テストハンドラーのバッファトレイピッチを調節する方法及び装置
【課題】半導体装置のテストのためのテストハンドターで半導体装置の移送速度を増加させることができるバッファトレイのピッチ調節方法を提供する。
【解決手段】半導体装置を収納するための多数対の単位バッファトレイを含むバッファトレイのピッチ調節方法において、単位バッファトレイ対間の第１ピッチは第１駆動部１１０によって調節され、単位バッファトレイの対内で第１単位バッファトレイと第２単位バッファトレイとの間の第２ピッチは第２駆動部１４０によって調節されることができる。半導体装置は、テストハンドラーのテストトレイとカストマートレイとの間でピッチが調節されたバッファトレイを経由して移送される。
【解決手段】半導体装置を収納するための多数対の単位バッファトレイを含むバッファトレイのピッチ調節方法において、単位バッファトレイ対間の第１ピッチは第１駆動部１１０によって調節され、単位バッファトレイの対内で第１単位バッファトレイと第２単位バッファトレイとの間の第２ピッチは第２駆動部１４０によって調節されることができる。半導体装置は、テストハンドラーのテストトレイとカストマートレイとの間でピッチが調節されたバッファトレイを経由して移送される。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置をテストするための装置に関する。より詳細には、半導体装置をテストするためのテストハンドターで半導体装置を収納するバッファトレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、揮発性又は不揮発性メモリ装置、システムＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ−Ｓｃａｌｅ ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）回路素子のような半導体装置は、多様なテスト過程を通じて動作特性が検査された後に出荷される。
【０００３】
テストハンドターは、前記半導体装置を検査するために、前記半導体装置をテストチャンバーに移送する。特に、前記半導体装置は、カストマートレイからバッファトレイを経由してテストトレイに移送され、前記テストチャンバーで検査された半導体装置は、テストトレイからバッファトレイを経由してカストマートレイに移送される。
【０００４】
テストハンドターは、前記トレイ間で半導体装置を移送するためのピッカーシステムを具備することができる。前記ピッカーシステムに関する例は、特許文献１、特許文献２、特許文献３等に開示されている。
【特許文献１】米国特許第６７６１５２６号
【特許文献２】米国特許第７０００６４８号
【特許文献３】米国特許第７０２３１９７号
【０００５】
最近、半導体装置を移送するのに所要される時間を短縮させるために、前記ピッカーシステムは多数のピッカーを使用している。又、前記ピッカーシステムは、前記ピッカー間のピッチをカストマートレイとテストトレイのピッチと同様に調節するために、ピッチ調節装置を含むことができる。しかし、ピッカーの数量が増加されるほど、ピッチ調節装置の重量が増加するので、半導体装置の移送速度を増加させるのには限界がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前記のような問題点を解決するための本発明の第１目的は、半導体装置のテストのためのテストハンドターで半導体装置の移送速度を増加させることができるバッファトレイのピッチ調節方法を提供することにある。
【０００７】
本発明の第２目的は、前述したようなバッファトレイのピッチ調節方法を行うのに適合な装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記第１目的を達成するための本発明の一側面によるバッファトレイのピッチ調節方法によると、バッファトレイは、半導体装置を収納するための多数対の単位バッファトレイを含むことができる。前記バッファトレイのピッチは、前記単位バッファトレイの対間の第１ピッチを調節し、前記単位バッファトレイの対内で第１単位バッファトレイと第２単位バッファトレイとの間の第２ピッチを調節することにより調節されることができる。
【０００９】
本発明の一実施例によると、前記第１ピッチは、前記バッファトレイの中央地点を基準として両側に配置される単位バッファトレイの少なくとも１つの第１対と少なくとも１つの第２対を互いに逆方向に移動させることにより調節されることができる。
【００１０】
本発明の一実施例によると、前記第１ピッチは、前記バッファトレイの中央地点に隣接する単位バッファトレイの対を基準として両側に配置される単位バッファトレイの少なくとも１つの第１対と少なくとも１つの第２対を互いに逆方向に移動させることにより、調節されることができる。
【００１１】
本発明の一実施例によると、前記第１ピッチは、最外側単位バッファトレイの対を基準として残り少なくとも１つの単位バッファトレイの対を移動させることにより、調節されることができる。
【００１２】
本発明の一実施例によると、前記第２ピッチは、前記第１単位バッファトレイに対して前記第２単位バッファトレイを相対的に移動させることにより、調節されることができる。
【００１３】
前記第２目的を達成するための本発明の他の側面によると、半導体装置を収納するための多数対の単位バッファトレイを含むバッファトレイのピッチ調節装置は、前記単位バッファトレイの対と連結され前記単位バッファトレイの対間の第１ピッチを調節するための第１駆動部と、前記単位バッファトレイの対と連結され前記単位バッファトレイの対内で第１単位バッファトレイと第２単位バッファトレイとの間の第２ピッチを調節するための第２駆動部と、を含むことができる。
【００１４】
本発明の一実施例によると、前記第１駆動部は、前記多数対の単位バッファトレイと連結された多数のラックギアと、前記ラックギアと結合される少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと、前記ギアボックスと連結され回転力を提供するモーターユニットと、を含むことができ、前記ラックギアは、前記バッファトレイの中央地点を基準として両側に配置される単位バッファトレイの少なくとも１つの第１対及び少なくとも１つの第２対を互いに逆方向に移動させるように前記少なくとも１つの出力ギアに結合されることができる。
【００１５】
本発明の一実施例によると、前記ギアボックスは、前記モーターユニットの駆動軸に連結された駆動ギアと、前記駆動軸に連結され前記駆動ギアより小さいピッチ円を有し、互いに向かい合う第１ラックギア及び第２ラックギアと結合された第１ピニオンギアと、前記駆動ギアと結合され前記駆動ギアによって回転して前記駆動ギアより小さいピッチ円を有し、互いに向かい合う第３ラックギア及び第４ラックギアと結合された第２ピニオンギアと、を含むことができる。
【００１６】
本発明の一実施例によると、前記ピッチ調節装置は、ベースプレートを更に含むことができ、前記第１駆動部と第２駆動部は、前記ベースプレート上に配置されることができる。
【００１７】
本発明の一実施例によると、前記ラックギア及び前記ギアボックスは、前記ベースプレートの上部面上に配置されることができ、前記モーターユニットは、前記ベースプレートの下部面上に配置されることができ、前記モーターユニットと前記ギアボックスは前記ベースプレートを通じて連結されることができる。
【００１８】
本発明の一実施例によると、前記ラックギアと前記多数対の単位バッファトレイの対は、前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に延長する多数のサポートによって連結されることができる。
【００１９】
本発明の一実施例によると、前記第１駆動部は、多数のラックギアと、前記ラックギアと結合される少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと、前記ギアボックスと連結され回転力を提供するモーターユニットと、を含むことができ、前記ラックギアは、前記バッファトレイの中央部位に対応する単位バッファトレイの対を基準として両側に配置される単位バッファトレイの少なくとも１つの第１対及び少なくとも１つの第２対と連結されることができ、前記両側に配置される単位バッファトレイの第１及び第２対を互いに逆方向に移動させるように前記少なくとも１つの出力ギアに結合されることができる。
【００２０】
本発明の一実施例によると、前記第１駆動部は、多数のラックギアと、前記ラックギアと結合される多数の出力ギアを含むギアボックスと、前記ギアボックスと連結され回転力を提供するモーターユニットと、を含むことができ、前記ラックギアは、最外側単位バッファトレイの対を除いた残り単位バッファトレイの対に連結されることができ、前記残り単位バッファトレイの対を前記バッファトレイのピッチ方向に移動させるように前記出力ギアに結合されることができる。
【００２１】
本発明の一実施例によると、前記バッファトレイは、２対の単位バッファトレイを含むことができ、前記第１駆動部は、ラックギアと、前記ラックギアと結合される出力ギアを含むギアボックスと、前記ギアボックスと連結され回転力を提供するモーターユニットと、を含むことができる。前記ラックギアは、前記第１ピッチを調節するために、前記２対の単位バッファトレイのうちの１つと連結されることができる。
【００２２】
本発明の一実施例によると、前記ピッチ調節装置は、前記第１単位バッファトレイと連結された第１リンクと、前記第２単位バッファトレイ及び前記第１リンクと連結された第２リンクと、を更に含むことができ、前記第１駆動部は、前記第１単位バッファトレイ又は第２単位バッファトレイに連結されることができる。
【００２３】
本発明の一実施例によると、前記第１及び第２単位バッファトレイは、前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に延長する多数のサポートによって前記第１及び第２リンクと連結されることができる。
【００２４】
本発明の一実施例によると、前記第２駆動部は前記第１リンク又は第２リンクに連結されることができ、前記第１単位バッファトレイ及び前記第２単位バッファトレイの間で相対的な運動を発生させるために、前記第１リンク又は第２リンクに駆動力を印加することができる。
【００２５】
本発明の一実施例によると、前記ピッチ調節装置は、前記第１単位バッファトレイ及び前記第２単位バッファトレイを前記バッファトレイのピッチ方向に案内する少なくとも１つのガイド部材を更に含むことができる。
【００２６】
本発明の一実施例によると、前記ピッチ調節装置は、前記バッファトレイのピッチ方向に延長し、前記第２駆動部によって前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に移動可能に配置され、前記第２駆動部及び前記第１リンク又は第２リンク間の連結部位を前記バッファトレイのピッチ方向に案内するガイド部材を更に含むことができる。又、前記ピッチ調節装置は、前記ガイド部材の両側端部と連結され前記ガイド部材を前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に案内するための第２ガイド部材を更に含むことができる。
【００２７】
本発明の一実施例によると、それぞれの第１及び第２単位バッファトレイは、前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に配置され前記半導体装置を収納するための多数のソケットを有することができ、前記第１及び第２単位バッファトレイは前記バッファトレイのピッチ方向に配置されることができる。
【００２８】
前記第２目的を達成するための本発明の更に他の側面によると、半導体装置を収納するための単位バッファトレイを含むバッファトレイのピッチ調節装置は、回転力を発生させるモーターユニットと、前記モーターユニットと連結され少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと、前記単位バッファトレイのうち、少なくとも１つと連結され前記単位バッファトレイ間のピッチを調節するために、前記少なくとも１つの出力ギアと連結される少なくとも１つのラックギアと、を含むことができる。
【００２９】
本発明の一実施例によると、それぞれの単位バッファトレイは、前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に少なくとも１つの列を有するように配置され、前記半導体装置を収納するための多数のソケットを有することができ、前記単位バッファトレイは、前記バッファトレイのピッチ方向に配置されることができる。
【００３０】
本発明の一実施例によると、前記バッファトレイは偶数個の単位バッファトレイを含むことができ、多数のラックギアが前記バッファトレイの中央地点を基準として両側に配置される少なくとも１つの第１単位バッファトレイ及び少なくとも１つの第２単位バッファトレイと連結され、前記第１及び第２単位バッファトレイが互いに逆方向に移動されるように前記少なくとも１つの出力ギアに結合されることができる。
【００３１】
本発明の一実施例によると、前記バッファトレイは奇数個の単位バッファトレイを含むことができ、多数のラックギアが中央の単位バッファトレイを基準として両側に配置される少なくとも１つの第１単位バッファトレイ及び少なくとも１つの第２単位バッファトレイと連結されることができる。前記多数のラックギアは、前記両側に配置される第１及び第２単位バッファトレイが互いに逆方向に移動されるように前記少なくとも１つの出力ギアに結合されることができる。
【００３２】
本発明の一実施例によると、前記少なくとも１つのラックギアは、最外側単位バッファトレイを除いた少なくとも１つの残り単位バッファトレイに連結されることができ、前記残り単位バッファトレイが前記バッファトレイのピッチ方向に移動されるように前記少なくとも１つの出力ギアに結合されることができる。
【発明の効果】
【００３３】
前述したような本発明の実施例によると、前記バッファトレイのピッチは、前記第１駆動部及び第２駆動部によってテストトレイ又はカストマートレイのピッチと同様に調節されることができる。
【００３４】
従って、半導体装置を移送する間、ピッカーシステムのピッチを調節する必要がないので、前記半導体装置の移送に所要される時間が短縮されることができる。又、ピッカーのピッチを調節するための別途の装置が必要ではないので、前記ピッカーシステムの重量を減少させることができ、これによってテストハンドラーの安定性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、本発明による実施例を添付図面を参照して詳細に説明する。
【００３６】
図１は、本発明の第１実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための斜視図で、図２は、バッファトレイを説明するための概略的な平面図である。
