膜室内に付着している副生成物に対して窒素ガスを噴射可能な複数の窒素ガス噴射機構１７０を有する供給管１５１と、供給管に窒素ガスを供給する窒素ガス供給源１５８と、が設けられ、窒素ガス噴射機構には、供給管に対して回転しながら窒素ガスを噴射する噴射口が形成されている。 （もっと読む）

【課題】基板の表面にテクスチャが形成される場合でも、透明導電膜など、当該表面に形成される膜厚をより均一にすることができる成膜方法、及び太陽電池の製造方法を提供する。
【解決手段】幾何学的な凹凸が形成された基板２００に蒸着源２０から供給される蒸着材料２５を蒸着させ、基板２００の表面に透明導導電膜を形成する。蒸着源２０の直上寄りに位置する基板２００の端部２００ａと蒸着材料供給部２１との距離ｄ１、及び基板２００の端部２００ｂと蒸着材料供給部２１との距離ｄ２が略同一となるように、基板２００を傾斜させた状態に位置させる。 （もっと読む）

【課題】製膜レートを下げることなく、膜全体に亘って膜質が均一なアモルファスシリコン膜を形成することができるＣＶＤ装置を提供する。
【解決手段】チャンバと、前記チャンバ内に設けられ、基板が載置されるアノード電極と、前記アノード電極に対向する位置に配置されるカソード電極を有するカソードユニットと、原料ガスが供給されるガス供給部と、前記チャンバ内のガスを排気するガス排気部とを備えており、前記カソードユニットは、前記カソード電極に前記ガス供給部と連通するガス供給孔が複数一方向に沿って配列されて形成されており、前記ガス排気部と連通するガス排気溝が前記カソード電極に隣接する位置にガス供給孔の配列方向に沿って連続的に開口して形成されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】排気配管の温度変化によりクリーニング完了時を判断することにより、より適切なクリーニングを行なうことができる、プラズマＣＶＤ装置のクリーニング方法およびプラズマＣＶＤ装置を提供する。
【解決手段】成膜室２の内部に、エッチングガスを導入した状態においてプラズマを発生させる第１工程を備える。また、排気配管の温度が、クリーニング開始前における排気配管の温度から所定の温度以上上昇した後に、プラズマの発生を停止する第２工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】光の利用効率に優れ、良好な光電変換効率を有する光電変換装置を得ること。
【解決手段】透光性絶縁基板１と、前記透光性絶縁基板１上に形成され光透過性導電材料からなる入射側透明電極層２と、前記入射側透明電極層２上に形成され光電変換を行う光電変換層３と、前記光電変換層３上に形成された裏面側電極８と、を備え、前記裏面側電極８は、光電変換層３上において前記光電変換層３の面内方向において分散配置された光透過性導電粒子からなる光散乱体９と、前記光散乱体９を覆って前記光電変換層３上に形成された裏面金属電極１０とを有する。 （もっと読む）

【課題】高い光散乱性能を有する構造により光電変換層での光吸収量を増加させて光電変換効率に優れるとともに簡便且つ低コストで作製可能な薄膜太陽電池およびその製造方法を得ること。
【解決手段】透光性絶縁基板１上に順次形成された透明導電膜２と、半導体膜からなり光電変換を行う少なくとも一つの光電変換ユニット３と、裏面電極層６と、を備え、前記光電変換ユニット３は、異なる導電型を有する２つの導電型層３１、３３間に光電変換層３２が配置されてなり、前記導電型層３１、３３のうち少なくとも一つの層３３が空洞を有する。 （もっと読む）

【課題】 この発明は、装置の誤差を考慮し、太陽電池にかかる剪断応力を少なくして、配線部材の接続時のクラックの発生を抑制でき、歩留まりを向上させる太陽電池モジュールを提供する。
【解決手段】 表面側保護部材と、裏面側保護部材と、前記表面側保護部材と前記裏面側保護部材との間にタブによって互いに接続された複数の太陽電池とを備える太陽電池モジュールにおいて、太陽電池１は、受光面に配設され、タブと接続される複数の表面側フィンガー電極１１０と、裏面に配設され、タブと接続される複数の裏面側フィンガー電極１２０とを有し、表面側フィンガー電極１１０が存在する位置の裏面側のフィンガー電極１２０の相対する位置に、少なくともタブが接続される部分に表面側フィンガー電極に対して所定の角度を有する電極部分１２０ｂを備える。 （もっと読む）

【課題】漏れ電流が抑制されて変換効率が向上した光電変換装置を提供する。
【解決手段】基板１上に、２つの発電セル層９１，９２を備える光電変換層３と、前記２つの発電セル層９１，９２の間に介在する中間コンタクト層５とを含む光電変換装置１００であって、前記中間コンタクト層５が、Ｇａ_２Ｏ_３が添加されたＺｎＯを主成分とし、かつ、窒素原子を含み、水素プラズマ曝露後の前記中間コンタクト層５のシート抵抗が、１ｋΩ／□以上１００ｋΩ／□以下とされる。 （もっと読む）

【課題】光電変換モジュールの裏面電極の剥がれを抑制する。
【解決手段】基板２０上に、透明導電層２２、光電変換ユニット２４及び裏面電極２６を順に積層してなる光電変換素子と、光電変換素子で生成される電流を集電するための第１集電電極２８とを設ける。このとき、第１集電電極２８は、裏面電極２６とパネル端部の除去領域Ａの透明導電層２２とに跨って形成する。 （もっと読む）

【課題】光電変換モジュールを重ね合わせた際の全体の容量を小さくする。
【解決手段】光電変換モジュール２００の裏面に配置されたフレーム２６を備え、フレーム２６は、光電変換モジュール２００に固定される固定部２６ａと、固定部２６ａから光電変換モジュール２００の裏面に対して立ち上げられた端部２６ｂと、を備える形状とする。 （もっと読む）