レーザー誘起熱エンボス加工を使用する微細複製工具及びパターン
微細複製工具、ライナー、及び製品、例えばレーザー誘起熱画像化(LITI)ドナーフィルムを製造するために使用される、レーザー誘起熱エンボス加工(LITE)フィルム。LITE工具又はライナーは、1つ以上の微細複製工具に対してLITEフィルムを画像化する区域により決定されるように、それらの上に選択的に与えられた微細構造化表面を有する。レーザー画像化ラインとLITEフィルムとの間の配向が選択されて、工具上に様々な微細複製パターンを製造することができる。LITE工具は、ナノ構造化表面を有する微細構造化パターンを含む構造上構造パターンを有して製造されることができる。LITEライナーは、他のフィルムと組み合わされて製品を形成することができる。LITEフィルムはまた、転写層によりコーティングされて、構造化された転写層を有するLITEドナーフィルムを形成することができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、微細複製工具並びにそれらをレーザー誘起熱エンボス加工(LITE)フィルム及びレーザー誘起熱画像化(LITI)方法を使用して製造するための方法に関する。
【背景技術】
【0002】
微細複製工具のような多種多様なワークピースを創出するために、ダイヤモンドターニング及びプランジ放電加工のような機械加工技術を使用することができる。微細複製工具は、押出成形プロセス、射出成形プロセス、エンボス加工プロセス、鋳造プロセスなどのために一般的に使用されて、微細構造を創出する。微細構造化表面を有する物品は、光学フィルム、研磨フィルム、接着フィルム、自己嵌合輪郭を有する機械的締結具、又は相対的に小さい寸法、例えばおよそ1000マイクロメートル未満の寸法の微細複製形状を有するいかなる成形若しくは押出部品を含んでもよい。
【0003】
微細構造化形状はまた、様々な他の方法により製造されることができる。例えば、マスター工具の構造は、生産用工具を形成するために、鋳造及び硬化プロセスにより、マスター工具から他の媒体上、例えばポリマー材料のベルト又はウェブに転写されることができ、生産用工具は次に微細構造を製造するために使用される。マスター工具を複写するために、電鋳法のような他の方法を使用することができる。工具を製造する他の技術には、化学エッチング、ビーズブラスティング、又は他の確率的表面改質技術が挙げられる。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【0004】
本発明に従うLITEフィルムは、基材と基材にオーバーレイする光熱変換層とを含む。LITEフィルムの表面は、その上に選択的にエンボス加工された微細構造化表面を有することができる。
【0005】
本発明に従う微細複製工具を製作する方法は、基材と基材にオーバーレイする光熱変換層とを含む、LITEフィルムを提供する工程と、光熱変換層が微細構造に接触した状態で、微細構造のパターンを含むマスター工具に、LITEフィルムをラミネートする工程と、LITEフィルムをパターンごとに画像化して、光熱変換層を選択的に露光する工程と、マスター工具を取り除いて、LITEフィルム上に、マスター工具の微細構造に対応する微細構造化パターンを製造する工程と、を含む。
【図面の簡単な説明】
【0006】
添付図面は本明細書に組み込まれ、その一部を構成するものであって、その記載と共に本発明の利点及び原理を説明する。
【図1】エンボス加工前の代表的なLITEフィルムの図。
【図2a】LITEフィルムをエンボス加工して微細複製工具、ライナー、又は製品、例えばLITIドナーフィルムを製造するプロセスを例示する図。
【図2b】LITEフィルムをエンボス加工して微細複製工具、ライナー、又は製品、例えばLITIドナーフィルムを製造するプロセスを例示する図。
【図2c】LITEフィルムをエンボス加工して微細複製工具、ライナー、又は製品、例えばLITIドナーフィルムを製造するプロセスを例示する図。
【図3】エンボス加工されたライナー及び製品の図。
【図4】エンボス加工されたライナーから製造されたエンボス加工された製品の図。
【図5a】微細複製工具の斜視図。
【図5b】図5aに示される微細複製工具を使用して製造されたLITE工具の斜視図。
【図6a】3つの異なる微細複製工具の斜視図。
【図6b】図6aに示される3つの微細複製工具を使用して製造されたLITE工具の斜視図。
【図7a】フィルム中の構造上構造(structure on structure)パターン又は対応する工具を使用しながらLITEフィルムをエンボス加工して、微細複製工具、ライナー、又は製品、例えばLITIドナーフィルムを製造するプロセスを例示する図。
【図7b】フィルム中の構造上構造(structure on structure)パターン又は対応する工具を使用しながらLITEフィルムをエンボス加工して、微細複製工具、ライナー、又は製品、例えばLITIドナーフィルムを製造するプロセスを例示する図。
【図7c】フィルム中の構造上構造(structure on structure)パターン又は対応する工具を使用しながらLITEフィルムをエンボス加工して、微細複製工具、ライナー、又は製品、例えばLITIドナーフィルムを製造するプロセスを例示する図。
【図7d】フィルム中の構造上構造(structure on structure)パターン又は対応する工具を使用しながらLITEフィルムをエンボス加工して、微細複製工具、ライナー、又は製品、例えばLITIドナーフィルムを製造するプロセスを例示する図。
【図7e】フィルム中の構造上構造(structure on structure)パターン又は対応する工具を使用しながらLITEフィルムをエンボス加工して、微細複製工具、ライナー、又は製品、例えばLITIドナーフィルムを製造するプロセスを例示する図。
【図7f】フィルム中の構造上構造(structure on structure)パターン又は対応する工具を使用しながらLITEフィルムをエンボス加工して、微細複製工具、ライナー、又は製品、例えばLITIドナーフィルムを製造するプロセスを例示する図。
【図8a】転写層の一部を永久レセプタに転写するために、転写層を有するエンボス加工されたLITEフィルムを画像化するLITIプロセスを例示する図。
【図8b】転写層の一部を永久レセプタに転写するために、転写層を有するエンボス加工されたLITEフィルムを画像化するLITIプロセスを例示する図。
【図8c】転写層の一部を永久レセプタに転写するために、転写層を有するエンボス加工されたLITEフィルムを画像化するLITIプロセスを例示する図。
【図9a】レーザー走査の90°配向を使用してLITE工具を製造するためのプロセスを例示する図。
【図9b】図9aに示される走査配向を使用して製造されたサンプルLITE工具の画像。
【図10a】レーザー走査の45°配向を使用してLITE工具を製造するためのプロセスを例示する図。
【図10b】図10aに示される走査配向を使用して製造されたサンプルLITE工具の画像。
【発明を実施するための形態】
【0007】
本発明の実施形態は、微細及びナノ複製プロセスのための複雑な工具を作り出すための方法を含む。方法は、精密レーザー露光及びLITEの態様を、従来の微細複製工具、例えば精密ダイヤモンド加工、フラットのエキシマレーザー加工(Excimer Laser Machining of Flats)(ELMoF)、フォトリソグラフィーによるパターニング、又は他の技術を使用して製造されるものと組み合わせることを伴う。LITEは、実質上いかなる微細複製工具表面、及び十分な熱安定性を有するLITEシート又はフィルムを使用しても実行され得る。フィルムは、微細複製工具にラミネートされ、次いで背後からレーザーで露光する。結果は、レーザー露光区域において微細複製工具のパターンに対応する3次元のエンボス加工されたパターンである。
【0008】
LITEは、多くの異なる微細構造化フィルムを創出するために使用することができる。例えば、LITEは、単一のホログラフィックマスターを使用して、カスタマイズ可能なホログラフィックパターンをフィルム基材上に保安用用途に創出するため(例えば、運転免許証又はクレジットカード用ラミネート)の迅速な方法を提供することができる。LITEはまた、例えば、それらの微細構造化された光学要素に基づく様々な他の光学特性を有する微細構造化フィルムを創出するために使用されることができる。加えて、LITEは、異なるMS工具法(MS tooling methods)からの要素を1つのLITE工具に組み合わせる能力を提供する。
【0009】
LITEはまた、マスター工具から製品を製造するために使用され得る。LITEフィルムは、エンボス加工後、エンボス加工に対応する微細複製されたパターンを有する微細構造化マスター工具を形成することができる。マスター工具としてのLITEフィルムは、工具の逆パターンを有する製品を微細複製するために使用されることができ、例えば、マスター工具の突出部は製品のくぼみに対応する。あるいは、マスター工具としてのLITEフィルムは、微細複製された金型を製造するために使用されることができ、これは次にマスター工具と同じ微細複製されたパターンを有する製品を製造するため、又は、例えばニッケル電鋳法によって、逆パターンを有するより頑強な(金属)工具を製造するために使用されることができる。電鋳法は、例えば、米国特許第4,478,769号及び同第5,156,863号の中に記載されており、これらは参照により本明細書に組み込まれる。マスター工具としてのLITEフィルムは、このようにして、マスター工具の微細複製されたパターンの、正及び負の複製された製品を製造するために使用されることができる。
【0010】
用語「微細複製工具」とは、形状がそれから複製され得る微細構造化形状、ナノ構造化形状、又は微細構造化及びナノ構造化形状の組み合わせを有する工具を意味する。用語「微細構造化(された)」とは、1ミリメートル未満の少なくとも1種の寸法(例えば、高さ、長さ、幅、又は直径)、及び典型的には少なくとも2種の寸法を有する表面の形状を指す。用語「ナノ構造化(された)」とは、1マイクロメートル未満の少なくとも1種の寸法(例えば、高さ、長さ、幅、又は直径)を有する表面の形状を指す。
