検査装置及び検査レシピの隠蔽方法
【課題】ユーザそれぞれが、自身がその存在を感得しているレシピについて、他のユーザがその存在を含めた設定内容を感得できないように、そのレシピの存在自体も含めてレシピの設定内容を隠蔽しておくことができる検査装置及びその隠蔽方法を提供する。
【解決手段】ユーザそれぞれが、自身の閲覧設定画面５００上でその存在を感得しているレシピについて、他のユーザがその存在を含めた設定内容を感得できないように他のユーザを隠蔽先に含む隠蔽ＩＤ情報を生成するレシピ隠蔽情報作成機能部１１６と、ユーザそれぞれの閲覧設定画面５００を表示する際、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている隠蔽ＩＤ情報に基づいて、ユーザそれぞれの閲覧設定画面５００の生成のためのレシピ表示情報を作成する表示情報作成機能部１２０とを備える。
【解決手段】ユーザそれぞれが、自身の閲覧設定画面５００上でその存在を感得しているレシピについて、他のユーザがその存在を含めた設定内容を感得できないように他のユーザを隠蔽先に含む隠蔽ＩＤ情報を生成するレシピ隠蔽情報作成機能部１１６と、ユーザそれぞれの閲覧設定画面５００を表示する際、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている隠蔽ＩＤ情報に基づいて、ユーザそれぞれの閲覧設定画面５００の生成のためのレシピ表示情報を作成する表示情報作成機能部１２０とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等の被検査体の表面に存在する異物，傷，欠陥，汚れ等を検出する検査装置及び検査レシピの隠蔽方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造工程において、品質や歩留りの低下を抑制するためには、半導体ウエハ（以下では、「ウエハ」と略称する）の表面上の異物，傷，欠陥，汚れ等（以下では、これらを「異物」と総称する）を検出し、異物の種類，大きさ，検出数等について統計管理しておくことが重要である。これにより、各種製造装置や工程の清浄度を定量的に把握できるようになり、これらを的確に管理することによって、品質や歩留りの低下を抑制できる。
【０００３】
そこで、従来から、半導体デバイスの製造工程では、表面検査装置によるウエハの表面検査が実施されている。ウエハ表面の表面検査装置としては、レーザ光等の検査光をウエハの表面に照射し、ウエハの表面で発生した反射光又は散乱光を検出することにより、ウエハ表面に存在する異物を検出するものが知られている（特許文献１参照）。
【０００４】
ところで、検査装置に検査作業を行わせるには、装置を動作させるための様々な設定値が必要である。これら設定値は、様々なプロセスを経て作成された光学条件や検査結果表示条件等であり、検査作業における諸条件を規定するものである。そのため、これら設定値は、検査作業毎に１つのファイル情報に纏められて管理されている。これら設定値を含む、検査作業毎の検査手順や検査条件が記述されたファイル情報のことを、レシピと呼んでいる。レシピは検査対象や検出したい情報等の種類毎に用意が必要で、検査装置を用いた検査作業の実行に当たっては、何百という非常に多くの数のレシピが作成される。検査装置では、互いに関連があるレシピ同士がグループに纏められ、これら多数のレシピが系統的に管理されている。
【０００５】
一方、半導体検査装置では、装置を操作する際にユーザ認証を行うことによって、権限のあるユーザにだけ固有の装置操作を許可している。これにより、不特定多数の者による装置操作を制限し、装置データとしてのレシピの編集を制限してレシピの保護をはかっている（特許文献２参照）。
【０００６】
また、半導体製造装置では、装置で扱うプロセス関連情報をユーザそれぞれ個別に権限を持たせて管理することで、各プロセス関連情報に対する各ユーザの操作を制限している。例えば、半導体製造装置でプロセス関連情報として用いられる個々のレシピに対する操作を、ユーザ識別情報とユーザが属するグループのグループ識別情報とに対応付けられている権限情報に基づいて操作毎に権限のあるユーザを制限することで、より細かなレシピの保護を行っている（特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平９−３０４２８９号公報
【特許文献２】特開２００９−８８０４７号公報
【特許文献３】特開２００９−２７７９９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
レシピは、検査装置を使用するユーザそれぞれによって、検査対象や検出したい情報等の種類毎に用意される。そのため、レシピには、検査処理のノウハウや、試料となるウエハ（被検査体）の素性を示す情報も記述されている。レシピの数自体も、その設定内容の違い等に応じて、１台の検査装置で数百種類以上に達することもある。
【０００９】
検査装置では、これら数多くのレシピが、ユーザの違い，検査対象や検出したい情報の種類の違い等に応じてグループ分けされ、系統立てて登録管理されている。そこで、個々のレシピが格納されたレシピファイルを検査装置に登録する際には、登録後のレシピの系統的な管理を可能にし、レシピそれぞれにより実行される検査作業の違いの理解を容易にするため、個々のレシピファイルそれぞれや、グループ分けされたレシピファイルが纏められたレシピ分類それぞれには、ユーザによりレシピ名称や分類名称が付されている。このレシピ名称や分類名称は、試料としてのウエハの種別（例えば、ウエハに形成されている半導体デバイスの製品コードやメーカ名等），ウエハの材質名称，作業工程名称，検査条件名称等といった特徴情報を含むようにルール付けされ、ユーザにより名付けられる。
【００１０】
したがって、ユーザは、検査等に用いる所望のレシピを見つけ出す場合は、これらレシピ分類に付された分類名称やレシピファイルに付されたレシピ名称を閲覧して、それぞれの名称が表わすレシピの設定内容に係る特徴情報を基に、所望のレシピの判別を行っている。すなわち、ユーザは、レシピ分類の分類名称やレシピファイルのレシピ名称からそのレシピの設定内容に係る特徴情報を理解することができ、例えば、ウエハの材質や、どのような工程で作業が行われ、どのような方法で検査しているか等の情報も知り得ることもできる。
【００１１】
しかしながら、検査装置において登録管理されているレシピが増加し多数になると、ユーザそれぞれにより登録されたレシピは、ウエハの種別，ウエハの材質名称，作業工程名称，検査条件名称等といった特徴情報が類似するものが増加し、結果的にユーザ相互間でレシピファイルのレシピ名称が類似し、レシピ分類の分類名称も類似したものになってしまうことが起こり得る。
【００１２】
そのため、ユーザが登録管理されている所望のレシピについてその設定内容を編集しようする場合は、名称が類似した複数のレシピ分類，レシピファイルの中から、編集対象のレシピを見つけ出さなければならない、という問題点が新たに生じる。
【００１３】
その際、特許文献２，３に記載されているように、レシピの操作について権限情報が設定又は付与されている場合は、編集対象のレシピと名称が類似する他のユーザのレシピをユーザが誤って閲覧して選択してしまっても、ユーザ自身がこのレシピの操作について権限を有していなければ、レシピの設定内容を読み出したり、書き込んだり、削除したり、実行したりすることはできないので、設定内容の閲覧、改変等を防止できる。
【００１４】
しかし、特許文献２，３に記載されているような、権限がないユーザに対してレシピの設定内容の読み出し，書き込み，削除，実行について操作制限が設けられている場合でも、レシピの選択の際に利用されるレシピ分類の分類名称，レシピファイルのレシピ名称の閲覧自体については何の制限も設けられていない。
【００１５】
また、その書き込み，削除，実行についての操作制限もいわゆる装置管理者のみによってユーザそれぞれに付与されるものなので、例えばユーザが同じ操作権限を有する他のユーザに対して設定内容の閲覧、改変等を防止しておくことはできない。
【００１６】
この結果、検査装置で登録管理するレシピが増加すればする程、ユーザ相互で分類名称，レシピ名称も類似してくるようになり、ユーザが所望のレシピを見つけ出す作業は煩雑になってくる。また、所望のレシピを見つけ出す際、装置を共用するユーザが何の制限もなしに自身の検査作業とは関係がないレシピの分類名称，レシピ名称を閲覧できることは、関係ない他のユーザが、その分類名称，レシピ名称から、ウエハの材質等のウエハ固有情報や、メーカ名(例えば、デバイスメーカ，ウエハメーカ，装置・材料メーカ）等のウエハ関連情報を把握できることを可能としてしまう。さらには、レシピの設定内容の読み出しはできずとも、これら特徴情報から、どのような工程で作業が行われ、どのような方法で検査しているか等の、レシピ固有の特化した設定内容等を推察することも可能としてしまう。
【００１７】
加えて、装置を共用するユーザ以外でも、ユーザが例えば上述したデバイスメーカ，ウエハメーカ，装置・材料メーカ等といった関係先に対して、検査作業のデモンストレーションを行う場合等は、異なる関係先のレシピ分類，レシピファイルを操作画面上で見せる訳にはいかない。そのため、一時的にせよ異なる関係先のレシピ分類，レシピファイルが表示されないように退避しておく等、装置の動作環境をその都度事前に変えてデモンストレーションしなければならない煩雑さもあった。
【００１８】
本願発明は上述した問題点を鑑みなされたもので、ユーザそれぞれが、自身がその存在を感得しているレシピについて、他のユーザがその存在を含めた設定内容を感得できないように、そのレシピの存在自体も含めてレシピの設定内容を隠蔽しておくことができる検査装置及びその隠蔽方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明は、上記した課題をするために、自身の閲覧設定画面上でその存在を感得しているレシピについて、ユーザ権限とは関係なしに、他のユーザの閲覧設定画面上で他のユーザに対してその存在を感得されないように、レシピファイルのレシピ名称を含めたレシピの存在自体の隠蔽を行う手段及び手順を含んでいる検査装置及びその隠蔽方法であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、例えば、自身がその所在を感得しているレシピに対し、読み出し，書き込み，削除，実行等の中の少なくとも何れかについて操作権限を有する他のユーザであっても、レシピとは本来関係がないユーザであれば、他のユーザが所望のレシピを選択するために登録管理されているレシピを閲覧する際、他のユーザに対してレシピファイルのレシピ名称を含めたレシピの存在自体を隠蔽しておくことができる。これにより、隠蔽を行ったユーザは、自身がその所在を感得しているレシピについて、検査装置を共用する本来関係がない他のユーザに対し、レシピ名称に含まれた特徴情報を含め、レシピに関する機密情報の漏洩を防止でき、セキュリティを向上させることができる。
【００２１】
また、隠蔽されたユーザにとっては、例え権限を有していても、本来関係がないレシピが選択対象として表示されなくなるので、このようなレシピを誤って選択してしまうのを防止できるようになり、所望のレシピの選択を容易かつ的確に行い得るようになる。
【００２２】
本発明によれば、レシピに対しての操作権限を有していても本来は関係しないユーザには、登録管理されているレシピの閲覧時も関係がないレシピ名称が隠蔽され、レシピ自体の存在を知られることがないので、実質的に、レシピの設定内容の読み出し，書き込み，削除，実行等の処理が行われてしまうことがなくなる。これによって、ユーザそれぞれの操作権限を設定可能な装置管理者（Administrator；アドミニストレータ）でなくとも、ユーザは、自身がその所在を感得しているレシピについて、本来は関係しないユーザにこれら処理についての権限を付与しないことを設定するのと実質的に同等な、強力な保護効果を取得することができる。
【００２３】
本発明によれば、関係しないユーザには登録管理されているレシピの閲覧時にレシピ自体の存在を分からないように隠蔽しておくことができるため、関係先へのデモンストレーション用のレシピについては、予めその関係先毎にその関係先のみが閲覧できるユーザ設定を併せて行っておくことができる。この結果、関係先へのデモンストレーション時にはユーザ自身の本来のユーザ設定を用いてではなく、その関係先に対応したユーザ設定を用いてデモンストレーションを行うことによって、デモンストレーション実施時に、各メーカ用のレシピが格納されているフォルダの切り替えやメーカ固有情報の削除を行うことなく、デモンストレーション先に対して他社メーカ用のレシピを隠しておくこともできる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施に係る表面検査装置の全体概略構成図である。
【図２】本実施の形態の表面検査装置におけるレシピ閲覧制御部の構成図である。
【図３】グループ別操作権限ファイルの構成を模式的に示した説明図である。
【図４】グループ別ユーザＩＤファイルの構成を模式的に示した説明図である。
【図５】レシピ情報表示画面の一実施例を示した図である。
【図６】レシピ隠蔽情報作成処理の一実施例のフローチャートである。
【図７】レシピ情報隠蔽ユーザ登録画面の一実施例である。
【図８】表示情報作成処理の一実施例のフローチャートである。
【図９】ログイン認証後に表示される閲覧設定画面の一実施例である。
【図１０】ログイン認証後に表示される閲覧設定画面の別の実施例である。
【図１１】ログイン認証後に表示される閲覧設定画面のさらに別の実施例である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明に係る検査装置の一実施の形態について、ウエハ表面上の異物を検査する表面検査装置を例に、以下、図面とともに説明する。
【００２６】
図１は、本実施の形態に係る表面検査装置の全体概略構成図である。
図１において、表面検査装置１は、ウエハ（被検査体）１０を載置するウエハ載置部２０と、ウエハ１０のウエハ表面（被検査面）に照明光（検査光）を照射する照明光学系３０と、ウエハ表面からの散乱光を検出する検出光学系４０と、装置各部の駆動系の作動制御を行う作動制御部５０と、装置全体の制御を行う全体制御部６０とを備えている。
【００２７】
ウエハ載置部２０は、ウエハ１０を吸着・保持するウエハチャック２１と、ウエハチャック２１を保持する回転ステージ２２と、回転ステージ２２を回転自在に保持する直進ステージ２３と、直進ステージ２３を移動自在に保持するベース２４とを備えている。
【００２８】
回転ステージ２２は、直進ステージ２３に対して回転駆動させられることにより、ウエハチャック２１を一体的に回転させ、ウエハチャック２１に吸着・保持されたウエハ１０の向きをウエハ表面と平行な面内で変化させる。また、直進ステージ２３は、ベース２４に対して移動駆動させられることにより、回転ステージ２２を一体的に直進移動させ、ウエハ１０をウエハ表面と平行な面上で移動変位させる。
【００２９】
ウエハ載置部２０では、ウエハ表面に照明光を照射しながら、ウエハ１０を回転又は直進移動させ、或いはその両方を行うことにより、照明光の照射位置をウエハ表面上で走査する。ウエハ表面上での照明光の走査は、ユーザが予め選択したレシピの設定内容に従って、全体制御部６０が作動制御部５０を制御し、作動制御部５０がウエハ載置部２０を駆動制御することにより行われる。
【００３０】
照明光学系３０は、照明光であるレーザ（例えば、Ａｒレーザ，窒素レーザ，Ｈｅ−Ｃｄレーザ，エキシマレーザ等）を生成して射出するレーザ光源３１と、レーザ光源３１から射出されたレーザを偏光に変換する照明光偏光フィルタ３２と、照明光偏光フィルタ３２を透過したレーザを反射する反射ミラー３３，３４と、レーザの進行経路（光路）を切り換える照明角度切換ミラー３５とを備えている。
【００３１】
レーザ光源３１から射出された照明光は、照明角度切換ミラー３５が照明光の光路上に配置されている状態３５ａでは、照明角度切換ミラー３５及び反射ミラー３３を介して、ウエハ表面に対して斜上方（例えば、３０°以下の角度）から照射される。これに対し、照明角度切換ミラー３５が照明光の光路上から退避させられている状態３５ｂでは、照明光は、反射ミラー３４を介して、ウエハ表面に対して略垂直に照射される。照明角度切換ミラー３５の配置状態３５ａ，３５ｂの切り替えは、ユーザが予め選択したレシピの設定内容に従って、全体制御部６０が作動制御部５０を制御し、作動制御部５０が図示せぬ駆動装置を駆動制御することにより行われる。
【００３２】
検出光学系４０は、ウエハ表面への照明光の照射によってその表面から生じる散乱光を検出する。ウエハ表面における照明光の照射位置に異物が存在する場合、その散乱光は、異物の大きさや形状に応じたものになる。
【００３３】
検出光学系４０は、ウエハ表面からの散乱光を検出する複数の検出器４１〜４４と、検出器４１〜４４から出力されたアナログの検出信号をデジタルの検出信号に変換するＡ／Ｄ変換器４５と、Ａ／Ｄ変換器４５からの検出信号をデータ処理して全体制御部６０に供給するデータ処理部４６とを備えている。
【００３４】
検出器４１，４２は、ウエハ表面を基準とした仰角が予め定めた基準角度以下の角度になるように、かつ照明光の照射位置を中心に互いの位置を異ならせて配置され、低角度検出光学系を形成する。これに対し、検出器４３，４４は、基準角度よりも大きな仰角になるように、かつ照明光の照射位置を中心に互いの位置を異ならせて配置され、高角度検出光学系を形成する。
【００３５】
Ａ／Ｄ変換器４５は、検出器４１〜４４から出力されるアナログの検出信号（電流信号）をデジタルの検出信号（電圧信号）に変換し、データ処理部４６に入力する。データ処理部４６は、Ａ／Ｄ変換器４５からの検出信号の中、その検出信号の大きさ（検出電圧値）が予め定めた閾値を越えたものを抽出するデータ処理を行い、この抽出した検出信号を全体制御部６０に入力する。このデータ処理部４６のデータ処理に用いる閾値は、検出器４１〜４４それぞれからの検出信号に対して個別に設定されている。各閾値の大きさは、ユーザが予め選択したレシピの設定内容において、それぞれパラメータ項目の中の１つとして設定されている。
【００３６】
全体制御部６０は、表面検査装置１の装置全体としての動作を制御する。全体制御部６０は、ウエハ載置部２０，照明光学系３０，検出光学系４０といった装置各部を、作動制御部５０を介して制御する。その際、全体制御部６０は、検出光学系４０からの検出信号を含む装置各部から入力される検出信号を、データ処理部４６や作動制御部５０を介して取得する。全体制御部６０には、記憶部７０、入力処理部８０、及び情報表示部９０が備えられている。全体制御部６０は、作動制御部５０等とともに、ＰＣ(personal computer)装置１００によって構成されている。