【００３７】
図１及び図２を参照すると、本発明の第１実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置１００は、半導体装置をテストするためのテストハンドターに適用されることができる。特に、前記ピッチ調節装置１００は、前記バッファトレイ１０のピッチをテストトレイ（図示せず）又はカストマートレイ（図示せず）のピッチと同様に調節するために使用されることができる。
【００３８】
前記バッファトレイ１０は、多数対の単位バッファトレイ１２を含むことができ、それぞれの単位バッファトレイの対１２は、第１単位バッファトレイ１２ａと第２単位バッファトレイ１２ｂを含むことができる。例えば、前記バッファトレイ１０は、４つの単位バッファトレイの対１２を含むことができる。
【００３９】
前記第１及び第２単位バッファトレイ１２ａ、１２ｂのそれぞれは一列に配置され、半導体装置を収納するための多数のソケット１４を有することができ、互いに平行に配列されることができる。例えば、前記第１及び第２単位バッファトレイ１２ａ、１２ｂのそれぞれは８つのソケット１４を有することができる。しかし、前記第１及び第２単位バッファトレイ１２ａ、１２ｂのソケット１４の数量は必要によって多様に変更されることができる。ここで、前記多数対の単位バッファトレイ１２は、前記第１及び第２単位バッファトレイ１２ａ、１２ｂの延長方向、即ち、列方向（Ｙ軸方向）に対して垂直である行方向（Ｘ軸方向）に配列されることができる。
【００４０】
前記第１及び第２単位バッファトレイ１２ａ、１２ｂは、第１サポート１０２ａ及び第２サポート１０２ｂ上にそれぞれ配置されることができる。前記第１及び第２サポート１０２ａ、１０２ｂは、前記第１及び第２単位バッファトレイ１２ａ、１２ｂの下で前記列方向にそれぞれ延長することができる。
【００４１】
前記第１サポート１０２ａの端部には第１リンク１０４ａが連結されており、前記第２サポート１０２ｂの端部には、第２リンク１０４ｂが連結されている。前記第２リンク１０４ｂは、前記第１リンク１０４ａに連結されている。図示されたように、前記第２リンク１０４ｂは、前記第１リンク１０４ａの中央部位に連結されることができる。しかし、前記とは異なり、前記第１リンク１０４ａの端部と前記第２リンク１０４ｂの端部が互いに連結されることもでき、前記第１リンク１０４ａの端部が前記第２リンク１０４ｂの中央部位に連結されることもできる。
【００４２】
前記ピッチ調節装置１００は、前記バッファトレイ１０の行方向にピッチを調節するための第１駆動部１１０及び第２駆動部１４０を含むことができる。特に、前記ピッチ調節装置１００は、前記単位バッファトレイの対１２間の第１ピッチｐ１を調節するための第１駆動部１１０と前記単位バッファトレイの対１２内で第１及び第２単位バッファトレイ１２ａ、１２ｂ間の第２ピッチｐ２を調節するための第２駆動部１４０を含むことができる。前記第１及び第２駆動部１１０、１４０は、ベースプレート１０６上に配置されることができる。
【００４３】
図３は、図１に図示された第１駆動部のギアボックスを説明するための平面図で、図４は、図１に図示された第１駆動部のギアボックスを説明するための斜視図で、図５は、図１に図示された第１駆動部の第１モーターユニットを説明するための底面図である。
【００４４】
図３乃至図５を参照すると、前記第１駆動部１１０は、前記ベースプレート１０６の上部面上で回転可能に配置される少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックス１１２と、前記出力ギアに結合される多数のラックギア１２０、及び前記ギアボックス１１２と連結され回転力を提供する第１モーターユニット１２２を含むことができる。
【００４５】
例えば、前記ベースプレート１０６の上部面上には４つのラックギア１２０が配置され、前記４つのラックギア１２０は、前記出力ギアとして機能する２つのピニオンギア１１４に結合されることができる。特に、第１ピニオンギア１１４ａは、前記第１モーターユニット１２２の駆動軸１２４に連結されることができ、前記第１ピニオンギア１１４ａには、第１ラックギア１２０ａと第２ラックギア１２０ｂが互いに向かい合うように結合されている。又、第２ピニオンギア１１４ｂは、前記第１モーターユニット１２２の駆動軸１２４に連結された駆動ギア１１６と結合され、前記第２ピニオンギア１１４ｂには第３ラックギア１２０ｃと第４ラックギア１２０ｄが互いに向かい合うように結合されている。
【００４６】
図６乃至図８は、図１に図示されたバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための平面図である。
【００４７】
図６及び図７を参照すると、前記第１ラックギア１２０ａ及び第２ラックギア１２０ｂは、内側の単位バッファトレイの対１２と第１及び第２サポート１０２ａ、１０２ｂを通じて連結されることができ、前記第３ラックギア１２０ｃ及び第４ラックギア１２０ｄは、第１及び第２サポート１０２ａ、１０２ｂを通じて外側の単位バッファトレイの対１２と結合されることができる。特に、図６及び図７において、バッファトレイ１０の左側に配置された第１単位バッファトレイの対１２は、第１及び第４ラックギア１２０ａ、１２０ｄと連結されることができ、図６及び図７でバッファトレイ１０の右側に配置された前記第２単位バッファトレイの対１２は、第２及び第３ラックギア１２０ｂ、１２０ｃと連結されることができる。従って、前記第１及び第２単位バッファトレイの対１２は、図７に示すように、前記第１及び第２ピニオンギア１１４ａ、１１４ｂの回転によって、前記バッファトレイ１０の中央地点を基準として互いに逆方向にそれぞれ移動することができる。
【００４８】
図示されたように、前記第１、第２、第３、及び第４ラックギア１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄは、第１サポート１０２ａを通じて第１単位バッファトレイ１２ａに連結されることができる。しかし、前記第１、第２、第３、及び第４ラックギア１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄは、第２サポート１０２ｂを通じて第２単位バッファトレイ１２ｂに連結されることもできる。
【００４９】
一方、図示されていないが、前記第１、第２、第３、及び第４ラックギア１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄを前記バッファトレイ１０の行方向に案内するための多数のガイド部材が前記ベースプレート１０６上に配置されることができる。
【００５０】
前記第１ピニオンギア１１４ａの回転速度と第２ピニオンギア１１４ｂの回転速度との間の比は、前記第１単位バッファトレイ１２ａ間の間隔が互いに同じになるように１：３程度に設定されることができる。具体的に、前記第１及び第２ピニオンギア１１４ａ、１１４ｂは、前記駆動ギア１１６より小さいピッチ円を有することができる。特に、前記駆動ギア１１６の直径は、前記第２ピニオンギア１１４ｂの直径の３倍程度に設定されることができ、前記第１及び第２ピニオンギア１１４ａ、１１４ｂは互いに同じ直径を有することができる。結果的に、前記第１及び第２ピニオンギア１１４ａ、１１４ｂの回転によって前記単位バッファトレイの対１２間の第１ピッチｐ１が調節されることができる。
【００５１】
一方、前記第１単位バッファトレイ１２ａは、前記第１及び第２リンク１０４ａ、１０４ｂを通じて前記第２単位バッファトレイ１２ｂと連結されているので、前記第１ピッチｐ１を調節する間、前記第１単位バッファトレイ１２ａと前記第２単位バッファトレイ１２ｂ間の第２ピッチｐ２は一定に維持されることができる。
【００５２】
前記したように、前記ギアボックス１１２が２つのピニオンギア１１４ａ、１１４ｂを含んでいるが、前記ギアボックス１１２は、互いに異なる回転速度を有する３つ以上のピニオンギアを有するように構成されることができ、前記第１駆動部１１０は、前記ピニオンギアと結合される多数のラックギアを含むことができる。即ち、前記ピニオンギア及び前記ラックギアの数量は前記第１単位バッファトレイ１２ａの数量によって変更されることができる。
【００５３】
又、前記バッファトレイ１０が２対の単位バッファトレイ１２を含む場合、前記第１駆動部１１０は、１つのピニオンギアと２つのラックギアを含むことができる。
【００５４】
図４及び図５を参照すると、前記駆動軸１２４は、前記ベースプレート１０６を通じて延長することができ、前記ベースプレート１０６の下部面上には、前記第１モーターユニット１２２が配置されることができる。前記第１モーターユニット１２２と前記駆動軸１２４は、かさ歯車１２６によって連結されることができる。しかし、前記第１モーターユニット１２２は、前記駆動軸１２４と直接連結されることもできる。
【００５５】
図６を参照すると、前記ベースプレート１０６の上部面上には、前記行方向に延長して前記第１及び第２サポート１０２ａ、１０２ｂを前記行方向、即ち、前記バッファトレイ１０のピッチ方向に案内するための少なくとも１つのガイド部材が配置されることができる。例えば、前記ベースプレート１０６上には、前記行方向に延長する第１及び第２ガイドレール１３０ａ、１３０ｂが配置されることができ、前記第１及び第２サポート１０２ａ、１０２ｂは、第１ボールブロック１３２ａ及び第２ボールブロック１３２ｂを通じて前記第１及び第２ガイドレール１３０ａ、１３０ｂに結合されることができる。しかし、前記第１及び第２サポート１０２ａ、１０２ｂは、１つのガイドレールによって前記行方向に案内されることもできる。
【００５６】
図７及び図８を参照すると、前記第２駆動部１４０は、前記ベースプレート１０６の上部面上に配置され、前記第１リンク１０４ａの端部と連結されることができる。特に、前記第２駆動部１４０は、前記第１単位バッファトレイ１２ａ及び前記第２単位バッファトレイ１２ｂ間の第２ピッチｐ２を調節するために、前記第１リンク１０４ａに駆動力を印加し、これによって前記第１単位バッファトレイ１２ａ及び前記第２単位バッファトレイ１２ｂ間で相対的な運動が発生されることができる。
【００５７】
前記第１リンク１０４ａの端部は、前記行方向に延長するガイド部材によって前記行方向に案内されることができる。例えば、前記行方向に延長するガイドバー１４２が前記バッファトレイ１０に隣接するように配置され、前記ガイドバー１４２は、前記行方向に延長するスロット１４４を有することができる。前記スロット１４４内には、多数のローラー（図示せず）が配置されることができ、前記第１リンク１０４ａの端部は、前記ローラーに連結されることができる。
【００５８】
前記ガイドバー１４２の両側端部は、前記ベースプレート１０６上で前記列方向に延長する第３ガイドレール１４６ａと第４ガイドレール１４６ｂに第３ボールブロック１４８ａ及び第４ボールブロック１４８ｂを通じて連結されることができる。即ち、前記第２駆動部１４０は、前記ガイドバー１４２とローラーを通じて前記第１リンク１０４ａの端部と連結されることができる。前記ガイドバー１４２は、前記第２駆動部１４０によって前記列方向に移動することができ、これによって、前記第１リンク１０４ａは、前記第１サポート１０２ａの端部を中心に回転することができ、前記第２リンク１０４ｂは、前記第１リンク１０４ａの中央部位を中心に回転することができる。結果的に、前記第２単位バッファトレイ１２ｂは、前記第１単位バッファトレイ１２ａに対して前記行方向、即ち、ピッチ方向に移動することができる。即ち、前記ガイドバー１４２の移動距離を調節することにより、前記バッファトレイ１０の第２ピッチｐ２を調節することができる。
【００５９】
図示されたように、第１ピッチｐ１を調節した後、第２ピッチｐ２が調節されている。しかし、状況によって、第２ピッチｐ２が調節された後、第１ピッチｐ１が調節されることもできる。
【００６０】
前記とは異なり、前記第１リンク１４２の端部は、多数のボールブロックとガイドレールによって前記行方向に案内されることもできる。即ち、前記バッファトレイ１０に隣接するように第５ガイドレールが配置されることができ、前記第５ガイドレールには多数の第５ボールブロックが移動可能に連結されることができる。前記第１リンク１４２の端部は、前記第５ボールブロックに連結されることができる。
【００６１】
前記第２駆動部１４０は、前記ベースプレート１０６の上部面上で前記ガイドバー１４２と連結される。特に、前記第２駆動部１４０は、第２モーターユニット１５０を含むことができ、前記第２モーターユニット１５０は、ボールスクリュー１５２及びボールナット１５４を通じて前記ガイドバー１４２と連結されることができる。具体的に、前記ボールスクリュー１５２は、前記第２モーターユニット１５０の回転軸と連結されることができ、前記ボールナット１５４は前記ガイドバー１４２に連結されることができ、前記ボールスクリュー１５２は前記ボールナット１５４を通じて延長することができる。
【００６２】
一方、前記第２駆動部１４０として多様な直線往復駆動ユニットが選択的に使用されることができる。例えば、キャムとスプリングを利用した直線往復運動装置、空圧又は油圧シリンダー等が第２駆動部１４０として使用されることもできる。
【００６３】
一方、図示されていないが、前記第１及び第２駆動部１１０、１４０の動作によって発生されることができるバックラッシュによるピッチ調節の正確度低下を防止するために、前記第１単位バッファトレイ１２ａ及び第２単位バッファトレイ１２ｂは多数のスプリングを利用して互いに拘束されることができる。例えば、前記第１単位バッファトレイ１２ａと第２単位バッファトレイ１２ｂは、第１コイルスプリングによって互いに連結されることができる。又、前記バッファトレイ１０の中央地点を基準として両側に配置される第１単位バッファトレイ１２ａは、第２コイルスプリング及び第３コイルスプリングによって互いに連結されることができる。
【００６４】
前記したような本発明の第１実施例によると、第１単位バッファトレイ１２ａ間の第１ピッチｐ１は、第１駆動部１１０によって調節されることができ、前記第１単位バッファトレイ１２ａ及び第２単位バッファトレイ１２ｂ間の第２ピッチｐ２は、第２駆動部１４０によって調節されることができる。結果的に、前記バッファトレイ１０のピッチは、テストトレイ又はカストマートレイのピッチと同様に調節されることができる。従って、前記半導体装置を移送するためのピッカーシステムのピッチを調節する必要がないので、前記テストトレイ又はカストマートレイと前記バッファトレイとの間で半導体装置を移送するのに所要される時間が大幅短縮されることができる。又、前記ピッカーシステムの重量を軽くすることができるので、前記テスターハンドターの安定性を大幅向上させることができ、前記ピッカーシステムのピッカー数量を増加させることができる。
【００６５】
図９は、本発明の第２実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための概略的な平面図である。
【００６６】