【0011】
LITEフィルム及びエンボス加工プロセス
図1は、代表的なLITEフィルム100の図である。フィルム100は、典型的には、基材102と光熱変換(LTHC)層104とを含む。LITEは、LTHCをエンボス加工するために使用され、LTHC層の上に微細構造化若しくはナノ構造化パターン、又は両方を創出する。
【0012】
フィルム基材102は、フィルム100の層のための支持を提供する。ポリマーフィルムの1つの好適な種類は、ポリエステルフィルム、例えばPET又はポリエチレンナフタレート(PEN)フィルムである。しかしながら、加熱及びエンボス加工に光が使用される場合、十分な光学特性を有する他のフィルムが使用され得る。フィルム基材は、少なくともいくつかの場合において、均一なコーティングが形成され得るように平坦である。フィルム基材はまた、典型的には、フィルム中のいずれかの層(例えば、LTHC層)の加熱にもかかわらず、実質的に安定した状態を保つ材料から選択される。フィルム基材の好適な厚さは、例えば、0.025ミリメートル(mm)〜0.15mm、好ましくは0.05mm〜0.1mmの範囲であるが、より厚い又はより薄いフィルム基材が使用されてもよい。
【0013】
LTHC層104は、典型的には、入射放射線(例えば、レーザー光線)を吸収し、入射放射線の少なくとも一部を熱に変換してLTHC層のエンボス加工を可能にする、放射線吸収体を含む。あるいは、放射線吸収体は、LTHC層に加えて又はその代わりに、LITEフィルムの1つ以上の他の層の中に含まれることができる。典型的には、LTHC層(又はその他の層)中の放射線吸収体は、電磁スペクトルの赤外線、可視線、及び/又は紫外線領域内の光を吸収する。放射線吸収体は、典型的には、選択される画像化放射線に対して極めて吸収性であり、画像化放射線の波長で0.2〜3、及び好ましくは0.5〜2の範囲の光学密度を提供する。好適な放射線吸収材料には、例えば、染料(例えば、可視染料、紫外線染料、赤外線染料、蛍光染料、及び放射線極性染料)、顔料、金属、金属化合物、金属フィルム、及びその他の好適な吸収材料を挙げることができる。その他の好適な放射線吸収体の例には、カーボンブラック、金属酸化物、及び金属硫化物を挙げることができる。
【0014】
LITEフィルムをエンボス加工するために、それを画像化するには、多様な放射線発生源を使用することができる。アナログ技術(例えば、マスクを通しての露光)には、強力光源(例えば、キセノン閃光電球及びレーザー)が有用である。デジタル画像化技術には、赤外線、可視光線、及び紫外線レーザーが特に有用である。好適なレーザーには、例えば、高出力(例えば≧100mW)単一モード半導体レーザー、繊維結合半導体レーザー、及びダイオード励起固体レーザー(例えば、Nd:YAG及びNd:YLF)が挙げられる。レーザー露光のドウェル時間は、例えば、約0.1マイクロ秒〜100マイクロ秒の範囲であることができ、レーザーフルエンスは、例えば約0.01J/cm2〜約1J/cm2の範囲であることができる。少なくともいくつかの場合には、LTHC層を微細複製工具と密接に接触して保持するために、圧力又は真空が使用されてもよい。次に、LTHC層をエンボス加工するために、画像的様式で(例えば、デジタルに又はマスクを通したアナログ露光により)放射線吸収体を含有するLTHC層又は他の層を加熱するのに放射線源が使用されてもよい。
【0015】
微細複製工具は、微細複製工具にラミネートされるときにフィルムをレーザー露光の区域に関して照射することによって、LITEフィルムを作り出すのに使用され得る。結果は、レーザー露光の区域中に、工具の微細複製構造に対応する構造を有する、エンボス加工されたフィルムである。加えて、プロセスは、多くの異なるパターンを有する単一のLITE工具を提供するために、異なるMS技術から製造された異なる工具を用いて繰り返すことができる。
【0016】
図2a〜2cは、LITEフィルムを使用して微細複製工具を製造するためのLITEの使用を例示する図である。図2aに示されるように、微細複製工具を製造することは、フィルム200及び微細複製工具202の使用を伴う。フィルム200は、基材222及びLTHC層のような追加の層224を有し、これは基材102及びLTHC層104に対応してもよい。微細複製工具202は、微細構造204を有する。図2bに例示されるように、LITE微細複製工具を製造するために、微細構造204がLTHC層224と接触した状態で、工具202にフィルム200がラミネートされ、次にフィルム200は工具202に対して、それにラミネートされる間に、レーザー光線228及び本明細書に記載されるもののような熱画像化プロセスを使用して画像化される。画像化及び画像化されたフィルム200を工具202から取り除くのに続いて、LTHC層224は、図2cに例示されるように、工具202上の微細構造の画像化された部分に対応する微細複製パターン226を有する。微細複製パターンを有する画像化されたフィルムは、その後、例えば再利用可能な工具として使用されることもできるし、又はそれは画像化されたフィルムの金属の複写若しくはレプリカを製造するために使用されることもできる。
【0017】
図3は、エンボス加工されたライナー及び製品を含むフィルム構築物250の図である。エンボス加工されたライナーは、基材252及び構造化されたLTHC 254から構成され、これは基材102及びLTHC層104に対応してもよく、上記の技術を使用してエンボス加工されて、その中に構造257を付与することができる。製品は、基材258及び材料層256から構成され、これはエンボス加工されたライナーをそれにラミネート又は適用することにより構造化される。図4は、エンボス加工されたライナーから製造されたエンボス加工された製品の図である。エンボス加工された製品は、基材258、及びライナーの構造化されたLTHC254から付与された構造259を有する材料256から構成される。構造化されたライナーの例は、米国特許第6,838,150号に記載されており、これは参照により本明細書に組み込まれる。
【0018】
微細複製工具のためのLITEフィルム
図5aは、微細構造化されたプリズムを有する微細複製工具300の斜視図である。図5bは、微細複製工具300を使用して製造されたLITE工具302の斜視図である。特に、微細複製工具302は、基材304及びLTHC層のような追加の層306を有するLITEフィルムを含み、これは基材102及びLTHC層104に対応してもよい。工具302は、図2a〜2cに関して記載されたのと同じ又は同様のプロセスを使用して製造されることができる。特に、LITE工具302を製造するために、微細構造化されたプリズムがLTHC層306に接触した状態で、工具300にそれがラミネートされ、次にそれは工具300に対して画像化される。画像化に続いて、層306は、非画像化部分308により分離された微細構造305を有してエンボス加工される。
【0019】
LITEプロセスの変形は、より複雑なLITE工具を創出するために、異なる微細構造化パターンを有する複数の微細複製工具の使用を伴う。図6aは、各々が異なるピッチ及び高さを有する微細構造化されたプリズムを有する3つの微細複製工具400、402、及び404の斜視図である。図6bは、図6aに示される微細複製工具を使用して製造されたLITE工具406の斜視図である。特に、微細複製工具406は、基材408及びLTHC層のような追加の層410を有するLITEフィルムを含み、これは基材102及びLTHC層104に対応してもよい。工具406は、図2a〜2cに関して記載されたのと同じ又は同様のプロセスを使用して製造されることができる。特に、LITE工具406を製造するために、微細構造化されたプリズムが画像化の間にLTHC層410に接触した状態で、工具400、402、及び404に対して順番にそれがラミネートされ画像化される。画像化に続いて、層410は、それぞれ工具404、402、及び400に対応し非画像化部分418及び420により分離された微細構造412、414、及び416を有してエンボス加工される。
【0020】
構造上構造を有するLITEフィルム
LITEプロセスの別の変形は、それらの表面上にナノ構造化形状を有する、プリズムのようなマイクロメートル規模の形状を含む構造上構造の配列又はパターンの創出を可能にする。例として、ナノ構造化形状は、1次元又は2次元の回折格子を含むことができる。図7a〜7cは、構造上構造パターンを有する微細複製工具を製造するためのLITEの使用を例示する図である。図7aに示されるように、構造上構造の微細複製工具を製造することは、フィルム500及び微細複製工具502の使用を伴う。フィルム500は、基材520及びLTHC層のような追加の層524を有し、これは基材102及びLTHC層104に対応してもよい。LTHC層524はナノ構造化表面525を有し、微細複製工具502は微細構造504を有する。図7bに例示されるように、LITE微細複製工具を製造するために、微細構造504がLTHC層524に接触した状態で、工具502にフィルム500がラミネートされ、次にフィルム500は工具502に対して、それにラミネートされる間に、レーザー光線521及び本明細書に記載されるもののような熱画像化プロセスを使用して画像化される。画像化及び画像化されたフィルム500を工具502から取り除くのに続いて、LTHC層524は、図7cに例示されるように、ナノ構造化表面を有し工具502上の微細構造の画像化された部分に対応する微細複製パターン528を有する。
【0021】
図7d〜7fは、構造上構造パターンの代替物を例示する。図7dは、工具502に対してエンボス加工されたLITEフィルム500の図であり、その場合、図7bに関して記載されたように、エンボス加工プロセスの間に、区域530中において特定のナノ構造が取り除かれている。特に、工具502に対して画像化される区域530中のナノ構造化形状の破壊を生じさせるために、十分なエネルギーのレーザー光線521を使用することができる。別の変形では、図7eに示されるように、工具532は、微細構造化形状536、及び微細構造化形状と微細構造化形状との間、又は微細構造化形状に混ざってナノ構造化形状534を含む構造上構造パターンを有する。図7fは、工具532及び上記のようなエンボス加工プロセスを使用してエンボス加工された、基材538及びLTHCのような追加の層540を含むLITEフィルムを例示する図である。工具532に対してエンボス加工した後、LITEフィルムは、工具532上の微細構造化形状536に対応する空間544により分離された微細構造化形状上のナノ構造化形状542を有する。
