変倍光学系、光学装置、変倍光学系の製造方法
【課題】収差変動を抑え、ゴーストやフレアをより低減させ、高い光学性能を有する変倍光学系とこれを有する光学装置、変倍光学系の製造方法を提供すること。
【解決手段】光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第１レンズ群Ｇ１と、負屈折力の第２レンズ群Ｇ２と、正屈折力の第３レンズ群Ｇ３とを有し、広角端状態Ｗから望遠端状態Ｔへの変倍に際し、第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２との間隔は増大し、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との間隔は減少し、第１レンズ群Ｇ１は所定の条件式を満足する複数の正レンズＬ１２、Ｌ１３を有し、所定の条件式を満足し、第１レンズ群Ｇ１および第２レンズ群Ｇ２における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする変倍光学系。
【解決手段】光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第１レンズ群Ｇ１と、負屈折力の第２レンズ群Ｇ２と、正屈折力の第３レンズ群Ｇ３とを有し、広角端状態Ｗから望遠端状態Ｔへの変倍に際し、第１レンズ群Ｇ１と第２レンズ群Ｇ２との間隔は増大し、第２レンズ群Ｇ２と第３レンズ群Ｇ３との間隔は減少し、第１レンズ群Ｇ１は所定の条件式を満足する複数の正レンズＬ１２、Ｌ１３を有し、所定の条件式を満足し、第１レンズ群Ｇ１および第２レンズ群Ｇ２における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする変倍光学系。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第１レンズ群と、負屈折力の第２レンズ群と、正屈折力の第３レンズ群とを有し、
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との間隔は増大し、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群との間隔は減少し、
前記第１レンズ群は以下の条件式を満足する複数の正レンズを有し、
以下の条件式を満足し、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする変倍光学系。
ｎｄＡ≧１．５４０の時 νｄＡ＞６６．５
ｎｄＡ＜１．５４０の時 νｄＡ＞７５．０
４．７５＜ｆ１／ｆｗ＜１１．００
０．２８＜ｆ１／ｆｔ＜０．５２
但し、
ｎｄＡ：前記第１レンズ群中の前記複数の正レンズの材質のｄ線に対する屈折率
νｄＡ：前記第１レンズ群中の前記複数の正レンズの材質のｄ線に対するアッベ数
ｆｗ：広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離
ｆｔ：望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
【請求項２】
前記反射防止膜は多層膜であり、
前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることを特徴とする請求項１に記載の変倍光学系。
【請求項３】
前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄは１．３０以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の変倍光学系。
【請求項４】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項５】
前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項４に記載の変倍光学系。
【請求項６】
前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項４に記載の変倍光学系。
【請求項７】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項８】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に２番目のレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項７に記載の変倍光学系。
【請求項９】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に２番目のレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項７に記載の変倍光学系。
【請求項１０】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に３番目のレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項７に記載の変倍光学系。
【請求項１１】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に４番目のレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項７に記載の変倍光学系。
【請求項１２】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の変倍光学系。
０．２５＜Δ１／ｆ１＜１．１０
但し、
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
Δ１：広角端状態から望遠端状態までの像面に対する前記第１レンズ群の移動量
【請求項１３】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載の変倍光学系。
０．６５＜ｆ１Ａ／ｆ１＜１．７５
但し、
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ１Ａ：前記第１レンズ群中の前記複数の正レンズの焦点距離
【請求項１４】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１から１３のいずれか１項に記載の変倍光学系。
１．７５＜φ１Ａ／ｆｗ＜４．５０
但し、
ｆｗ：広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離
φ１Ａ：前記第１レンズ群中の前記複数の正レンズの有効径
【請求項１５】
前記第１レンズ群中の前記複数の正レンズは２枚であることを特徴とする請求項１から１４のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項１６】
前記第１レンズ群は以下の条件式を満足する負レンズを有することを特徴とする請求項１から１５のいずれか１項に記載の変倍光学系。
１．７５０＜ｎｄＮ
２８．０＜νｄＮ＜５０．０
但し、
ｎｄＮ：前記第１レンズ群中の前記負レンズの材質のｄ線に対する屈折率
νｄＮ：前記第１レンズ群中の前記負レンズの材質のｄ線に対するアッベ数
【請求項１７】
前記第１レンズ群中の前記負レンズは１枚であることを特徴とする請求項１６に記載の変倍光学系。
【請求項１８】
前記第３レンズ群は以下の条件式を満足する正レンズを有することを特徴とする請求項１から１７のいずれか１項に記載の変倍光学系。
νｄ３＞６５．５
但し、
νｄ３：前記第３レンズ群中の前記正レンズの材質のｄ線に対するアッベ数
【請求項１９】
前記第３レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第３１レンズ群と、正屈折力の第３２レンズ群とを有し、
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第３１レンズ群と前記第３２レンズ群との間隔は減少することを特徴とする請求項１から１８のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項２０】