図９を参照すると、本発明の第２実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置２００は、半導体装置をテストするためのテストハンドターに適用されることができる。
【００６７】
前記バッファトレイは、多数対の単位バッファトレイを含むことができ、それぞれの単位バッファトレイの対は、第１単位バッファトレイと第２単位バッファトレイを含むことができる。例えば、前記バッファトレイは、５つの単位バッファトレイの対を含むことができる。前記単位バッファトレイの対に対する詳細な説明は、図１乃至図８を参照して説明されたことと類似なので、省略する。
【００６８】
前記第１及び第２単位バッファトレイは、第１サポート２０２ａ及び第２サポート２０２ｂ上にそれぞれ配置されることができる。前記第１及び第２サポート２０２ａ、２０２ｂは、前記第１及び第２単位バッファトレイの下でバッファトレイの列方向にそれぞれ延長することができる。
【００６９】
前記第１サポート２０２ａの端部には第１リンク２０４ａが連結されており、前記第２サポート２０２ｂの端部には第２リンク２０４ｂが連結されている。前記第１リンク２０４ａと第２リンク２０４ｂは互いに連結されている。
【００７０】
前記ピッチ調節装置２００は、前記単位バッファトレイの対間の第１ピッチを調節するための第１駆動部２１０と前記単位バッファトレイの対内で第１及び第２単位バッファトレイ間の第２ピッチを調節するための第２駆動部２４０を含むことができる。前記第１駆動部２１０は、少なくとも１つのピニオンギアと少なくとも１つのラックギアを含むことができる。例えば、前記第１駆動部２１０は、２つのピニオンギアと４つのラックギアを含むことができる。前記第１及び第２サポート２０２ａ、２０２ｂと前記第１及び第２リンク２０４ａ、２０４ｂ及び前記第１及び第２駆動部２１０、２４０についての詳細な説明は図１乃至図８を参照して説明したことと類似なので、省略する。
【００７１】
一方、前記バッファトレイの中央地点に隣接する中央の単位バッファトレイの対はベースプレート２０６の上部面上に固定され、前記中央の単位バッファトレイの対を基準として両側に配置される単位バッファトレイの対は第１駆動部と連結される。即ち、前記中央の第１単位バッファトレイと連結された第１サポート２０２ｃは、ベースプレート２０６上に装着されることができる。例えば、中央の第１単位バッファトレイがベースプレート２０６の上部面に固定される場合、前記第１駆動部２１０は、両側の残り第１単位バッファトレイと連結されることができ、中央の第２単位バッファトレイがベースプレート２０６の上部面に固定される場合、前記第１駆動部２１０は、両側の残り第２単位バッファトレイと連結されることができる。
【００７２】
結果的に、前記第１駆動部２１０のラックギアは、前記中央の単位バッファトレイの対を基準として両側に配置される単位バッファトレイの対を互いに逆方向に移動させることにより、前記単位バッファトレイの対間の第１ピッチを調節することができる。
【００７３】
特に、前記第１駆動部２１０の第１ピニオンギアの回転速度と第２ピニオンギアの回転速度との間の比は、前記第１単位バッファトレイ間の間隔が互いに同じになるように１：２程度に設定されることができる。これによって、前記単位バッファトレイの対間の第１ピッチが調節されることができる。
【００７４】
一方、前記バッファトレイが３対の単位バッファトレイを含む場合、前記第１駆動部は１つのピニオンギアと２つのラックギアを含むことができる。
【００７５】
図１０は、本発明の第３実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための概略的な平面図である。
【００７６】
図１０を参照すると、本発明の第３実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置３００は、半導体装置をテストするためのテストハンドラーに適用されることができる。
【００７７】
前記バッファトレイは、多数対の単位バッファトレイを含むことができ、それぞれの単位バッファトレイの対は、第１単位バッファトレイと第２単位バッファトレイを含むことができる。例えば、前記バッファトレイは、３つの単位バッファトレイの対を含むことができる。前記単位バッファトレイの対についての詳細な説明は図１乃至図８を参照して説明したことと類似なので省略する。
【００７８】
前記第１及び第２単位バッファトレイは、第１サポート３０２ａ及び第２サポート３０２ｂ上にそれぞれ配置されることができる。前記第１及び第２サポート３０２ａ、３０２ｂは、前記第１及び第２単位バッファトレイの下でバッファトレイの列方向にそれぞれ延長することができる。
【００７９】
前記第１サポート３０２ａの端部には第１リンク３０４ａが連結されており、前記第２サポート３０２ｂの端部には第２リンク３０４ｂが連結されている。前記第１リンク３０４ａと第２リンク３０４ｂとは互いに連結されている。
【００８０】
前記ピッチ調節装置３００は、前記単位バッファトレイの対間の第１ピッチを調節するための第１駆動部３１０と前記単位バッファトレイの対内で第１及び第２単位バッファトレイ間の第２ピッチを調節するための第２駆動部３４０を含むことができる。前記第１駆動部３１０は、少なくとも１つのピニオンギアと少なくとも１つのラックギアを含むことができる。例えば、前記第１駆動部３１０は、２つのピニオンギアと２つのラックギアを含むことができる。前記第１及び第２サポート３０２ａ、３０２ｂと前記第１及び第２リンク３０４ａ、３０４ｂ及び前記第１及び第２駆動部３１０、３４０についての追加的な説明は、図１乃至図８を参照して説明したので、省略する。
【００８１】
一方、前記バッファトレイの最外側単位バッファトレイの対は、ベースプレート３０６の上部面上に固定されることができ、残り単位バッファトレイの対は第１駆動部３１０と連結されることができる。例えば、最外側第１単位バッファトレイと連結された最外側第１サポート３０２ｃがベースプレート３０６の上部面に固定される場合、前記第１駆動部３１０は残り第１単位バッファトレイと連結されることができる。これとは異なり、最外側第２単位バッファトレイがベースプレート３０６の上部面に固定される場合、前記第１駆動部３１０は残り第２単位バッファトレイと連結されることができる。
【００８２】
結果的に、前記第１駆動部３１０のラックギアは、前記残り単位バッファトレイの対をピッチ方向に移動させることにより、前記単位バッファトレイの対間の第１ピッチを調節することができる。
【００８３】
特に、前記第１駆動部３１０の第１ピニオンギアの回転速度と第２ピニオンギアの回転速度との間の比は、前記第１単位バッファトレイ間の間隔が互いに同じになるように、１：２程度に設定されることができる。これによって、前記単位バッファトレイの対間の第１ピッチが調節されることができる。
【００８４】
一方、前記バッファトレイが２対の単位バッファトレイを含む場合、前記第１駆動部３１０は１つのピニオンギアと１つのラックギアを含むことができる。
【００８５】
図１１は、単位バッファトレイの他の例を説明するための概略的な平面図である。
【００８６】
前記したような本発明の第１、第２、及び第３実施例によると、それぞれの単位バッファトレイ（１２ａ又は１２ｂ）は、一列で配置された多数のソケット１４を有する。しかし、図１１に示すように、バッファトレイ２０は多数の単位バッファトレイ２２を含むことができる。それぞれの単位バッファトレイ２２は、多数の列に配置された多数のソケット２４ａ、２４ｂを有することができ、前記多数の列を有する単位バッファトレイ２２間のピッチは、前記第１、第２、及び第３実施例によるピッチ調節装置によって調節されることができる。
【００８７】
図１２は、本発明の第４実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための概略的な平面図である。
【００８８】
図１２を参照すると、本発明の第４実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置４００は、半導体装置をテストするためのテストハンドラーに適用されることができる。
【００８９】
前記バッファトレイは多数の単位バッファトレイを含むことができ、それぞれの単位バッファトレイは、図１１に示すように、多数の列に配置される多数のソケットを含むことができる。特に、前記バッファトレイは偶数個の単位バッファトレイを含むことができる。例えば、前記バッファトレイは４つの単位バッファトレイを含み、それぞれの単位バッファトレイは列方向に配列される第１ソケットと前記第１ソケットと平行に配列される第２ソケットを有する。
【００９０】
前記ピッチ調節装置４００は、前記単位バッファトレイと連結され前記単位バッファトレイ間のピッチを行方向に調節するための駆動部４１０を含むことができる。前記駆動部４１０は、少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと、前記出力ギアに結合される多数のラックギア、及び回転力を提供するモーターユニットを含むことができる。例えば、前記駆動部４１０は２つのピニオンギア４１２と４つのラックギア４１４を利用して前記バッファトレイのピッチを調節することができる。ここで、前記単位バッファトレイと前記ラックギア４１４はベースプレート４０６上に配置されるサポート４０２によって連結されることができる。
【００９１】
前記駆動部４１０は、前記バッファトレイのピッチを調節するために、前記バッファトレイの中央地点を中心に両側に配置される単位バッファトレイを互いに逆方向に移動させることができる。前記駆動部についての追加的な説明は、図１乃至図８を参照して説明したので、省略する。
【００９２】
前記ピッチ調節装置４００は、前記バッファトレイのピッチを前記テストハンドラーのテストトレイ又はカストマートレイの奇数列ピッチと同様に調節することができる。この場合、前記テストハンドラーのピッカーシステムは、多数のピッカーを利用して前記テストトレイ又はカストマートレイから多数の半導体装置をピックアップし、続いて、前記バッファトレイの上部に移動する。まず、前記ピッカーシステムは、前記半導体装置のうち、奇数列のピッカーに把持された半導体装置が前記バッファトレイの第１ソケットの上部に位置するように整列され、その後、前記奇数列の半導体装置を前記第１ソケットに収納する。その後、前記ピッカーシステムの偶数列のピッカーに把持された半導体装置が第２ソケットの上部に位置するように整列された後、前記偶数列の半導体装置が前記第２ソケットに収納される。
【００９３】
図１３は、本発明の第５実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための概略的な平面図である。
【００９４】
図１３を参照すると、本発明の第５実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置５００は、半導体装置をテストするためのテストハンドターに適用されることができる。
【００９５】
前記バッファトレイは多数の単位バッファトレイを含むことができ、それぞれの単位バッファトレイは図１１に図示されたように、多数の列に配置される多数のソケットを含むことができる。特に、前記バッファトレイは、奇数個の単位バッファトレイを含むことができる。例えば、図示されたように、前記バッファトレイは５つの単位バッファトレイを含み、それぞれの単位バッファトレイは列方向に配列される第１ソケットと前記第１ソケットと平行に配列される第２ソケットを有する。
【００９６】
前記ピッチ調節装置５００は、前記単位バッファトレイと連結され前記単位バッファトレイ間のピッチを行方向に調節するための駆動部５１０を含むことができる。前記駆動部５１０は、少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと前記出力ギアに結合される多数のラックギア及び回転力を提供するモーターユニットを含むことができる。特に、前記駆動部５１０は、２つのピニオンギア５１２と４つのラックギア５１４を利用して前記バッファトレイのピッチを調節することができる。ここで、前記単位バッファトレイと前記ラックギア５１４は、ベースプレート５０６上に配置されるサポート５０２によって連結されることができる。
【００９７】
前記駆動部５１０は、前記バッファトレイのピッチを調節するために、中央の単位バッファトレイを中心に両側に配置される単位バッファトレイを互いに逆方向に移動させることができる。前記駆動部５１０についての追加的な説明は、図９を参照して説明した第１駆動部２１０と類似なので、省略する。
【００９８】
図１４は、本発明の第６実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための概略的な平面図である。
【００９９】
図１４を参照すると、本発明の第６実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置６００は、半導体装置をテストするためのテストハンドターに適用されることができる。
【０１００】
前記バッファトレイは多数の単位バッファトレイを含むことができ、それぞれの単位バッファトレイは、図１１に図示されたように、多数の列に配置される多数のソケットを含むことができる。例えば、示すように、前記バッファトレイは３つの単位バッファトレイを含み、それぞれの単位バッファトレイは列方向に配列される第１ソケットと前記第１ソケットと平行に配列される第２ソケットを有する。
【０１０１】
前記ピッチ調節装置６００は、前記単位バッファトレイと連結され前記単位バッファトレイ間のピッチを行方向に調節するための駆動部６１０を含むことができる。前記駆動部６１０は、少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと前記出力ギアに結合される少なくとも１つのラックギア及び回転力を提供するモーターユニットを含むことができる。特に、前記駆動部６１０は、２つのピニオンギア６１２と２つのラックギア６１４を利用して前記バッファトレイのピッチを調節することができる。ここで、前記単位バッファトレイと前記ラックギア６１４は、ベースプレート６０６上に配置されるサポート６０２によって連結されることができる。
【０１０２】
前記駆動部６１０は、最外側単位バッファトレイを除いた残りバッファトレイをピッチ方向に移動させることにより、前記バッファトレイのピッチを調節することができる。前記駆動部６１０についての追加的な詳細な説明は、図１０を参照して説明された第１駆動部３１０と類似なので省略する。
【０１０３】
前述したような本発明の第４、第５、及び第６実施例によると、多数の列を有する単位バッファトレイ（図１１における２２）が使用されているが、前記第４、第５、及び第６実施例によるピッチ調節装置を利用して一列に配置されたソケットを有する単位バッファトレイ（図２における１２ａ又は１２ｂ）間のピッチを調節することもできる。
【産業上の利用可能性】
【０１０４】