【００３７】
記憶部７０は、例えば、ＰＣ装置１００のメモリやハードディスク等により構成される。記憶部７０には、回転ステージ２２及び直進ステージ２３の位置情報や、これら位置情報と関連付けられた検出器４１〜４４からの検出信号等が、全体制御部６０により検査結果情報として記憶される。なお、この場合における検出器４１〜４４からの検出信号は、データ処理部４６によりデータ処理されてから全体制御部６０に供給されたものである。また、記憶部７０には、それぞれ検査作業で用いられるレシピを格納したレシピファイルに加え、全体制御部６０が後述の各種の装置機能を実行するためのソフトウェア等も記憶されている。
【００３８】
入力処理部８０は、例えば、ＰＣ装置１００に付設のキーボードやマウス、或いはタッチパネル等の入力機器を含んで構成されている。入力処理部８０は、ウエハ１０の表面検査や表面検査装置１の校正に用いる各種設定値，各種指令等についての入力機器を用いた操作入力を全体制御部６０に対し供給するインタフェースである。
【００３９】
情報表示部９０は、例えば、ＰＣ装置１００に付設のディスプレイ等の出力機器により構成されている。情報表示部９０には、ウエハ１０の表面検査に用いるレシピをユーザが閲覧選択する際に用いる後述のレシピ情報表示画面５００等の閲覧設定画面や、設定選択されたレシピに従って行われた表面検査の検査結果（欠陥マップ，欠陥寸法別ヒストグラム等）若しくはウエハのスロット番号等の閲覧報知画面が表示される。また、情報表示部９０には、表面検査や校正の結果が異常と判定された場合は、異常が生じた旨の警告も表示される。情報表示部９０によるこれら表示は、レシピに従った検査作業の進行に合わせて、全体制御部６０によって表示制御される。
【００４０】
表面検査装置１では、入力処理部８０，作動制御部５０等といった装置各部からの入力に基づいて、各種の装置機能を実行するためのソフトウェアや予め選択されたレシピに含まれる検査手順や検査条件に従って、全体制御部６０が照明光学系３０，検出光学系４０，情報表示部９０等といった装置各部の作動を全体制御する。
【００４１】
以下、上述した構成の表面検査装置１における、全体制御部６０による閲覧設定画面を用いたレシピの閲覧制御構成について説明する。
【００４２】
図２は、本実施の形態の表面検査装置におけるレシピ閲覧制御部の構成図である。
レシピ閲覧制御部は、レシピ情報編集機能部１１０と、表示情報作成機能部１２０と、レシピ情報表示機能部１３０とを備えている。レシピ閲覧制御部は、記憶部７０に記憶され、全体制御部６０を構成するＰＣ装置１００上で動作するプログラムにより、その構成及び機能が実現される。また、レシピ情報編集機能部１１０には、レシピファイル登録・編集機能部１１１，レシピファイル検索機能部１１２，レシピファイルコピー機能部１１３，レシピファイル削除機能部１１４，レシピファイル名称変更機能部１１５，レシピ隠蔽情報作成機能部１１６が備えられている。
【００４３】
レシピファイル登録・編集機能部１１１は、記憶部７０に設けられた階層型フォルダ構造のレシピ格納フォルダ７３へのレシピファイル２３０の登録や、登録済みのレシピファイル２３０に格納されているレシピの設定内容の編集等といったレシピファイル２３０の登録・編集処理を行う。また、レシピファイル登録・編集機能部１１１は、レシピファイル登録・編集処理に伴い、レシピ分類フォルダ（図示省略）をレシピ格納フォルダ７３に階層関係を有して作成して、レシピ格納フォルダ７３に登録されたレシピファイル２３０それぞれの系統的な管理を行う。レシピ分類フォルダには、レシピ分類の分類名称がユーザによって付される。レシピファイル登録・編集機能部１１１によるレシピファイル２３０のレシピ格納フォルダ７３への登録は、登録ユーザにより選択されたレシピ分類の分類名称を基にレシピ分類フォルダを適宜選択し、登録ユーザにより設定されたレシピ名称をレシピファイル２３０に付して、レシピ分類フォルダに対応付けて行われる。
【００４４】
レシピファイルコピー機能部１１３は、レシピ格納フォルダ７３に登録されている所望のレシピファイル２３０のコピーを作成するレシピファイルコピー処理を行う。
【００４５】
レシピファイル削除機能部１１４は、レシピ格納フォルダ７３に登録済みのレシピファイル２３０の中から所望のレシピファイル２３０を削除するレシピファイル削除処理を行う。また、レシピファイル削除機能部１１４は、レシピ格納フォルダ７３に作成済みの階層関係を有したレシピ分類フォルダの中から所望のレシピ分類フォルダ７３を削除し、このレシピ分類フォルダ７３に対応して登録されているレシピファイル２３０を削除するレシピ分類削除処理を行う。レシピファイル削除機能部１１４は、レシピ分類削除処理を行った際は、残ったレシピファイル２３０それぞれの系統的な管理を行うため、レシピ分類フォルダの削除に伴うレシピ分類の階層関係の編集も行う。
【００４６】
レシピファイル名称変更機能部１１５は、レシピ格納フォルダ７３に格納されている所望のレシピファイル２３０に付されたレシピ名称の変更を行うレシピファイル名称変更処理を行う。また、レシピファイル名称変更機能部１１５は、レシピファイル２３０それぞれの系統的な管理を行うためのレシピ分類フォルダに付されているレシピ分類の分類名称の変更を行う分類名称変更処理も行う。
【００４７】
レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、ユーザ自身が閲覧可能な、レシピ格納フォルダ７３に登録されている所望のレシピに係り、そのレシピファイル２３０に格納されているレシピの設定内容の一部若しくは全部、又はそのレシピファイル２３０が対応付けられているレシピ分類フォルダのレシピ分類を、他のユーザに対して隠蔽し又は隠蔽解除するレシピ隠蔽情報作成処理を行う。なお、このレシピ隠蔽情報作成機能部１１６のレシピ隠蔽情報作成処理については、追って詳細に説明する。
【００４８】
上述したレシピ情報編集機能部１１０の各機能部１１１〜１１６による処理は、ユーザそれぞれによる入力処理部８０の入力機器の所定操作に基づいて行われる。そして、各機能部１１１〜１１６よる処理は、装置管理者（アドミニストレータ'Administrator'）が予めユーザそれぞれに対して設定した操作権限（ユーザ権限）に基づいて、ユーザ毎にその実行が制限されている。
【００４９】
本実施例では、予め装置管理者により、エンジニア'Engineer'，マネージャー'Manager'，スタッフ'Staff'，テクニシャン'Technician'，オペレータ'Operator'という５種類のユーザグループ毎に分けられ、それぞれ対応する操作権限が規定されている。記憶部７０のグループ別操作権限格納フォルダ７１には、この５種類のユーザグループ毎の操作権限内容を規定したグループ別操作権限ファイル２１０が登録されている。
【００５０】
図３は、グループ別操作権限ファイルの構成を模式的に示した説明図である。
図示のグループ別操作権限ファイル２１０で、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６による隠蔽ＩＤ情報作成機能について着目すれば、ユーザグループＩＤがエンジニア'Engineer'若しくはスタッフ'Staff'であるユーザは操作権限を有し、ユーザグループＩＤがマネージャー'Manager'，テクニシャン'Technician'，オペレータ'Operator'の何れかであるユーザは操作権限を有していない設定になっている。各ユーザの操作権限は、予め装置管理者によってこれら５種類のユーザグループ（操作権限グループ）の何れかに割り当てられて設定されている。その設定内容は、グループ別ユーザＩＤファイル２２０として記憶部７０のグループ別ユーザＩＤ格納ファイル７２に登録されている。
【００５１】
図４は、グループ別ユーザＩＤファイルの構成を模式的に示した説明図である。
グループ別ユーザＩＤファイル２２０には、ユーザの識別を示すユーザＩＤそれぞれと、操作権限の識別を表わすユーザグループＩＤそれぞれとの対応関係が記憶されている。
【００５２】
図示のグループ別ユーザＩＤファイル２２０では、例えば、ユーザＩＤが'Engineer A'〜'Engineer F'の各ユーザはユーザグループＩＤがエンジニア'Engineer'に、 ユーザＩＤが'Manager A'〜'Manager C'の各ユーザはユーザグループＩＤがマネージャー'Manager'に、ユーザＩＤが'Staff A'〜'Staff D'の各ユーザはユーザグループＩＤがスタッフ'Staff'に、ユーザＩＤが'Technician A'〜'Technician C'の各ユーザはユーザグループＩＤがテクニシャン'Technician'に、ユーザＩＤが'Operator A'〜'Operator E'の各ユーザはユーザグループＩＤがオペレータ'Operator'に割り当てられていて、ユーザそれぞれの操作権限が登録されている。
【００５３】
したがって、レシピ情報編集機能部１１０は、これらグループ別操作権限ファイル２１０及びグループ別ユーザＩＤファイル２２０を参照すれば、各機能部１１１〜１１６の中、例えばレシピ隠蔽情報作成機能部１１６による隠蔽ＩＤ情報作成機能については、エンジニア'Engineer'操作権限のユーザＩＤが'Engineer A'，'Engineer B'の各ユーザ、及びスタッフ'Staff'操作権限のユーザＩＤが'Staff A'〜'Staff D'の各ユーザが処理を行うことができ、ユーザＩＤが'Manager A'〜'Manager C'，'Technician A'〜'Technician C'，'Operator A'〜' Operator E'のその他のユーザは処理を行うことができないことを判別することができる。
【００５４】
図２に戻り、記憶部７０には、上述したグループ別操作権限ファイル２１０，グループ別ユーザＩＤファイル２２０に加え、レシピファイル２３０，隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が登録・保存されるようになっている。
【００５５】
レシピファイル２３０は、それぞれ検査作業で用いられるレシピを格納したファイルである。各レシピは、レシピ名称を付したレシピファイル２３０にそれぞれ格納されて、記憶部７０のレシピ格納フォルダ７３に登録・保存される。
【００５６】
レシピ格納フォルダ７３は、階層型のレシピ分類フォルダによって構成されている。各レシピ分類フォルダは、ユーザによる入力処理部８０の入力機器の所定操作に基づいて、レシピファイル登録・編集機能部１１１によって作成され、ユーザによりレシピ分類の分類名称が付されて登録されるようになっている。
【００５７】
個々のレシピファイル２３０は、ユーザによる入力処理部８０の入力機器の所定操作に基づいて、レシピファイル登録・編集機能部１１１により、ユーザによって作成又は選択されたレシピ分類フォルダに対応付けてレシピ格納フォルダ７３に登録・保存される。この結果、検査作業で用いられるレシピそれぞれのレシピファイル２３０は、記憶部７０のレシピ格納フォルダ７３に、系統的に分類管理されて登録・保存されることになる。
【００５８】
隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０は、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６により作成されたレシピ又はレシピ分類に係る隠蔽ＩＤ情報（隠蔽識別情報）２４１を格納するファイルである。隠蔽ＩＤ情報２４１は、レシピ格納フォルダ７３に登録・保存されているレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０に係り、その設定内容の一部又は全部を所定のユーザに対して閲覧できないように隠蔽するための情報である。隠蔽ＩＤ情報２４１は、ユーザによる入力処理部８０の入力機器の所定操作に基づいて、ユーザが閲覧可能なレシピ分類又はレシピの設定内容の一部若しくは全部を他のユーザが閲覧できないようにするために、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６によってレシピ分類又はレシピの設定内容における隠蔽部分それぞれに対応して作成される。隠蔽ＩＤ情報２４１は、例えば、隠蔽対象となるレシピ分類又はレシピについて、レシピ分類フォルダに付されている分類名称や，レシピファイル２３０に格納されているレシピのレシピ名称，被検査体のフィルム種別（形成膜の種別），被検査体のフィルム厚さ（形成膜の膜厚），測定感度，…といったパラメータ項目毎に対応させて作成され、図２に示すように、隠蔽先のユーザのユーザグループＩＤ２４２及びユーザＩＤ２４３を有している。隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０は、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６が作成した隠蔽ＩＤ情報２４１を登録・保存しておくため、記憶部７０内の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に、隠蔽ＩＤ情報２４１の隠蔽対象に係るレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０に対応させて、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６によって作成される。
【００５９】
本実施例では、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、作成した隠蔽ＩＤ情報２４１を隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納して隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に登録・保存する際に、登録・保存する隠蔽ＩＤ情報２４１の隠蔽対象に係るレシピ分類又はレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が既に隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に作成されている場合は、同じレシピ分類又はレシピに係る隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０の新たな作成は行わない方式を採用している。そのため、同じレシピ分類又はレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が既に隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に作成されている場合は、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、例えば、これから登録・保存する隠蔽ＩＤ情報２４１と、既に作成されている同じレシピ又はレシピ分類に係る隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている隠蔽ＩＤ情報２４１との間での隠蔽対象範囲の広狭に応じて、既に作成されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０の隠蔽ＩＤ情報２４１の編集を行って登録・保存するようになっている。また、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０の隠蔽ＩＤ情報２４１の編集によって隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に隠蔽ＩＤ情報２４１がなくなった場合は、このレシピ又はレシピ分類に係る隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０を隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４から削除するようになっている。
【００６０】
表示情報作成機能部１２０は、記憶部７０に記憶されている各ファイル２１０，２２０，２３０，２４０それぞれの情報を基に、レシピ情報表示機能部１３０がレシピ情報表示画面５００等の閲覧設定画面を作成する際に参照するレシピ表示情報３００を作成する。本実施の形態では、表示情報作成機能部１２０には、隠蔽判断機能部１２１が含まれている。
【００６１】
隠蔽判断機能部１２１は、レシピ表示情報３００の作成に当たり、隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に登録されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０それぞれの隠蔽ＩＤ情報２４１を基に、レシピ格納フォルダ７３に登録・保存されているレシピ分類フォルダ，レシピファイル２３０それぞれの、レシピ分類の分類名称，レシピの各パラメータ項目について、表面検査装置１にログインして認証されたユーザに対しての隠蔽の要否、換言すればユーザによる閲覧の可否を判断する。
【００６２】
表示情報作成機能部１２０は、表面検査装置１に対してのユーザのログイン認証により、記憶部７０のレシピ格納フォルダ７３及び隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４からレシピファイル２３０及び隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０を読み出し、ログインユーザのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを基にした隠蔽判断機能部１２１による判断結果を基に、後述するレシピ情報表示画面５００等の閲覧設定画面をレシピ情報表示機能部１３０が作成する際に参照するレシピ表示情報３００を作成する。
【００６３】
表示情報作成機能部１２０は、レシピ表示情報３００として、ログインユーザに合わせた分類管理テーブル３１０、分類名称管理テーブル３２０、及び隠蔽情報テーブル３３０を作成する。
【００６４】
分類管理テーブル３１０は、レシピ情報表示機能部１３０がレシピ情報表示画面５００を作成するに当たり、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類それぞれの分類名称と、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類相互の階層関係とを参照するための表示情報テーブルである。