前記第３レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第３１レンズ群と、負屈折力の第３２レンズ群と、正屈折力の第３３レンズ群とを有し、
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第３１レンズ群と前記第３２レンズ群との間隔は変化し、前記第３２レンズ群と前記第３３レンズ群との間隔は変化することを特徴とする請求項１から１８のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項２１】
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第３１レンズ群と前記第３２レンズ群との間隔は増大し、前記第３２レンズ群と前記第３３レンズ群との間隔は減少することを特徴とする請求項２０に記載の変倍光学系。
【請求項２２】
請求項１から２１のいずれか１項に記載の変倍光学系を有することを特徴とする光学装置。
【請求項２３】
光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第１レンズ群と、負屈折力の第２レンズ群と、正屈折力の第３レンズ群とを有する変倍光学系の製造方法であって、
前記第１レンズ群と前記第２レンズ群と前記第３レンズ群とを、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との間隔が増大可能、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群との間隔が減少可能に配置し、
前記第１レンズ群中に以下の条件式を満足する複数の正レンズを配置し、
以下の条件式を満足し、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする変倍光学系の製造方法。
ｎｄＡ≧１．５４０の時 νｄＡ＞６６．５
ｎｄＡ＜１．５４０の時 νｄＡ＞７５．０
４．７５＜ｆ１／ｆｗ＜１１．００
０．２８＜ｆ１／ｆｔ＜０．５２
但し、
ｎｄＡ：前記第１レンズ群中の前記複数の正レンズの材質のｄ線に対する屈折率
νｄＡ：前記第１レンズ群中の前記複数の正レンズの材質のｄ線に対するアッベ数
ｆｗ：広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離
ｆｔ：望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
【請求項２４】
光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第１レンズ群と、負屈折力の第２レンズ群と、正屈折力の第３レンズ群とを有し、
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との間隔は増大し、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群との間隔は減少し、
前記第１レンズ群は以下の条件式を満足する正レンズＡを有し、
以下の条件式を満足し、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする変倍光学系。
νｄＡ＞８５．０
３．９０＜ｆ１／ｆｗ＜１１．００
但し、
νｄＡ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＡの材質のｄ線に対するアッベ数
ｆｗ：広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
【請求項２５】
前記反射防止膜は多層膜であり、
前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることを特徴とする請求項２４に記載の変倍光学系。
【請求項２６】
前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄは１．３０以下であることを特徴とする請求項２４または２５に記載の変倍光学系。
【請求項２７】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項２４から２６のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項２８】
前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項２７に記載の変倍光学系。
【請求項２９】
前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項２７に記載の変倍光学系。
【請求項３０】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項２４から２６のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項３１】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に２番目のレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項３０に記載の変倍光学系。
【請求項３２】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に２番目のレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項３０に記載の変倍光学系。
【請求項３３】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に３番目のレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項３０に記載の変倍光学系。
【請求項３４】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に４番目のレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項３０に記載の変倍光学系。
【請求項３５】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項２４から３４のいずれか１項に記載の変倍光学系。
０．２８＜ｆ１／ｆｔ＜０．５２
但し、
ｆｔ：望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
【請求項３６】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項２４から３５のいずれか１項に記載の変倍光学系。
０．２５＜Δ１／ｆ１＜１．１０
但し、
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
Δ１：広角端状態から望遠端状態までの像面に対する前記第１レンズ群の移動量
【請求項３７】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項２４から３６のいずれか１項に記載の変倍光学系。
０．６５＜ｆ１Ａ／ｆ１＜１．７５
但し、
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ１Ａ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＡの焦点距離
【請求項３８】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項２４から３７のいずれか１項に記載の変倍光学系。
１．７５＜φ１Ａ／ｆｗ＜４．５０
但し、
ｆｗ：広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離
φ１Ａ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＡの有効径
【請求項３９】
前記第１レンズ群は以下の条件式を満足する正レンズＢを有することを特徴とする請求項２４から３８のいずれか１項に記載の変倍光学系。
ｎｄＢ＞１．５８０
但し、