前述したような本発明の実施例によると、バッファトレイのピッチは、ピニオンギアとラックギアを含む第１駆動部及びリンクを駆動させるための第２駆動部によってテストトレイ又はカストマートレイのピッチと同様に調節されることができる。
【０１０５】
従って、半導体装置を移送する間、ピッカーシステムのピッチを調節する必要がないので、前記半導体装置の移送に所要される時間が短縮されることができる。又、ピッカーのピッチを調節するための別途の装置が必要ではないので、前記ピッカーシステムの重量を減少させることができ、これによってテストハンドラーの安定性を向上させることができる。
【０１０６】
以上、本発明の実施例によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有するものであれば本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修正または変更できる。
【図面の簡単な説明】
【０１０７】
【図１】本発明の第１実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための斜視図である。
【図２】バッファトレイを説明するための概略的な平面図である。
【図３】図１に図示された第１駆動部のギアボックスを説明するための平面図である。
【図４】図１に図示された第１駆動部のギアボックスを説明するための斜視図である。
【図５】図１に図示された第１駆動部の第１モーターユニットを説明するための底面図である。
【図６】図１に図示されたバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための平面図である。
【図７】図１に図示されたバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための平面図である。
【図８】図１に図示されたバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための平面図である。
【図９】本発明の第２実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための概略的な平面図である。
【図１０】本発明の第３実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための概略的な平面図である。
【図１１】バッファトレイの他の例を説明するための概略的な平面図である。
【図１２】本発明の第４実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための概略的な平面図である。
【図１３】本発明の第５実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための概略的な平面図である。
【図１４】本発明の第６実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための概略的な平面図である。
【符号の説明】
【０１０８】
１０…バッファトレイ、１２ａ、１２ｂ…単位バッファトレイ、１４…ソケット、１００…ピッチ調節装置、１０２ａ、１０２ｂ…サポート、１０４ａ、１０４ｂ…リンク、１０６…ベースプレート、１１０…第１駆動部、１１２…ギアボックス、１１４…ピニオンギア、１１６…駆動ギア、１２０…ラックギア、１２２…第１モーターユニット、１４０…第２駆動部、１４２…ガイドバー、１５０…第２モーターユニット。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置をテストするための装置に関する。より詳細には、半導体装置をテストするためのテストハンドターで半導体装置を収納するバッファトレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、揮発性又は不揮発性メモリ装置、システムＬＳＩ（Ｌａｒｇｅ−Ｓｃａｌｅ ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ）回路素子のような半導体装置は、多様なテスト過程を通じて動作特性が検査された後に出荷される。
【０００３】
テストハンドターは、前記半導体装置を検査するために、前記半導体装置をテストチャンバーに移送する。特に、前記半導体装置は、カストマートレイからバッファトレイを経由してテストトレイに移送され、前記テストチャンバーで検査された半導体装置は、テストトレイからバッファトレイを経由してカストマートレイに移送される。
【０００４】
テストハンドターは、前記トレイ間で半導体装置を移送するためのピッカーシステムを具備することができる。前記ピッカーシステムに関する例は、特許文献１、特許文献２、特許文献３等に開示されている。
【特許文献１】米国特許第６７６１５２６号
【特許文献２】米国特許第７０００６４８号
【特許文献３】米国特許第７０２３１９７号
【０００５】
最近、半導体装置を移送するのに所要される時間を短縮させるために、前記ピッカーシステムは多数のピッカーを使用している。又、前記ピッカーシステムは、前記ピッカー間のピッチをカストマートレイとテストトレイのピッチと同様に調節するために、ピッチ調節装置を含むことができる。しかし、ピッカーの数量が増加されるほど、ピッチ調節装置の重量が増加するので、半導体装置の移送速度を増加させるのには限界がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
前記のような問題点を解決するための本発明の第１目的は、半導体装置のテストのためのテストハンドターで半導体装置の移送速度を増加させることができるバッファトレイのピッチ調節方法を提供することにある。
【０００７】
本発明の第２目的は、前述したようなバッファトレイのピッチ調節方法を行うのに適合な装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記第１目的を達成するための本発明の一側面によるバッファトレイのピッチ調節方法によると、バッファトレイは、半導体装置を収納するための多数対の単位バッファトレイを含むことができる。前記バッファトレイのピッチは、前記単位バッファトレイの対間の第１ピッチを調節し、前記単位バッファトレイの対内で第１単位バッファトレイと第２単位バッファトレイとの間の第２ピッチを調節することにより調節されることができる。
【０００９】
本発明の一実施例によると、前記第１ピッチは、前記バッファトレイの中央地点を基準として両側に配置される単位バッファトレイの少なくとも１つの第１対と少なくとも１つの第２対を互いに逆方向に移動させることにより調節されることができる。
【００１０】
本発明の一実施例によると、前記第１ピッチは、前記バッファトレイの中央地点に隣接する単位バッファトレイの対を基準として両側に配置される単位バッファトレイの少なくとも１つの第１対と少なくとも１つの第２対を互いに逆方向に移動させることにより、調節されることができる。
【００１１】
本発明の一実施例によると、前記第１ピッチは、最外側単位バッファトレイの対を基準として残り少なくとも１つの単位バッファトレイの対を移動させることにより、調節されることができる。
【００１２】
本発明の一実施例によると、前記第２ピッチは、前記第１単位バッファトレイに対して前記第２単位バッファトレイを相対的に移動させることにより、調節されることができる。
【００１３】
前記第２目的を達成するための本発明の他の側面によると、半導体装置を収納するための多数対の単位バッファトレイを含むバッファトレイのピッチ調節装置は、前記単位バッファトレイの対と連結され前記単位バッファトレイの対間の第１ピッチを調節するための第１駆動部と、前記単位バッファトレイの対と連結され前記単位バッファトレイの対内で第１単位バッファトレイと第２単位バッファトレイとの間の第２ピッチを調節するための第２駆動部と、を含むことができる。
【００１４】
本発明の一実施例によると、前記第１駆動部は、前記多数対の単位バッファトレイと連結された多数のラックギアと、前記ラックギアと結合される少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと、前記ギアボックスと連結され回転力を提供するモーターユニットと、を含むことができ、前記ラックギアは、前記バッファトレイの中央地点を基準として両側に配置される単位バッファトレイの少なくとも１つの第１対及び少なくとも１つの第２対を互いに逆方向に移動させるように前記少なくとも１つの出力ギアに結合されることができる。
【００１５】
本発明の一実施例によると、前記ギアボックスは、前記モーターユニットの駆動軸に連結された駆動ギアと、前記駆動軸に連結され前記駆動ギアより小さいピッチ円を有し、互いに向かい合う第１ラックギア及び第２ラックギアと結合された第１ピニオンギアと、前記駆動ギアと結合され前記駆動ギアによって回転して前記駆動ギアより小さいピッチ円を有し、互いに向かい合う第３ラックギア及び第４ラックギアと結合された第２ピニオンギアと、を含むことができる。
【００１６】
本発明の一実施例によると、前記ピッチ調節装置は、ベースプレートを更に含むことができ、前記第１駆動部と第２駆動部は、前記ベースプレート上に配置されることができる。
【００１７】
本発明の一実施例によると、前記ラックギア及び前記ギアボックスは、前記ベースプレートの上部面上に配置されることができ、前記モーターユニットは、前記ベースプレートの下部面上に配置されることができ、前記モーターユニットと前記ギアボックスは前記ベースプレートを通じて連結されることができる。
【００１８】
本発明の一実施例によると、前記ラックギアと前記多数対の単位バッファトレイの対は、前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に延長する多数のサポートによって連結されることができる。
【００１９】
本発明の一実施例によると、前記第１駆動部は、多数のラックギアと、前記ラックギアと結合される少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと、前記ギアボックスと連結され回転力を提供するモーターユニットと、を含むことができ、前記ラックギアは、前記バッファトレイの中央部位に対応する単位バッファトレイの対を基準として両側に配置される単位バッファトレイの少なくとも１つの第１対及び少なくとも１つの第２対と連結されることができ、前記両側に配置される単位バッファトレイの第１及び第２対を互いに逆方向に移動させるように前記少なくとも１つの出力ギアに結合されることができる。
【００２０】
本発明の一実施例によると、前記第１駆動部は、多数のラックギアと、前記ラックギアと結合される多数の出力ギアを含むギアボックスと、前記ギアボックスと連結され回転力を提供するモーターユニットと、を含むことができ、前記ラックギアは、最外側単位バッファトレイの対を除いた残り単位バッファトレイの対に連結されることができ、前記残り単位バッファトレイの対を前記バッファトレイのピッチ方向に移動させるように前記出力ギアに結合されることができる。
【００２１】
本発明の一実施例によると、前記バッファトレイは、２対の単位バッファトレイを含むことができ、前記第１駆動部は、ラックギアと、前記ラックギアと結合される出力ギアを含むギアボックスと、前記ギアボックスと連結され回転力を提供するモーターユニットと、を含むことができる。前記ラックギアは、前記第１ピッチを調節するために、前記２対の単位バッファトレイのうちの１つと連結されることができる。
【００２２】
本発明の一実施例によると、前記ピッチ調節装置は、前記第１単位バッファトレイと連結された第１リンクと、前記第２単位バッファトレイ及び前記第１リンクと連結された第２リンクと、を更に含むことができ、前記第１駆動部は、前記第１単位バッファトレイ又は第２単位バッファトレイに連結されることができる。
【００２３】
本発明の一実施例によると、前記第１及び第２単位バッファトレイは、前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に延長する多数のサポートによって前記第１及び第２リンクと連結されることができる。
【００２４】
本発明の一実施例によると、前記第２駆動部は前記第１リンク又は第２リンクに連結されることができ、前記第１単位バッファトレイ及び前記第２単位バッファトレイの間で相対的な運動を発生させるために、前記第１リンク又は第２リンクに駆動力を印加することができる。
【００２５】
本発明の一実施例によると、前記ピッチ調節装置は、前記第１単位バッファトレイ及び前記第２単位バッファトレイを前記バッファトレイのピッチ方向に案内する少なくとも１つのガイド部材を更に含むことができる。
【００２６】
本発明の一実施例によると、前記ピッチ調節装置は、前記バッファトレイのピッチ方向に延長し、前記第２駆動部によって前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に移動可能に配置され、前記第２駆動部及び前記第１リンク又は第２リンク間の連結部位を前記バッファトレイのピッチ方向に案内するガイド部材を更に含むことができる。又、前記ピッチ調節装置は、前記ガイド部材の両側端部と連結され前記ガイド部材を前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に案内するための第２ガイド部材を更に含むことができる。
【００２７】
本発明の一実施例によると、それぞれの第１及び第２単位バッファトレイは、前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に配置され前記半導体装置を収納するための多数のソケットを有することができ、前記第１及び第２単位バッファトレイは前記バッファトレイのピッチ方向に配置されることができる。
【００２８】
前記第２目的を達成するための本発明の更に他の側面によると、半導体装置を収納するための単位バッファトレイを含むバッファトレイのピッチ調節装置は、回転力を発生させるモーターユニットと、前記モーターユニットと連結され少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと、前記単位バッファトレイのうち、少なくとも１つと連結され前記単位バッファトレイ間のピッチを調節するために、前記少なくとも１つの出力ギアと連結される少なくとも１つのラックギアと、を含むことができる。
【００２９】
本発明の一実施例によると、それぞれの単位バッファトレイは、前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に少なくとも１つの列を有するように配置され、前記半導体装置を収納するための多数のソケットを有することができ、前記単位バッファトレイは、前記バッファトレイのピッチ方向に配置されることができる。
【００３０】