【００６５】
分類管理テーブル３１０には、レシピ情報表示機能部１３０によるレシピ情報表示画面５００の作成に際して記憶部７０のレシピ格納フォルダ７３から抽出された、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されていないレシピ分類フォルダや、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されているレシピ分類フォルダであってもその隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている分類名称に対応した隠蔽ＩＤ情報２４１の隠蔽先にログインユーザのユーザＩＤが含まれていないレシピ分類フォルダが、表示情報作成機能部１２０によって互いの階層関係を含めて格納される。
【００６６】
分類名称管理テーブル３２０は、レシピ情報表示機能部１３０がレシピ情報表示画面５００を作成するに当たり、ログインユーザが閲覧可能なレシピファイル２３０それぞれのレシピ名称と、ログインユーザが閲覧可能な被検査体のフィルム種別（形成膜の種別），被検査体のフィルム厚さ（形成膜の膜厚），測定感度，…等といったレシピ名称以外のパラメータ項目の設定内容とを参照するための表示情報テーブルである。
【００６７】
分類名称管理テーブル３２０には、レシピ情報表示機能部１３０によるレシピ情報表示画面５００の作成に際して記憶部７０のレシピ格納フォルダ７３から抽出された、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されていないレシピファイル２３０や、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されているレシピファイル２３０であってもパラメータ項目の中のレシピ名称に対応する隠蔽ＩＤ情報が格納されておらず、又はレシピ名称に対応する隠蔽ＩＤ情報が格納されてはいてもその隠蔽先にログインユーザが含まれていないレシピファイル２３０が、表示情報作成機能部１２０によって分類管理テーブル３１０に格納されたレシピ分類フォルダと対応付けられて格納される。
【００６８】
さらに、その中の、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されているレシピファイル２３０を分類名称管理テーブル３２０に格納するに当たっては、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０の中に、被検査体のフィルム種別（形成膜の種別），被検査体のフィルム厚さ（形成膜の膜厚），測定感度，…等といったレシピ名称以外のパラメータ項目に対応した隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先としてログインユーザが含まれている場合には、そのパラメータ項目の設定内容については閲覧できないように、表示情報作成機能部１２０によって編集が施されて格納される。
【００６９】
隠蔽情報テーブル３３０は、レシピ情報表示機能部１３０がレシピ情報表示画面５００を作成するに当たり、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４から抽出され、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６による隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０又は隠蔽ＩＤ情報の編集が施される表示情報テーブルである。
【００７０】
したがって、隠蔽情報テーブル３３０に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及び隠蔽ＩＤ情報２４１は、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６による編集状況を随時反映したものになっている。
【００７１】
なお、この表示情報作成機能部１２０による、レシピ表示情報３００としてのこれら分類管理テーブル３１０、分類名称管理テーブル３２０、及び隠蔽情報テーブル３３０の作成処理の詳細については、後述する。
【００７２】
レシピ情報表示機能部１３０は、レシピ表示情報３００の分類管理テーブル３１０，分類名称管理テーブル３２０，隠蔽情報テーブル３３０を参照して、図５に示すレシピ情報表示画面５００や、図７に示すレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を作成し、情報表示部９０の画面上に表示する。レシピ情報表示機能部１３０は、分類表示機能部１３１，リスト表示機能部１３２を含んでいる。
【００７３】
ここで、表面検査装置１のログインユーザに対し、閲覧設定画面として情報表示部９０に表示されるレシピ情報表示画面５００について説明する。
【００７４】
図５は、レシピ情報表示画面の一実施例である。
図示の例では、レシピ情報表示画面'IDP(Integrated Data Processing) Condition file menu'５００は、レシピ分類表示部'Classification'５１０と、レシピパラメータ表示部５２０と、レシピ検索表示部'IDP Search'５３０とを有し、選択ボタン'Select'５４１，終了ボタン'Close'５４２が設けられた構成になっている。
【００７５】
レシピ分類表示部５１０には、記憶部７０のレシピ格納フォルダ７３に格納されたレシピファイル２３０の中、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類それぞれの分類名称及びレシピ分類それぞれの相互関係が階層ツリー形式で表示される。
【００７６】
レシピパラメータ表示部５２０には、例えばレシピ分類表示部５１０上で選択されたレシピ分類に含まれるレシピファイル２３０それぞれのレシピの設定内容、又はレシピ検索表示部５３０で選択されたレシピの設定内容が表示される。図示の例では、レシピパラメータ表示部５２０は、レシピ名表示部'Process name'５２１，フィルム種別表示部'Film kind'５２２，フィルム厚表示部'Film thickness'５２３，測定感度表示部'Measurement range'５２４，…等といったパラメータ項目別の表示部を有している。各表示部５２１，５２２，５２３，５２４，…には、レシピ名称，被検査体のフィルム（酸化膜）種別，被検査体のフィルム（酸化膜）厚さ，測定感度，…といったパラメータ項目毎の設定内容が表示される。
【００７７】
レシピ検索表示部５３０には、記憶部７０のレシピ格納フォルダ７３に格納されたレシピファイル２３０の中、ログインユーザが閲覧・選択可能なレシピファイル２３０それぞれのレシピ名称がリスト表示される。
【００７８】
なお、図５中に例示したレシピ分類の分類名称やレシピファイル２３０のレシピ名称は説明簡便のために記載したものであり、実際は、被検査体であるウエハの種別（例えば、ウエハに形成されている半導体デバイスの製品コードやメーカ名等），ウエハの材質名称，作業工程名称，検査条件名称，…等といった特徴情報を含む、レシピ及びその設定内容の把握が容易な名称になっている。
【００７９】
レシピ情報表示画面５００を情報表示部９０に表示するに当たって、図２に示したレシピ情報表示機能部１３０では、分類表示機能部１３１が、レシピ表示情報３００の分類管理テーブル３１０を参照して、レシピ分類表示部５１０に表示するレシピツリーを作成する。また、リスト表示機能部１３２が、レシピ表示情報３００の分類管理テーブル３１０及び分類名称管理テーブル３２０を参照して、レシピパラメータ表示部５２０に表示するレシピの設定内容や、レシピ検索表示部５３０に表示するレシピ名称を閲覧可能なレシピの検索結果を作成する。
【００８０】
レシピ情報表示画面５００は、ユーザの表面検査装置１へのログイン認証後、レシピ情報表示機能部１３０によって情報表示部９０にＯＳＤ(On Screen Display)表示され、入力処理部８０と協働して、ユーザが検査作業に用いるレシピを選択設定する場合等のユーザインタフェースを構成する。
【００８１】
ログインユーザは、レシピ情報表示画面５００を閲覧して、検査作業に用いるレシピを選択設定する。具体的には、ユーザは、例えば入力処理部８０の入力機器のマウスを操作して、レシピ情報表示画面５００上で、レシピパラメータ表示部５２０又はレシピ検索表示部５３０に表示されている所望のレシピ名称にポインタを合わせて左クリックすることで、所望のレシピを選択することができる。レシピ情報表示機能部１３０の分類表示機能部１３１は、この操作入力を入力処理部８０から受け、レシピ名表示部５２１及びレシピ検索表示部５３０上の選択されたレシピ名称の表示を表示色や表示態様（例えば、outline character表示等の表示態様）を変える等してハイライト表示し、その選択をユーザに報知する。ユーザは、この選択したレシピ名称のハイライト表示で所望のレシピの選択を確認し、レシピ検索表示部５３０の選択ボタン５４１をマウスにより左クリックしてこのレシピの選択を確定し、この選択したレシピを用いた検査作業を進め得るようになっている。これに対し、ユーザは、選択ボタン５４１の代わりに終了ボタン５４２をマウスにより左クリックすることで、レシピ情報表示画面５００を用いたレシピの選択処理を終了させることができる。
【００８２】
本実施の形態の表面検査装置１では、ログイン認証後のレシピ情報表示画面５００を用いたレシピの選択処理において、ログインユーザがレシピ隠蔽情報作成機能部１１６による隠蔽ＩＤ情報作成機能についての操作権限を有するエンジニア'Engineer'操作権限又はスタッフ'Staff'操作権限のユーザである場合は、他のユーザが自身の検査作業とは関係がないレシピを誤って選択又は閲覧しなくて済むように、ユーザ自身が閲覧可能なレシピ分類又はレシピを他のユーザを隠蔽先にして隠蔽すなわち秘匿しておくことができるようになっている。その際、エンジニア'Engineer'操作権限又はスタッフ'Staff'操作権限のログインユーザは、その隠蔽すなわち秘匿を、隠蔽先の他のユーザのユーザ操作権限とは関係なしに、所望のユーザに対して所望の範囲で行えるようになっている。
【００８３】
そのために、本実施の形態の表面検査装置１では、レシピ情報編集機能部１１０にはレシピ隠蔽情報作成機能部１１６が備えられ、表示情報作成機能部１２０には隠蔽判断機能部１２１が備えられ、記憶部７０には隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が保存され、表示情報作成機能部１２０には隠蔽判断機能部１２１が備えられた構成になっており、レシピ表示情報３００には隠蔽情報テーブル３３０が含まれるようになっている。
【００８４】
次に、本実施の形態の表面検査装置１において、エンジニア'Engineer'操作権限又はスタッフ'Staff'操作権限を有するユーザが、レシピ情報編集機能部１１０のレシピ隠蔽情報作成機能部１１６により、ユーザ自身が閲覧可能なレシピ分類又はレシピを他のユーザに対して隠蔽する構成について説明する。
【００８５】
なお、説明に当たっては、スタッフ'Staff'操作権限を有するユーザＩＤが'Staff A'のユーザが、自身のユーザグループＩＤ'Staff'及びユーザＩＤ'Staff A'を使用して表面検査装置１にログインした状況を想定する。その上で、レシピ閲覧制御部の表示情報作成機能部１２０及びレシピ情報表示機能部１３０が後述する表示情報作成処理を行って、情報表示部９０には、図５に示したレシピ情報表示画面５００が閲覧設定画面として表示されている状況を想定する。また、以下では、スタッフ'Staff'操作権限を有するユーザＩＤが'Staff A'のユーザのことをユーザ'Staff A'、分類名称が'P001'のレシピ分類のことをレシピ分類'P001'、レシピ名称を'Recipe 18'としてレシピファイル２３０に格納されているレシピのことをレシピ'Recipe 18'とも便宜的に略称する。
【００８６】
レシピ情報表示画面５００において、レシピ分類表示部５１０には、ログインユーザであるユーザ'Staff A'が閲覧可能なレシピ分類それぞれの分類名称及びレシピ分類それぞれの相互関係が階層ツリー形式で表示される。レシピ検索表示部５３０には、ログインユーザが閲覧及び選択可能なレシピファイル２３０のレシピ名称が表示される。
【００８７】
レシピパラメータ表示部５２０には、当初は、ログインユーザによるレシピ分類表示部５１０を使用したレシピ分類の選択や、レシピ検索表示部５３０を使用したレシピファイル２３０すなわちレシピの選択が未だ行われていないため、その表示はデフォルトされた表示内容になっている。デフォルトされたレシピパラメータ表示部５２０の表示内容としては、例えば、ログインユーザが閲覧可能な全レシピファイル２３０それぞれの閲覧可能なレシピ設定内容に係るリスト表示、ログインユーザが閲覧可能な所定のレシピ分類に含まれる閲覧可能なレシピファイル２３０それぞれの閲覧可能なレシピ設定内容に係るリスト表示、又はブランク状態等が該当する。
【００８８】
ここで、ログインユーザは、ログイン当初のレシピ情報表示画面５００でマウスを操作して、そのレシピ分類表示部５１０上の所望のレシピ分類、レシピパラメータ表示部５２０上の所望のレシピのパラメータ、又はレシピ検索表示部５３０上のレシピ名称の中の所望のレシピ名称にポインタを合わせ、左クリックすることで、所望のレシピファイル２３０を選択することができる。
【００８９】
ここでは、まず、レシピ分類表示部５１０上の所望のレシピ分類がログインユーザにより選択された場合（図５中、Ｓ511）について説明する。
【００９０】
この場合、レシピ情報表示機能部１３０の分類表示機能部１３１は、入力処理部８０から選択されたレシピ分類を受け、レシピ分類表示部５１０の選択されたレシピ分類の分類名称の表示をハイライト表示し、その選択をユーザに報知する。また、レシピ情報表示機能部１３０のリスト表示機能部１３２は、レシピ表示情報３００の分類管理テーブル３１０及び分類名称管理テーブル３２０を参照して、レシピパラメータ表示部５２０の表示内容を、選択されたレシピ分類に含まれるレシピファイル２３０それぞれのログインユーザが閲覧可能なパラメータ項目に対応した設定内容に変更表示する。
【００９１】
例えば、図５に示したレシピ情報表示画面５００は、レシピ分類表示部５１０上でレシピ分類'P001'が所望のレシピ分類として選択されて（Ｓ511）、この選択されたレシピ分類の分類名称'P001'がレシピ分類表示部５１０上でハイライト表示され、レシピパラメータ表示部５２０には、このレシピ分類'P001'に属する３つのレシピ'Recipe 18'，'Recipe 19'，'Recipe 20'それぞれのレシピ名称，フィルム種別，フィルム厚さ，測定感度，等といったパラメータ項目の設定内容が表示されている状況に該当している。
【００９２】
このようなレシピ情報表示画面５００上で、ログインユーザが、レシピパラメータ表示部５２０のレシピ名表示部５２１上の所望のレシピ名称、例えばレシピ'Recipe 19'にマウスのポインタを合わせて左クリックすれば（Ｓ512）、リスト表示機能部１３２は、レシピパラメータ表示部５２０に表示された３つのレシピ'Recipe 18'，'Recipe 19'，'Recipe 20'の中、レシピ'Recipe 19'に係るレシピ名表示部５２１の表示内容をハイライト表示し、その選択を報知する。
【００９３】
さらに、ログインユーザが、このレシピ'Recipe 19'に係るレシピ名表示部５２１以外の項目別表示部５２２，５２３，５２４，…の閲覧可能な表示内容の中の何れか、例えばフィルム厚表示部５２３のフィルム厚'2222'にマウスのポインタを合わせて左クリックすれば（Ｓ513）、リスト表示機能部１３２は、レシピ'Recipe 19'のフィルム厚'2222'に係るフィルム厚表示部５２３の表示内容をハイライト表示し、その選択を報知する。
【００９４】
なお、ログインユーザが、レシピ分類表示部５１０上でレシピ分類'P001'を所望のレシピ分類として選択した後（Ｓ511）、レシピ'Recipe 19'を事前に選択することなしに、レシピ'Recipe 19'のレシピ名表示部５２１以外の個別表示部５２２〜５２４の閲覧可能な表示内容、例えばフィルム厚表示部５２３の表示'2222'にいきなりマウスのポインタを合わせて左クリックした場合は（Ｓ513）、リスト表示機能部１３２は、レシピ'Recipe 19'に係るレシピ名表示部５２１及びフィルム厚表示部５２３の表示内容をハイライト表示し、その選択を報知する。
【００９５】
例えば、図５に示したレシピ情報表示画面５００は、レシピ分類'P001'が選択され（Ｓ511）、このレシピ分類'P001'の選択に基づきリスト表示部５２０に表示されたレシピ分類'P001'に属する３つのレシピ'Recipe 18'，'Recipe 19'，'Recipe 20'の中のレシピ'Recipe 19'が選択され（Ｓ512）、さらにそのフィルム厚'2222'が選択されている（Ｓ513）状態の、レシピ情報表示画面５００に該当している。
【００９６】
ここで、このログインユーザがレシピ隠蔽情報作成機能部１１６による隠蔽ＩＤ情報作成機能に操作権限を有するユーザ'Staff A'である場合、ユーザ'Staff A'は、レシピ情報表示画面５００上で、レシピ分類表示部５１０上の所望のレシピ分類、又はレシピパラメータ表示部５２０上の何れか所望の閲覧可能なパラメータ項目の設定内容を選択して（Ｓ511，Ｓ512，又はＳ513）、この選択したレシピ分類又はパラメータ項目の閲覧可能な設定内容にマウスのポインタを合わせて右クリックすることで（Ｓ521，Ｓ522，又はＳ523）、その選択対象をレシピ閲覧制御部のレシピ情報編集機能部１１０による作業対象として選択することができる。
【００９７】
レシピ閲覧制御部では、この選択が入力処理部８０から取り込まれると、レシピ情報編集機能部１１０が起動し、レシピ情報編集機能部１１０による、その選択した作業対象、例えばレシピ分類'P001'（Ｓ521）、レシピ'Recipe 19'（Ｓ522）、又はフィルム厚'2222'（Ｓ523）に対してのレシピ情報編集作業を開始する。これに伴い、レシピ情報編集機能部１１０は、レシピ情報表示画面５００上の作業対象であるレシピ分類'P001'、レシピ'Recipe 19'、又はフィルム厚'2222'の表示に対応させて、各機能部１１１〜１１６による作業を選択するためのポップアップメニュー５６０をレシピ情報表示機能部１３０により表示させる（Ｓ531）。
【００９８】