【0022】
LITIプロセスにおけるLITEフィルム
図8a〜8cは、転写層の一部をレセプタ608に転写するために、転写層606を有するエンボス加工されたLITEフィルム600を画像化するLITIプロセスを例示する図である。図8aに示されるように、LITEフィルム600は、転写層でコーティングされたエンボス加工されたLITEフィルムから構成される。LITEフィルムは、基材602及び上記のような微細複製工具に対して構造を画像化するプロセスを使用して製造された構造605を有するLTHC層604から構成される。転写層606は、構造化されたLTHC層604に適用される。画像化の間に、図8bに示されるように、LITEフィルムはレセプタと密接に接触して保持されると同時に、転写層はレセプタ608に対して保持され、レーザー光線610はLITEフィルムを照射して、レセプタ608に転写層606の一部の転写を生じる。図8cに示されるように、LITEフィルムが取り除かれると、転写層606の転写された部分612は、レセプタ608上に残り、転写された部分612は、LITEフィルムのLTHC604中の構造605により付与されるような構造614を有する。
【0023】
代表的なLITIドナーフィルムの様々な層及びそれを画像化する方法は、米国特許第6,866,979号、同第6,586,153号、同第6,468,715号、同第6,284,425号、及び同第5,725,989号により完全に記載されており、これらのすべては、完全に説明されているかのように、参照により本明細書に組み込まれる。
【0024】
フィルム600は、LTHC層606とエンボス加工層608との間に任意の中間層を有することができる。任意の中間層は、層の転写された部分の損傷及び汚染を最小限にするために熱ドナーに使用されることができ、また層の転写された部分のひずみを減少させ得る。中間層はまた、転写層と熱転写ドナーの残りの部分との接着に影響を与えることができる。典型的には、中間層は、高い耐熱性を有する。好ましくは、中間層は、画像化条件下において変形又は化学的に分解せず、特に、転写された画像が機能しない状態になる程度まで、変形又は化学的に分解しない。中間層は、典型的には、転写プロセスの間、LTHC層と接触した状態のままであり、転写層と共に実質的に転写されない。好適な中間層には、例えば、ポリマーフィルム、金属層(例えば、蒸着金属層)、無機層(例えば、ゾル−ゲル付着層及び無機酸化物(例えば、シリカ、チタニア、及びその他の金属酸化物)の蒸着層)、並びに有機/無機複合層が挙げられる。中間層材料として好適な有機材料には、熱硬化性材料と熱可塑性材料との両方が挙げられる。好適な熱硬化性材料には、架橋された又は架橋可能なポリアクリレート、ポリメタクリレート、ポリエステル、エポキシ、及びポリウレタンが挙げられるがこれらに限定されない、熱、放射線、又は化学処理によって架橋され得る樹脂が挙げられる。熱硬化性材料は、例えば、熱可塑性前駆体としてLTHC層上にコーティングされ、続いて架橋されて、架橋された中間層を形成してもよい。中間層は、例えば、光開始剤、界面活性剤、顔料、可塑剤、及びコーティング補助剤を含む添加剤を含有してもよい。
【0025】
転写層606は、典型的には、レセプタ608に転写するための1つ以上の層を含む。これらの1つ以上の層は、有機、無機、有機金属、又はその他の材料を使用して形成されてもよい。有機材料には、例えば、小分子材料、ポリマー、オリゴマー、デンドリマー、及び超分枝材料が挙げられる。熱転写層は、例えば、ディスプレイ装置の発光素子、電子回路、レジスタ、コンデンサ、ダイオード、整流器、エレクトロルミネセントランプ、記憶素子、電界効果トランジスタ、バイポーラトランジスタ、単接トランジスタ、金属酸化物半導体(MOS)トランジスタ、金属−絶縁体−半導体トランジスタ、電荷結合素子、絶縁体−金属−絶縁体積み重ね体、有機導電体−金属−有機導電体積み重ね体、集積回路、光検出器、レーザー、レンズ、導波管、格子、ホログラフィック素子、信号処理のためのフィルタ(例えば、アドドロップフィルタ、利得平坦化フィルタ、遮断フィルタなど)、光学フィルタ、鏡、スプリッタ、カップラー、コンバイナ、モジュレータ、センサ(例えば、エバネセントセンサ、位相変調センサ、干渉センサなど)、光学キャビティ、圧電素子、強誘電体素子、薄膜電池、又はこれらの組み合わせ、例えば、光ディスプレイのための能動マトリックス配列としての電界効果トランジスタ及び有機エレクトロルミネセントランプの組み合わせを形成するために使用することができる転写層を含むことができる。その他の品目は、マルチコンポーネント転写アセンブリ又は単一層を転写することによって形成されてもよい。
【0026】
転写層606の少なくとも一部を受容するための永久レセプタ608は、透明なフィルム、ディスプレイ用ブラックマトリックス、電子ディスプレイの受動及び能動部分、金属、半導体、ガラス、様々な紙、並びにプラスチックが挙げられるがこれらに限定されない、特定の用途に好適ないかなる品目であってもよい。レセプタ基材の例には、陽極酸化アルミニウム及びその他の金属、プラスチックフィルム(例えば、PET、ポリプロピレン)、酸化インジウムスズでコーティングされたプラスチックフィルム、ガラス、酸化インジウムスズでコーティングされたガラス、フレキシブル回路、回路基板、シリコン又はその他の半導体、並びに多様な異なる種類の紙(例えば、充填若しくは無充填紙、光沢紙、又はコーティングされた紙)が挙げられる。
【0027】
図9aは、レーザー走査の90°の配向を使用してLITE工具を製造するためのプロセスを例示する図であり、図9bは、100マイクロメートルの水平ピッチを有する微細構造を有し図9aに示される走査配向を使用して製造されたサンプルLITE工具の画像である。図10aは、レーザー走査の45°の配向を使用してLITE工具を製造するためのプロセスを例示する図であり、図10bは、100マイクロメートルの対角ピッチを有する微細構造を有し図10aに示される走査配向を使用して製造されたサンプルLITE工具の画像である。これらの工具は、上記のような微細複製工具に対してLITEフィルムを画像化するプロセスを使用して製造されることができる。図9a、9b、10a、及び10bはまた、形状の様々なパターンをLITEフィルム中にエンボス加工するために、どのようにしてレーザー走査ラインと工具とのレジストレーションが制御され得るかを例示する。例えば、いくつかの実施形態では、工具は、微細構造化形状の高解像度の規則的配列を有し、LITEフィルムはその中にパターン化された情報を持たず、レーザーパターンは、高い位置精度を有するが、そうした実施形態では、エンボス加工後にLITEフィルム中に結果として生じるパターンは、好ましくはレーザー走査ラインより小さい、高解像度のエンボス加工された形状を有し、高い位置精度を含む。他の実施形態は、エンボス加工された形状の様々な構成を有してLITEフィルムをエンボス加工するために、レーザーシステムと工具とのレジストレーションが必要な場合がある。ひとたびLITEフィルムがエンボス加工されたら、それは、その後でレーザーシステムとLITEフィルムを、エンボス加工されたパターンに従って位置合わせするために、基準マーク又は任意の他の種類のレジストレーションマークを含むことができる。ウェブ系システムにおける基準の使用の例は、米国特許第7,187,995号に記載されており、これは参照により本明細書に組み込まれる。
【実施例】
【0028】
LITEフィルム1
LITEフィルム1は、PETフィルム上に2つのコーティングされた層を含み、次の方式で調製された。逆マイクログラビアコーター(康井精機(Yasui Seiki)CAG−150)を使用してLTHC−1(表1)をコーティングすることにより、LTHCが0.07mm(2.88ミル)厚さのPETフィルム基材(M7Qフィルム、デュポン・テイジン・フィルムズ(DuPont Teijin Films)、バージニア州ホープウェル(Hopewell))上に適用された。コーティングは、およそ2.7マイクロメートルのLTHCの乾燥厚さを実現するために、インラインで乾燥され、紫外線下で光硬化された。硬化されたコーティングは、1064ナノメートル(nm)で、およそ1.18の光学密度を有した。
【0029】
逆マイクログラビアコーター(康井精機(Yasui Seiki)CAG−150)を使用してCC−1(表2)をコーティングすることにより、クリアコートがLTHC層に適用された。コーティングは、およそ1.1マイクロメートルのクリアコートの乾燥厚さを実現するために、インラインで乾燥され、紫外線下で光硬化された。
【0030】
【表1】
【0031】
【表2】
【0032】
LITEフィルム2
LITEフィルム2は、PETフィルム上に単一のコーティングされた層を含み、次の方式で調製された。逆マイクログラビアコーター(康井精機(Yasui Seiki)CAG−150)を使用してLTHC−2(表3)をコーティングすることにより、LTHC層が0.07mm(2.88ミル)厚さのPETフィルム基材(M7Qフィルム、デュポン・テイジン・フィルムズ(DuPont Teijin Films)、バージニア州ホープウェル(Hopewell))上に適用された。コーティングは、およそ3.7マイクロメートルのLTHCの乾燥厚さを実現するために、インラインで乾燥された。乾燥コーティングは、808nmで、およそ3.2の光学密度を有した。
【0033】
【表3】
【0034】
ニッケル電鋳工具