本発明の一実施例によると、前記バッファトレイは偶数個の単位バッファトレイを含むことができ、多数のラックギアが前記バッファトレイの中央地点を基準として両側に配置される少なくとも１つの第１単位バッファトレイ及び少なくとも１つの第２単位バッファトレイと連結され、前記第１及び第２単位バッファトレイが互いに逆方向に移動されるように前記少なくとも１つの出力ギアに結合されることができる。
【００３１】
本発明の一実施例によると、前記バッファトレイは奇数個の単位バッファトレイを含むことができ、多数のラックギアが中央の単位バッファトレイを基準として両側に配置される少なくとも１つの第１単位バッファトレイ及び少なくとも１つの第２単位バッファトレイと連結されることができる。前記多数のラックギアは、前記両側に配置される第１及び第２単位バッファトレイが互いに逆方向に移動されるように前記少なくとも１つの出力ギアに結合されることができる。
【００３２】
本発明の一実施例によると、前記少なくとも１つのラックギアは、最外側単位バッファトレイを除いた少なくとも１つの残り単位バッファトレイに連結されることができ、前記残り単位バッファトレイが前記バッファトレイのピッチ方向に移動されるように前記少なくとも１つの出力ギアに結合されることができる。
【発明の効果】
【００３３】
前述したような本発明の実施例によると、前記バッファトレイのピッチは、前記第１駆動部及び第２駆動部によってテストトレイ又はカストマートレイのピッチと同様に調節されることができる。
【００３４】
従って、半導体装置を移送する間、ピッカーシステムのピッチを調節する必要がないので、前記半導体装置の移送に所要される時間が短縮されることができる。又、ピッカーのピッチを調節するための別途の装置が必要ではないので、前記ピッカーシステムの重量を減少させることができ、これによってテストハンドラーの安定性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、本発明による実施例を添付図面を参照して詳細に説明する。
【００３６】
図１は、本発明の第１実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための斜視図で、図２は、バッファトレイを説明するための概略的な平面図である。
【００３７】
図１及び図２を参照すると、本発明の第１実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置１００は、半導体装置をテストするためのテストハンドターに適用されることができる。特に、前記ピッチ調節装置１００は、前記バッファトレイ１０のピッチをテストトレイ（図示せず）又はカストマートレイ（図示せず）のピッチと同様に調節するために使用されることができる。
【００３８】
前記バッファトレイ１０は、多数対の単位バッファトレイ１２を含むことができ、それぞれの単位バッファトレイの対１２は、第１単位バッファトレイ１２ａと第２単位バッファトレイ１２ｂを含むことができる。例えば、前記バッファトレイ１０は、４つの単位バッファトレイの対１２を含むことができる。
【００３９】
前記第１及び第２単位バッファトレイ１２ａ、１２ｂのそれぞれは一列に配置され、半導体装置を収納するための多数のソケット１４を有することができ、互いに平行に配列されることができる。例えば、前記第１及び第２単位バッファトレイ１２ａ、１２ｂのそれぞれは８つのソケット１４を有することができる。しかし、前記第１及び第２単位バッファトレイ１２ａ、１２ｂのソケット１４の数量は必要によって多様に変更されることができる。ここで、前記多数対の単位バッファトレイ１２は、前記第１及び第２単位バッファトレイ１２ａ、１２ｂの延長方向、即ち、列方向（Ｙ軸方向）に対して垂直である行方向（Ｘ軸方向）に配列されることができる。
【００４０】
前記第１及び第２単位バッファトレイ１２ａ、１２ｂは、第１サポート１０２ａ及び第２サポート１０２ｂ上にそれぞれ配置されることができる。前記第１及び第２サポート１０２ａ、１０２ｂは、前記第１及び第２単位バッファトレイ１２ａ、１２ｂの下で前記列方向にそれぞれ延長することができる。
【００４１】
前記第１サポート１０２ａの端部には第１リンク１０４ａが連結されており、前記第２サポート１０２ｂの端部には、第２リンク１０４ｂが連結されている。前記第２リンク１０４ｂは、前記第１リンク１０４ａに連結されている。図示されたように、前記第２リンク１０４ｂは、前記第１リンク１０４ａの中央部位に連結されることができる。しかし、前記とは異なり、前記第１リンク１０４ａの端部と前記第２リンク１０４ｂの端部が互いに連結されることもでき、前記第１リンク１０４ａの端部が前記第２リンク１０４ｂの中央部位に連結されることもできる。
【００４２】
前記ピッチ調節装置１００は、前記バッファトレイ１０の行方向にピッチを調節するための第１駆動部１１０及び第２駆動部１４０を含むことができる。特に、前記ピッチ調節装置１００は、前記単位バッファトレイの対１２間の第１ピッチｐ１を調節するための第１駆動部１１０と前記単位バッファトレイの対１２内で第１及び第２単位バッファトレイ１２ａ、１２ｂ間の第２ピッチｐ２を調節するための第２駆動部１４０を含むことができる。前記第１及び第２駆動部１１０、１４０は、ベースプレート１０６上に配置されることができる。
【００４３】
図３は、図１に図示された第１駆動部のギアボックスを説明するための平面図で、図４は、図１に図示された第１駆動部のギアボックスを説明するための斜視図で、図５は、図１に図示された第１駆動部の第１モーターユニットを説明するための底面図である。
【００４４】
図３乃至図５を参照すると、前記第１駆動部１１０は、前記ベースプレート１０６の上部面上で回転可能に配置される少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックス１１２と、前記出力ギアに結合される多数のラックギア１２０、及び前記ギアボックス１１２と連結され回転力を提供する第１モーターユニット１２２を含むことができる。
【００４５】
例えば、前記ベースプレート１０６の上部面上には４つのラックギア１２０が配置され、前記４つのラックギア１２０は、前記出力ギアとして機能する２つのピニオンギア１１４に結合されることができる。特に、第１ピニオンギア１１４ａは、前記第１モーターユニット１２２の駆動軸１２４に連結されることができ、前記第１ピニオンギア１１４ａには、第１ラックギア１２０ａと第２ラックギア１２０ｂが互いに向かい合うように結合されている。又、第２ピニオンギア１１４ｂは、前記第１モーターユニット１２２の駆動軸１２４に連結された駆動ギア１１６と結合され、前記第２ピニオンギア１１４ｂには第３ラックギア１２０ｃと第４ラックギア１２０ｄが互いに向かい合うように結合されている。
【００４６】
図６乃至図８は、図１に図示されたバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための平面図である。
【００４７】
図６及び図７を参照すると、前記第１ラックギア１２０ａ及び第２ラックギア１２０ｂは、内側の単位バッファトレイの対１２と第１及び第２サポート１０２ａ、１０２ｂを通じて連結されることができ、前記第３ラックギア１２０ｃ及び第４ラックギア１２０ｄは、第１及び第２サポート１０２ａ、１０２ｂを通じて外側の単位バッファトレイの対１２と結合されることができる。特に、図６及び図７において、バッファトレイ１０の左側に配置された第１単位バッファトレイの対１２は、第１及び第４ラックギア１２０ａ、１２０ｄと連結されることができ、図６及び図７でバッファトレイ１０の右側に配置された前記第２単位バッファトレイの対１２は、第２及び第３ラックギア１２０ｂ、１２０ｃと連結されることができる。従って、前記第１及び第２単位バッファトレイの対１２は、図７に示すように、前記第１及び第２ピニオンギア１１４ａ、１１４ｂの回転によって、前記バッファトレイ１０の中央地点を基準として互いに逆方向にそれぞれ移動することができる。
【００４８】
図示されたように、前記第１、第２、第３、及び第４ラックギア１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄは、第１サポート１０２ａを通じて第１単位バッファトレイ１２ａに連結されることができる。しかし、前記第１、第２、第３、及び第４ラックギア１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄは、第２サポート１０２ｂを通じて第２単位バッファトレイ１２ｂに連結されることもできる。
【００４９】
一方、図示されていないが、前記第１、第２、第３、及び第４ラックギア１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄを前記バッファトレイ１０の行方向に案内するための多数のガイド部材が前記ベースプレート１０６上に配置されることができる。
【００５０】
前記第１ピニオンギア１１４ａの回転速度と第２ピニオンギア１１４ｂの回転速度との間の比は、前記第１単位バッファトレイ１２ａ間の間隔が互いに同じになるように１：３程度に設定されることができる。具体的に、前記第１及び第２ピニオンギア１１４ａ、１１４ｂは、前記駆動ギア１１６より小さいピッチ円を有することができる。特に、前記駆動ギア１１６の直径は、前記第２ピニオンギア１１４ｂの直径の３倍程度に設定されることができ、前記第１及び第２ピニオンギア１１４ａ、１１４ｂは互いに同じ直径を有することができる。結果的に、前記第１及び第２ピニオンギア１１４ａ、１１４ｂの回転によって前記単位バッファトレイの対１２間の第１ピッチｐ１が調節されることができる。
【００５１】
一方、前記第１単位バッファトレイ１２ａは、前記第１及び第２リンク１０４ａ、１０４ｂを通じて前記第２単位バッファトレイ１２ｂと連結されているので、前記第１ピッチｐ１を調節する間、前記第１単位バッファトレイ１２ａと前記第２単位バッファトレイ１２ｂ間の第２ピッチｐ２は一定に維持されることができる。
【００５２】
前記したように、前記ギアボックス１１２が２つのピニオンギア１１４ａ、１１４ｂを含んでいるが、前記ギアボックス１１２は、互いに異なる回転速度を有する３つ以上のピニオンギアを有するように構成されることができ、前記第１駆動部１１０は、前記ピニオンギアと結合される多数のラックギアを含むことができる。即ち、前記ピニオンギア及び前記ラックギアの数量は前記第１単位バッファトレイ１２ａの数量によって変更されることができる。
【００５３】
又、前記バッファトレイ１０が２対の単位バッファトレイ１２を含む場合、前記第１駆動部１１０は、１つのピニオンギアと２つのラックギアを含むことができる。
【００５４】
図４及び図５を参照すると、前記駆動軸１２４は、前記ベースプレート１０６を通じて延長することができ、前記ベースプレート１０６の下部面上には、前記第１モーターユニット１２２が配置されることができる。前記第１モーターユニット１２２と前記駆動軸１２４は、かさ歯車１２６によって連結されることができる。しかし、前記第１モーターユニット１２２は、前記駆動軸１２４と直接連結されることもできる。
【００５５】
図６を参照すると、前記ベースプレート１０６の上部面上には、前記行方向に延長して前記第１及び第２サポート１０２ａ、１０２ｂを前記行方向、即ち、前記バッファトレイ１０のピッチ方向に案内するための少なくとも１つのガイド部材が配置されることができる。例えば、前記ベースプレート１０６上には、前記行方向に延長する第１及び第２ガイドレール１３０ａ、１３０ｂが配置されることができ、前記第１及び第２サポート１０２ａ、１０２ｂは、第１ボールブロック１３２ａ及び第２ボールブロック１３２ｂを通じて前記第１及び第２ガイドレール１３０ａ、１３０ｂに結合されることができる。しかし、前記第１及び第２サポート１０２ａ、１０２ｂは、１つのガイドレールによって前記行方向に案内されることもできる。
【００５６】
図７及び図８を参照すると、前記第２駆動部１４０は、前記ベースプレート１０６の上部面上に配置され、前記第１リンク１０４ａの端部と連結されることができる。特に、前記第２駆動部１４０は、前記第１単位バッファトレイ１２ａ及び前記第２単位バッファトレイ１２ｂ間の第２ピッチｐ２を調節するために、前記第１リンク１０４ａに駆動力を印加し、これによって前記第１単位バッファトレイ１２ａ及び前記第２単位バッファトレイ１２ｂ間で相対的な運動が発生されることができる。
【００５７】
前記第１リンク１０４ａの端部は、前記行方向に延長するガイド部材によって前記行方向に案内されることができる。例えば、前記行方向に延長するガイドバー１４２が前記バッファトレイ１０に隣接するように配置され、前記ガイドバー１４２は、前記行方向に延長するスロット１４４を有することができる。前記スロット１４４内には、多数のローラー（図示せず）が配置されることができ、前記第１リンク１０４ａの端部は、前記ローラーに連結されることができる。
【００５８】
前記ガイドバー１４２の両側端部は、前記ベースプレート１０６上で前記列方向に延長する第３ガイドレール１４６ａと第４ガイドレール１４６ｂに第３ボールブロック１４８ａ及び第４ボールブロック１４８ｂを通じて連結されることができる。即ち、前記第２駆動部１４０は、前記ガイドバー１４２とローラーを通じて前記第１リンク１０４ａの端部と連結されることができる。前記ガイドバー１４２は、前記第２駆動部１４０によって前記列方向に移動することができ、これによって、前記第１リンク１０４ａは、前記第１サポート１０２ａの端部を中心に回転することができ、前記第２リンク１０４ｂは、前記第１リンク１０４ａの中央部位を中心に回転することができる。結果的に、前記第２単位バッファトレイ１２ｂは、前記第１単位バッファトレイ１２ａに対して前記行方向、即ち、ピッチ方向に移動することができる。即ち、前記ガイドバー１４２の移動距離を調節することにより、前記バッファトレイ１０の第２ピッチｐ２を調節することができる。
【００５９】
図示されたように、第１ピッチｐ１を調節した後、第２ピッチｐ２が調節されている。しかし、状況によって、第２ピッチｐ２が調節された後、第１ピッチｐ１が調節されることもできる。
【００６０】
前記とは異なり、前記第１リンク１４２の端部は、多数のボールブロックとガイドレールによって前記行方向に案内されることもできる。即ち、前記バッファトレイ１０に隣接するように第５ガイドレールが配置されることができ、前記第５ガイドレールには多数の第５ボールブロックが移動可能に連結されることができる。前記第１リンク１４２の端部は、前記第５ボールブロックに連結されることができる。
【００６１】
前記第２駆動部１４０は、前記ベースプレート１０６の上部面上で前記ガイドバー１４２と連結される。特に、前記第２駆動部１４０は、第２モーターユニット１５０を含むことができ、前記第２モーターユニット１５０は、ボールスクリュー１５２及びボールナット１５４を通じて前記ガイドバー１４２と連結されることができる。具体的に、前記ボールスクリュー１５２は、前記第２モーターユニット１５０の回転軸と連結されることができ、前記ボールナット１５４は前記ガイドバー１４２に連結されることができ、前記ボールスクリュー１５２は前記ボールナット１５４を通じて延長することができる。