ポップアップメニュー５６０には、レシピ情報編集機能部１１０がグループ別操作権限ファイル２１０及びグループ別ユーザＩＤファイル２２０を参照して得たユーザの操作権限の範囲内での各機能部１１１〜１１６による作業メニューが表示される。
【００９９】
図示の例では、ユーザ'Staff A'がログインした場合を想定しているので、ポップアップメニュー５６０には、レシピファイルコピー機能部１１３によるレシピファイルコピー'Copy & Paste'，レシピファイル削除機能部１１４によるレシピファイル削除'Delete'，レシピファイル名称変更機能部１１５によるレシピファイル名称変更'Rename'，レシピ隠蔽情報作成機能部１１６による隠蔽ＩＤ情報作成'Hidden'，…等がメニュー表示されている。
【０１００】
ユーザ'Staff A'は、このポップアップメニュー５６０の所望の作業表示にマウスのポインタを合わせ、左クリックすることによって、該当する機能部１１１〜１１６による作業を選択することができ、該当する機能部１１１〜１１６が起動する。
【０１０１】
例えば、この作業メニューの選択において、レシピ隠蔽情報作成'Hidden'が選択されると、レシピ情報編集機能部１１０では、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６が起動する。これにより、ユーザ'Staff A'は、自らが隠蔽元のユーザとなって、先に選択したレシピ分類'P001'（Ｓ521）、又はパラメータ項目の設定内容であるレシピ'Recipe 19'（Ｓ522）若しくはフィルム厚'2222'（Ｓ523）を隠蔽対象とし、他のユーザを隠蔽先とするレシピ隠蔽ＩＤ情報の作成作業を開始することができる。
【０１０２】
さらに、本実施例では、ポップアップメニュー５６０による所望の機能部１１１〜１１６による作業の選択において、ユーザ'Staff A'がレシピ隠蔽情報作成機能部１１６によるレシピ隠蔽情報作成作業を選択する場合には、レシピ情報編集機能部１１０は、ステップＳ521〜Ｓ523によって選択した作業対象に応じた隠蔽範囲をレシピパラメータ表示部５２０上に表示して、ユーザ'Staff A'が確認できる構成になっている。
【０１０３】
例えば、レシピ情報編集機能部１１０は、ポップアップメニュー５６０のレシピ隠蔽情報作成'Hidden'にマウスのポインタが合わせられ、そのポップアップメニュー５６０が例えばレシピ分類'P001'に対してポップアップされたものであるならば（Ｓ521）、例えばレシピパラメータ表示部５２０上に表示されているレシピ'Recipe 18'，'Recipe 19'，'Recipe 20'それぞれについて、表示部５２１〜５２４のパラメータ項目の設定内容全てをハイライト表示して、隠蔽対象による隠蔽範囲がレシピ分類'P001'に含まれる全てのレシピ'Recipe 18'，'Recipe 19'，'Recipe 20'それぞれの設定内容全体になることを示す。また、レシピパラメータ表示部５２０上に表示されているレシピ'Recipe 18'，'Recipe 19'，'Recipe 20'の何れかのレシピ名称、例えばレシピ名称'Recipe 19'に対してポップアップされたものであるならば（Ｓ522）、レシピ'Recipe 19'についてのみ、表示部５２１〜５２４のパラメータ項目の設定内容全てをハイライト表示して、隠蔽範囲がレシピ'Recipe 19'の設定内容全体になることを示す。また、レシピパラメータ表示部５２０上に表示されている何れかのレシピのレシピ名称以外のパラメータ項目の設定内容、例えば、レシピ'Recipe 19'のフィルム厚表示部５２３のフィルム厚'2222'に対してポップアップされたものであるならば（Ｓ523）、そのフィルム厚'2222'をハイライト表示して、隠蔽範囲がレシピ'Recipe 19'のパラメータ項目の中のフィルム厚'2222'になることを示す。その際、この隠蔽範囲のハイライト表示は、前述の選択した作業対象に係るハイライト表示とは識別可能な表示になっている。
【０１０４】
なお、この各機能部１１１〜１１６による作業の選択の仕方については、ポップアップメニュー５６０によらずとも、ユーザの操作権限に関係なく各機能部１１１〜１１６よる作業の選択スイッチをレシピ情報表示画面５００上に予め設けておき、ユーザ自身に操作権限が設定されていない作業が選択された場合には、その選択を無効とする等、種々の変形例が可能である。
【０１０５】
次に、レシピ情報編集機能部１１０の各機能部１１１〜１１６による作業の中、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６によって行われるレシピ隠蔽情報作成処理について、図６，図７を基に説明する。
【０１０６】
図６は、隠蔽情報作成機能部によるレシピ隠蔽情報作成処理の一実施例のフローチャートである。
【０１０７】
レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、レシピ隠蔽情報作成処理の開始に当たって、先にレシピ情報表示画面５００上で選択した、例えばレシピ分類'P001'，レシピ'Recipe 19'，レシピ'Recipe 19'のフィルム厚'2222'といった隠蔽対象の選択情報を、入力処理部８０から取り込む（ステップＳ610）。
【０１０８】
また、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、ユーザ'Staff A'のログイン認証の際に表示情報作成機能部１２０が作成したレシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０を読み込む（Ｓ620）。
【０１０９】
そして、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象の選択情報、ステップＳ620でレシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０から読み込んだ隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０、及び記憶部７０のグループ別ユーザＩＤ格納フォルダ７２に登録されているグループ別ユーザＩＤファイル２２０を基にして、レシピ情報表示機能部１３０が図７に示すようなレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を情報表示部９０に表示するためのユーザ表示情報を作成する。レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、このユーザ表示情報をレシピ情報表示機能部１３０に参照させて、図５に示したレシピ情報表示画面５００に代えて、図７に示すレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を情報表示部９０に表示させる（Ｓ630）。
【０１１０】
このレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００は、入力処理部８０と協働して、ユーザ自身が隠蔽元となって、先のステップＳ610でレシピ隠蔽情報作成機能部１１６が取り込んだ隠蔽対象について、隠蔽ＩＤ情報を作成・登録したり、それまで閲覧できなかった隠蔽先のユーザが閲覧できるように隠蔽ＩＤ情報を編集したりするためのユーザインタフェースである。
【０１１１】
ログインユーザ'Staff A'は、レシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００上のＧＵＩ（Graphical User Interface）をマウスによって操作して、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象について、隠蔽ＩＤ情報の作成、又は既に作成又は登録されている隠蔽ＩＤ情報の編集を、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６に対し指示して行う（Ｓ640）。
【０１１２】
図７は、レシピ情報隠蔽ユーザ登録画面の一実施例である。
レシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００は、隠蔽ＩＤ選択部'Chosen hidden ID'７1０と、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部'Registered hidden ID list'７２０と、登録実行ボタン'Addition'７３０，個別削除ボタン'delete'７４０，全削除ボタン'All delete'７５０，承認ボタン'OK'７６０，取消ボタン'Cancel'７７０といった操作スイッチとを含む構成になっている。
【０１１３】
隠蔽ＩＤ選択部７１０は、レシピ情報表示画面５００上で選択された隠蔽対象、すなわちステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象について、隠蔽先のユーザグループのユーザを設定するための操作表示部である。本実施例では、隠蔽ＩＤ選択部７１０は、グループＩＤ選択部'Group ID list'７１１と、ユーザＩＤ選択部'User ID list'７１２とを有している。
【０１１４】
グループＩＤ選択部７１１は、隠蔽先のユーザグループを選択するための操作表示部である。グループＩＤ選択部７１１には、グループ別操作権限格納フォルダ７１のグループ別操作権限ファイル２１０を基に、装置管理者により規定された操作権限それぞれに対応したユーザグループＩＤの一覧が表示される。
【０１１５】
隠蔽元となるユーザ'Staff A'は、グループＩＤ選択部７１１の表示上で所望のユーザグループＩＤにマウスのポインタを合わせて左クリックすることにより、隠蔽先のユーザグループを選択することができる。選択されたユーザグループＩＤの表示はハイライト表示され、その選択がユーザに報知される。
【０１１６】
図示のレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を例に説明すると、グループＩＤ選択部７１１には、グループ別操作権限ファイル２１０を基に、操作権限に対応して割り当てたエンジニア'Engineer'，マネージャー'Manager'，スタッフ'Staff'，テクニシャン'Technician'，オペレータ'Operator'の５種類のユーザグループＩＤが表示される。そして、その中の、オペレータ'Operator'の表示がハイライト表示され、隠蔽先のユーザグループとしてオペレータ'Operator'が選択された状態に該当する。
【０１１７】
ユーザＩＤ選択部７１２は、隠蔽先のユーザグループのユーザを選択するための操作表示部である。ユーザＩＤ選択部７１２には、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象を閲覧可能なユーザのユーザＩＤの一覧が、ログインユーザ'Staff A'のユーザＩＤを取り除いて表示される。その表示に当たって、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、隠蔽対象を閲覧可能なユーザを、例えば、次のようにして取得する。
【０１１８】
レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、ステップＳ620で読み込んだレシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０の中に、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象を含むレシピ分類若しくはレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０があるか否かを確認する。確認の結果、隠蔽対象を含むレシピ分類若しくはレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０がない場合は、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報、若しくはその取り込んだ隠蔽対象を含むさらに広範な隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報は登録も作成もされておらず、隠蔽対象は全てのユーザグループのユーザに対して閲覧可能であると判断する。これにより、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、グループ別ユーザＩＤファイル２２０に登録されているユーザそれぞれのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを取得し、この中からログインユーザ'Staff A'のユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを取り除いて、レシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００のユーザＩＤ選択部７１２に表示するためのデフォルトのユーザ表示情報を作成する。その後、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、グループＩＤ選択部７１１により隠蔽先のユーザグループが選択されたならば、この作成したデフォルトのユーザ表示情報から選択されたユーザグループに対応するユーザのユーザＩＤを抽出し、ユーザＩＤ選択部７１２に表示するためユーザ表示情報をこの抽出したユーザＩＤに更新する。
【０１１９】
一方、確認の結果、隠蔽対象を含むレシピ分類若しくはレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０がある場合は、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、その隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている隠蔽ＩＤ情報の中に、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報、若しくはその取り込んだ隠蔽対象を含むさらに広範な隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報があるか否かを確認する。この確認により、該当する隠蔽ＩＤ情報がない場合は、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報、若しくはその取り込んだ隠蔽対象を含むさらに広範な隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報は登録も作成もされておらず、隠蔽対象は全てのユーザグループのユーザに対して閲覧可能であると判断する。これにより、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、グループ別ユーザＩＤファイル２２０に登録されているユーザそれぞれのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを取得し、この中からログインユーザ'Staff A'のユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを取り除いて、レシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００のユーザＩＤ選択部７１２に表示するためのユーザ表示情報を作成する。その後、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、グループＩＤ選択部７１１により隠蔽先のユーザグループが選択されたならば、この作成したユーザ表示情報から選択されたユーザグループに対応するユーザのユーザＩＤを抽出し、ユーザＩＤ選択部７１２に表示するためユーザ表示情報をこの抽出したユーザＩＤに更新する。
【０１２０】
これに対し、前述した確認により、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報、若しくはその取り込んだ隠蔽対象を含むさらに広範な隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報がある場合は、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、これら隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先としてのユーザのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象について隠蔽されているユーザ、すなわち隠蔽対象を閲覧することができないユーザのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤと判断する。そして、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、この隠蔽対象を閲覧することができないユーザのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを抽出し、次に述べるレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００の登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０に表示するためのユーザ表示情報を作成する。この登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０に表示するためのユーザ表示情報の作成とともに、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、この抽出した隠蔽対象を閲覧することができないユーザのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤと、グループ別ユーザＩＤファイル２２０に登録されているユーザグループのユーザとを対照し、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象を閲覧することができるユーザそれぞれのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを取得する。レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、この取得した、隠蔽対象を閲覧することができるユーザグループＩＤ及びユーザＩＤそれぞれの中からログインユーザ'Staff A'のユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを取り除いて、レシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００のユーザＩＤ選択部７１２に表示するためのユーザ表示情報を作成する。その後、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、グループＩＤ選択部７１１により隠蔽先のユーザグループが選択されたならば、この作成したユーザ表示情報から選択されたユーザグループに対応するユーザのユーザＩＤを抽出し、ユーザＩＤ選択部７１２に表示するためユーザ表示情報をこの抽出したユーザＩＤに更新する。