パターン付きシリコンウエファーのマスターが、シプリー(Shipley)1813フォトレジスト(ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ(Rohm and Haas Electronic Materials)、デラウェア州ニューアーク(Newark))でコーティングされた基準配向の10.2cm(4インチ)シリコンウエファー上に製作された。レジストは、標準的I−ラインマスクアライナ(クインテル(Quintel)、カリフォルニア州サンノゼ(San Jose))及び電子ビーム書き込みクロム加工ガラスフォトツールを使用して、コンタクトフォトリソグラフィーの手段により、5マイクロメートル線状形状の小さい正方形配列でパターン付けされた。シプリー(Shipley)レジストのために標準的現像技術が使用されたが、レジスト上で最終的なハードベークは実行されなかった。サンプルは次に、誘導結合プラズマ発生器(オックスフォード・インスツルメンツ(Oxford Instruments)、英国エインシャム(Eynsham))装備反応性イオンエッチング工具でエッチングされた。サンプルは、C4F8及びO2、70WのRF電力、1600WのICP電力、及び0.73Pa(5.5ミリトール)の圧力を使用して、およそ0.5マイクロメートルのエッチング深さまで2分間エッチングされた。サンプルは次に、加熱された超音波フォトレジストストリッパー浴の中で、シプリー(Shipley)1165レジストストリッパーを使用してレジストが剥離されて、マスター工具を得た。
【0035】
マスター工具は、およそ0.64mm(25ミル)の厚さまで、電解ニッケルでめっきされた。ニッケルめっきの前に、ウエファーを導電性にするために、1000オングストロームの気相コーティングされたニッケルが表面上に蒸着された。ニッケルめっきは、ニッケルの均一の導電性層が構築されることを確実にするための低蒸着速度による6時間の予備めっきと、0.64mm(25ミル)の目標の厚さ値を実現するためのその後のより迅速な蒸着からなる2工程で実行された。電鋳法により、およそ1.29マイクロメートル(AFM分析により測定されたとき)の均一高さを有する5マイクロメートル幅の線状形状の配列を有するニッケル電鋳工具を得た。
【0036】
LITE手順
LITE工具を創出するために、LITEフィルムは、構造化工具と密接に接触させられた。フィルムと工具との間の空気は、真空チャックアセンブリにより取り除かれ、フィルム−工具ラミネートは、フィルムの支持層(基材)を通してレーザー放射線に露光した。レーザーシステムAの露光(λ=1064nm)については、走査速度は0.635m/sであり、画像平面中のスポット電力は1Wであり、放射線量は、0.85J/cm2であった。レーザーシステムBの露光(λ=808nm)については、走査速度は1.0m/sであり、スポット電力は1.3Wであり、放射線量は、1.3J/cm2であった。
【0037】
【表4】
【0038】
LITEフィルム2のエンボス加工された形状並びにニッケル電鋳及びIDFの対応する形状を特徴付けるために、タッピングモードにおいて原子間力顕微鏡法(AFM)が使用された。TMFフィルム及び対応するLITEフィルム2の分析のために使用された機器は、デジタル・インスツルメンツ(Digital Instruments)のディメンション(Dimension)3100SPMであった。ナノ工具及び対応するLITEフィルム2の分析のために使用された機器は、デジタル・インスツルメンツ(Digital Instruments)のディメンション(Dimension)5000SPMであった。使用されたプローブは、約40N/Mの力定数を有するオリンパス(Olympus)OTESP単結晶シリコンレバーであった。設定点の値は、もとの自由空間の振幅点(2.0V)の75%に設定された。
【技術分野】
【0001】
本発明は、微細複製工具並びにそれらをレーザー誘起熱エンボス加工(LITE)フィルム及びレーザー誘起熱画像化(LITI)方法を使用して製造するための方法に関する。
【背景技術】
【0002】
微細複製工具のような多種多様なワークピースを創出するために、ダイヤモンドターニング及びプランジ放電加工のような機械加工技術を使用することができる。微細複製工具は、押出成形プロセス、射出成形プロセス、エンボス加工プロセス、鋳造プロセスなどのために一般的に使用されて、微細構造を創出する。微細構造化表面を有する物品は、光学フィルム、研磨フィルム、接着フィルム、自己嵌合輪郭を有する機械的締結具、又は相対的に小さい寸法、例えばおよそ1000マイクロメートル未満の寸法の微細複製形状を有するいかなる成形若しくは押出部品を含んでもよい。
【0003】
微細構造化形状はまた、様々な他の方法により製造されることができる。例えば、マスター工具の構造は、生産用工具を形成するために、鋳造及び硬化プロセスにより、マスター工具から他の媒体上、例えばポリマー材料のベルト又はウェブに転写されることができ、生産用工具は次に微細構造を製造するために使用される。マスター工具を複写するために、電鋳法のような他の方法を使用することができる。工具を製造する他の技術には、化学エッチング、ビーズブラスティング、又は他の確率的表面改質技術が挙げられる。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【0004】
本発明に従うLITEフィルムは、基材と基材にオーバーレイする光熱変換層とを含む。LITEフィルムの表面は、その上に選択的にエンボス加工された微細構造化表面を有することができる。
【0005】
本発明に従う微細複製工具を製作する方法は、基材と基材にオーバーレイする光熱変換層とを含む、LITEフィルムを提供する工程と、光熱変換層が微細構造に接触した状態で、微細構造のパターンを含むマスター工具に、LITEフィルムをラミネートする工程と、LITEフィルムをパターンごとに画像化して、光熱変換層を選択的に露光する工程と、マスター工具を取り除いて、LITEフィルム上に、マスター工具の微細構造に対応する微細構造化パターンを製造する工程と、を含む。
【図面の簡単な説明】
【0006】
添付図面は本明細書に組み込まれ、その一部を構成するものであって、その記載と共に本発明の利点及び原理を説明する。
【図1】エンボス加工前の代表的なLITEフィルムの図。
【図2a】LITEフィルムをエンボス加工して微細複製工具、ライナー、又は製品、例えばLITIドナーフィルムを製造するプロセスを例示する図。
【図2b】LITEフィルムをエンボス加工して微細複製工具、ライナー、又は製品、例えばLITIドナーフィルムを製造するプロセスを例示する図。
【図2c】LITEフィルムをエンボス加工して微細複製工具、ライナー、又は製品、例えばLITIドナーフィルムを製造するプロセスを例示する図。
【図3】エンボス加工されたライナー及び製品の図。
【図4】エンボス加工されたライナーから製造されたエンボス加工された製品の図。
【図5a】微細複製工具の斜視図。
【図5b】図5aに示される微細複製工具を使用して製造されたLITE工具の斜視図。
【図6a】3つの異なる微細複製工具の斜視図。
【図6b】図6aに示される3つの微細複製工具を使用して製造されたLITE工具の斜視図。
【図7a】フィルム中の構造上構造(structure on structure)パターン又は対応する工具を使用しながらLITEフィルムをエンボス加工して、微細複製工具、ライナー、又は製品、例えばLITIドナーフィルムを製造するプロセスを例示する図。
【図7b】フィルム中の構造上構造(structure on structure)パターン又は対応する工具を使用しながらLITEフィルムをエンボス加工して、微細複製工具、ライナー、又は製品、例えばLITIドナーフィルムを製造するプロセスを例示する図。
【図7c】フィルム中の構造上構造(structure on structure)パターン又は対応する工具を使用しながらLITEフィルムをエンボス加工して、微細複製工具、ライナー、又は製品、例えばLITIドナーフィルムを製造するプロセスを例示する図。
【図7d】フィルム中の構造上構造(structure on structure)パターン又は対応する工具を使用しながらLITEフィルムをエンボス加工して、微細複製工具、ライナー、又は製品、例えばLITIドナーフィルムを製造するプロセスを例示する図。
【図7e】フィルム中の構造上構造(structure on structure)パターン又は対応する工具を使用しながらLITEフィルムをエンボス加工して、微細複製工具、ライナー、又は製品、例えばLITIドナーフィルムを製造するプロセスを例示する図。
【図7f】フィルム中の構造上構造(structure on structure)パターン又は対応する工具を使用しながらLITEフィルムをエンボス加工して、微細複製工具、ライナー、又は製品、例えばLITIドナーフィルムを製造するプロセスを例示する図。
【図8a】転写層の一部を永久レセプタに転写するために、転写層を有するエンボス加工されたLITEフィルムを画像化するLITIプロセスを例示する図。
【図8b】転写層の一部を永久レセプタに転写するために、転写層を有するエンボス加工されたLITEフィルムを画像化するLITIプロセスを例示する図。
【図8c】転写層の一部を永久レセプタに転写するために、転写層を有するエンボス加工されたLITEフィルムを画像化するLITIプロセスを例示する図。
【図9a】レーザー走査の90°配向を使用してLITE工具を製造するためのプロセスを例示する図。
【図9b】図9aに示される走査配向を使用して製造されたサンプルLITE工具の画像。
【図10a】レーザー走査の45°配向を使用してLITE工具を製造するためのプロセスを例示する図。
【図10b】図10aに示される走査配向を使用して製造されたサンプルLITE工具の画像。
【発明を実施するための形態】
【0007】
本発明の実施形態は、微細及びナノ複製プロセスのための複雑な工具を作り出すための方法を含む。方法は、精密レーザー露光及びLITEの態様を、従来の微細複製工具、例えば精密ダイヤモンド加工、フラットのエキシマレーザー加工(Excimer Laser Machining of Flats)(ELMoF)、フォトリソグラフィーによるパターニング、又は他の技術を使用して製造されるものと組み合わせることを伴う。LITEは、実質上いかなる微細複製工具表面、及び十分な熱安定性を有するLITEシート又はフィルムを使用しても実行され得る。フィルムは、微細複製工具にラミネートされ、次いで背後からレーザーで露光する。結果は、レーザー露光区域において微細複製工具のパターンに対応する3次元のエンボス加工されたパターンである。