【００６２】
一方、前記第２駆動部１４０として多様な直線往復駆動ユニットが選択的に使用されることができる。例えば、キャムとスプリングを利用した直線往復運動装置、空圧又は油圧シリンダー等が第２駆動部１４０として使用されることもできる。
【００６３】
一方、図示されていないが、前記第１及び第２駆動部１１０、１４０の動作によって発生されることができるバックラッシュによるピッチ調節の正確度低下を防止するために、前記第１単位バッファトレイ１２ａ及び第２単位バッファトレイ１２ｂは多数のスプリングを利用して互いに拘束されることができる。例えば、前記第１単位バッファトレイ１２ａと第２単位バッファトレイ１２ｂは、第１コイルスプリングによって互いに連結されることができる。又、前記バッファトレイ１０の中央地点を基準として両側に配置される第１単位バッファトレイ１２ａは、第２コイルスプリング及び第３コイルスプリングによって互いに連結されることができる。
【００６４】
前記したような本発明の第１実施例によると、第１単位バッファトレイ１２ａ間の第１ピッチｐ１は、第１駆動部１１０によって調節されることができ、前記第１単位バッファトレイ１２ａ及び第２単位バッファトレイ１２ｂ間の第２ピッチｐ２は、第２駆動部１４０によって調節されることができる。結果的に、前記バッファトレイ１０のピッチは、テストトレイ又はカストマートレイのピッチと同様に調節されることができる。従って、前記半導体装置を移送するためのピッカーシステムのピッチを調節する必要がないので、前記テストトレイ又はカストマートレイと前記バッファトレイとの間で半導体装置を移送するのに所要される時間が大幅短縮されることができる。又、前記ピッカーシステムの重量を軽くすることができるので、前記テスターハンドターの安定性を大幅向上させることができ、前記ピッカーシステムのピッカー数量を増加させることができる。
【００６５】
図９は、本発明の第２実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための概略的な平面図である。
【００６６】
図９を参照すると、本発明の第２実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置２００は、半導体装置をテストするためのテストハンドターに適用されることができる。
【００６７】
前記バッファトレイは、多数対の単位バッファトレイを含むことができ、それぞれの単位バッファトレイの対は、第１単位バッファトレイと第２単位バッファトレイを含むことができる。例えば、前記バッファトレイは、５つの単位バッファトレイの対を含むことができる。前記単位バッファトレイの対に対する詳細な説明は、図１乃至図８を参照して説明されたことと類似なので、省略する。
【００６８】
前記第１及び第２単位バッファトレイは、第１サポート２０２ａ及び第２サポート２０２ｂ上にそれぞれ配置されることができる。前記第１及び第２サポート２０２ａ、２０２ｂは、前記第１及び第２単位バッファトレイの下でバッファトレイの列方向にそれぞれ延長することができる。
【００６９】
前記第１サポート２０２ａの端部には第１リンク２０４ａが連結されており、前記第２サポート２０２ｂの端部には第２リンク２０４ｂが連結されている。前記第１リンク２０４ａと第２リンク２０４ｂは互いに連結されている。
【００７０】
前記ピッチ調節装置２００は、前記単位バッファトレイの対間の第１ピッチを調節するための第１駆動部２１０と前記単位バッファトレイの対内で第１及び第２単位バッファトレイ間の第２ピッチを調節するための第２駆動部２４０を含むことができる。前記第１駆動部２１０は、少なくとも１つのピニオンギアと少なくとも１つのラックギアを含むことができる。例えば、前記第１駆動部２１０は、２つのピニオンギアと４つのラックギアを含むことができる。前記第１及び第２サポート２０２ａ、２０２ｂと前記第１及び第２リンク２０４ａ、２０４ｂ及び前記第１及び第２駆動部２１０、２４０についての詳細な説明は図１乃至図８を参照して説明したことと類似なので、省略する。
【００７１】
一方、前記バッファトレイの中央地点に隣接する中央の単位バッファトレイの対はベースプレート２０６の上部面上に固定され、前記中央の単位バッファトレイの対を基準として両側に配置される単位バッファトレイの対は第１駆動部と連結される。即ち、前記中央の第１単位バッファトレイと連結された第１サポート２０２ｃは、ベースプレート２０６上に装着されることができる。例えば、中央の第１単位バッファトレイがベースプレート２０６の上部面に固定される場合、前記第１駆動部２１０は、両側の残り第１単位バッファトレイと連結されることができ、中央の第２単位バッファトレイがベースプレート２０６の上部面に固定される場合、前記第１駆動部２１０は、両側の残り第２単位バッファトレイと連結されることができる。
【００７２】
結果的に、前記第１駆動部２１０のラックギアは、前記中央の単位バッファトレイの対を基準として両側に配置される単位バッファトレイの対を互いに逆方向に移動させることにより、前記単位バッファトレイの対間の第１ピッチを調節することができる。
【００７３】
特に、前記第１駆動部２１０の第１ピニオンギアの回転速度と第２ピニオンギアの回転速度との間の比は、前記第１単位バッファトレイ間の間隔が互いに同じになるように１：２程度に設定されることができる。これによって、前記単位バッファトレイの対間の第１ピッチが調節されることができる。
【００７４】
一方、前記バッファトレイが３対の単位バッファトレイを含む場合、前記第１駆動部は１つのピニオンギアと２つのラックギアを含むことができる。
【００７５】
図１０は、本発明の第３実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための概略的な平面図である。
【００７６】
図１０を参照すると、本発明の第３実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置３００は、半導体装置をテストするためのテストハンドラーに適用されることができる。
【００７７】
前記バッファトレイは、多数対の単位バッファトレイを含むことができ、それぞれの単位バッファトレイの対は、第１単位バッファトレイと第２単位バッファトレイを含むことができる。例えば、前記バッファトレイは、３つの単位バッファトレイの対を含むことができる。前記単位バッファトレイの対についての詳細な説明は図１乃至図８を参照して説明したことと類似なので省略する。
【００７８】
前記第１及び第２単位バッファトレイは、第１サポート３０２ａ及び第２サポート３０２ｂ上にそれぞれ配置されることができる。前記第１及び第２サポート３０２ａ、３０２ｂは、前記第１及び第２単位バッファトレイの下でバッファトレイの列方向にそれぞれ延長することができる。
【００７９】
前記第１サポート３０２ａの端部には第１リンク３０４ａが連結されており、前記第２サポート３０２ｂの端部には第２リンク３０４ｂが連結されている。前記第１リンク３０４ａと第２リンク３０４ｂとは互いに連結されている。
【００８０】
前記ピッチ調節装置３００は、前記単位バッファトレイの対間の第１ピッチを調節するための第１駆動部３１０と前記単位バッファトレイの対内で第１及び第２単位バッファトレイ間の第２ピッチを調節するための第２駆動部３４０を含むことができる。前記第１駆動部３１０は、少なくとも１つのピニオンギアと少なくとも１つのラックギアを含むことができる。例えば、前記第１駆動部３１０は、２つのピニオンギアと２つのラックギアを含むことができる。前記第１及び第２サポート３０２ａ、３０２ｂと前記第１及び第２リンク３０４ａ、３０４ｂ及び前記第１及び第２駆動部３１０、３４０についての追加的な説明は、図１乃至図８を参照して説明したので、省略する。
【００８１】
一方、前記バッファトレイの最外側単位バッファトレイの対は、ベースプレート３０６の上部面上に固定されることができ、残り単位バッファトレイの対は第１駆動部３１０と連結されることができる。例えば、最外側第１単位バッファトレイと連結された最外側第１サポート３０２ｃがベースプレート３０６の上部面に固定される場合、前記第１駆動部３１０は残り第１単位バッファトレイと連結されることができる。これとは異なり、最外側第２単位バッファトレイがベースプレート３０６の上部面に固定される場合、前記第１駆動部３１０は残り第２単位バッファトレイと連結されることができる。
【００８２】
結果的に、前記第１駆動部３１０のラックギアは、前記残り単位バッファトレイの対をピッチ方向に移動させることにより、前記単位バッファトレイの対間の第１ピッチを調節することができる。
【００８３】
特に、前記第１駆動部３１０の第１ピニオンギアの回転速度と第２ピニオンギアの回転速度との間の比は、前記第１単位バッファトレイ間の間隔が互いに同じになるように、１：２程度に設定されることができる。これによって、前記単位バッファトレイの対間の第１ピッチが調節されることができる。
【００８４】
一方、前記バッファトレイが２対の単位バッファトレイを含む場合、前記第１駆動部３１０は１つのピニオンギアと１つのラックギアを含むことができる。
【００８５】
図１１は、単位バッファトレイの他の例を説明するための概略的な平面図である。
【００８６】
前記したような本発明の第１、第２、及び第３実施例によると、それぞれの単位バッファトレイ（１２ａ又は１２ｂ）は、一列で配置された多数のソケット１４を有する。しかし、図１１に示すように、バッファトレイ２０は多数の単位バッファトレイ２２を含むことができる。それぞれの単位バッファトレイ２２は、多数の列に配置された多数のソケット２４ａ、２４ｂを有することができ、前記多数の列を有する単位バッファトレイ２２間のピッチは、前記第１、第２、及び第３実施例によるピッチ調節装置によって調節されることができる。
【００８７】
図１２は、本発明の第４実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための概略的な平面図である。
【００８８】
図１２を参照すると、本発明の第４実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置４００は、半導体装置をテストするためのテストハンドラーに適用されることができる。
【００８９】
前記バッファトレイは多数の単位バッファトレイを含むことができ、それぞれの単位バッファトレイは、図１１に示すように、多数の列に配置される多数のソケットを含むことができる。特に、前記バッファトレイは偶数個の単位バッファトレイを含むことができる。例えば、前記バッファトレイは４つの単位バッファトレイを含み、それぞれの単位バッファトレイは列方向に配列される第１ソケットと前記第１ソケットと平行に配列される第２ソケットを有する。
【００９０】
前記ピッチ調節装置４００は、前記単位バッファトレイと連結され前記単位バッファトレイ間のピッチを行方向に調節するための駆動部４１０を含むことができる。前記駆動部４１０は、少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと、前記出力ギアに結合される多数のラックギア、及び回転力を提供するモーターユニットを含むことができる。例えば、前記駆動部４１０は２つのピニオンギア４１２と４つのラックギア４１４を利用して前記バッファトレイのピッチを調節することができる。ここで、前記単位バッファトレイと前記ラックギア４１４はベースプレート４０６上に配置されるサポート４０２によって連結されることができる。
【００９１】
前記駆動部４１０は、前記バッファトレイのピッチを調節するために、前記バッファトレイの中央地点を中心に両側に配置される単位バッファトレイを互いに逆方向に移動させることができる。前記駆動部についての追加的な説明は、図１乃至図８を参照して説明したので、省略する。
【００９２】
前記ピッチ調節装置４００は、前記バッファトレイのピッチを前記テストハンドラーのテストトレイ又はカストマートレイの奇数列ピッチと同様に調節することができる。この場合、前記テストハンドラーのピッカーシステムは、多数のピッカーを利用して前記テストトレイ又はカストマートレイから多数の半導体装置をピックアップし、続いて、前記バッファトレイの上部に移動する。まず、前記ピッカーシステムは、前記半導体装置のうち、奇数列のピッカーに把持された半導体装置が前記バッファトレイの第１ソケットの上部に位置するように整列され、その後、前記奇数列の半導体装置を前記第１ソケットに収納する。その後、前記ピッカーシステムの偶数列のピッカーに把持された半導体装置が第２ソケットの上部に位置するように整列された後、前記偶数列の半導体装置が前記第２ソケットに収納される。
【００９３】
図１３は、本発明の第５実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための概略的な平面図である。
【００９４】
図１３を参照すると、本発明の第５実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置５００は、半導体装置をテストするためのテストハンドターに適用されることができる。
【００９５】
前記バッファトレイは多数の単位バッファトレイを含むことができ、それぞれの単位バッファトレイは図１１に図示されたように、多数の列に配置される多数のソケットを含むことができる。特に、前記バッファトレイは、奇数個の単位バッファトレイを含むことができる。例えば、図示されたように、前記バッファトレイは５つの単位バッファトレイを含み、それぞれの単位バッファトレイは列方向に配列される第１ソケットと前記第１ソケットと平行に配列される第２ソケットを有する。
【００９６】
前記ピッチ調節装置５００は、前記単位バッファトレイと連結され前記単位バッファトレイ間のピッチを行方向に調節するための駆動部５１０を含むことができる。前記駆動部５１０は、少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと前記出力ギアに結合される多数のラックギア及び回転力を提供するモーターユニットを含むことができる。特に、前記駆動部５１０は、２つのピニオンギア５１２と４つのラックギア５１４を利用して前記バッファトレイのピッチを調節することができる。ここで、前記単位バッファトレイと前記ラックギア５１４は、ベースプレート５０６上に配置されるサポート５０２によって連結されることができる。
【００９７】
前記駆動部５１０は、前記バッファトレイのピッチを調節するために、中央の単位バッファトレイを中心に両側に配置される単位バッファトレイを互いに逆方向に移動させることができる。前記駆動部５１０についての追加的な説明は、図９を参照して説明した第１駆動部２１０と類似なので、省略する。
【００９８】
図１４は、本発明の第６実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための概略的な平面図である。
【００９９】