【０１２１】
そのため、情報表示部９０にレシピ情報表示画面５００に代えてレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を表示した当初は、未だグループＩＤ選択部７１１によるユーザグループＩＤの選択がなされていないので、本実施例では、ユーザＩＤ選択部７１２には、ユーザグループを問わず、隠蔽対象を閲覧可能なユーザのユーザＩＤが、ログインユーザ'Staff A'のユーザＩＤが取り除かれた上で、デフォルト表示される。
【０１２２】
図示のレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を例に説明すると、グループＩＤ選択部７１１では、ユーザグループのオペレータ'Operator'が選択されていることから、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象を閲覧することができるユーザとして、ユーザＩＤ選択部７１２には、ユーザＩＤが'Operator A'，'Operator B'，'Operator C'，'Operator D'，'Operator E'の各ユーザが該当することが表わされている。なお、ユーザＩＤ選択部７１２における'All'の表示は、隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先として、ユーザグループがオペレータ'Operator'のユーザ全員を選択するために付加されたものである。
【０１２３】
隠蔽元となるユーザ'Staff A'は、ユーザＩＤ選択部７１２の表示上で隠蔽先の所望のユーザＩＤにマウスのポインタを合わせて左クリックすることにより、隠蔽先のユーザを選択することができる。選択されたユーザＩＤの表示はハイライト表示され、その選択がユーザに報知される。また、ユーザ'Staff A'は、ユーザＩＤ選択部７１２の表示上で上述したユーザＩＤの選択操作を所望のユーザＩＤを変えて繰り返すことにより、同じユーザグループＩＤの複数のユーザを隠蔽先として選択することも可能になっている。
【０１２４】
図示のレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００では、ユーザグループのユーザ全員を選択するための'All'の表示がハイライト表示され、隠蔽対象の隠蔽先として、ユーザグループがオペレータ'Operator'のユーザ全員が選択された状態に該当する。
【０１２５】
また、例えば、図示のレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象がレシピ分類'P001'のレシピ'Recipe 19'のパラメータ項目の中のレシピ名称'Recipe 19'である場合のレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００とすると、ユーザＩＤ選択部７１２に表示されている、レシピ'Recipe 19'を閲覧することができるユーザ'Operator A'，'Operator B'，'Operator C'，'Operator D'，'Operator E'のユーザそれぞれの中には、レシピ'Recipe 19'のパラメータ項目の中の全てを閲覧することができるユーザだけではなく、レシピ名称'Recipe 19'以外のパラメータ項目の一部、例えばフィルム厚'2222'について閲覧することができないユーザも含まれることになる。
【０１２６】
登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０は、ユーザグループを問わず、先にステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象についての現在の隠蔽先の状況を確認するための確認表示部である。登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０には、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６が情報隠蔽ユーザ登録画面７００のユーザＩＤ選択部７１２に表示するためのユーザ表示情報を作成する際に併せて取得した、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０に表示するためのユーザ表示情報を基に、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象を閲覧することができないユーザのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤが表示される。すなわち、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象について、その取り込んだ隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報、又はその取り込んだ隠蔽対象を含む、さらに広範な隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報に、隠蔽先として既に登録されているユーザのユーザＩＤの一覧がリスト表示される。したがって、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０には、隠蔽ＩＤ選択部７1０による隠蔽先のユーザグループ及びユーザの選択に際して、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象に係り、既に隠蔽ＩＤ情報が作成又は登録されている、現在の隠蔽先のユーザグループ及びユーザの状況が報知されることになる。隠蔽元となるログインユーザ'Staff A'は、この登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０の表示を参照することで、レシピ情報表示画面５００において選択した隠蔽対象に係り、現在の隠蔽先の状況を確認することができる。
【０１２７】
また、本実施例では、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０は、レシピ情報表示画面５００上で選択した隠蔽対象に係り、その表示されているユーザを隠蔽先から外し、閲覧可能に隠蔽ＩＤ情報を編集する際の、対象ユーザの選択部としても使用される。
【０１２８】
この場合、隠蔽元となるユーザ'Staff A'は、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０の表示上で隠蔽先になっている所望のユーザグループのユーザＩＤにマウスのポインタを合わせて左クリックすることにより、隠蔽対象について閲覧可能にするユーザを選択することができる。選択されたユーザＩＤの表示はハイライト表示され、その選択がユーザに報知される。
【０１２９】
なお、本実施例では、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０との間でユーザの重複表示を防止し、ユーザインタフェースとしての取り扱い性の観点から、隠蔽ＩＤ選択部７1０のユーザＩＤ選択部７１２には、既に隠蔽対象について隠蔽済のユーザのユーザＩＤは表示されない構成としたが、グループＩＤ選択部７１１により選択されたユーザグループについて、グループ別ユーザＩＤファイル２２０の抽出結果をそのままに、グループ構成員全員のユーザＩＤをそれぞれ表示し、隠蔽先のユーザを選択する構成とすることも排除するものではない。
【０１３０】
登録実行ボタン７３０は、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６に、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象の選択情報に係り、上述した隠蔽ＩＤ選択部７１０のグループＩＤ選択部７１１及びユーザＩＤ選択部７１２で選択したユーザグループのユーザを隠蔽先とした、隠蔽ＩＤ情報の作成を指示するためのＧＵＩである。
【０１３１】
ユーザが登録実行ボタン７３０にマウスのポインタを合わせて左クリックすることにより、入力処理部８０から隠蔽ＩＤ情報の作成指示を取り込むと、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、隠蔽対象の選択情報に係り、隠蔽ＩＤ選択部７１０のグループＩＤ選択部７１１及びユーザＩＤ選択部７１２で選択されたユーザグループのユーザを隠蔽先する隠蔽ＩＤ情報を作成する。そして、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、この作成した隠蔽ＩＤ情報を基にレシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０を編集する。
【０１３２】
レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、隠蔽情報テーブル３３０の編集に当たり、該当の隠蔽対象に対応したレシピ分類若しくはレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が既に隠蔽情報テーブル３３０に格納されている否か、さらに隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が既に隠蔽情報テーブル３３０に格納されている場合には、該当の隠蔽対象についての隠蔽ＩＤ情報が既に隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている否か応じて、例えば、次のようにして編集する。
【０１３３】
レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、該当の隠蔽対象に対応したレシピ分類若しくはレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が未だ隠蔽情報テーブル３３０に格納されていない場合は、隠蔽情報テーブル３３０に、該当の隠蔽対象に対応したレシピ分類若しくはレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０を新たに追加し、この隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に、該当の隠蔽対象について作成した隠蔽ＩＤ情報を格納する。
【０１３４】
これに対し、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、該当の隠蔽対象に対応したレシピ分類若しくはレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が既に格納されており、その隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に該当の隠蔽対象についての隠蔽ＩＤ情報がない場合は、該当の隠蔽対象について作成した隠蔽ＩＤ情報をそのまま該当の隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納する。一方、該当の隠蔽対象に対応したレシピ分類若しくはレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に該当の隠蔽対象についての隠蔽ＩＤ情報がある場合には、その隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先に、該当の隠蔽対象について作成した隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先のユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを追加する。
【０１３５】
そのため、隠蔽情報テーブル３３０に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及び隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている隠蔽ＩＤ情報は、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及び隠蔽ＩＤ情報に対して、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６によるレシピ隠蔽情報の作成進行が反映されたものになる。この編集されたレシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０を基に、レシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００の表示内容も、レシピ情報表示機能部１３０によって、隠蔽情報が作成されたユーザのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤが隠蔽ＩＤ選択部７１０のグループＩＤ選択部７１１及びユーザＩＤ選択部７１２から表示削除され、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０に表示追加され、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６によるレシピ隠蔽情報の作成進行が反映されたものになる。レシピ情報表示機能部１３０は、この表示において、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０への追加表示の際は、その表示色や表示形態を変える等して、既に隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に隠蔽ＩＤ情報が登録されているユーザグループのユーザと区別可能にハイライト表示する。
【０１３６】
個別削除ボタン７４０は、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０に表示されている隠蔽先のユーザグループのユーザを特定して、隠蔽先から外す隠蔽情報作成処理をレシピ隠蔽情報作成機能部１１６に指示するためのＧＵＩである。
【０１３７】
ユーザが個別削除ボタン７４０にマウスのポインタを合わせて左クリックすることにより、入力処理部８０から隠蔽ＩＤ情報の個別削除指示を取り込むと、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、隠蔽対象の選択情報に係り、予め登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０上で選択されたユーザグループのユーザを、その隠蔽対象についての隠蔽情報の隠蔽先から削除した隠蔽ＩＤ情報に変更すべく、レシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０を編集し、該当の隠蔽対象の隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先からユーザのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを削除する。
【０１３８】
全削除ボタン７５０は、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０に表示されている隠蔽先のユーザグループのユーザ全てを隠蔽先から外す隠蔽情報作成処理をレシピ隠蔽情報作成機能部１１６に指示するためのＧＵＩである。
【０１３９】
ユーザが全削除ボタン７５０にマウスのポインタを合わせて左クリックすることにより、入力処理部８０から隠蔽ＩＤ情報の全削除指示を取り込むと、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、隠蔽対象の選択情報に係り、予め登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０上でのユーザグループのユーザの選択なしに、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０上の全てのユーザグループのユーザを、その隠蔽対象についての隠蔽情報の隠蔽先から削除した隠蔽ＩＤ情報に変更すべく、レシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０を編集し、該当の隠蔽対象の隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先からユーザのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを削除する。
【０１４０】
これら個別削除ボタン７４０及び全削除ボタン７５０の操作に基づく隠蔽対象についての隠蔽先の削除に伴い、レシピ情報表示機能部１３０は、この編集されたレシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０を基に、この隠蔽先から削除したユーザのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤの表示を登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０から表示削除し、隠蔽ＩＤ選択部７１０のグループＩＤ選択部７１１及びユーザＩＤ選択部７１２に表示追加して、レシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００の表示内容を、この隠蔽先の削除に対応させて変更する。
【０１４１】