【0008】
LITEは、多くの異なる微細構造化フィルムを創出するために使用することができる。例えば、LITEは、単一のホログラフィックマスターを使用して、カスタマイズ可能なホログラフィックパターンをフィルム基材上に保安用用途に創出するため(例えば、運転免許証又はクレジットカード用ラミネート)の迅速な方法を提供することができる。LITEはまた、例えば、それらの微細構造化された光学要素に基づく様々な他の光学特性を有する微細構造化フィルムを創出するために使用されることができる。加えて、LITEは、異なるMS工具法(MS tooling methods)からの要素を1つのLITE工具に組み合わせる能力を提供する。
【0009】
LITEはまた、マスター工具から製品を製造するために使用され得る。LITEフィルムは、エンボス加工後、エンボス加工に対応する微細複製されたパターンを有する微細構造化マスター工具を形成することができる。マスター工具としてのLITEフィルムは、工具の逆パターンを有する製品を微細複製するために使用されることができ、例えば、マスター工具の突出部は製品のくぼみに対応する。あるいは、マスター工具としてのLITEフィルムは、微細複製された金型を製造するために使用されることができ、これは次にマスター工具と同じ微細複製されたパターンを有する製品を製造するため、又は、例えばニッケル電鋳法によって、逆パターンを有するより頑強な(金属)工具を製造するために使用されることができる。電鋳法は、例えば、米国特許第4,478,769号及び同第5,156,863号の中に記載されており、これらは参照により本明細書に組み込まれる。マスター工具としてのLITEフィルムは、このようにして、マスター工具の微細複製されたパターンの、正及び負の複製された製品を製造するために使用されることができる。
【0010】
用語「微細複製工具」とは、形状がそれから複製され得る微細構造化形状、ナノ構造化形状、又は微細構造化及びナノ構造化形状の組み合わせを有する工具を意味する。用語「微細構造化(された)」とは、1ミリメートル未満の少なくとも1種の寸法(例えば、高さ、長さ、幅、又は直径)、及び典型的には少なくとも2種の寸法を有する表面の形状を指す。用語「ナノ構造化(された)」とは、1マイクロメートル未満の少なくとも1種の寸法(例えば、高さ、長さ、幅、又は直径)を有する表面の形状を指す。
【0011】
LITEフィルム及びエンボス加工プロセス
図1は、代表的なLITEフィルム100の図である。フィルム100は、典型的には、基材102と光熱変換(LTHC)層104とを含む。LITEは、LTHCをエンボス加工するために使用され、LTHC層の上に微細構造化若しくはナノ構造化パターン、又は両方を創出する。
【0012】
フィルム基材102は、フィルム100の層のための支持を提供する。ポリマーフィルムの1つの好適な種類は、ポリエステルフィルム、例えばPET又はポリエチレンナフタレート(PEN)フィルムである。しかしながら、加熱及びエンボス加工に光が使用される場合、十分な光学特性を有する他のフィルムが使用され得る。フィルム基材は、少なくともいくつかの場合において、均一なコーティングが形成され得るように平坦である。フィルム基材はまた、典型的には、フィルム中のいずれかの層(例えば、LTHC層)の加熱にもかかわらず、実質的に安定した状態を保つ材料から選択される。フィルム基材の好適な厚さは、例えば、0.025ミリメートル(mm)〜0.15mm、好ましくは0.05mm〜0.1mmの範囲であるが、より厚い又はより薄いフィルム基材が使用されてもよい。
【0013】
LTHC層104は、典型的には、入射放射線(例えば、レーザー光線)を吸収し、入射放射線の少なくとも一部を熱に変換してLTHC層のエンボス加工を可能にする、放射線吸収体を含む。あるいは、放射線吸収体は、LTHC層に加えて又はその代わりに、LITEフィルムの1つ以上の他の層の中に含まれることができる。典型的には、LTHC層(又はその他の層)中の放射線吸収体は、電磁スペクトルの赤外線、可視線、及び/又は紫外線領域内の光を吸収する。放射線吸収体は、典型的には、選択される画像化放射線に対して極めて吸収性であり、画像化放射線の波長で0.2〜3、及び好ましくは0.5〜2の範囲の光学密度を提供する。好適な放射線吸収材料には、例えば、染料(例えば、可視染料、紫外線染料、赤外線染料、蛍光染料、及び放射線極性染料)、顔料、金属、金属化合物、金属フィルム、及びその他の好適な吸収材料を挙げることができる。その他の好適な放射線吸収体の例には、カーボンブラック、金属酸化物、及び金属硫化物を挙げることができる。
【0014】
LITEフィルムをエンボス加工するために、それを画像化するには、多様な放射線発生源を使用することができる。アナログ技術(例えば、マスクを通しての露光)には、強力光源(例えば、キセノン閃光電球及びレーザー)が有用である。デジタル画像化技術には、赤外線、可視光線、及び紫外線レーザーが特に有用である。好適なレーザーには、例えば、高出力(例えば≧100mW)単一モード半導体レーザー、繊維結合半導体レーザー、及びダイオード励起固体レーザー(例えば、Nd:YAG及びNd:YLF)が挙げられる。レーザー露光のドウェル時間は、例えば、約0.1マイクロ秒〜100マイクロ秒の範囲であることができ、レーザーフルエンスは、例えば約0.01J/cm2〜約1J/cm2の範囲であることができる。少なくともいくつかの場合には、LTHC層を微細複製工具と密接に接触して保持するために、圧力又は真空が使用されてもよい。次に、LTHC層をエンボス加工するために、画像的様式で(例えば、デジタルに又はマスクを通したアナログ露光により)放射線吸収体を含有するLTHC層又は他の層を加熱するのに放射線源が使用されてもよい。
【0015】
微細複製工具は、微細複製工具にラミネートされるときにフィルムをレーザー露光の区域に関して照射することによって、LITEフィルムを作り出すのに使用され得る。結果は、レーザー露光の区域中に、工具の微細複製構造に対応する構造を有する、エンボス加工されたフィルムである。加えて、プロセスは、多くの異なるパターンを有する単一のLITE工具を提供するために、異なるMS技術から製造された異なる工具を用いて繰り返すことができる。
【0016】
図2a〜2cは、LITEフィルムを使用して微細複製工具を製造するためのLITEの使用を例示する図である。図2aに示されるように、微細複製工具を製造することは、フィルム200及び微細複製工具202の使用を伴う。フィルム200は、基材222及びLTHC層のような追加の層224を有し、これは基材102及びLTHC層104に対応してもよい。微細複製工具202は、微細構造204を有する。図2bに例示されるように、LITE微細複製工具を製造するために、微細構造204がLTHC層224と接触した状態で、工具202にフィルム200がラミネートされ、次にフィルム200は工具202に対して、それにラミネートされる間に、レーザー光線228及び本明細書に記載されるもののような熱画像化プロセスを使用して画像化される。画像化及び画像化されたフィルム200を工具202から取り除くのに続いて、LTHC層224は、図2cに例示されるように、工具202上の微細構造の画像化された部分に対応する微細複製パターン226を有する。微細複製パターンを有する画像化されたフィルムは、その後、例えば再利用可能な工具として使用されることもできるし、又はそれは画像化されたフィルムの金属の複写若しくはレプリカを製造するために使用されることもできる。
【0017】
図3は、エンボス加工されたライナー及び製品を含むフィルム構築物250の図である。エンボス加工されたライナーは、基材252及び構造化されたLTHC 254から構成され、これは基材102及びLTHC層104に対応してもよく、上記の技術を使用してエンボス加工されて、その中に構造257を付与することができる。製品は、基材258及び材料層256から構成され、これはエンボス加工されたライナーをそれにラミネート又は適用することにより構造化される。図4は、エンボス加工されたライナーから製造されたエンボス加工された製品の図である。エンボス加工された製品は、基材258、及びライナーの構造化されたLTHC254から付与された構造259を有する材料256から構成される。構造化されたライナーの例は、米国特許第6,838,150号に記載されており、これは参照により本明細書に組み込まれる。
【0018】
微細複製工具のためのLITEフィルム
図5aは、微細構造化されたプリズムを有する微細複製工具300の斜視図である。図5bは、微細複製工具300を使用して製造されたLITE工具302の斜視図である。特に、微細複製工具302は、基材304及びLTHC層のような追加の層306を有するLITEフィルムを含み、これは基材102及びLTHC層104に対応してもよい。工具302は、図2a〜2cに関して記載されたのと同じ又は同様のプロセスを使用して製造されることができる。特に、LITE工具302を製造するために、微細構造化されたプリズムがLTHC層306に接触した状態で、工具300にそれがラミネートされ、次にそれは工具300に対して画像化される。画像化に続いて、層306は、非画像化部分308により分離された微細構造305を有してエンボス加工される。
【0019】
LITEプロセスの変形は、より複雑なLITE工具を創出するために、異なる微細構造化パターンを有する複数の微細複製工具の使用を伴う。図6aは、各々が異なるピッチ及び高さを有する微細構造化されたプリズムを有する3つの微細複製工具400、402、及び404の斜視図である。図6bは、図6aに示される微細複製工具を使用して製造されたLITE工具406の斜視図である。特に、微細複製工具406は、基材408及びLTHC層のような追加の層410を有するLITEフィルムを含み、これは基材102及びLTHC層104に対応してもよい。工具406は、図2a〜2cに関して記載されたのと同じ又は同様のプロセスを使用して製造されることができる。特に、LITE工具406を製造するために、微細構造化されたプリズムが画像化の間にLTHC層410に接触した状態で、工具400、402、及び404に対して順番にそれがラミネートされ画像化される。画像化に続いて、層410は、それぞれ工具404、402、及び400に対応し非画像化部分418及び420により分離された微細構造412、414、及び416を有してエンボス加工される。