ｎｄＢ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＢの材質のｄ線に対する屈折率
【請求項４０】
前記第１レンズ群は以下の条件式を満足する正レンズＢを有することを特徴とする請求項２４から３９のいずれか１項に記載の変倍光学系。
４０．０＜νｄＢ＜６６．５
但し、
νｄＢ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＢの材質のｄ線に対するアッベ数
【請求項４１】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項３９又は４０に記載の変倍光学系。
０．６５＜ｆ１Ｂ／ｆ１＜１．７５
但し、
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ１Ｂ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＢの焦点距離
【請求項４２】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項３９から４１のいずれか１項に記載の変倍光学系。
１．７５＜φ１Ｂ／ｆｗ＜４．５０
但し、
ｆｗ：広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離
φ１Ｂ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＢの有効径
【請求項４３】
前記第１レンズ群は以下の条件式を満足する負レンズを有することを特徴とする請求項２４から４２のいずれか１項に記載の変倍光学系。
１．７５０＜ｎｄＮ
２８．０＜νｄＮ＜５０．０
但し、
ｎｄＮ：前記第１レンズ群中の前記負レンズの材質のｄ線に対する屈折率
νｄＮ：前記第１レンズ群中の前記負レンズの材質のｄ線に対するアッベ数
【請求項４４】
前記第１レンズ群は、１枚の負レンズと、２枚の正レンズで構成されることを特徴とする請求項２４から４３のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項４５】
前記第３レンズ群は以下の条件式を満足する正レンズを有することを特徴とする請求項２４から４４のいずれか１項に記載の変倍光学系。
ｎｄ３≧１．５４０の時 νｄ３＞６５．５
ｎｄ３＜１．５４０の時 νｄ３＞７５．０
但し、
ｎｄ３：前記第３レンズ群中の前記正レンズの材質のｄ線に対する屈折率
νｄ３：前記第３レンズ群中の前記正レンズの材質のｄ線に対するアッベ数
【請求項４６】
前記第３レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第３１レンズ群と、正屈折力の第３２レンズ群とを有し、
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第３１レンズ群と前記第３２レンズ群との間隔は減少することを特徴とする請求項２４から４５のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項４７】
前記第３レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第３１レンズ群と、負屈折力の第３２レンズ群と、正屈折力の第３３レンズ群とを有し、
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第３１レンズ群と前記第３２レンズ群との間隔は変化し、前記第３２レンズ群と前記第３３レンズ群との間隔は変化することを特徴とする請求項２４から４５のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項４８】
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第３１レンズ群と前記第３２レンズ群との間隔は増大し、前記第３２レンズ群と前記第３３レンズ群との間隔は減少することを特徴とする請求項４７に記載の変倍光学系。
【請求項４９】
請求項２４から４８のいずれか１項に記載の変倍光学系を有することを特徴とする光学装置。
【請求項５０】
光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第１レンズ群と、負屈折力の第２レンズ群と、正屈折力の第３レンズ群とを有する変倍光学系の製造方法であって、
前記第１レンズ群と前記第２レンズ群と前記第３レンズ群とを、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との間隔が増大可能、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群との間隔が減少可能に配置し、
前記第１レンズ群中に以下の条件式を満足する正レンズＡを配置し、
以下の条件式を満足し、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする変倍光学系の製造方法。
νｄＡ＞８５．０
３．９０＜ｆ１／ｆｗ＜１１．００
但し、
νｄＡ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＡの材質のｄ線に対するアッベ数
ｆｗ：広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
【請求項５１】
光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第１レンズ群と、負屈折力の第２レンズ群と、正屈折力の第３レンズ群とを有し、
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との間隔は増大し、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群との間隔は減少し、
以下の条件式を満足する正レンズＡを有し、
以下の条件式を満足し、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする変倍光学系。
ｎｄＡ＞１．５４０
νｄＡ＞６６．５
３．９０＜ｆ１／ｆｗ＜１１．００
但し、
ｎｄＡ：前記正レンズＡの材質のｄ線に対する屈折率
νｄＡ：前記正レンズＡの材質のｄ線に対するアッベ数
ｆｗ：広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
【請求項５２】
前記反射防止膜は多層膜であり、
前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることを特徴とする請求項５１に記載の変倍光学系。
【請求項５３】
前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄは１．３０以下であることを特徴とする請求項５１または５２に記載の変倍光学系。
【請求項５４】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項５１から５３のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項５５】
前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項５４に記載の変倍光学系。
【請求項５６】
前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項５４に記載の変倍光学系。
【請求項５７】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項５１から５３のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項５８】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に２番目のレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項５７に記載の変倍光学系。
【請求項５９】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に２番目のレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項５７に記載の変倍光学系。