また、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、これら個別削除ボタン７４０及び全削除ボタン７５０の操作に基づく隠蔽情報テーブル３３０の編集で、隠蔽対象に対応する隠蔽ＩＤ情報から隠蔽先が無くなり、全てのユーザがこの隠蔽対象について閲覧可能になる場合には、その隠蔽対象に対応する隠蔽ＩＤ情報を隠蔽情報テーブル３３０から削除する。さらに、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、この隠蔽対象に対応する隠蔽ＩＤ情報の削除によって、隠蔽対象に対応したレシピ分類若しくはレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０から隠蔽ＩＤ情報が無くなり、全てのユーザがこのレシピ分類若しくはレシピについて閲覧可能になる場合には、この隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０を隠蔽情報テーブル３３０から削除する。
【０１４２】
承認ボタン７６０は、隠蔽先のユーザがログイン認証した後のレシピ情報表示画面５００の表示に反映させるため、隠蔽元のログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに係り、上述のようにしてレシピ隠蔽情報作成機能部１１６によって編集されたレシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０の内容を、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４へ登録・保存することをレシピ隠蔽情報作成機能部１１６に指示するためのＧＵＩである。
【０１４３】
取消ボタン７７０は、隠蔽元のログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに係り、上述のようにレシピ隠蔽情報作成機能部１１６によって編集されたレシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０の内容を、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４へ登録・保存せず、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６にレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を用いたレシピ隠蔽情報作成処理の強制終了を指示するためのＧＵＩである。
【０１４４】
図６に示すように、ユーザが承認ボタン７６０にマウスのポインタを合わせて左クリックすることにより、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６が入力処理部８０から隠蔽ＩＤ情報の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４への登録・保存指示を取り込むと（Ｓ650,YES）、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、隠蔽先のユーザがログイン認証した後のレシピ情報表示画面５００の表示に反映させるため、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されているログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに係り、その隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及びこの隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている隠蔽ＩＤ情報を、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６によって編集されたレシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及びこの隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている隠蔽ＩＤ情報に書き換え、登録・保存する（Ｓ660）。
【０１４５】
レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、レシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及び隠蔽ＩＤ情報を、隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納して登録・保存するに当たり、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに係り、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及び隠蔽ＩＤ情報の内容と、レシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及び隠蔽ＩＤ情報とを照合することによって行われる。例えば、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに係り、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されていない、レシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０又は隠蔽ＩＤ情報については、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に追加される。同様に、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに係り、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されてはいても、レシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０に格納されていない隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０又は隠蔽ＩＤ情報については、その削除が行われる。また、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納され、レシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０にも格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０又は隠蔽ＩＤ情報については、隠蔽情報テーブル３３０に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０又は隠蔽ＩＤ情報の内容に置き換えられる。これにより、隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に登録・保存されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及び隠蔽ＩＤ情報は、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピについては、レシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及び隠蔽ＩＤ情報に変更されることになる。
【０１４６】
これに対し、ユーザが取消ボタン７７０にマウスのポインタを合わせて左クリックすることにより、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６が入力処理部８０からレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を用いたレシピ隠蔽情報作成処理の強制終了を取り込むと（Ｓ650,NO）、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに係り、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及び隠蔽ＩＤ情報の上述したような変更を行わない。
【０１４７】
承認ボタン７６０又は取消ボタン７７０の操作により、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６によるレシピ隠蔽情報作成処理がこのようにして終了すると、レシピ情報編集機能部１１０は、レシピ情報表示画面５００等の閲覧設定画面を作成する際にレシピ情報表示機能部１３０が参照するレシピ表示情報３００を、表示情報作成機能部１２０に作成指示する（Ｓ670）。その上で、レシピ情報編集機能部１１０は、上述したレシピ隠蔽情報作成機能部１１６によるレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を用いたレシピ隠蔽情報作成処理を含む、ステップＳ521〜Ｓ523によって選択した作業対象に対しての処理を終了させる。
【０１４８】
これにより、このレシピ表示情報３００の作成指示を受けた表示情報作成機能部１２０は、記憶部７０に記憶されている各ファイル２１０，２２０，２３０，２４０それぞれの記憶情報を基に、レシピ情報表示機能部１３０がレシピ情報表示画面５００を作成する際に参照するレシピ表示情報３００を表示情報作成機能部１２０が作成し直すことになる。
【０１４９】
したがって、ステップＳ640での承認ボタン７６０の操作に基づいて、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６が作成した隠蔽ＩＤ情報を記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４の隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に登録・編集した場合は、表示情報作成機能部１２０が作成し直したレシピ表示情報３００は、前述のステップＳ630によりレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を用いて作成した隠蔽ＩＤ情報を反映させたものになる（Ｓ670）。一方、ステップＳ640での取消ボタン７７０の操作に基づいて、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６が作成した隠蔽ＩＤ情報を記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４の隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に登録・編集しなかった場合は、表示情報作成機能部１２０が作成し直したレシピ表示情報３００は、前述のステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象の選択情報をユーザが設定した際の、レシピ情報表示画面５００の基となったレシピ表示情報３００と変わらない。
【０１５０】
これにより、情報表示部９０には、表示情報作成機能部１２０が作成し直したレシピ表示情報３００を基に、図５に示したレシピ情報表示画面５００が、ユーザが検査作業に用いるレシピを選択設定するためのユーザインタフェースとして、レシピ情報表示機能部１３０によって再び表示されることになる。この結果、ユーザは、例えば、別の隠蔽対象のレシピ分類又はレシピを選択してレシピ隠蔽情報作成処理を行うことも含め、レシピの選択の確定を行って検査作業やレシピ情報編集を進める等の種々の作業処理を行い得る。
【０１５１】
次に、ログインユーザがユーザ認証された際のレシピ表示情報３００の作成指示、又は図６に示したレシピ隠蔽情報作成処理のステップＳ670で述べたレシピ表示情報３００の作成指示に基づき、表示情報作成機能部１２０が行う表示情報作成処理について、図８に基づいて説明する。この場合、表示情報作成機能部１２０の表示情報作成処理によって作成されるレシピ表示情報３００は、図２に示した分類管理テーブル３１０、分類名称管理テーブル３２０、及び隠蔽情報テーブル３３０に該当する。レシピ表示情報３００は、レシピ情報表示機能部１３０が閲覧設定画面としてのレシピ情報表示画面５００等の閲覧設定画面を生成する際に参照する情報である。
【０１５２】
図８は、表示情報作成機能部による表示情報作成処理の一実施例のフローチャートである。
【０１５３】
表示情報作成機能部１２０は、レシピ表示情報３００の作成指示を取り込むと、記憶部７０のレシピ格納フォルダ７３に登録されているレシピ分類フォルダ、及びこのレシピ分類フォルダに対応させて格納されているレシピファイル２３０を、レシピ分類フォルダに対応付けて階層関係を有して系統的に管理しているレシピの系統順に従って、レシピ格納フォルダ７３から１つずつ読み込む（Ｓ710）。表示情報作成機能部１２０は、このレシピ分類フォルダ及びレシピファイル２３０の読み込み結果に基づいて、レシピ格納フォルダ７３に登録されている全てのレシピ分類フォルダ、及びこれらレシピ分類フォルダに対応して格納されている全てのレシピファイル２３０について、レシピ格納フォルダ７３からの読み込みが終了したか否か、すなわち、レシピ格納フォルダ７３に登録されている全てのレシピ分類フォルダ及びレシピファイル２３０について、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに係るレシピ表示情報３００の作成が済んだか否かについて確認する（Ｓ720）。
【０１５４】
表示情報作成機能部１２０は、レシピ格納フォルダ７３に登録されている全てのレシピ分類フォルダ及びレシピファイル２３０について、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに係るレシピ表示情報３００の作成が済んでおり、ステップＳ710で新たなレシピ分類フォルダ及びレシピファイル２３０を読み込めない場合は（Ｓ720,NO）、ログインユーザに対して、レシピ情報表示機能部１３０がレシピ情報表示画面５００等の閲覧設定画面を生成する際に参照するレシピ表示情報３００についての表示情報作成処理を終了する。
【０１５５】
一方、レシピ格納フォルダ７３に登録されている全てのレシピ分類フォルダ及びレシピファイル２３０について、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに係るレシピ表示情報３００の作成が済んでおらず、未だログインユーザが閲覧可能か否かの判断がなされていないレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０が残っており、ステップＳ710でそのレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０を読み込んだ場合は（Ｓ720,YES）、その読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０について、次のようにして、ログインユーザに対してのレシピ分類又はレシピのレシピ表示情報を作成する。
【０１５６】
表示情報作成機能部１２０は、まず、ステップＳ710で読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０についての表示隠蔽フラグを一旦リセットして初期化する（Ｓ730）。この場合、表示隠蔽フラグは、ステップＳ710で読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０についてログインユーザにそのまま閲覧させるか否かを示すもので、リセット状態、すなわちフラグの値が０のときは、ログインユーザにそのまま閲覧させることを指示するものである。
【０１５７】
その上で、表示情報作成機能部１２０は、隠蔽判断機能部１２１が、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に登録されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０の中に、ステップＳ710で読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０に対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０があるか否かを確認する（Ｓ740）。
【０１５８】
隠蔽判断機能部１２１は、この確認によって対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０がある場合には、この隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が、ログインユーザを隠蔽先に含む隠蔽ＩＤ情報を格納している隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０であるか否かの確認を行う。
【０１５９】
その確認のため、図示の例では、隠蔽判断機能部１２１は、この隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている、レシピ分類、又はレシピのレシピ名称，被検査体のフィルム種別，被検査体のフィルム厚さ，測定感度，…といったパラメータ項目に対応した隠蔽ＩＤ情報それぞれを順次読み込み（Ｓ750）、その読み込んだ隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先にログインユーザが含まれているか否かを確認する（Ｓ752〜758）。
【０１６０】
隠蔽判断機能部１２１は、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている全ての隠蔽ＩＤ情報について確認が済んだか否かを確認し（Ｓ752）、ステップＳ750で新たな隠蔽ＩＤ情報を読み込めない場合は（Ｓ752,NO）、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている隠蔽ＩＤ情報それぞれの隠蔽先についてのログインユーザの確認処理を終了する。これに対し、隠蔽判断機能部１２１は、隠蔽ＩＤ情報を読み込んだ場合は（Ｓ752,YES）、図２に示したような隠蔽ＩＤ情報２４１の隠蔽先のユーザのユーザグループＩＤ２４２及びユーザＩＤ２４３を取り出し（Ｓ754）、その中にログインユーザのグループＩＤ及びユーザＩＤが含まれている否かを確認する（Ｓ756）。
【０１６１】
