感光性組成物及び感光性フィルム、並びに永久パターン形成方法及びパターン

【課題】保存時の低温下又は常温下では反応を生じず、保存安定性に優れ、表面のタック性が小さく、フィルム化した際のラミネート性及び取扱い性が良好であり、保護フィルムや支持体からの剥離性に優れ、高感度で現像性にも優れ、現像後に優れた耐薬品性、表面硬度、耐熱性、誘電特性、電気絶縁性などが得られ、高精細なパターンが形成可能な感光性組成物。
【解決手段】（Ａ）バインダーと、（Ｂ）重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）軟化点及び融点の少なくともいずれかが、５０〜２５０℃であり、かつ溶媒に可溶である熱架橋剤と、を少なくとも含むことを特徴とする感光性組成物及び感光性フィルム、並びに永久パターン形成方法及びパターンである。

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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）バインダーと、（Ｂ）重合性化合物と、（Ｃ）光重合開始剤と、（Ｄ）軟化点及び融点の少なくともいずれかが、５０〜２５０℃であり、かつ溶媒に可溶である熱架橋剤と、を少なくとも含むことを特徴とする感光性組成物。
【請求項２】
（Ｄ）熱架橋剤の軟化点及び融点の少なくともいずれかが、７０〜１５０℃である請求項１に記載の感光性組成物。
【請求項３】
（Ｄ）熱架橋剤が、エポキシ化合物、オキセタン化合物、イソシアネート化合物、シアネート化合物、メチロール化メラミン化合物、ビスマレイミド化合物、及びオキサゾリン化合物から選択される少なくとも１種である請求項１から２のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項４】
（Ｄ）熱架橋剤が、エポキシ化合物である請求項３に記載の感光性組成物。
【請求項５】
（Ｄ）熱架橋剤が、β位変性エポキシ化合物である請求項４に記載の感光性組成物。
【請求項６】
（Ｄ）熱架橋剤が、β位にアルキル基を有するエポキシ基を少なくとも含むβ位アルキル基変性エポキシ化合物である請求項５に記載の感光性組成物。
【請求項７】
（Ｄ）熱架橋剤が、β位にメチル基を有するエポキシ基を少なくとも含むβ位メチル基変性エポキシ化合物である請求項６に記載の感光性組成物。
【請求項８】
β位にアルキル基を有するエポキシ基が、β−メチルグリシジル基、β−エチルグリシジル基、β−プロピルグリシジル基、及びβ−ブチルグリシジル基から選択される少なくとも１種である請求項６から７のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項９】
（Ｄ）熱架橋剤が、オキシラン環部位に置換基を持つオキシラン環を１分子中に２個以上有し、下記一般式（１）及び（２）のいずれかで表される請求項３から８のいずれかに記載の感光性組成物。
【化１】

【化２】

ただし、前記一般式（１）及び（２）中、Ｐは、単結合、酸素原子、カルボニル基、アルキレン、及びアリーレンのいずれかを表す。Ｑは、炭素数２以上のアルキレン、及びアリーレンのいずれかを表す。Ａ^１〜Ａ^５は、単結合、アルキレン、及びアリーレンのいずれかを表し、Ｘ^１〜Ｘ^５は、単結合、酸素原子、硫黄原子、アミノ基、カルボニル基、−ＣＯＯ−、−ＯＣＯ−、アルキレン、及びアリーレンのいずれかを表す。Ｒ^１〜Ｒ^５は、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基のいずれかを表す。
【請求項１０】
（Ｄ）熱架橋剤の含有量が、１〜５０質量％である請求項１から９のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項１１】
（Ａ）バインダーが、エポキシアクリレート化合物を少なくとも含む請求項１から１０のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項１２】
（Ａ）バインダーが、酸性基とエチレン性不飽和二重結合を有するビニル共重合体である請求項１から１１のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項１３】
（Ａ）バインダーが、エポキシアクリレート化合物と、酸性基とエチレン性不飽和二重結合を有するビニル共重合体を含む請求項１から１２のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項１４】
（Ｃ）光重合開始剤が、ハロゲン化炭化水素誘導体、ホスフィンオキシド、ヘキサアリールビイミダゾール、オキシム誘導体、有機過酸化物、チオ化合物、ケトン化合物、芳香族オニウム塩、及びメタロセン類から選択される少なくとも１種を含む請求項１から１３のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項１５】
増感剤を含み、該増感剤が、縮環系化合物、並びに、少なくとも２つの芳香族炭化水素環及び芳香族複素環のいずれかで置換されたアミン系化合物から選択される少なくとも１種である請求項１から１４のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項１６】
支持体と、該支持体上に請求項１から１５のいずれかに記載の感光性組成物からなる感光層と、該感光層上に保護フィルムと、を少なくとも有してなることを特徴とする感光性フィルム。
【請求項１７】
請求項１から１５のいずれかに記載の感光性組成物を、基材の表面に塗布し、乾燥して感光層を形成した後、露光し、現像し、加熱することを特徴とする永久パターン形成方法。
【請求項１８】
請求項１６に記載の感光性フィルムを、加熱及び加圧の少なくともいずれかの下において基材の表面に積層した後、露光し、現像し、加熱することを特徴とする永久パターン形成方法。
【請求項１９】
感光層に対し、
光照射手段、及び前記光照射手段からの光を受光し出射するｎ個（ただし、ｎは２以上の自然数）の２次元状に配列された描素部を有し、パターン情報に応じて前記描素部を制御可能な光変調手段を備えた露光ヘッドであって、該露光ヘッドの走査方向に対し、前記描素部の列方向が所定の設定傾斜角度θをなすように配置された露光ヘッドを用い、
前記露光ヘッドについて、使用描素部指定手段により、使用可能な前記描素部のうち、Ｎ重露光（ただし、Ｎは２以上の自然数）に使用する前記描素部を指定し、
前記露光ヘッドについて、描素部制御手段により、前記使用描素部指定手段により指定された前記描素部のみが露光に関与するように、前記描素部の制御を行い、
前記感光層に対し、前記露光ヘッドを走査方向に相対的に移動させて露光し、現像する請求項１７から１８のいずれかに記載の永久パターン形成方法。
【請求項２０】
現像が行われた後、感光層に対して全面露光を行う請求項１７から１９のいずれかに記載の永久パターン形成方法。
【請求項２１】
請求項１７から２０のいずれかに記載の永久パターン形成方法により形成されることを特徴とするパターン。

【図２５】