【請求項６０】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に３番目のレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項５７に記載の変倍光学系。
【請求項６１】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に４番目のレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項５７に記載の変倍光学系。
【請求項６２】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項５１から６１のいずれか１項に記載の変倍光学系。
０．２８＜ｆ１／ｆｔ＜０．５２
但し、
ｆｔ：望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
【請求項６３】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項５１から６２のいずれか１項に記載の変倍光学系。
０．２５＜Δ１／ｆ１＜１．１０
但し、
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
Δ１：広角端状態から望遠端状態までの像面に対する前記第１レンズ群の移動量
【請求項６４】
前記第３レンズ群は前記正レンズＡを有することを特徴とする請求項５１から６３のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項６５】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項６４に記載の変倍光学系。
０．７５＜ｆ３Ａ／ｆ３＜２．２５
但し、
ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離
ｆ３Ａ：前記第３レンズ群中の前記正レンズＡの焦点距離
【請求項６６】
前記第１レンズ群は前記正レンズＡを有することを特徴とする請求項５１から６５のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項６７】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項６６に記載の変倍光学系。
０．６５＜ｆ１Ａ／ｆ１＜１．７５
但し、
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ１Ａ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＡの焦点距離
【請求項６８】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項６６又は６７に記載の変倍光学系。
１．７５＜φ１Ａ／ｆｗ＜４．５０
但し、
ｆｗ：広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離
φ１Ａ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＡの有効径
【請求項６９】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項６６から６８のいずれか１項に記載の変倍光学系。
０．０５５＜φ１Ａ／ｆｔ＜０．４２０
但し、
ｆｔ：望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離
φ１Ａ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＡの有効径
【請求項７０】
前記第１レンズ群は２枚の正レンズを有することを特徴とする請求項５１から６９のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項７１】
前記第１レンズ群は以下の条件式を満足する負レンズを有することを特徴とする請求項５１から７０のいずれか１項に記載の変倍光学系。
１．７５０＜ｎｄＮ
２８．０＜νｄＮ＜５０．０
但し、
ｎｄＮ：前記第１レンズ群中の前記負レンズの材質のｄ線に対する屈折率
νｄＮ：前記第１レンズ群中の前記負レンズの材質のｄ線に対するアッベ数
【請求項７２】
前記第１レンズ群中の前記負レンズは１枚であることを特徴とする請求項７１に記載の変倍光学系。
【請求項７３】
前記第１レンズ群は以下の条件式を満足する正レンズＢを有することを特徴とする請求項５１から７２のいずれか１項に記載の変倍光学系。
νｄＢ＞７５．０
但し、
νｄＢ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＢの材質のｄ線に対するアッベ数
【請求項７４】
前記第３レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第３１レンズ群と、正屈折力の第３２レンズ群とを有し、
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第３１レンズ群と前記第３２レンズ群との間隔は減少することを特徴とする請求項５１から７３のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項７５】
前記第３レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第３１レンズ群と、負屈折力の第３２レンズ群と、正屈折力の第３３レンズ群とを有し、
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第３１レンズ群と前記第３２レンズ群との間隔は変化し、前記第３２レンズ群と前記第３３レンズ群との間隔は変化することを特徴とする請求項５１から７３のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項７６】
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第３１レンズ群と前記第３２レンズ群との間隔は増大し、前記第３２レンズ群と前記第３３レンズ群との間隔は減少することを特徴とする請求項７５に記載の変倍光学系。
【請求項７７】
前記第３１レンズ群は前記正レンズＡを有することを特徴とする請求項７４から７６のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項７８】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項７７に記載の変倍光学系。
０．５５＜ｆ３１Ａ／ｆ３１＜２．４５
但し、
ｆ３１：前記第３１レンズ群の焦点距離
ｆ３１Ａ：前記第３１レンズ群中の前記正レンズＡの焦点距離
【請求項７９】
請求項５１から７８のいずれか１項に記載の変倍光学系を有することを特徴とする光学装置。
【請求項８０】
光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第１レンズ群と、負屈折力の第２レンズ群と、正屈折力の第３レンズ群とを有する変倍光学系の製造方法であって、
前記第１レンズ群と前記第２レンズ群と前記第３レンズ群とを、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との間隔が増大可能、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群との間隔が減少可能に配置し、
以下の条件式を満足する正レンズＡを配置し、
以下の条件式を満足し、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする変倍光学系の製造方法。
ｎｄＡ＞１．５４０
νｄＡ＞６６．５
３．９０＜ｆ１／ｆｗ＜１１．００
但し、
ｎｄＡ：前記正レンズＡの材質のｄ線に対する屈折率
νｄＡ：前記正レンズＡの材質のｄ線に対するアッベ数
ｆｗ：広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