【0020】
構造上構造を有するLITEフィルム
LITEプロセスの別の変形は、それらの表面上にナノ構造化形状を有する、プリズムのようなマイクロメートル規模の形状を含む構造上構造の配列又はパターンの創出を可能にする。例として、ナノ構造化形状は、1次元又は2次元の回折格子を含むことができる。図7a〜7cは、構造上構造パターンを有する微細複製工具を製造するためのLITEの使用を例示する図である。図7aに示されるように、構造上構造の微細複製工具を製造することは、フィルム500及び微細複製工具502の使用を伴う。フィルム500は、基材520及びLTHC層のような追加の層524を有し、これは基材102及びLTHC層104に対応してもよい。LTHC層524はナノ構造化表面525を有し、微細複製工具502は微細構造504を有する。図7bに例示されるように、LITE微細複製工具を製造するために、微細構造504がLTHC層524に接触した状態で、工具502にフィルム500がラミネートされ、次にフィルム500は工具502に対して、それにラミネートされる間に、レーザー光線521及び本明細書に記載されるもののような熱画像化プロセスを使用して画像化される。画像化及び画像化されたフィルム500を工具502から取り除くのに続いて、LTHC層524は、図7cに例示されるように、ナノ構造化表面を有し工具502上の微細構造の画像化された部分に対応する微細複製パターン528を有する。
【0021】
図7d〜7fは、構造上構造パターンの代替物を例示する。図7dは、工具502に対してエンボス加工されたLITEフィルム500の図であり、その場合、図7bに関して記載されたように、エンボス加工プロセスの間に、区域530中において特定のナノ構造が取り除かれている。特に、工具502に対して画像化される区域530中のナノ構造化形状の破壊を生じさせるために、十分なエネルギーのレーザー光線521を使用することができる。別の変形では、図7eに示されるように、工具532は、微細構造化形状536、及び微細構造化形状と微細構造化形状との間、又は微細構造化形状に混ざってナノ構造化形状534を含む構造上構造パターンを有する。図7fは、工具532及び上記のようなエンボス加工プロセスを使用してエンボス加工された、基材538及びLTHCのような追加の層540を含むLITEフィルムを例示する図である。工具532に対してエンボス加工した後、LITEフィルムは、工具532上の微細構造化形状536に対応する空間544により分離された微細構造化形状上のナノ構造化形状542を有する。
【0022】
LITIプロセスにおけるLITEフィルム
図8a〜8cは、転写層の一部をレセプタ608に転写するために、転写層606を有するエンボス加工されたLITEフィルム600を画像化するLITIプロセスを例示する図である。図8aに示されるように、LITEフィルム600は、転写層でコーティングされたエンボス加工されたLITEフィルムから構成される。LITEフィルムは、基材602及び上記のような微細複製工具に対して構造を画像化するプロセスを使用して製造された構造605を有するLTHC層604から構成される。転写層606は、構造化されたLTHC層604に適用される。画像化の間に、図8bに示されるように、LITEフィルムはレセプタと密接に接触して保持されると同時に、転写層はレセプタ608に対して保持され、レーザー光線610はLITEフィルムを照射して、レセプタ608に転写層606の一部の転写を生じる。図8cに示されるように、LITEフィルムが取り除かれると、転写層606の転写された部分612は、レセプタ608上に残り、転写された部分612は、LITEフィルムのLTHC604中の構造605により付与されるような構造614を有する。
【0023】
代表的なLITIドナーフィルムの様々な層及びそれを画像化する方法は、米国特許第6,866,979号、同第6,586,153号、同第6,468,715号、同第6,284,425号、及び同第5,725,989号により完全に記載されており、これらのすべては、完全に説明されているかのように、参照により本明細書に組み込まれる。
【0024】
フィルム600は、LTHC層606とエンボス加工層608との間に任意の中間層を有することができる。任意の中間層は、層の転写された部分の損傷及び汚染を最小限にするために熱ドナーに使用されることができ、また層の転写された部分のひずみを減少させ得る。中間層はまた、転写層と熱転写ドナーの残りの部分との接着に影響を与えることができる。典型的には、中間層は、高い耐熱性を有する。好ましくは、中間層は、画像化条件下において変形又は化学的に分解せず、特に、転写された画像が機能しない状態になる程度まで、変形又は化学的に分解しない。中間層は、典型的には、転写プロセスの間、LTHC層と接触した状態のままであり、転写層と共に実質的に転写されない。好適な中間層には、例えば、ポリマーフィルム、金属層(例えば、蒸着金属層)、無機層(例えば、ゾル−ゲル付着層及び無機酸化物(例えば、シリカ、チタニア、及びその他の金属酸化物)の蒸着層)、並びに有機/無機複合層が挙げられる。中間層材料として好適な有機材料には、熱硬化性材料と熱可塑性材料との両方が挙げられる。好適な熱硬化性材料には、架橋された又は架橋可能なポリアクリレート、ポリメタクリレート、ポリエステル、エポキシ、及びポリウレタンが挙げられるがこれらに限定されない、熱、放射線、又は化学処理によって架橋され得る樹脂が挙げられる。熱硬化性材料は、例えば、熱可塑性前駆体としてLTHC層上にコーティングされ、続いて架橋されて、架橋された中間層を形成してもよい。中間層は、例えば、光開始剤、界面活性剤、顔料、可塑剤、及びコーティング補助剤を含む添加剤を含有してもよい。
【0025】
転写層606は、典型的には、レセプタ608に転写するための1つ以上の層を含む。これらの1つ以上の層は、有機、無機、有機金属、又はその他の材料を使用して形成されてもよい。有機材料には、例えば、小分子材料、ポリマー、オリゴマー、デンドリマー、及び超分枝材料が挙げられる。熱転写層は、例えば、ディスプレイ装置の発光素子、電子回路、レジスタ、コンデンサ、ダイオード、整流器、エレクトロルミネセントランプ、記憶素子、電界効果トランジスタ、バイポーラトランジスタ、単接トランジスタ、金属酸化物半導体(MOS)トランジスタ、金属−絶縁体−半導体トランジスタ、電荷結合素子、絶縁体−金属−絶縁体積み重ね体、有機導電体−金属−有機導電体積み重ね体、集積回路、光検出器、レーザー、レンズ、導波管、格子、ホログラフィック素子、信号処理のためのフィルタ(例えば、アドドロップフィルタ、利得平坦化フィルタ、遮断フィルタなど)、光学フィルタ、鏡、スプリッタ、カップラー、コンバイナ、モジュレータ、センサ(例えば、エバネセントセンサ、位相変調センサ、干渉センサなど)、光学キャビティ、圧電素子、強誘電体素子、薄膜電池、又はこれらの組み合わせ、例えば、光ディスプレイのための能動マトリックス配列としての電界効果トランジスタ及び有機エレクトロルミネセントランプの組み合わせを形成するために使用することができる転写層を含むことができる。その他の品目は、マルチコンポーネント転写アセンブリ又は単一層を転写することによって形成されてもよい。
【0026】
転写層606の少なくとも一部を受容するための永久レセプタ608は、透明なフィルム、ディスプレイ用ブラックマトリックス、電子ディスプレイの受動及び能動部分、金属、半導体、ガラス、様々な紙、並びにプラスチックが挙げられるがこれらに限定されない、特定の用途に好適ないかなる品目であってもよい。レセプタ基材の例には、陽極酸化アルミニウム及びその他の金属、プラスチックフィルム(例えば、PET、ポリプロピレン)、酸化インジウムスズでコーティングされたプラスチックフィルム、ガラス、酸化インジウムスズでコーティングされたガラス、フレキシブル回路、回路基板、シリコン又はその他の半導体、並びに多様な異なる種類の紙(例えば、充填若しくは無充填紙、光沢紙、又はコーティングされた紙)が挙げられる。
【0027】
図9aは、レーザー走査の90°の配向を使用してLITE工具を製造するためのプロセスを例示する図であり、図9bは、100マイクロメートルの水平ピッチを有する微細構造を有し図9aに示される走査配向を使用して製造されたサンプルLITE工具の画像である。図10aは、レーザー走査の45°の配向を使用してLITE工具を製造するためのプロセスを例示する図であり、図10bは、100マイクロメートルの対角ピッチを有する微細構造を有し図10aに示される走査配向を使用して製造されたサンプルLITE工具の画像である。これらの工具は、上記のような微細複製工具に対してLITEフィルムを画像化するプロセスを使用して製造されることができる。図9a、9b、10a、及び10bはまた、形状の様々なパターンをLITEフィルム中にエンボス加工するために、どのようにしてレーザー走査ラインと工具とのレジストレーションが制御され得るかを例示する。例えば、いくつかの実施形態では、工具は、微細構造化形状の高解像度の規則的配列を有し、LITEフィルムはその中にパターン化された情報を持たず、レーザーパターンは、高い位置精度を有するが、そうした実施形態では、エンボス加工後にLITEフィルム中に結果として生じるパターンは、好ましくはレーザー走査ラインより小さい、高解像度のエンボス加工された形状を有し、高い位置精度を含む。他の実施形態は、エンボス加工された形状の様々な構成を有してLITEフィルムをエンボス加工するために、レーザーシステムと工具とのレジストレーションが必要な場合がある。ひとたびLITEフィルムがエンボス加工されたら、それは、その後でレーザーシステムとLITEフィルムを、エンボス加工されたパターンに従って位置合わせするために、基準マーク又は任意の他の種類のレジストレーションマークを含むことができる。ウェブ系システムにおける基準の使用の例は、米国特許第7,187,995号に記載されており、これは参照により本明細書に組み込まれる。
【実施例】
【0028】
LITEフィルム1
