【課題】可動子の位置や移動量を検出するセンサを設けることなく、推定する磁極位置に含まれる誤差のばらつきを低減する。
【解決手段】可動子又は固定子のいずれか一方が複数のコイルを有し、可動子又は固定子のいずれか他方が駆動用磁石を有しているリニアモータの駆動を制御するリニアモータ制御装置は、予め定められた磁極位置に対応する電圧を複数のコイルに印加して初期磁極位置を推定し、推定した初期磁極位置に基づいて、可動子を可動範囲内の予め定められた基準位置に移動させる制御を行い、可動子が基準位置に達したと判定した際に、基準位置に対応する磁極位置を現在の磁極位置にする制御部を備える。 （もっと読む）

【課題】位置補正用データの管理負担を伴うことなく搬送台車を高い精度で位置決めする。
【解決手段】リニアコンベアは、複数の電磁石ユニット２６を含み、電磁石ユニット２６毎に個別に通電制御が可能なリニアモータ固定子７と、永久磁石４４からなるリニアモータ可動子８及び位置補正用データが記憶されたＲＦタグ５５をそれぞれ備える複数のスライダ４と、各電磁石ユニット２６の通電制御を個別に行う複数のモータコントローラＣと、ＲＦタグ５５の情報を読み取るリーダライタ６０と、を備える。各モータコントローラＣはそれぞれ、リーダライタ６０が読み取った各スライダ４の位置補正用データを記憶しておき、スライダ４を目標位置で停止させる際には、対象となるスライダ４の位置補正用データを用いて目標停止位置を補正し、この補正後の目標停止位置に基づいて電磁石ユニット２６への通電制御を行う。 （もっと読む）

【課題】検出磁場がコイル磁場の干渉を受ける場合にも、制御可能な範囲が変化しない線形運動デバイスの制御装置を提供する。
【解決手段】線形運動デバイス１２の磁石１０が発生する磁場から出力信号ＳDを出力する磁場センサ１３、線形運動デバイス１２を移動すべき目標位置を指示する目標位置信号ＳHに基づくデバイス位置指令信号ＳEを補正して出力するデバイス位置指令信号生成回路１９、出力信号ＳD、デバイス位置指令信号ＳEの偏差を示す操作量信号ＳFを出力する差動増幅器１４、操作量信号ＳFに応じて線形運動デバイス１２を駆動する出力ドライバ１７、１８によって制御装置を構成する。デバイス位置指令信号生成回路１９は、デバイス位置指令信号ＳEをコイル電流によって発生する磁場に対応する補正値によって補正する。 （もっと読む）

【解決手段】 リニア搬送装置３は、複数の永久磁石１３ａからなる可動子１３と、複数のコイル１４ａからなる複数の固定子１４と、上記可動子１３の永久磁石１３ａの磁界を検出するホール素子１７とを備えている。
さらに、上記可動子１３における先頭の永久磁石１３ａよりも搬送方向後方に検出片１８を設けるとともに、当該検出片１８を検出するセンサ１９を上記可動子１３の搬送経路上に設ける。
上記ホール素子１７が検出した可動子１３の先頭の永久磁石１３ａの磁界から可動子１３の位置を認識すると、当該認識した可動子１３の位置を仮位置とし、さらに上記センサ１９が上記検出片１８を検出すると、当該センサ１９が検出片１８を検出した位置を可動子１３の実位置として上記仮位置から置き換え、当該可動子１３の実位置を基準に可動子１３の位置を認識する。
【効果】 可動子の位置を高精度に認識することができる。 （もっと読む）

【課題】３自由度以上の回転が可能な球面モータの動作制御を直感的に把握し易い状態で行う。
【解決手段】任意の方向に回転が可能な概球回転体の運動に係る信号出力に基づき、球面モータ３００のロータを動作させるために、球面モータ３００の界磁コイル３０９への通電パターンを生成する界磁コイル通電パターン生成部２０１と、前記通電パターンに基づく駆動信号を出力する駆動信号出力部２０２とを備える。 （もっと読む）