【請求項１】
光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第１レンズ群と、負屈折力の第２レンズ群と、正屈折力の第３レンズ群とを有し、
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との間隔は増大し、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群との間隔は減少し、
前記第１レンズ群は以下の条件式を満足する複数の正レンズを有し、
以下の条件式を満足し、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする変倍光学系。
ｎｄＡ≧１．５４０の時 νｄＡ＞６６．５
ｎｄＡ＜１．５４０の時 νｄＡ＞７５．０
４．７５＜ｆ１／ｆｗ＜１１．００
０．２８＜ｆ１／ｆｔ＜０．５２
但し、
ｎｄＡ：前記第１レンズ群中の前記複数の正レンズの材質のｄ線に対する屈折率
νｄＡ：前記第１レンズ群中の前記複数の正レンズの材質のｄ線に対するアッベ数
ｆｗ：広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離
ｆｔ：望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
【請求項２】
前記反射防止膜は多層膜であり、
前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることを特徴とする請求項１に記載の変倍光学系。
【請求項３】
前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄは１．３０以下であることを特徴とする請求項１または２に記載の変倍光学系。
【請求項４】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項５】
前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項４に記載の変倍光学系。
【請求項６】
前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項４に記載の変倍光学系。
【請求項７】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項８】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に２番目のレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項７に記載の変倍光学系。
【請求項９】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に２番目のレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項７に記載の変倍光学系。
【請求項１０】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に３番目のレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項７に記載の変倍光学系。
【請求項１１】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に４番目のレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項７に記載の変倍光学系。
【請求項１２】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１から１１のいずれか１項に記載の変倍光学系。
０．２５＜Δ１／ｆ１＜１．１０
但し、
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
Δ１：広角端状態から望遠端状態までの像面に対する前記第１レンズ群の移動量
【請求項１３】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１から１２のいずれか１項に記載の変倍光学系。
０．６５＜ｆ１Ａ／ｆ１＜１．７５
但し、
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ１Ａ：前記第１レンズ群中の前記複数の正レンズの焦点距離
【請求項１４】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項１から１３のいずれか１項に記載の変倍光学系。
１．７５＜φ１Ａ／ｆｗ＜４．５０
但し、
ｆｗ：広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離
φ１Ａ：前記第１レンズ群中の前記複数の正レンズの有効径
【請求項１５】
前記第１レンズ群中の前記複数の正レンズは２枚であることを特徴とする請求項１から１４のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項１６】
前記第１レンズ群は以下の条件式を満足する負レンズを有することを特徴とする請求項１から１５のいずれか１項に記載の変倍光学系。
１．７５０＜ｎｄＮ
２８．０＜νｄＮ＜５０．０
但し、
ｎｄＮ：前記第１レンズ群中の前記負レンズの材質のｄ線に対する屈折率
νｄＮ：前記第１レンズ群中の前記負レンズの材質のｄ線に対するアッベ数
【請求項１７】
前記第１レンズ群中の前記負レンズは１枚であることを特徴とする請求項１６に記載の変倍光学系。
【請求項１８】
前記第３レンズ群は以下の条件式を満足する正レンズを有することを特徴とする請求項１から１７のいずれか１項に記載の変倍光学系。
νｄ３＞６５．５
但し、
νｄ３：前記第３レンズ群中の前記正レンズの材質のｄ線に対するアッベ数
【請求項１９】
前記第３レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第３１レンズ群と、正屈折力の第３２レンズ群とを有し、
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第３１レンズ群と前記第３２レンズ群との間隔は減少することを特徴とする請求項１から１８のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項２０】
前記第３レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第３１レンズ群と、負屈折力の第３２レンズ群と、正屈折力の第３３レンズ群とを有し、
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第３１レンズ群と前記第３２レンズ群との間隔は変化し、前記第３２レンズ群と前記第３３レンズ群との間隔は変化することを特徴とする請求項１から１８のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項２１】
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第３１レンズ群と前記第３２レンズ群との間隔は増大し、前記第３２レンズ群と前記第３３レンズ群との間隔は減少することを特徴とする請求項２０に記載の変倍光学系。
【請求項２２】
請求項１から２１のいずれか１項に記載の変倍光学系を有することを特徴とする光学装置。
【請求項２３】
光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第１レンズ群と、負屈折力の第２レンズ群と、正屈折力の第３レンズ群とを有する変倍光学系の製造方法であって、
前記第１レンズ群と前記第２レンズ群と前記第３レンズ群とを、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との間隔が増大可能、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群との間隔が減少可能に配置し、
前記第１レンズ群中に以下の条件式を満足する複数の正レンズを配置し、