図１４を参照すると、本発明の第６実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置６００は、半導体装置をテストするためのテストハンドターに適用されることができる。
【０１００】
前記バッファトレイは多数の単位バッファトレイを含むことができ、それぞれの単位バッファトレイは、図１１に図示されたように、多数の列に配置される多数のソケットを含むことができる。例えば、示すように、前記バッファトレイは３つの単位バッファトレイを含み、それぞれの単位バッファトレイは列方向に配列される第１ソケットと前記第１ソケットと平行に配列される第２ソケットを有する。
【０１０１】
前記ピッチ調節装置６００は、前記単位バッファトレイと連結され前記単位バッファトレイ間のピッチを行方向に調節するための駆動部６１０を含むことができる。前記駆動部６１０は、少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと前記出力ギアに結合される少なくとも１つのラックギア及び回転力を提供するモーターユニットを含むことができる。特に、前記駆動部６１０は、２つのピニオンギア６１２と２つのラックギア６１４を利用して前記バッファトレイのピッチを調節することができる。ここで、前記単位バッファトレイと前記ラックギア６１４は、ベースプレート６０６上に配置されるサポート６０２によって連結されることができる。
【０１０２】
前記駆動部６１０は、最外側単位バッファトレイを除いた残りバッファトレイをピッチ方向に移動させることにより、前記バッファトレイのピッチを調節することができる。前記駆動部６１０についての追加的な詳細な説明は、図１０を参照して説明された第１駆動部３１０と類似なので省略する。
【０１０３】
前述したような本発明の第４、第５、及び第６実施例によると、多数の列を有する単位バッファトレイ（図１１における２２）が使用されているが、前記第４、第５、及び第６実施例によるピッチ調節装置を利用して一列に配置されたソケットを有する単位バッファトレイ（図２における１２ａ又は１２ｂ）間のピッチを調節することもできる。
【産業上の利用可能性】
【０１０４】
前述したような本発明の実施例によると、バッファトレイのピッチは、ピニオンギアとラックギアを含む第１駆動部及びリンクを駆動させるための第２駆動部によってテストトレイ又はカストマートレイのピッチと同様に調節されることができる。
【０１０５】
従って、半導体装置を移送する間、ピッカーシステムのピッチを調節する必要がないので、前記半導体装置の移送に所要される時間が短縮されることができる。又、ピッカーのピッチを調節するための別途の装置が必要ではないので、前記ピッカーシステムの重量を減少させることができ、これによってテストハンドラーの安定性を向上させることができる。
【０１０６】
以上、本発明の実施例によって詳細に説明したが、本発明はこれに限定されず、本発明が属する技術分野において通常の知識を有するものであれば本発明の思想と精神を離れることなく、本発明を修正または変更できる。
【図面の簡単な説明】
【０１０７】
【図１】本発明の第１実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための斜視図である。
【図２】バッファトレイを説明するための概略的な平面図である。
【図３】図１に図示された第１駆動部のギアボックスを説明するための平面図である。
【図４】図１に図示された第１駆動部のギアボックスを説明するための斜視図である。
【図５】図１に図示された第１駆動部の第１モーターユニットを説明するための底面図である。
【図６】図１に図示されたバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための平面図である。
【図７】図１に図示されたバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための平面図である。
【図８】図１に図示されたバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための平面図である。
【図９】本発明の第２実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための概略的な平面図である。
【図１０】本発明の第３実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための概略的な平面図である。
【図１１】バッファトレイの他の例を説明するための概略的な平面図である。
【図１２】本発明の第４実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための概略的な平面図である。
【図１３】本発明の第５実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための概略的な平面図である。
【図１４】本発明の第６実施例によるバッファトレイのピッチ調節装置を説明するための概略的な平面図である。
【符号の説明】
【０１０８】
１０…バッファトレイ、１２ａ、１２ｂ…単位バッファトレイ、１４…ソケット、１００…ピッチ調節装置、１０２ａ、１０２ｂ…サポート、１０４ａ、１０４ｂ…リンク、１０６…ベースプレート、１１０…第１駆動部、１１２…ギアボックス、１１４…ピニオンギア、１１６…駆動ギア、１２０…ラックギア、１２２…第１モーターユニット、１４０…第２駆動部、１４２…ガイドバー、１５０…第２モーターユニット。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体装置を収納するための多数対の単位バッファトレイを含むバッファトレイのピッチ調節方法において、
前記単位バッファトレイの対間の第１ピッチを調節する段階と、
前記単位バッファトレイの対内で第１単位バッファトレイと第２単位バッファトレイとの間の第２ピッチを調節する段階と、を含むバッファトレイのピッチ調節方法。
【請求項２】
前記バッファトレイの中央地点を基準として両側に配置される単位バッファトレイの少なくとも第１対と少なくとも第２対を互いに逆方向に移動させることにより、前記第１ピッチを調節することを特徴とする請求項１記載のバッファトレイのピッチ調節方法。
【請求項３】
前記バッファトレイの中央地点に隣接する単位バッファトレイの対を基準として両側に配置される単位バッファトレイの少なくとも第１対と少なくとも第２対を互いに逆方向に移動させることにより、前記第１ピッチを調節することを特徴とする請求項１記載のバッファトレイのピッチ調節方法。
【請求項４】
最外側単位バッファトレイの対を基準として少なくとも１つの残り単位バッファトレイの対をピッチ方向に移動させることにより、前記第１ピッチを調節することを特徴とする請求項１記載のバッファトレイのピッチ調節方法。
【請求項５】
前記第１単位バッファトレイに対して前記第２単位バッファトレイを相対的に移動させることにより、前記第２ピッチを調節することを特徴とする請求項１記載のバッファトレイのピッチ調節方法。
【請求項６】
半導体装置を収納するための多数対の単位バッファトレイを含むバッファトレイのピッチ調節装置において、
前記単位バッファトレイの対と連結され前記単位バッファトレイの対間の第１ピッチを調節するための第１駆動部と、
前記単位バッファトレイの対と連結され前記単位バッファトレイの対内で第１単位バッファトレイと第２単位バッファトレイとの間の第２ピッチを調節するための第２駆動部と、を含むバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項７】
前記第１駆動部は、
前記多数対の単位バッファトレイと連結された多数のラックギアと、
前記ラックギアと結合される少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと、
前記ギアボックスと連結され回転力を提供するモーターユニットと、を含み、
前記ラックギアは、前記バッファトレイの中央地点を基準として両側に配置される単位バッファトレイの少なくとも１つの第１対及び少なくとも１つの第２対に連結され、前記第１及び第２対を互いに逆方向に移動させるように前記少なくとも１つの出力ギアに結合されることを特徴とする請求項６記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項８】
前記ギアボックスは、
前記モーターユニットの駆動軸に連結された駆動ギアと、
前記駆動軸に連結され前記駆動ギアより小さいピッチ円を有し、互いに向かい合う第１ラックギア及び第２ラックギアと結合された第１ピニオンギアと、
前記駆動ギアと結合され前記駆動ギアによって回転して前記駆動ギアより小さいピッチ円を有し、互いに向かい合う第３ラックギア及び第４ラックギアと結合された第２ピニオンギアと、を含むことを特徴とする請求項７記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項９】
ベースプレートを更に含み、
前記第１駆動部と第２駆動部は、前記ベースプレート上に配置されることを特徴とする請求項７記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項１０】
前記ラックギア及び前記ギアボックスは、前記ベースプレートの上部面上に配置され、前記モーターユニットは、前記ベースプレートの下部面上に配置され、前記モーターユニットと前記ギアボックスは前記ベースプレートを通じて連結されることを特徴とする請求項９記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項１１】
前記ラックギアと前記多数対の単位バッファトレイの対は、前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に延長する多数のサポートによって連結されることを特徴とする請求項７記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項１２】
前記第１駆動部は、
多数のラックギアと、
少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと、
前記ギアボックスと連結され回転力を提供するモーターユニットと、を含み、
前記ラックギアは、前記バッファトレイの中央部位に対応する単位バッファトレイの対を基準として両側に配置される単位バッファトレイの少なくとも１つの第１対及び少なくとも１つの第２対と連結され、前記単位バッファトレイの第１及び第２対を互いに逆方向に移動させるように前記少なくとも１つの出力ギアに結合されることを特徴とする請求項６記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項１３】
前記第１駆動部は、
多数のラックギアと、
多数の出力ギアを含むギアボックスと、
前記ギアボックスと連結され回転力を提供するモーターユニットと、を含み、
前記ラックギアは、最外側単位バッファトレイの対を除いた残り単位バッファトレイの対に連結され、前記残り単位バッファトレイの対を前記バッファトレイのピッチ方向に移動させるように前記出力ギアに結合されることを特徴とする請求項６記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項１４】
前記バッファトレイは、２対の単位バッファトレイを含み、
前記第１駆動部は、
前記第１ピッチを調節するために、前記２対の単位バッファトレイのうちの１つと連結されたラックギアと、
前記ラックギアと結合される出力ギアを含むギアボックスと、
前記ギアボックスと連結され回転力を提供するモーターユニットと、を含むことを特徴とする請求項６記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項１５】
前記第１単位バッファトレイと連結された第１リンクと、
前記第２単位バッファトレイ及び前記第１リンクと連結された第２リンクと、を更に含み、
前記第１駆動部は、前記第１単位バッファトレイ又は第２単位バッファトレイに連結されることを特徴とする請求項６記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項１６】
前記第１及び第２単位バッファトレイは、前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に延長する多数のサポートによって前記第１及び第２リンクと連結されることを特徴とする請求項１５記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項１７】
前記第２駆動部は前記第１リンク又は第２リンクに連結され、前記第１単位バッファトレイ及び前記第２単位バッファトレイの間で相対的な運動を発生させるために、前記第１リンク又は第２リンクに駆動力を印加することを特徴とする請求項１５記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項１８】
前記第１単位バッファトレイ及び前記第２単位バッファトレイを前記バッファトレイのピッチ方向に案内する少なくとも１つのガイド部材を更に含むことを特徴とする請求項１７記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項１９】
前記バッファトレイのピッチ方向に延長し、前記第２駆動部によって前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に移動可能に配置され、前記第２駆動部及び前記第１リンク又は第２リンク間の連結部位を前記バッファトレイのピッチ方向に案内するガイド部材を更に含むことを特徴とする請求項１７記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項２０】
前記ガイド部材の両側端部と連結され前記ガイド部材を前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に案内するための第２ガイド部材を更に含むことを特徴とする請求項１９記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項２１】
それぞれの第１及び第２単位バッファトレイは、前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に配置され前記半導体装置を収納するための多数のソケットを有し、前記第１及び第２単位バッファトレイは前記バッファトレイのピッチ方向に配置されていることを特徴とする請求項６記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項２２】
半導体装置を収納するための単位バッファトレイを含むバッファトレイのピッチ調節装置において、
回転力を発生させるモーターユニットと、
前記モーターユニットと連結され少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと、