【課題】スイッチングリップルによる他の駆動回路への影響を低減したリニアモータ装置とリニアモータ装置を駆動する方法とを提供することを目的とする。
【解決手段】ライン状に整列され、順次電流駆動される複数のリニアモータと、複数のリニアモータコイルの各々に隣接して配置される複数のリップル相殺用リニアモータと、を備えリップル相殺用リニアモータは、隣接するリニアモータが電流駆動される場合に、リニアモータにより生成される磁界を低減させるように、リップル相殺用リニアモータのコイルにリップル成分のみを供給するリニアモータ装置とする。 （もっと読む）

【課題】電力変換器の切替え時の出力電圧振幅制限に伴う推力リプルを低減させることができるリニアモータ制御装置を提供する。
【解決手段】固定子巻線が界磁可動子の移動方向に複数区分されたリニアモータを、位置センサが検出する界磁可動子位置に基づいて区分毎に備えられた電力変換器を切替えて、界磁可動子を移動させるように固定子巻線に電力を供給するリニアモータ制御装置であって、電力変換器を切替える際、電力変換器の出力電圧制限または出力電流応答遅れを防止するように構成した。 （もっと読む）

【課題】リニアモータの二次側の界磁を利用して移動体の位置を検出する位置検出装置は、精密機器の移動装置に適用し得る検出精度を有していない。
【解決手段】主位置演算器２０は現在位置の上位桁である主位置データを出力し、従位置演算器６０は現在位置の下位桁である従位置データを出力する。主位置演算器２０は、磁気センサ１０の検出信号から２相の矩形波信号を得て計数信号を発生し、計数信号を累積加減算して主演算データを得る。デジタルフィルタ４０は、移動平均によって検出信号の振動成分を濾波する。従位置演算器６０は、検出信号の逆正接を求めて従位置データを得る。位置演算器７０は、主位置データと従位置データを加算して位置データを生成する。ピッチ補正器９０は、移動方向に合わせて位置データをピッチ補正値で補正して移動制御装置４に出力する。 （もっと読む）

【課題】電源電圧の低下に起因する動作と、特定の制御モードへの切り換えに起因する動作との混同を抑制することができるリニア振動モータの駆動制御装置、リニア振動モータの駆動制御方法および小型電気機器を提供する。
【解決手段】リニア振動モータの停止制御の開始前後における振動振幅の時間的変化の度合いを、通常の制御モードから他の制御モードへの遷移の前後における度合いよりも小さくする。そのようにすることで、リニア振動モータの停止制御の開始前後における作動音の変化の度合いを、制御モードの遷移前後における作動音の変化の度合いよりも小さくすることができる。すなわち、作動音の変化の度合いの違いによって、電池残容量の低下に伴う停止制御に起因する作動音の変化なのか、制御モードの遷移に起因する作動音の変化なのかを、ユーザは聴覚を通じて識別することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】異常を早期に検出することのできるリニアアクチュエータの駆動方法を提供する。
【解決手段】振幅制御部４０は、固定子１１に対して往復動される可動子１２の振幅を検出し、その検出した振幅の時間的変化に応じて負荷の経時的な変動を検出し、その変動から異常を検出する。また、振幅制御部４０は、検出した振幅を制御出力部５０に出力する。この制御出力部５０は、制御出力部５０からの振幅情報に基づいて、可動子１２を往復動させるための駆動電流Ｉｄを制御する。 （もっと読む）

【課題】可動子を曲線状にも移動させるリニアモータにおける、制御可能性を判断する。
【課題手段】可動子の位置、および、移動の向きを示す位相差のある第１および第２の信号を出力する位置検出センサの読みを用いて、（１）第１の信号の２乗と第２の信号の２乗との和を算出し、（２）２乗和が所定の値以上にあるとき、リニアモータが制御可能であると判断して、リニアモータの制御を行う。 （もっと読む）