以下の条件式を満足し、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする変倍光学系の製造方法。
ｎｄＡ≧１．５４０の時 νｄＡ＞６６．５
ｎｄＡ＜１．５４０の時 νｄＡ＞７５．０
４．７５＜ｆ１／ｆｗ＜１１．００
０．２８＜ｆ１／ｆｔ＜０．５２
但し、
ｎｄＡ：前記第１レンズ群中の前記複数の正レンズの材質のｄ線に対する屈折率
νｄＡ：前記第１レンズ群中の前記複数の正レンズの材質のｄ線に対するアッベ数
ｆｗ：広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離
ｆｔ：望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
【請求項２４】
光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第１レンズ群と、負屈折力の第２レンズ群と、正屈折力の第３レンズ群とを有し、
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との間隔は増大し、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群との間隔は減少し、
前記第１レンズ群は以下の条件式を満足する正レンズＡを有し、
以下の条件式を満足し、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする変倍光学系。
νｄＡ＞８５．０
３．９０＜ｆ１／ｆｗ＜１１．００
但し、
νｄＡ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＡの材質のｄ線に対するアッベ数
ｆｗ：広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
【請求項２５】
前記反射防止膜は多層膜であり、
前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることを特徴とする請求項２４に記載の変倍光学系。
【請求項２６】
前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄは１．３０以下であることを特徴とする請求項２４または２５に記載の変倍光学系。
【請求項２７】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項２４から２６のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項２８】
前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項２７に記載の変倍光学系。
【請求項２９】
前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項２７に記載の変倍光学系。
【請求項３０】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体側から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項２４から２６のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項３１】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に２番目のレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項３０に記載の変倍光学系。
【請求項３２】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に２番目のレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項３０に記載の変倍光学系。
【請求項３３】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に３番目のレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項３０に記載の変倍光学系。
【請求項３４】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に４番目のレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項３０に記載の変倍光学系。
【請求項３５】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項２４から３４のいずれか１項に記載の変倍光学系。
０．２８＜ｆ１／ｆｔ＜０．５２
但し、
ｆｔ：望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
【請求項３６】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項２４から３５のいずれか１項に記載の変倍光学系。
０．２５＜Δ１／ｆ１＜１．１０
但し、
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
Δ１：広角端状態から望遠端状態までの像面に対する前記第１レンズ群の移動量
【請求項３７】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項２４から３６のいずれか１項に記載の変倍光学系。
０．６５＜ｆ１Ａ／ｆ１＜１．７５
但し、
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ１Ａ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＡの焦点距離
【請求項３８】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項２４から３７のいずれか１項に記載の変倍光学系。
１．７５＜φ１Ａ／ｆｗ＜４．５０
但し、
ｆｗ：広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離
φ１Ａ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＡの有効径
【請求項３９】
前記第１レンズ群は以下の条件式を満足する正レンズＢを有することを特徴とする請求項２４から３８のいずれか１項に記載の変倍光学系。
ｎｄＢ＞１．５８０
但し、
ｎｄＢ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＢの材質のｄ線に対する屈折率
【請求項４０】
前記第１レンズ群は以下の条件式を満足する正レンズＢを有することを特徴とする請求項２４から３９のいずれか１項に記載の変倍光学系。
４０．０＜νｄＢ＜６６．５
但し、
νｄＢ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＢの材質のｄ線に対するアッベ数
【請求項４１】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項３９又は４０に記載の変倍光学系。
０．６５＜ｆ１Ｂ／ｆ１＜１．７５
但し、
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ１Ｂ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＢの焦点距離
【請求項４２】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項３９から４１のいずれか１項に記載の変倍光学系。
１．７５＜φ１Ｂ／ｆｗ＜４．５０
但し、
ｆｗ：広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離
φ１Ｂ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＢの有効径
【請求項４３】
前記第１レンズ群は以下の条件式を満足する負レンズを有することを特徴とする請求項２４から４２のいずれか１項に記載の変倍光学系。