前記単位バッファトレイのうち、少なくとも１つと連結され前記単位バッファトレイ間のピッチを調節するために、前記少なくとも１つの出力ギアと連結される少なくとも１つのラックギアと、を含むことを特徴とするバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項２３】
それぞれの単位バッファトレイは、前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に少なくとも１つの列を有するように配置され、前記半導体装置を収納するための多数のソケットを有し、前記単位バッファトレイは、前記バッファトレイのピッチ方向に配置されることを特徴とする請求項２２記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項２４】
前記バッファトレイは偶数個の単位バッファトレイを含み、多数のラックギアが前記バッファトレイの中央地点を基準として両側に配置される少なくとも１つの第１単位バッファトレイ及び少なくとも１つの第２単位バッファトレイと連結され、前記第１及び第２単位バッファトレイが互いに逆方向に移動されるように前記少なくとも１つの出力ギアに結合されることを特徴とする請求項２２記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項２５】
前記バッファトレイは奇数個の単位バッファトレイを含み、多数のラックギアが中央の単位バッファトレイを基準として両側に配置される少なくとも１つの第１単位バッファトレイ及び少なくとも１つの第２単位バッファトレイと連結され、前記第１及び第２単位バッファトレイが互いに逆方向に移動されるように前記少なくとも１つの出力ギアに結合されることを特徴とする請求項２２記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項２６】
前記少なくとも１つのラックギアは、最外側単位バッファトレイを除いた少なくとも１つの残り単位バッファトレイに連結され、前記少なくとも１つの残り単位バッファトレイが前記バッファトレイのピッチ方向に移動されるように前記少なくとも１つの出力ギアに結合されることを特徴とする請求項２２記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項１】
半導体装置を収納するための多数対の単位バッファトレイを含むバッファトレイのピッチ調節方法において、
前記単位バッファトレイの対間の第１ピッチを調節する段階と、
前記単位バッファトレイの対内で第１単位バッファトレイと第２単位バッファトレイとの間の第２ピッチを調節する段階と、を含むバッファトレイのピッチ調節方法。
【請求項２】
前記バッファトレイの中央地点を基準として両側に配置される単位バッファトレイの少なくとも第１対と少なくとも第２対を互いに逆方向に移動させることにより、前記第１ピッチを調節することを特徴とする請求項１記載のバッファトレイのピッチ調節方法。
【請求項３】
前記バッファトレイの中央地点に隣接する単位バッファトレイの対を基準として両側に配置される単位バッファトレイの少なくとも第１対と少なくとも第２対を互いに逆方向に移動させることにより、前記第１ピッチを調節することを特徴とする請求項１記載のバッファトレイのピッチ調節方法。
【請求項４】
最外側単位バッファトレイの対を基準として少なくとも１つの残り単位バッファトレイの対をピッチ方向に移動させることにより、前記第１ピッチを調節することを特徴とする請求項１記載のバッファトレイのピッチ調節方法。
【請求項５】
前記第１単位バッファトレイに対して前記第２単位バッファトレイを相対的に移動させることにより、前記第２ピッチを調節することを特徴とする請求項１記載のバッファトレイのピッチ調節方法。
【請求項６】
半導体装置を収納するための多数対の単位バッファトレイを含むバッファトレイのピッチ調節装置において、
前記単位バッファトレイの対と連結され前記単位バッファトレイの対間の第１ピッチを調節するための第１駆動部と、
前記単位バッファトレイの対と連結され前記単位バッファトレイの対内で第１単位バッファトレイと第２単位バッファトレイとの間の第２ピッチを調節するための第２駆動部と、を含むバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項７】
前記第１駆動部は、
前記多数対の単位バッファトレイと連結された多数のラックギアと、
前記ラックギアと結合される少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと、
前記ギアボックスと連結され回転力を提供するモーターユニットと、を含み、
前記ラックギアは、前記バッファトレイの中央地点を基準として両側に配置される単位バッファトレイの少なくとも１つの第１対及び少なくとも１つの第２対に連結され、前記第１及び第２対を互いに逆方向に移動させるように前記少なくとも１つの出力ギアに結合されることを特徴とする請求項６記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項８】
前記ギアボックスは、
前記モーターユニットの駆動軸に連結された駆動ギアと、
前記駆動軸に連結され前記駆動ギアより小さいピッチ円を有し、互いに向かい合う第１ラックギア及び第２ラックギアと結合された第１ピニオンギアと、
前記駆動ギアと結合され前記駆動ギアによって回転して前記駆動ギアより小さいピッチ円を有し、互いに向かい合う第３ラックギア及び第４ラックギアと結合された第２ピニオンギアと、を含むことを特徴とする請求項７記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項９】
ベースプレートを更に含み、
前記第１駆動部と第２駆動部は、前記ベースプレート上に配置されることを特徴とする請求項７記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項１０】
前記ラックギア及び前記ギアボックスは、前記ベースプレートの上部面上に配置され、前記モーターユニットは、前記ベースプレートの下部面上に配置され、前記モーターユニットと前記ギアボックスは前記ベースプレートを通じて連結されることを特徴とする請求項９記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項１１】
前記ラックギアと前記多数対の単位バッファトレイの対は、前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に延長する多数のサポートによって連結されることを特徴とする請求項７記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項１２】
前記第１駆動部は、
多数のラックギアと、
少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと、
前記ギアボックスと連結され回転力を提供するモーターユニットと、を含み、
前記ラックギアは、前記バッファトレイの中央部位に対応する単位バッファトレイの対を基準として両側に配置される単位バッファトレイの少なくとも１つの第１対及び少なくとも１つの第２対と連結され、前記単位バッファトレイの第１及び第２対を互いに逆方向に移動させるように前記少なくとも１つの出力ギアに結合されることを特徴とする請求項６記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項１３】
前記第１駆動部は、
多数のラックギアと、
多数の出力ギアを含むギアボックスと、
前記ギアボックスと連結され回転力を提供するモーターユニットと、を含み、
前記ラックギアは、最外側単位バッファトレイの対を除いた残り単位バッファトレイの対に連結され、前記残り単位バッファトレイの対を前記バッファトレイのピッチ方向に移動させるように前記出力ギアに結合されることを特徴とする請求項６記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項１４】
前記バッファトレイは、２対の単位バッファトレイを含み、
前記第１駆動部は、
前記第１ピッチを調節するために、前記２対の単位バッファトレイのうちの１つと連結されたラックギアと、
前記ラックギアと結合される出力ギアを含むギアボックスと、
前記ギアボックスと連結され回転力を提供するモーターユニットと、を含むことを特徴とする請求項６記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項１５】
前記第１単位バッファトレイと連結された第１リンクと、
前記第２単位バッファトレイ及び前記第１リンクと連結された第２リンクと、を更に含み、
前記第１駆動部は、前記第１単位バッファトレイ又は第２単位バッファトレイに連結されることを特徴とする請求項６記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項１６】
前記第１及び第２単位バッファトレイは、前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に延長する多数のサポートによって前記第１及び第２リンクと連結されることを特徴とする請求項１５記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項１７】
前記第２駆動部は前記第１リンク又は第２リンクに連結され、前記第１単位バッファトレイ及び前記第２単位バッファトレイの間で相対的な運動を発生させるために、前記第１リンク又は第２リンクに駆動力を印加することを特徴とする請求項１５記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項１８】
前記第１単位バッファトレイ及び前記第２単位バッファトレイを前記バッファトレイのピッチ方向に案内する少なくとも１つのガイド部材を更に含むことを特徴とする請求項１７記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項１９】
前記バッファトレイのピッチ方向に延長し、前記第２駆動部によって前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に移動可能に配置され、前記第２駆動部及び前記第１リンク又は第２リンク間の連結部位を前記バッファトレイのピッチ方向に案内するガイド部材を更に含むことを特徴とする請求項１７記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項２０】
前記ガイド部材の両側端部と連結され前記ガイド部材を前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に案内するための第２ガイド部材を更に含むことを特徴とする請求項１９記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項２１】
それぞれの第１及び第２単位バッファトレイは、前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に配置され前記半導体装置を収納するための多数のソケットを有し、前記第１及び第２単位バッファトレイは前記バッファトレイのピッチ方向に配置されていることを特徴とする請求項６記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項２２】
半導体装置を収納するための単位バッファトレイを含むバッファトレイのピッチ調節装置において、
回転力を発生させるモーターユニットと、
前記モーターユニットと連結され少なくとも１つの出力ギアを含むギアボックスと、
前記単位バッファトレイのうち、少なくとも１つと連結され前記単位バッファトレイ間のピッチを調節するために、前記少なくとも１つの出力ギアと連結される少なくとも１つのラックギアと、を含むことを特徴とするバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項２３】
それぞれの単位バッファトレイは、前記バッファトレイのピッチ方向に対して垂直な方向に少なくとも１つの列を有するように配置され、前記半導体装置を収納するための多数のソケットを有し、前記単位バッファトレイは、前記バッファトレイのピッチ方向に配置されることを特徴とする請求項２２記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項２４】
前記バッファトレイは偶数個の単位バッファトレイを含み、多数のラックギアが前記バッファトレイの中央地点を基準として両側に配置される少なくとも１つの第１単位バッファトレイ及び少なくとも１つの第２単位バッファトレイと連結され、前記第１及び第２単位バッファトレイが互いに逆方向に移動されるように前記少なくとも１つの出力ギアに結合されることを特徴とする請求項２２記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項２５】
前記バッファトレイは奇数個の単位バッファトレイを含み、多数のラックギアが中央の単位バッファトレイを基準として両側に配置される少なくとも１つの第１単位バッファトレイ及び少なくとも１つの第２単位バッファトレイと連結され、前記第１及び第２単位バッファトレイが互いに逆方向に移動されるように前記少なくとも１つの出力ギアに結合されることを特徴とする請求項２２記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【請求項２６】
前記少なくとも１つのラックギアは、最外側単位バッファトレイを除いた少なくとも１つの残り単位バッファトレイに連結され、前記少なくとも１つの残り単位バッファトレイが前記バッファトレイのピッチ方向に移動されるように前記少なくとも１つの出力ギアに結合されることを特徴とする請求項２２記載のバッファトレイのピッチ調節装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２００９−４９３４７（Ｐ２００９−４９３４７Ａ）
【公開日】平成２１年３月５日（２００９．３．５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−２４８６８５（Ｐ２００７−２４８６８５）
【出願日】平成１９年９月２６日（２００７．９．２６）
【出願人】（５０５０７７０２４）セクロン カンパニー，リミテッド (3)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年３月５日（２００９．３．５）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年９月２６日（２００７．９．２６）
【出願人】（５０５０７７０２４）セクロン カンパニー，リミテッド (3)
【Ｆターム（参考）】
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