そして、隠蔽判断機能部１２１は、隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先の中にログインユーザが含まれている場合には（Ｓ756, YES）、ステップＳ710で読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０についての表示隠蔽フラグをセットし、フラグの値を１にして（Ｓ758）、ログインユーザの確認処理を終了する一方、含まれていない場合には（Ｓ756）、表示隠蔽フラグはそのままにして、次の隠蔽ＩＤ情報の読み込み（Ｓ750）を行う。
【０１６２】
このようにして、隠蔽判断機能部１２１が、ステップＳ710で読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０について、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及びそれに格納されている隠蔽ＩＤ情報の確認を行った後（Ｓ730〜758）、表示情報作成機能部１２０は、表示隠蔽フラグのセット又はリセット状態を確認し（Ｓ760）、このレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０に係るレシピ表示情報の作成を行う（Ｓ770，Ｓ780）。
【０１６３】
レシピ表示情報３００の作成は、表示隠蔽フラグがリセット状態すなわち０の場合は、ステップＳ710で読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０については、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４にこのレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０に対応する隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０は格納されておらず、又は隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が格納されてはいてもその中にはログインユーザを隠蔽先とする隠蔽ＩＤ情報は格納されていないので、表示情報作成機能部１２０は、レシピ分類フォルダのレシピ分類、又はレシピファイル２３０のレシピ名称，被検査体のフィルム種別，被検査体のフィルム厚さ，測定感度，…等といったパラメータ項目それぞれを、レシピ表示情報３００の分類管理テーブル３１０又は分類名称管理テーブル３２０に格納して、ステップＳ710で読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０についてのレシピ表示情報３００の作成を行う（Ｓ770）。
【０１６４】
これに対して、表示隠蔽フラグがセット状態すなわち１の場合には、ステップＳ710で読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０については、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４にログインユーザを隠蔽先に含む隠蔽ＩＤ情報を格納した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が格納されていることから、その隠蔽ＩＤ情報に対応させて、レシピ分類フォルダのレシピ分類又はレシピファイル２３０のパラメータ項目それぞれを、レシピ表示情報３００の分類管理テーブル３１０又は分類名称管理テーブル３２０に格納する。
【０１６５】
本実施例では、レシピ分類フォルダのレシピ分類、又はレシピファイル２３０のパラメータ項目の中のレシピ名称に対応した隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先にログインユーザが含まれている場合には、表示情報作成機能部１２０は、レシピ分類フォルダのレシピ分類、又はレシピファイル２３０のレシピ名称，被検査体のフィルム種別，被検査体のフィルム厚さ，測定感度，…等といったパラメータ項目それぞれを、レシピ表示情報３００の分類管理テーブル３１０又は分類名称管理テーブル３２０に格納せず、ステップＳ710で読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０についてのレシピ表示情報の作成を行わない（Ｓ780）。一方、ステップＳ710で読み込んだのがレシピファイル２３０であり、被検査体のフィルム種別，被検査体のフィルム厚さ，測定感度，…等といったレシピ名称以外のパラメータ項目に対応した隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先にのみログインユーザが含まれている場合には、そのパラメータ項目の設定内容についてだけ閲覧できないように編集を施して、パラメータ項目それぞれを分類名称管理テーブル３２０に格納して、ステップＳ710で読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０についてのレシピ表示情報の作成を行う（Ｓ780）。
【０１６６】
また、図８では図示省略したが、表示情報作成機能部１２０は、上述したレシピ表示情報３００の作成に係り、ステップＳ740で隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０を確認する毎、その隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０がパラメータ項目の中のレシピ名称に対応した隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先にログインユーザが含まれていない隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０である場合には、その隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及びそれに格納されている隠蔽ＩＤ情報を、隠蔽情報テーブル３３０に格納する。その際、ログインユーザが隠蔽先に含まれている隠蔽ＩＤ情報については、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６による隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先の編集を行えない処置を施して格納する。これにより、隠蔽情報テーブル３３０には、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及びそれに格納されている隠蔽ＩＤ情報が、ログインユーザが閲覧することができないパラメータ項目を除いて編集可能に格納されることになる。
【０１６７】
この結果、表示情報作成機能部１２０が生成した、分類管理テーブル３１０，分類名称管理テーブル３２０，隠蔽情報テーブル３３０を有する表示情報３００を基にして、レシピ情報表示機能部１３０は、図５に示したレシピ情報表示画面５００等の閲覧設定画面を生成する一方、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、ユーザ自身が閲覧可能なレシピ分類又はレシピの設定内容について他のユーザに対して隠蔽し又は隠蔽解除するための図６に示したレシピ隠蔽情報作成処理を行い得る。
【０１６８】
図９，図１０，図１１は、本実施の形態の表面検査装置において、ログインユーザがユーザ認証された後、情報表示部に閲覧設定画面として表示されるレシピ情報表示画面の表示態様の実施例を示したものである。
【０１６９】
なお、説明に当たっては、例えば、スタッフ'Staff'操作権限を有するユーザＩＤが'Staff B'のユーザが、自身のユーザグループＩＤ'Staff'及びユーザＩＤ'Staff B'を使用して表面検査装置１にログインした状況を想定する。その際、同じスタッフ'Staff'操作権限を有するユーザＩＤが'Staff A'のユーザが、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６によるレシピ隠蔽情報作成処理を使用して、予めユーザ'Staff A'が閲覧可能なレシピファイル２３０に係り、ユーザ'Staff B'を隠蔽先とする隠蔽ＩＤ情報を生成し、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納してある状況を想定する。
【０１７０】
図９は、ログイン認証後、情報表示部に表示される閲覧設定画面の一実施例である。
本実施例は、予め、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４にレシピ名称'Recipe 19'のレシピファイル２３０に対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が格納され、その隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０には、ユーザ'Staff A'がレシピ隠蔽情報作成機能部１１６によって作成した、パラメータ項目の中のレシピ名称'Recipe 19'に対応したユーザ'Staff B'を隠蔽先とする隠蔽ＩＤ情報が格納されている状況での、ユーザ'Staff B'が表面検査装置１にログインした場合の閲覧設定画面５００に該当する。
【０１７１】
この場合、ユーザ'Staff B'がユーザ認証された際のレシピ表示情報３００の作成指示により、表示情報作成機能部１２０は、図８に示した表示情報作成処理の実行によって、レシピ名称'Recipe 19'のレシピファイル２３０については、レシピ名称，被検査体のフィルム種別，被検査体のフィルム厚さ，測定感度，…等といったパラメータ項目全てを、レシピ表示情報３００の分類名称管理テーブル３２０に格納していないレシピ表示情報３００を作成する。
【０１７２】
そのため、このレシピ表示情報３００を基にしてレシピ情報表示機能部１３０により作成されるユーザ'Staff B'の閲覧設定画面５００では、ユーザ'Staff B'がレシピ分類表示部５１０でレシピ名称'Recipe 19'のレシピファイル２３０が含まれるレシピ分類'P001'を選択しても、レシピパラメータ表示部５２０には、レシピ名称'Recipe 19'のレシピファイル２３０のパラメータ項目は全て隠蔽され、何も表示されない。また、レシピ検索表示部５３０にも、ユーザ'Staff B'が検索閲覧可能なレシピファイル２３０としてレシピ名称'Recipe 19'は表示されない。
【０１７３】
図１０は、ログイン認証後、情報表示部に表示される閲覧設定画面の別の実施例である。
【０１７４】
本実施例は、予め、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４にレシピ名称'Recipe 19'のレシピファイル２３０に対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が格納され、その隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０には、ユーザ'Staff A'がレシピ隠蔽情報作成機能部１１６によって作成した、パラメータ項目の中の被検査体のフィルム厚さ'Film thickness'に対応したユーザ'Staff B'を隠蔽先とする隠蔽ＩＤ情報が格納されている状況での、ユーザ'Staff B'が表面検査装置１にログインした場合の閲覧設定画面５００に該当する。
【０１７５】
この場合、ユーザ'Staff B'がユーザ認証された際のレシピ表示情報３００の作成指示により、表示情報作成機能部１２０は、図８に示した表示情報作成処理の実行によって、レシピ名称'Recipe 19'のレシピファイル２３０については、レシピ名称'Process name'，被検査体のフィルム種別'Film kind'，被検査体のフィルム厚さ'Film thickness'，測定感度'Measurement range'，…等といったパラメータ項目の中、被検査体のフィルム厚さ'Film thickness'についてはレシピ表示情報３００の分類名称管理テーブル３２０にその設定内容を格納していないレシピ表示情報３００を作成する。
【０１７６】
そのため、このレシピ表示情報３００を基にしてレシピ情報表示機能部１３０により作成されるユーザ'Staff B'の閲覧設定画面５００では、ユーザ'Staff B'がレシピ分類表示部５１０でレシピ名称'Recipe 19'のレシピファイル２３０が含まれるレシピ分類'P001'を選択しても、レシピパラメータ表示部５２０には、レシピ名称'Recipe 19'のパラメータ項目の中の被検査体のフィルム厚さ'Film thickness'については、その設定内容が隠蔽され、マスク表示される。
【０１７７】
図１１は、ログイン認証後、情報表示部に表示される閲覧設定画面のさらに別の実施例である。
【０１７８】
本実施例は、予め、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に、分類名称'Production'のレシピ分類の階層下の、分類名称'Ｐ001'のレシピ分類のレシピ分類フォルダに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が格納され、その隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０には、ユーザ'Staff A'がレシピ隠蔽情報作成機能部１１６によって作成した、分類名称'Ｐ001'のレシピ分類に対応したユーザ'Staff B'を隠蔽先とする隠蔽ＩＤ情報が格納されている状況での、ユーザ'Staff B'が表面検査装置１にログインした場合の閲覧設定画面５００に該当する。
【０１７９】
この場合、ユーザ'Staff B'がユーザ認証された際のレシピ表示情報３００の作成指示により、表示情報作成機能部１２０は、図８に示した表示情報作成処理の実行によって、分類名称'Ｐ001'のレシピ分類とその階層下の分類名称'Ｐ001'，'Device 1'，'Device 2'，'Layer 1'，'Layer 2'，'Layer 3'，'Layer 4'のレシピ分類とについてはレシピ表示情報３００の分類管理テーブル３１０に格納せず、これらレシピ分類に対応させられているレシピ名称'Recipe 18'，'Recipe 19'，'Recipe 20'，'Recipe 21'，'Recipe 22'のレシピファイル２３０それぞれについては、レシピ名称，被検査体のフィルム種別，被検査体のフィルム厚さ，測定感度，…等といったパラメータ項目全てを、レシピ表示情報３００の分類名称管理テーブル３２０に格納していないレシピ表示情報３００を作成する。
【０１８０】
そのため、このレシピ表示情報３００を基にしてレシピ情報表示機能部１３０により作成されるユーザ'Staff B'の閲覧設定画面５００では、レシピ分類表示部５１０において、分類名称'Production'の階層下のレシピ分類の分類名称'Ｐ001'，'Device 1'，'Device 2'，'Layer 1'，'Layer 2'，'Layer 3'，'Layer 4'が全て隠蔽され、何も表示されない。また、レシピ検索表示部５３０にも、ユーザ'Staff B'が検索閲覧可能なレシピファイル２３０として、これらレシピ分類に分類されたレシピファイル２３０それぞれのレシピ名称'Recipe 18'，'Recipe 19'，'Recipe 20'，'Recipe 21'，'Recipe 22'は表示されない。
【０１８１】
このように、本実施の形態の表面検査装置１によれば、ユーザ'Staff A'は、閲覧設定画面５００で閲覧可能なレシピ分類やレシピの設定内容について、表面検査装置１を共用する他の関係がないユーザ'Staff B'に対して隠蔽しておくことができ、レシピに関する機密情報の漏洩を防止でき、セキュリティを向上させることができる。また、隠蔽されたユーザ'Staff B'にとっては、例え権限を有していても、本来関係がないレシピが閲覧設定画面５００上で選択対象として表示されなくなるので、このようなレシピを誤って選択してしまうのを防止できるようになり、所望のレシピの選択を容易かつ的確に行い得るようになる。
【０１８２】
また、ユーザ'Engineer A'〜'Engineer F'，'Manager A'〜'Manager C'，'Staff A'〜'Staff D'，'Technician A'〜'Technician C'，'Operator A'〜'Operator E'それぞれの操作権限'Engineer'，'Manager'，'Staff'，'Technician'，'Operator'を設定可能な装置管理者（Administrator；アドミニストレータ）でなくとも、ユーザ（図示の実施の形態の場合は、'Engineer A'〜'Engineer F'及び'Staff A'〜'Staff D'）は、それぞれ自身がその所在を感得しているレシピ分類又はレシピについて、自ら（例えば、ユーザ'Staff A'）が隠蔽元になって隠蔽先の他のユーザ（例えば、'Staff B'，…）に対して隠蔽しておくだけで、装置管理者によって、ユーザそれぞれ（例えば、ユーザ'Staff A'及び'Staff B'それぞれ）に、操作権限を設定するのと実質的に同等な、強力な保護効果を取得することができる。
【０１８３】
さらに、関係先へのデモンストレーション時には、ユーザ自身の本来のユーザ設定'Staff A'を用いてではなく、その関係先に対応したユーザ設定（例えば、'Customer A'）を用いてデモンストレーションを行うことによって、デモンストレーション実施時に、デモンストレーション先'Customer A'に対して、本来のユーザ設定'Staff A'に含まれている他社メーカ用'Customer B'のレシピを隠しておくこともできる。
【０１８４】
本実施の形態に係る表面検査装置１は以上述べたように構成されるが、例えば、閲覧設定画面５００等の表示態様やその操作態様等の具体的構成については、種々の変形例が可能である。
【０１８５】
すなわち、本発明は、検査装置を共有するユーザ各自が、ユーザ自身の閲覧設定画面において閲覧可能なレシピ分類又はレシピを、他のユーザの閲覧設定画面において隠蔽しておくことができる検査装置であれば、その具体的な構成及び手順は上述した実施の形態の構成及び手順に限定されるものではない。
【符号の説明】
【０１８６】
１ 表面検査装置、 １０ ウエハ、 ２０ ウエハ載置部、
２１ ウエハチャック、 ２２ 回転ステージ、 ２３ 直進ステージ、