１．７５０＜ｎｄＮ
２８．０＜νｄＮ＜５０．０
但し、
ｎｄＮ：前記第１レンズ群中の前記負レンズの材質のｄ線に対する屈折率
νｄＮ：前記第１レンズ群中の前記負レンズの材質のｄ線に対するアッベ数
【請求項４４】
前記第１レンズ群は、１枚の負レンズと、２枚の正レンズで構成されることを特徴とする請求項２４から４３のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項４５】
前記第３レンズ群は以下の条件式を満足する正レンズを有することを特徴とする請求項２４から４４のいずれか１項に記載の変倍光学系。
ｎｄ３≧１．５４０の時 νｄ３＞６５．５
ｎｄ３＜１．５４０の時 νｄ３＞７５．０
但し、
ｎｄ３：前記第３レンズ群中の前記正レンズの材質のｄ線に対する屈折率
νｄ３：前記第３レンズ群中の前記正レンズの材質のｄ線に対するアッベ数
【請求項４６】
前記第３レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第３１レンズ群と、正屈折力の第３２レンズ群とを有し、
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第３１レンズ群と前記第３２レンズ群との間隔は減少することを特徴とする請求項２４から４５のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項４７】
前記第３レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第３１レンズ群と、負屈折力の第３２レンズ群と、正屈折力の第３３レンズ群とを有し、
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第３１レンズ群と前記第３２レンズ群との間隔は変化し、前記第３２レンズ群と前記第３３レンズ群との間隔は変化することを特徴とする請求項２４から４５のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項４８】
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第３１レンズ群と前記第３２レンズ群との間隔は増大し、前記第３２レンズ群と前記第３３レンズ群との間隔は減少することを特徴とする請求項４７に記載の変倍光学系。
【請求項４９】
請求項２４から４８のいずれか１項に記載の変倍光学系を有することを特徴とする光学装置。
【請求項５０】
光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第１レンズ群と、負屈折力の第２レンズ群と、正屈折力の第３レンズ群とを有する変倍光学系の製造方法であって、
前記第１レンズ群と前記第２レンズ群と前記第３レンズ群とを、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との間隔が増大可能、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群との間隔が減少可能に配置し、
前記第１レンズ群中に以下の条件式を満足する正レンズＡを配置し、
以下の条件式を満足し、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする変倍光学系の製造方法。
νｄＡ＞８５．０
３．９０＜ｆ１／ｆｗ＜１１．００
但し、
νｄＡ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＡの材質のｄ線に対するアッベ数
ｆｗ：広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
【請求項５１】
光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第１レンズ群と、負屈折力の第２レンズ群と、正屈折力の第３レンズ群とを有し、
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との間隔は増大し、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群との間隔は減少し、
以下の条件式を満足する正レンズＡを有し、
以下の条件式を満足し、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする変倍光学系。
ｎｄＡ＞１．５４０
νｄＡ＞６６．５
３．９０＜ｆ１／ｆｗ＜１１．００
但し、
ｎｄＡ：前記正レンズＡの材質のｄ線に対する屈折率
νｄＡ：前記正レンズＡの材質のｄ線に対するアッベ数
ｆｗ：広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
【請求項５２】
前記反射防止膜は多層膜であり、
前記ウェットプロセスを用いて形成された層は、前記多層膜を構成する層のうち最も表面側の層であることを特徴とする請求項５１に記載の変倍光学系。
【請求項５３】
前記ウェットプロセスを用いて形成された層の屈折率をｎｄとしたとき、ｎｄは１．３０以下であることを特徴とする請求項５１または５２に記載の変倍光学系。
【請求項５４】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、開口絞りから見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項５１から５３のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項５５】
前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項５４に記載の変倍光学系。
【請求項５６】
前記開口絞りから見て凹形状のレンズ面は、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項５４に記載の変倍光学系。
【請求項５７】
前記反射防止膜が設けられた前記光学面は、物体から見て凹形状のレンズ面であることを特徴とする請求項５１から５３のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項５８】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第１レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に２番目のレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項５７に記載の変倍光学系。
【請求項５９】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に２番目のレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項５７に記載の変倍光学系。
【請求項６０】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に３番目のレンズの、像面側のレンズ面であることを特徴とする請求項５７に記載の変倍光学系。
【請求項６１】
前記物体側から見て凹形状のレンズ面は、前記第２レンズ群の最も物体側のレンズから像面側に４番目のレンズの、物体側のレンズ面であることを特徴とする請求項５７に記載の変倍光学系。
【請求項６２】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項５１から６１のいずれか１項に記載の変倍光学系。
０．２８＜ｆ１／ｆｔ＜０．５２
但し、
ｆｔ：望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
【請求項６３】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項５１から６２のいずれか１項に記載の変倍光学系。
０．２５＜Δ１／ｆ１＜１．１０
但し、
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
Δ１：広角端状態から望遠端状態までの像面に対する前記第１レンズ群の移動量
【請求項６４】