LITEフィルム1は、PETフィルム上に2つのコーティングされた層を含み、次の方式で調製された。逆マイクログラビアコーター(康井精機(Yasui Seiki)CAG−150)を使用してLTHC−1(表1)をコーティングすることにより、LTHCが0.07mm(2.88ミル)厚さのPETフィルム基材(M7Qフィルム、デュポン・テイジン・フィルムズ(DuPont Teijin Films)、バージニア州ホープウェル(Hopewell))上に適用された。コーティングは、およそ2.7マイクロメートルのLTHCの乾燥厚さを実現するために、インラインで乾燥され、紫外線下で光硬化された。硬化されたコーティングは、1064ナノメートル(nm)で、およそ1.18の光学密度を有した。
【0029】
逆マイクログラビアコーター(康井精機(Yasui Seiki)CAG−150)を使用してCC−1(表2)をコーティングすることにより、クリアコートがLTHC層に適用された。コーティングは、およそ1.1マイクロメートルのクリアコートの乾燥厚さを実現するために、インラインで乾燥され、紫外線下で光硬化された。
【0030】
【表1】
【0031】
【表2】
【0032】
LITEフィルム2
LITEフィルム2は、PETフィルム上に単一のコーティングされた層を含み、次の方式で調製された。逆マイクログラビアコーター(康井精機(Yasui Seiki)CAG−150)を使用してLTHC−2(表3)をコーティングすることにより、LTHC層が0.07mm(2.88ミル)厚さのPETフィルム基材(M7Qフィルム、デュポン・テイジン・フィルムズ(DuPont Teijin Films)、バージニア州ホープウェル(Hopewell))上に適用された。コーティングは、およそ3.7マイクロメートルのLTHCの乾燥厚さを実現するために、インラインで乾燥された。乾燥コーティングは、808nmで、およそ3.2の光学密度を有した。
【0033】
【表3】
【0034】
ニッケル電鋳工具
パターン付きシリコンウエファーのマスターが、シプリー(Shipley)1813フォトレジスト(ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ(Rohm and Haas Electronic Materials)、デラウェア州ニューアーク(Newark))でコーティングされた基準配向の10.2cm(4インチ)シリコンウエファー上に製作された。レジストは、標準的I−ラインマスクアライナ(クインテル(Quintel)、カリフォルニア州サンノゼ(San Jose))及び電子ビーム書き込みクロム加工ガラスフォトツールを使用して、コンタクトフォトリソグラフィーの手段により、5マイクロメートル線状形状の小さい正方形配列でパターン付けされた。シプリー(Shipley)レジストのために標準的現像技術が使用されたが、レジスト上で最終的なハードベークは実行されなかった。サンプルは次に、誘導結合プラズマ発生器(オックスフォード・インスツルメンツ(Oxford Instruments)、英国エインシャム(Eynsham))装備反応性イオンエッチング工具でエッチングされた。サンプルは、C4F8及びO2、70WのRF電力、1600WのICP電力、及び0.73Pa(5.5ミリトール)の圧力を使用して、およそ0.5マイクロメートルのエッチング深さまで2分間エッチングされた。サンプルは次に、加熱された超音波フォトレジストストリッパー浴の中で、シプリー(Shipley)1165レジストストリッパーを使用してレジストが剥離されて、マスター工具を得た。
【0035】
マスター工具は、およそ0.64mm(25ミル)の厚さまで、電解ニッケルでめっきされた。ニッケルめっきの前に、ウエファーを導電性にするために、1000オングストロームの気相コーティングされたニッケルが表面上に蒸着された。ニッケルめっきは、ニッケルの均一の導電性層が構築されることを確実にするための低蒸着速度による6時間の予備めっきと、0.64mm(25ミル)の目標の厚さ値を実現するためのその後のより迅速な蒸着からなる2工程で実行された。電鋳法により、およそ1.29マイクロメートル(AFM分析により測定されたとき)の均一高さを有する5マイクロメートル幅の線状形状の配列を有するニッケル電鋳工具を得た。
【0036】
LITE手順
LITE工具を創出するために、LITEフィルムは、構造化工具と密接に接触させられた。フィルムと工具との間の空気は、真空チャックアセンブリにより取り除かれ、フィルム−工具ラミネートは、フィルムの支持層(基材)を通してレーザー放射線に露光した。レーザーシステムAの露光(λ=1064nm)については、走査速度は0.635m/sであり、画像平面中のスポット電力は1Wであり、放射線量は、0.85J/cm2であった。レーザーシステムBの露光(λ=808nm)については、走査速度は1.0m/sであり、スポット電力は1.3Wであり、放射線量は、1.3J/cm2であった。
【0037】
【表4】
【0038】
LITEフィルム2のエンボス加工された形状並びにニッケル電鋳及びIDFの対応する形状を特徴付けるために、タッピングモードにおいて原子間力顕微鏡法(AFM)が使用された。TMFフィルム及び対応するLITEフィルム2の分析のために使用された機器は、デジタル・インスツルメンツ(Digital Instruments)のディメンション(Dimension)3100SPMであった。ナノ工具及び対応するLITEフィルム2の分析のために使用された機器は、デジタル・インスツルメンツ(Digital Instruments)のディメンション(Dimension)5000SPMであった。使用されたプローブは、約40N/Mの力定数を有するオリンパス(Olympus)OTESP単結晶シリコンレバーであった。設定点の値は、もとの自由空間の振幅点(2.0V)の75%に設定された。
【特許請求の範囲】
【請求項1】
基材と、
前記基材にオーバーレイする光熱変換層と、
を含んでなり、
LITEフィルムの表面が、その上に選択的にエンボス加工された微細構造化表面を有することができる、
レーザー励起熱エンボス加工(LITE)フィルム。
【請求項2】
前記光熱変換層に適用されたフィルムと、
前記フィルムと前記光熱変換層との間の材料と、
を更に含み、
前記LITEフィルムが、前記光熱変換層の前記微細構造化表面の適用によって、前記材料の構造化を生じさせるライナーを含む、請求項1に記載のLITEフィルム。
【請求項3】
前記光熱変換層が、金属、顔料、又は染料の内の少なくとも1種を含む、請求項1に記載のLITEフィルム。
【請求項4】
前記光熱変換層が、約0.01マイクロメートル〜約10マイクロメートルの厚さを有する、請求項1に記載のLITEフィルム。
【請求項5】
前記微細構造化表面が、不連続の微細構造化形状を有する、請求項1に記載のLITEフィルム。
【請求項6】
前記微細構造化表面が、ナノ構造化形状を有する、請求項1に記載のLITEフィルム。
【請求項7】
前記微細構造化表面が、微細構造化された光学要素を有する、請求項1に記載のLITEフィルム。
【請求項8】
前記微細構造化表面が、微細構造化されたプリズムを有する、請求項1に記載のLITEフィルム。
【請求項9】
微細複製工具を製作する方法であって、
基材と前記基材にオーバーレイする光熱変換層とを含む、レーザー誘起熱エンボス加工(LITE)フィルムを提供することと、
前記光熱変換層が前記微細構造に接触した状態で、微細構造のパターンを含むマスター工具に、前記LITEフィルムをラミネートすることと、
前記LITEフィルムをパターンごとに画像化して、前記光熱変換層を選択的に露光することと、
前記マスター工具を取り除いて、前記LITEフィルム上に、前記マスター工具の前記微細構造に対応する微細構造化パターンを製造することと、
を含んでなる、方法。
【請求項10】
前記光熱変換層に、転写層を適用することを更に含む、請求項9に記載の方法。
【請求項11】
前記提供する工程が、前記LITEフィルムに、金属、顔料、又は染料の内の少なくとも1種を含む、前記光熱変換層を提供することを含む、請求項9に記載の方法。
【請求項12】
前記提供する工程が、前記LITEフィルムに、ナノ構造化表面を含む前記光熱変換層を提供することを含む、請求項9に記載の方法。
【請求項13】
微細複製工具を製作する方法であって、
基材と前記基材にオーバーレイする光熱変換層とを含む、レーザー誘起熱エンボス加工(LITE)フィルムを提供することと、
前記光熱変換層が前記微細構造の第1パターンと接触した状態で、微細構造の第1パターンを含む第1マスター工具に、前記LITEフィルムをラミネートすることと、
前記LITEフィルムをパターンごとに画像化して、前記微細構造の第1パターンで前記光熱変換層を選択的に露光することと、
前記第1マスター工具から前記LITEフィルムを取り除くことと、
前記光熱変換層が前記微細構造の第2パターンに接触した状態で、微細構造の第2パターンを含む第2マスター工具に、前記LITEフィルムをラミネートすることと、
前記LITEフィルムをパターンごとに画像化して、前記微細構造の第2パターンで前記光熱変換層を選択的に露光することと、
前記第2マスター工具から前記LITEフィルムを取り除いて、前記微細構造の第1及び第2パターンの組み合わせに対応するパターンを有する前記LITEフィルムを製造することと、
を含んでなる、方法。
【請求項14】
前記光熱変換層に転写層を適用することを更に含む、請求項13に記載の方法。
【請求項15】
前記提供する工程が、前記LITEフィルムに、金属、顔料、又は染料の内の少なくとも1種を含む前記光熱変換層を提供することを含む、請求項13に記載の方法。
【請求項16】
前記提供する工程が、前記LITEフィルムに、ナノ構造化表面を含む前記光熱変換層を提供することを含む、請求項13に記載の方法。
【請求項17】
前記微細構造の第1パターンが、前記微細構造の第2パターンと異なる、請求項13に記載の方法。
【請求項18】
前記パターンごとの画像化工程が、前記LITEフィルムに、前記微細構造の第2パターンに対してゼロでない角度で、微細構造の第1パターンを画像化することを含む、請求項13に記載の方法。
【請求項19】
前記微細構造の第1パターン及び第2パターンが、それぞれ、微細構造化プリズムの配列を含む、請求項13に記載の方法。
【請求項20】