【課題】 特定位置、位相で過負荷が発生するような場合でも、温度検出手段を多数設けることなく過負荷検出が行え、かつ過負荷保護設定値の余裕を少なくできて、モータ性能を十分に利用できるモータの過負荷保護装置を提供する。
【解決手段】 電源スイッチ６をオフとしたときの絶対時刻による稼働停止時刻とこの時のベース部温度とを稼働停止時温度記憶手段１３に記憶しておく。再稼働開始時温度算出手段１３により、稼働停止時の間の冷却温度を計算して、再稼働開始時のベース部温度を算出する。熱発生源現在温度算出手段１５により、再稼働開始時のベース部温度を用いて、各極コイル２ａのモータ電流で発熱する各熱発生源の現在温度を算出する。過負荷判定手段１６は、各熱発生源の現在温度を、各熱発生源毎に定められた過負荷保護設定値に達すると過負荷であると判定する。 （もっと読む）

【課題】リニアモーターの制御性を向上させる技術を提供する。
【解決手段】リニアモーター１０は、スライダー２０と、ステーター３０とを備える。スライダー２０は、複数の永久磁石２１が、同じ極同士が互いに対向するように直列に配列された磁石列２１ｌを有し、電磁力によって磁石列２１ｌの配列方向に沿って移動する。ステーター３０は、スライダー２０の移動方向に沿って配列された２相の電磁コイル３１ａ，３１ｂを備える。また、リニアモーター１０は、スライダー２０の移動を制御するために、磁石列２１ｌの移動に伴う磁束の変化を検出する位置検出センサー４０を備える。位置検出センサー４０は、電磁コイル３１の各相に対応して設けられ、電磁コイル３１の外周に配列され、永久磁石２１同士の境界における磁束を検出し、各相の電磁コイル３１に生じる逆起電圧と等しい位相の波形信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】位置フィードバック機構を用いたモータの制御において、整定時間を短縮することができる制御装置を提供する。
【解決手段】制御装置は、外部より一定間隔ごとに入力される位置指令値から位置指令値の変化量を算出し、算出した変化量に基づいて、モータにおいて生じる位置指令値に対する動作の遅れを補正する補正値を算出する位置指令補正部と、補正値により位置指令値を補正した補正位置指令値に応じた電力をモータに供給する駆動部とを具備する。 （もっと読む）

【課題】リニアスケールを用いずにリニアモータの位置決め精度を改善することができるリニアモータの制御装置を提供する。
【解決手段】リニアモータの制御装置は、リニアモータの電機子が有している磁気センサであってリニアモータの駆動用磁石より生じる磁界の方向に応じた信号を出力する磁気センサから出力される信号の変化に基づいてリニアモータの可動子の位置を検出する位置検出部と、位置検出部が検出した可動子の位置と外部より入力される位置指令値とに基づいて速度指令値を算出する位置制御部と、リニアモータに備えられている複数のコイルに流れる電流値から可動子が移動する速度を推定する推定部と、位置制御部が算出する速度指令値と推定部により推定する可動子の推定移動速度とに基づいて電流指令値を算出する速度制御部と、速度制御部が算出した電流指令値に応じて複数のコイルに電力を供給する電力変換器とを備えている。 （もっと読む）

【課題】固定子と可動子との間の距離の変化を検知可能な検知方法、この検知方法による検知結果に基づいて基板にパターンを転写露光する露光方法、及びこの露光方法を利用してデバイスを製造するデバイス製造方法を提供すること。
【解決手段】検知方法は、第１方向に沿って配列された複数の固定子に対して可動子を第１方向に沿って第１の速度で等速移動させ、等速移動させたときの可動子の第１方向における第１の推力の大きさを検出し、複数の固定子に対して可動子を第１方向に沿って第１の速度とは異なる第２の速度で等速移動させ、等速移動させたときの可動子の第１方向における第２の推力の大きさを検出し、第１及び第２の速度と、第１及び第２の推力の大きさとを用いて、固定子と可動子との間に作用するコギング力の大きさを算出し、算出ステップによって算出されたコギング力の大きさに基づいて、固定子と可動子との間の距離の変化を検知する。 （もっと読む）