前記第３レンズ群は前記正レンズＡを有することを特徴とする請求項５１から６３のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項６５】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項６４に記載の変倍光学系。
０．７５＜ｆ３Ａ／ｆ３＜２．２５
但し、
ｆ３：前記第３レンズ群の焦点距離
ｆ３Ａ：前記第３レンズ群中の前記正レンズＡの焦点距離
【請求項６６】
前記第１レンズ群は前記正レンズＡを有することを特徴とする請求項５１から６５のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項６７】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項６６に記載の変倍光学系。
０．６５＜ｆ１Ａ／ｆ１＜１．７５
但し、
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
ｆ１Ａ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＡの焦点距離
【請求項６８】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項６６又は６７に記載の変倍光学系。
１．７５＜φ１Ａ／ｆｗ＜４．５０
但し、
ｆｗ：広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離
φ１Ａ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＡの有効径
【請求項６９】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項６６から６８のいずれか１項に記載の変倍光学系。
０．０５５＜φ１Ａ／ｆｔ＜０．４２０
但し、
ｆｔ：望遠端状態における変倍光学系全系の焦点距離
φ１Ａ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＡの有効径
【請求項７０】
前記第１レンズ群は２枚の正レンズを有することを特徴とする請求項５１から６９のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項７１】
前記第１レンズ群は以下の条件式を満足する負レンズを有することを特徴とする請求項５１から７０のいずれか１項に記載の変倍光学系。
１．７５０＜ｎｄＮ
２８．０＜νｄＮ＜５０．０
但し、
ｎｄＮ：前記第１レンズ群中の前記負レンズの材質のｄ線に対する屈折率
νｄＮ：前記第１レンズ群中の前記負レンズの材質のｄ線に対するアッベ数
【請求項７２】
前記第１レンズ群中の前記負レンズは１枚であることを特徴とする請求項７１に記載の変倍光学系。
【請求項７３】
前記第１レンズ群は以下の条件式を満足する正レンズＢを有することを特徴とする請求項５１から７２のいずれか１項に記載の変倍光学系。
νｄＢ＞７５．０
但し、
νｄＢ：前記第１レンズ群中の前記正レンズＢの材質のｄ線に対するアッベ数
【請求項７４】
前記第３レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第３１レンズ群と、正屈折力の第３２レンズ群とを有し、
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第３１レンズ群と前記第３２レンズ群との間隔は減少することを特徴とする請求項５１から７３のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項７５】
前記第３レンズ群は、光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第３１レンズ群と、負屈折力の第３２レンズ群と、正屈折力の第３３レンズ群とを有し、
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第３１レンズ群と前記第３２レンズ群との間隔は変化し、前記第３２レンズ群と前記第３３レンズ群との間隔は変化することを特徴とする請求項５１から７３のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項７６】
広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第３１レンズ群と前記第３２レンズ群との間隔は増大し、前記第３２レンズ群と前記第３３レンズ群との間隔は減少することを特徴とする請求項７５に記載の変倍光学系。
【請求項７７】
前記第３１レンズ群は前記正レンズＡを有することを特徴とする請求項７４から７６のいずれか１項に記載の変倍光学系。
【請求項７８】
以下の条件式を満足することを特徴とする請求項７７に記載の変倍光学系。
０．５５＜ｆ３１Ａ／ｆ３１＜２．４５
但し、
ｆ３１：前記第３１レンズ群の焦点距離
ｆ３１Ａ：前記第３１レンズ群中の前記正レンズＡの焦点距離
【請求項７９】
請求項５１から７８のいずれか１項に記載の変倍光学系を有することを特徴とする光学装置。
【請求項８０】
光軸に沿って物体側から順に、正屈折力の第１レンズ群と、負屈折力の第２レンズ群と、正屈折力の第３レンズ群とを有する変倍光学系の製造方法であって、
前記第１レンズ群と前記第２レンズ群と前記第３レンズ群とを、広角端状態から望遠端状態への変倍に際し、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群との間隔が増大可能、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群との間隔が減少可能に配置し、
以下の条件式を満足する正レンズＡを配置し、
以下の条件式を満足し、
前記第１レンズ群および前記第２レンズ群における光学面のうち少なくとも１面に反射防止膜が設けられ、当該反射防止膜はウェットプロセスを用いて形成された層を少なくとも１層含むことを特徴とする変倍光学系の製造方法。
ｎｄＡ＞１．５４０
νｄＡ＞６６．５
３．９０＜ｆ１／ｆｗ＜１１．００
但し、
ｎｄＡ：前記正レンズＡの材質のｄ線に対する屈折率
νｄＡ：前記正レンズＡの材質のｄ線に対するアッベ数
ｆｗ：広角端状態における変倍光学系全系の焦点距離
ｆ１：前記第１レンズ群の焦点距離
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【図３６】
【図３７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
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【図１２】
【図１３】
【図１４】
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【図１７】
【図１８】
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【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２６】
【図２７】
【図２８】
【図２９】
【図３０】
【図３１】
【図３２】
【図３３】
【図３４】
【図３５】
【図３６】
【図３７】
【公開番号】特開２０１２−２３７９５３（Ｐ２０１２−２３７９５３Ａ）
【公開日】平成２４年１２月６日（２０１２．１２．６）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１５１８９２（Ｐ２０１１−１５１８９２）
【出願日】平成２３年７月８日（２０１１．７．８）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年１２月６日（２０１２．１２．６）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年７月８日（２０１１．７．８）
【出願人】（０００００４１１２）株式会社ニコン (12,601)
【Ｆターム（参考）】
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