前記微細構造の第1パターン中の前記微細構造化プリズムの配列が、前記微細構造の第2パターン中の前記微細構造化プリズムの配列と異なるピッチを有する、請求項19に記載の方法。
【請求項21】
熱ドナーフィルムを製造するために使用されるレーザー誘起熱エンボス加工(LITE)フィルムであって、
基材と、
前記基材にオーバーレイする光熱変換層と、
前記LITEフィルムの表面は、その上に選択的にエンボス加工された微細構造化表 面を有することができる。
前記微細構造化表面を有することができる前記光熱変換層の前記表面に適用される転写層と、
を含んでなり、
前記LITEフィルムがレセプタと密接に接触して保持されると同時に、前記転写層が前記レセプタに対して保持されている間に、前記LITEフィルムが照射される場合に、前記レセプタに前記転写層の一部の転写を生じる、レーザー誘起熱エンボス加工(LITE)フィルム。
【請求項22】
構造化された転写層を有する熱ドナーフィルムを製造する方法であって、
基材と前記基材にオーバーレイする光熱変換層とを含むレーザー誘起熱エンボス加工(LITE)フィルムを提供することと、
前記光熱変換層が前記微細構造に接触した状態で、微細構造のパターンを含むマスター工具に、前記LITEフィルムをラミネートすることと、
前記LITEフィルムをパターンごとに画像化して、前記光熱変換層を選択的に露光することと、
前記マスター工具を取り除いて、前記LITEフィルム上に、前記マスター工具の前記微細構造に対応する微細構造化パターンを製造することと、
前記LITEフィルム上の前記微細構造化パターンに、転写層を適用することと、
を含んでなり、
前記LITEフィルムが、レセプタと密接に接触して保持されると同時に、前記転写層が前記レセプタに対して保持されている間に、前記LITEフィルムが照射される場合に、前記レセプタに前記転写層の一部の転写を生じる、方法。
【請求項1】
基材と、
前記基材にオーバーレイする光熱変換層と、
を含んでなり、
LITEフィルムの表面が、その上に選択的にエンボス加工された微細構造化表面を有することができる、
レーザー励起熱エンボス加工(LITE)フィルム。
【請求項2】
前記光熱変換層に適用されたフィルムと、
前記フィルムと前記光熱変換層との間の材料と、
を更に含み、
前記LITEフィルムが、前記光熱変換層の前記微細構造化表面の適用によって、前記材料の構造化を生じさせるライナーを含む、請求項1に記載のLITEフィルム。
【請求項3】
前記光熱変換層が、金属、顔料、又は染料の内の少なくとも1種を含む、請求項1に記載のLITEフィルム。
【請求項4】
前記光熱変換層が、約0.01マイクロメートル〜約10マイクロメートルの厚さを有する、請求項1に記載のLITEフィルム。
【請求項5】
前記微細構造化表面が、不連続の微細構造化形状を有する、請求項1に記載のLITEフィルム。
【請求項6】
前記微細構造化表面が、ナノ構造化形状を有する、請求項1に記載のLITEフィルム。
【請求項7】
前記微細構造化表面が、微細構造化された光学要素を有する、請求項1に記載のLITEフィルム。
【請求項8】
前記微細構造化表面が、微細構造化されたプリズムを有する、請求項1に記載のLITEフィルム。
【請求項9】
微細複製工具を製作する方法であって、
基材と前記基材にオーバーレイする光熱変換層とを含む、レーザー誘起熱エンボス加工(LITE)フィルムを提供することと、
前記光熱変換層が前記微細構造に接触した状態で、微細構造のパターンを含むマスター工具に、前記LITEフィルムをラミネートすることと、
前記LITEフィルムをパターンごとに画像化して、前記光熱変換層を選択的に露光することと、
前記マスター工具を取り除いて、前記LITEフィルム上に、前記マスター工具の前記微細構造に対応する微細構造化パターンを製造することと、
を含んでなる、方法。
【請求項10】
前記光熱変換層に、転写層を適用することを更に含む、請求項9に記載の方法。
【請求項11】
前記提供する工程が、前記LITEフィルムに、金属、顔料、又は染料の内の少なくとも1種を含む、前記光熱変換層を提供することを含む、請求項9に記載の方法。
【請求項12】
前記提供する工程が、前記LITEフィルムに、ナノ構造化表面を含む前記光熱変換層を提供することを含む、請求項9に記載の方法。
【請求項13】
微細複製工具を製作する方法であって、
基材と前記基材にオーバーレイする光熱変換層とを含む、レーザー誘起熱エンボス加工(LITE)フィルムを提供することと、
前記光熱変換層が前記微細構造の第1パターンと接触した状態で、微細構造の第1パターンを含む第1マスター工具に、前記LITEフィルムをラミネートすることと、
前記LITEフィルムをパターンごとに画像化して、前記微細構造の第1パターンで前記光熱変換層を選択的に露光することと、
前記第1マスター工具から前記LITEフィルムを取り除くことと、
前記光熱変換層が前記微細構造の第2パターンに接触した状態で、微細構造の第2パターンを含む第2マスター工具に、前記LITEフィルムをラミネートすることと、
前記LITEフィルムをパターンごとに画像化して、前記微細構造の第2パターンで前記光熱変換層を選択的に露光することと、
前記第2マスター工具から前記LITEフィルムを取り除いて、前記微細構造の第1及び第2パターンの組み合わせに対応するパターンを有する前記LITEフィルムを製造することと、
を含んでなる、方法。
【請求項14】
前記光熱変換層に転写層を適用することを更に含む、請求項13に記載の方法。
【請求項15】
前記提供する工程が、前記LITEフィルムに、金属、顔料、又は染料の内の少なくとも1種を含む前記光熱変換層を提供することを含む、請求項13に記載の方法。
【請求項16】
前記提供する工程が、前記LITEフィルムに、ナノ構造化表面を含む前記光熱変換層を提供することを含む、請求項13に記載の方法。
【請求項17】
前記微細構造の第1パターンが、前記微細構造の第2パターンと異なる、請求項13に記載の方法。
【請求項18】
前記パターンごとの画像化工程が、前記LITEフィルムに、前記微細構造の第2パターンに対してゼロでない角度で、微細構造の第1パターンを画像化することを含む、請求項13に記載の方法。
【請求項19】
前記微細構造の第1パターン及び第2パターンが、それぞれ、微細構造化プリズムの配列を含む、請求項13に記載の方法。
【請求項20】
前記微細構造の第1パターン中の前記微細構造化プリズムの配列が、前記微細構造の第2パターン中の前記微細構造化プリズムの配列と異なるピッチを有する、請求項19に記載の方法。
【請求項21】
熱ドナーフィルムを製造するために使用されるレーザー誘起熱エンボス加工(LITE)フィルムであって、
基材と、
前記基材にオーバーレイする光熱変換層と、
前記LITEフィルムの表面は、その上に選択的にエンボス加工された微細構造化表 面を有することができる。
前記微細構造化表面を有することができる前記光熱変換層の前記表面に適用される転写層と、
を含んでなり、
前記LITEフィルムがレセプタと密接に接触して保持されると同時に、前記転写層が前記レセプタに対して保持されている間に、前記LITEフィルムが照射される場合に、前記レセプタに前記転写層の一部の転写を生じる、レーザー誘起熱エンボス加工(LITE)フィルム。
【請求項22】
構造化された転写層を有する熱ドナーフィルムを製造する方法であって、
基材と前記基材にオーバーレイする光熱変換層とを含むレーザー誘起熱エンボス加工(LITE)フィルムを提供することと、
前記光熱変換層が前記微細構造に接触した状態で、微細構造のパターンを含むマスター工具に、前記LITEフィルムをラミネートすることと、
前記LITEフィルムをパターンごとに画像化して、前記光熱変換層を選択的に露光することと、
前記マスター工具を取り除いて、前記LITEフィルム上に、前記マスター工具の前記微細構造に対応する微細構造化パターンを製造することと、
前記LITEフィルム上の前記微細構造化パターンに、転写層を適用することと、
を含んでなり、
前記LITEフィルムが、レセプタと密接に接触して保持されると同時に、前記転写層が前記レセプタに対して保持されている間に、前記LITEフィルムが照射される場合に、前記レセプタに前記転写層の一部の転写を生じる、方法。
【図1】
【図2a】
【図2b】
【図2c】
【図3】
【図4】
【図5a】
【図5b】
【図6a】
【図6b】
【図7a】
【図7b】
【図7c】
【図7d】
【図7e】
【図7f】
【図8a】
【図8b】
【図8c】
【図9a】
【図9b】
【図10a】
【図10b】
【図2a】
【図2b】
【図2c】
【図3】
【図4】
【図5a】
【図5b】
【図6a】
【図6b】
【図7a】
【図7b】
【図7c】
【図7d】
【図7e】
【図7f】
【図8a】
【図8b】
【図8c】
【図9a】
【図9b】
【図10a】
【図10b】
【公表番号】特表2010−522102(P2010−522102A)
【公表日】平成22年7月1日(2010.7.1)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2009−554625(P2009−554625)
【出願日】平成20年2月29日(2008.2.29)
【国際出願番号】PCT/US2008/055403
【国際公開番号】WO2008/118610
【国際公開日】平成20年10月2日(2008.10.2)
【出願人】(505005049)スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー (2,080)
【Fターム(参考)】
【公表日】平成22年7月1日(2010.7.1)
【国際特許分類】
【出願日】平成20年2月29日(2008.2.29)
【国際出願番号】PCT/US2008/055403
【国際公開番号】WO2008/118610
【国際公開日】平成20年10月2日(2008.10.2)
【出願人】(505005049)スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー (2,080)
【Fターム(参考)】
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