Array ( [0] => 半導体の洗浄、乾燥 [1] => 洗浄、すすぎ、乾燥工程の態様 [2] => 単槽(室) [3] => 単一の工程 ) 洗浄、すすぎ、乾燥工程の態様 | 単槽(室) | 単一の工程
説明

Fターム[5F157AC12]の内容

半導体の洗浄、乾燥 (54,359) | 洗浄、すすぎ、乾燥工程の態様 (3,638) | 単槽(室) (1,331) | 単一の工程 (620)

Fターム[5F157AC12]の下位に属するFターム

洗浄 (517)
すすぎ (22)
乾燥 (59)

Fターム[5F157AC12]に分類される特許