【課題】可動子の自重により生じるオフセットズレを補正するリニアアクチュエータ駆動装置を提供する。
【解決手段】駆動装置１は、駆動指令Irefに応じて可動子２３を往復させる電磁駆動部１０と、通電がなされていない時、可動子２３が自重により所定の移動可能範囲Ｄの中心Ｄｃからズレて可動範囲Ｗ_１が移動可能範囲Ｄよりも狭くなる場合に、可動子２３の往復動中心Ｗｃと移動可能範囲Ｄの中心Ｄｃとの偏差を無くする方向へ可動子２３の往復動中心Ｗｃを移動させるオフセット通電をなすように駆動指令Irefを補正するオフセット補正部１１とを有している。オフセット補正部１１は、駆動指令Irefに応じた可動子２３の振幅値Ｌｐに対応する振幅情報を取得し、振幅情報に対応する振幅値Ｌｐに対して可動振幅（Ｗ_１／２）が可動域不足状態となる場合に駆動指令Irefの補正する一方、可動域不足状態でない場合に駆動指令Irefの補正を解除する。 （もっと読む）

【課題】磁気センサが出力する信号に周期的な変動成分が含まれる場合においても、リニアモータを安定して制御する。
【解決手段】リニアモータを制御する制御装置は、外部より入力された単位時間当たりに可動子を移動させる距離を示す位置指令に基づいて、可動子を等速にて移動させる等速制御と、可動子の速度を加速させる加速度制御とのいずれか一方を選択し、等速制御を選択した場合、可動子の速度に対する平均である平均速度と、速度指令とに基づいて、リニアモータに印加する電流値を示す電流指令を算出し、加速度制御を選択した場合、可動子の速度と、速度指令とに基づいて、電流指令を算出し、算出した電流指令に基づいてリニアモータに電流を印加する。 （もっと読む）

【課題】組となるセンサ列の増加の如何にかかわらず、外周フレーム５の円周面のどの位置に配列したとしても、直径の対向間隔をもって一定に維持された状態で、そのセンサ面をコイルブロック３ａ中心に向けて取着でき、磁気センサ６の検知電圧の大小出力値の平均化により、シャフト２に軸芯ズレが生じても可動子３が中心に位置するものと擬制して位置検出できるようにする。
【解決手段】筒状ユニット３ｂに設けられたプリント基板３５の円周面に、センサ用の端子部３５ｅを、コイルブロック３ａの中心を挟んで対向する線上の一方と他方のそれぞれに、電気角１８０゜のピッチ幅をもって一列状に複数配設し、かつ、他方の列側を一方の列側に対して電気角９０゜をもって位置ズレさせて配置させて、対向取着される磁気センサ６によって、二相信号の検出を行うよう構成する。 （もっと読む）

【課題】光学式のアブソリュートエンコーダを用いずに、可動子の絶対位置を検出する。
【解決手段】制御装置は、Ｎ極とＳ極とが交互に等間隔に配列方向に配列されている複数の第１の磁石を備える第１の磁石部と、第１の磁石部に対向して電機子に備えられ第１の磁石が生じさせている磁界を検出し、検出した磁界に応じた信号を出力する第１の磁気センサと、配列方向における可動子の可動範囲を複数に分けた区間それぞれを一意に識別させる複数の第２の磁石であって配列方向に等間隔に配列されている複数の第２の磁石を備える第２の磁石部と、第２の磁石部に対向して電機子に備えられ第２の磁石が生じさせている磁界の磁束密度に応じた信号を出力する第２の磁気センサと、第２の磁気センサが出力する信号から検出された区間と、第１の磁気センサが出力する信号から算出された電気角とに基づいて、可動子の位置を算出する位置算出部とを備える。 （もっと読む）