２４ ベース、 ３０ 照明光学系、 ３１ レーザ光源、
３２ 照明光偏光フィルタ、 ３３，３４ 反射ミラー、
３５ 照明角度切換ミラー、 ４０ 検出光学系、 ４１〜４４ 検出器、
４５ Ａ／Ｄ変換器、 ４６ データ処理部、 ５０ 作動制御部、
６０ 全体制御部、 ７０ 記憶部、 ７１ グループ別操作権限格納フォルダ、
７２ グループ別ユーザＩＤ格納フォルダ、 ７３ レシピ格納フォルダ、
７４ 隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ、 ８０ 入力処理部、 ９０ 情報表示部、
１００ ＰＣ装置、 １０１ レシピ制御部、 １１０ レシピ情報編集機能部、
１１１ レシピファイル登録・編集機能部、 １１２ レシピファイル検索機能部、
１１３ レシピファイルコピー機能部、 １１４ レシピファイル削除機能部、
１１５ レシピファイル名称変更機能部、 １１６ レシピ隠蔽情報作成機能部、
１２０ 表示情報作成機能部、 １２１ 隠蔽判断機能部、
１３０ レシピ情報表示機能部、 １３１ 分類表示機能部、
１３２ リスト表示機能部、 ２１０ グループ別操作権限ファイル、
２２０ グループ別ユーザＩＤファイル、 ２３０ レシピファイル、
２４０ 隠蔽ＩＤ情報ファイル、 ２４１ 隠蔽ＩＤ情報、
２４２ 隠蔽先ユーザグループＩＤ、 ２４３ 隠蔽先ユーザＩＤ、
３００ レシピ表示情報、 ３１０ 分類管理テーブル、
３２０ 分類名称管理テーブル、 ３３０ 隠蔽情報テーブル
５００ レシピ情報表示画面、 ５１０ レシピ分類表示部、
５２０ レシピパラメータ表示部、 ５２１ レシピ名表示部、
５２２ フィルム種別表示部、 ５２３ フィルム厚表示部、
５２４ 測定感度表示部、 ５３０ レシピ検索表示部、 ５４１ 選択ボタン、
５４２ 終了ボタン、 ５６０ ポップアップメニュー、
７００ レシピ情報隠蔽ユーザ登録画面、 ７１０ 隠蔽ＩＤ選択部、
７１１ グループＩＤ選択部、 ７１２ ユーザＩＤ選択部、
７２０ 登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部、 ７３０ 登録実行ボタン、
７４０ 個別削除ボタン、 ７５０ 取消ボタン、 ７６０ 承認ボタン、
７７０ 取消ボタン、
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハ等の被検査体の表面に存在する異物，傷，欠陥，汚れ等を検出する検査装置及び検査レシピの隠蔽方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造工程において、品質や歩留りの低下を抑制するためには、半導体ウエハ（以下では、「ウエハ」と略称する）の表面上の異物，傷，欠陥，汚れ等（以下では、これらを「異物」と総称する）を検出し、異物の種類，大きさ，検出数等について統計管理しておくことが重要である。これにより、各種製造装置や工程の清浄度を定量的に把握できるようになり、これらを的確に管理することによって、品質や歩留りの低下を抑制できる。
【０００３】
そこで、従来から、半導体デバイスの製造工程では、表面検査装置によるウエハの表面検査が実施されている。ウエハ表面の表面検査装置としては、レーザ光等の検査光をウエハの表面に照射し、ウエハの表面で発生した反射光又は散乱光を検出することにより、ウエハ表面に存在する異物を検出するものが知られている（特許文献１参照）。
【０００４】
ところで、検査装置に検査作業を行わせるには、装置を動作させるための様々な設定値が必要である。これら設定値は、様々なプロセスを経て作成された光学条件や検査結果表示条件等であり、検査作業における諸条件を規定するものである。そのため、これら設定値は、検査作業毎に１つのファイル情報に纏められて管理されている。これら設定値を含む、検査作業毎の検査手順や検査条件が記述されたファイル情報のことを、レシピと呼んでいる。レシピは検査対象や検出したい情報等の種類毎に用意が必要で、検査装置を用いた検査作業の実行に当たっては、何百という非常に多くの数のレシピが作成される。検査装置では、互いに関連があるレシピ同士がグループに纏められ、これら多数のレシピが系統的に管理されている。
【０００５】
一方、半導体検査装置では、装置を操作する際にユーザ認証を行うことによって、権限のあるユーザにだけ固有の装置操作を許可している。これにより、不特定多数の者による装置操作を制限し、装置データとしてのレシピの編集を制限してレシピの保護をはかっている（特許文献２参照）。
【０００６】
また、半導体製造装置では、装置で扱うプロセス関連情報をユーザそれぞれ個別に権限を持たせて管理することで、各プロセス関連情報に対する各ユーザの操作を制限している。例えば、半導体製造装置でプロセス関連情報として用いられる個々のレシピに対する操作を、ユーザ識別情報とユーザが属するグループのグループ識別情報とに対応付けられている権限情報に基づいて操作毎に権限のあるユーザを制限することで、より細かなレシピの保護を行っている（特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】特開平９−３０４２８９号公報
【特許文献２】特開２００９−８８０４７号公報
【特許文献３】特開２００９−２７７９９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
レシピは、検査装置を使用するユーザそれぞれによって、検査対象や検出したい情報等の種類毎に用意される。そのため、レシピには、検査処理のノウハウや、試料となるウエハ（被検査体）の素性を示す情報も記述されている。レシピの数自体も、その設定内容の違い等に応じて、１台の検査装置で数百種類以上に達することもある。
【０００９】
検査装置では、これら数多くのレシピが、ユーザの違い，検査対象や検出したい情報の種類の違い等に応じてグループ分けされ、系統立てて登録管理されている。そこで、個々のレシピが格納されたレシピファイルを検査装置に登録する際には、登録後のレシピの系統的な管理を可能にし、レシピそれぞれにより実行される検査作業の違いの理解を容易にするため、個々のレシピファイルそれぞれや、グループ分けされたレシピファイルが纏められたレシピ分類それぞれには、ユーザによりレシピ名称や分類名称が付されている。このレシピ名称や分類名称は、試料としてのウエハの種別（例えば、ウエハに形成されている半導体デバイスの製品コードやメーカ名等），ウエハの材質名称，作業工程名称，検査条件名称等といった特徴情報を含むようにルール付けされ、ユーザにより名付けられる。
【００１０】
したがって、ユーザは、検査等に用いる所望のレシピを見つけ出す場合は、これらレシピ分類に付された分類名称やレシピファイルに付されたレシピ名称を閲覧して、それぞれの名称が表わすレシピの設定内容に係る特徴情報を基に、所望のレシピの判別を行っている。すなわち、ユーザは、レシピ分類の分類名称やレシピファイルのレシピ名称からそのレシピの設定内容に係る特徴情報を理解することができ、例えば、ウエハの材質や、どのような工程で作業が行われ、どのような方法で検査しているか等の情報も知り得ることもできる。
【００１１】
しかしながら、検査装置において登録管理されているレシピが増加し多数になると、ユーザそれぞれにより登録されたレシピは、ウエハの種別，ウエハの材質名称，作業工程名称，検査条件名称等といった特徴情報が類似するものが増加し、結果的にユーザ相互間でレシピファイルのレシピ名称が類似し、レシピ分類の分類名称も類似したものになってしまうことが起こり得る。
【００１２】
そのため、ユーザが登録管理されている所望のレシピについてその設定内容を編集しようする場合は、名称が類似した複数のレシピ分類，レシピファイルの中から、編集対象のレシピを見つけ出さなければならない、という問題点が新たに生じる。
【００１３】
その際、特許文献２，３に記載されているように、レシピの操作について権限情報が設定又は付与されている場合は、編集対象のレシピと名称が類似する他のユーザのレシピをユーザが誤って閲覧して選択してしまっても、ユーザ自身がこのレシピの操作について権限を有していなければ、レシピの設定内容を読み出したり、書き込んだり、削除したり、実行したりすることはできないので、設定内容の閲覧、改変等を防止できる。
【００１４】
しかし、特許文献２，３に記載されているような、権限がないユーザに対してレシピの設定内容の読み出し，書き込み，削除，実行について操作制限が設けられている場合でも、レシピの選択の際に利用されるレシピ分類の分類名称，レシピファイルのレシピ名称の閲覧自体については何の制限も設けられていない。
【００１５】
また、その書き込み，削除，実行についての操作制限もいわゆる装置管理者のみによってユーザそれぞれに付与されるものなので、例えばユーザが同じ操作権限を有する他のユーザに対して設定内容の閲覧、改変等を防止しておくことはできない。
【００１６】
この結果、検査装置で登録管理するレシピが増加すればする程、ユーザ相互で分類名称，レシピ名称も類似してくるようになり、ユーザが所望のレシピを見つけ出す作業は煩雑になってくる。また、所望のレシピを見つけ出す際、装置を共用するユーザが何の制限もなしに自身の検査作業とは関係がないレシピの分類名称，レシピ名称を閲覧できることは、関係ない他のユーザが、その分類名称，レシピ名称から、ウエハの材質等のウエハ固有情報や、メーカ名(例えば、デバイスメーカ，ウエハメーカ，装置・材料メーカ）等のウエハ関連情報を把握できることを可能としてしまう。さらには、レシピの設定内容の読み出しはできずとも、これら特徴情報から、どのような工程で作業が行われ、どのような方法で検査しているか等の、レシピ固有の特化した設定内容等を推察することも可能としてしまう。
【００１７】
加えて、装置を共用するユーザ以外でも、ユーザが例えば上述したデバイスメーカ，ウエハメーカ，装置・材料メーカ等といった関係先に対して、検査作業のデモンストレーションを行う場合等は、異なる関係先のレシピ分類，レシピファイルを操作画面上で見せる訳にはいかない。そのため、一時的にせよ異なる関係先のレシピ分類，レシピファイルが表示されないように退避しておく等、装置の動作環境をその都度事前に変えてデモンストレーションしなければならない煩雑さもあった。
【００１８】
本願発明は上述した問題点を鑑みなされたもので、ユーザそれぞれが、自身がその存在を感得しているレシピについて、他のユーザがその存在を含めた設定内容を感得できないように、そのレシピの存在自体も含めてレシピの設定内容を隠蔽しておくことができる検査装置及びその隠蔽方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１９】
本発明は、上記した課題をするために、自身の閲覧設定画面上でその存在を感得しているレシピについて、ユーザ権限とは関係なしに、他のユーザの閲覧設定画面上で他のユーザに対してその存在を感得されないように、レシピファイルのレシピ名称を含めたレシピの存在自体の隠蔽を行う手段及び手順を含んでいる検査装置及びその隠蔽方法であることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、例えば、自身がその所在を感得しているレシピに対し、読み出し，書き込み，削除，実行等の中の少なくとも何れかについて操作権限を有する他のユーザであっても、レシピとは本来関係がないユーザであれば、他のユーザが所望のレシピを選択するために登録管理されているレシピを閲覧する際、他のユーザに対してレシピファイルのレシピ名称を含めたレシピの存在自体を隠蔽しておくことができる。これにより、隠蔽を行ったユーザは、自身がその所在を感得しているレシピについて、検査装置を共用する本来関係がない他のユーザに対し、レシピ名称に含まれた特徴情報を含め、レシピに関する機密情報の漏洩を防止でき、セキュリティを向上させることができる。
【００２１】
また、隠蔽されたユーザにとっては、例え権限を有していても、本来関係がないレシピが選択対象として表示されなくなるので、このようなレシピを誤って選択してしまうのを防止できるようになり、所望のレシピの選択を容易かつ的確に行い得るようになる。
【００２２】
本発明によれば、レシピに対しての操作権限を有していても本来は関係しないユーザには、登録管理されているレシピの閲覧時も関係がないレシピ名称が隠蔽され、レシピ自体の存在を知られることがないので、実質的に、レシピの設定内容の読み出し，書き込み，削除，実行等の処理が行われてしまうことがなくなる。これによって、ユーザそれぞれの操作権限を設定可能な装置管理者（Administrator；アドミニストレータ）でなくとも、ユーザは、自身がその所在を感得しているレシピについて、本来は関係しないユーザにこれら処理についての権限を付与しないことを設定するのと実質的に同等な、強力な保護効果を取得することができる。
【００２３】
本発明によれば、関係しないユーザには登録管理されているレシピの閲覧時にレシピ自体の存在を分からないように隠蔽しておくことができるため、関係先へのデモンストレーション用のレシピについては、予めその関係先毎にその関係先のみが閲覧できるユーザ設定を併せて行っておくことができる。この結果、関係先へのデモンストレーション時にはユーザ自身の本来のユーザ設定を用いてではなく、その関係先に対応したユーザ設定を用いてデモンストレーションを行うことによって、デモンストレーション実施時に、各メーカ用のレシピが格納されているフォルダの切り替えやメーカ固有情報の削除を行うことなく、デモンストレーション先に対して他社メーカ用のレシピを隠しておくこともできる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施に係る表面検査装置の全体概略構成図である。
【図２】本実施の形態の表面検査装置におけるレシピ閲覧制御部の構成図である。
【図３】グループ別操作権限ファイルの構成を模式的に示した説明図である。
【図４】グループ別ユーザＩＤファイルの構成を模式的に示した説明図である。
【図５】レシピ情報表示画面の一実施例を示した図である。
【図６】レシピ隠蔽情報作成処理の一実施例のフローチャートである。
【図７】レシピ情報隠蔽ユーザ登録画面の一実施例である。
【図８】表示情報作成処理の一実施例のフローチャートである。
【図９】ログイン認証後に表示される閲覧設定画面の一実施例である。
【図１０】ログイン認証後に表示される閲覧設定画面の別の実施例である。
【図１１】ログイン認証後に表示される閲覧設定画面のさらに別の実施例である。
【発明を実施するための形態】
【００２５】
本発明に係る検査装置の一実施の形態について、ウエハ表面上の異物を検査する表面検査装置を例に、以下、図面とともに説明する。
【００２６】
図１は、本実施の形態に係る表面検査装置の全体概略構成図である。
図１において、表面検査装置１は、ウエハ（被検査体）１０を載置するウエハ載置部２０と、ウエハ１０のウエハ表面（被検査面）に照明光（検査光）を照射する照明光学系３０と、ウエハ表面からの散乱光を検出する検出光学系４０と、装置各部の駆動系の作動制御を行う作動制御部５０と、装置全体の制御を行う全体制御部６０とを備えている。
【００２７】
ウエハ載置部２０は、ウエハ１０を吸着・保持するウエハチャック２１と、ウエハチャック２１を保持する回転ステージ２２と、回転ステージ２２を回転自在に保持する直進ステージ２３と、直進ステージ２３を移動自在に保持するベース２４とを備えている。
【００２８】
回転ステージ２２は、直進ステージ２３に対して回転駆動させられることにより、ウエハチャック２１を一体的に回転させ、ウエハチャック２１に吸着・保持されたウエハ１０の向きをウエハ表面と平行な面内で変化させる。また、直進ステージ２３は、ベース２４に対して移動駆動させられることにより、回転ステージ２２を一体的に直進移動させ、ウエハ１０をウエハ表面と平行な面上で移動変位させる。
【００２９】
ウエハ載置部２０では、ウエハ表面に照明光を照射しながら、ウエハ１０を回転又は直進移動させ、或いはその両方を行うことにより、照明光の照射位置をウエハ表面上で走査する。ウエハ表面上での照明光の走査は、ユーザが予め選択したレシピの設定内容に従って、全体制御部６０が作動制御部５０を制御し、作動制御部５０がウエハ載置部２０を駆動制御することにより行われる。
【００３０】
照明光学系３０は、照明光であるレーザ（例えば、Ａｒレーザ，窒素レーザ，Ｈｅ−Ｃｄレーザ，エキシマレーザ等）を生成して射出するレーザ光源３１と、レーザ光源３１から射出されたレーザを偏光に変換する照明光偏光フィルタ３２と、照明光偏光フィルタ３２を透過したレーザを反射する反射ミラー３３，３４と、レーザの進行経路（光路）を切り換える照明角度切換ミラー３５とを備えている。
【００３１】
レーザ光源３１から射出された照明光は、照明角度切換ミラー３５が照明光の光路上に配置されている状態３５ａでは、照明角度切換ミラー３５及び反射ミラー３３を介して、ウエハ表面に対して斜上方（例えば、３０°以下の角度）から照射される。これに対し、照明角度切換ミラー３５が照明光の光路上から退避させられている状態３５ｂでは、照明光は、反射ミラー３４を介して、ウエハ表面に対して略垂直に照射される。照明角度切換ミラー３５の配置状態３５ａ，３５ｂの切り替えは、ユーザが予め選択したレシピの設定内容に従って、全体制御部６０が作動制御部５０を制御し、作動制御部５０が図示せぬ駆動装置を駆動制御することにより行われる。
【００３２】
検出光学系４０は、ウエハ表面への照明光の照射によってその表面から生じる散乱光を検出する。ウエハ表面における照明光の照射位置に異物が存在する場合、その散乱光は、異物の大きさや形状に応じたものになる。
【００３３】
検出光学系４０は、ウエハ表面からの散乱光を検出する複数の検出器４１〜４４と、検出器４１〜４４から出力されたアナログの検出信号をデジタルの検出信号に変換するＡ／Ｄ変換器４５と、Ａ／Ｄ変換器４５からの検出信号をデータ処理して全体制御部６０に供給するデータ処理部４６とを備えている。
【００３４】
検出器４１，４２は、ウエハ表面を基準とした仰角が予め定めた基準角度以下の角度になるように、かつ照明光の照射位置を中心に互いの位置を異ならせて配置され、低角度検出光学系を形成する。これに対し、検出器４３，４４は、基準角度よりも大きな仰角になるように、かつ照明光の照射位置を中心に互いの位置を異ならせて配置され、高角度検出光学系を形成する。
【００３５】
Ａ／Ｄ変換器４５は、検出器４１〜４４から出力されるアナログの検出信号（電流信号）をデジタルの検出信号（電圧信号）に変換し、データ処理部４６に入力する。データ処理部４６は、Ａ／Ｄ変換器４５からの検出信号の中、その検出信号の大きさ（検出電圧値）が予め定めた閾値を越えたものを抽出するデータ処理を行い、この抽出した検出信号を全体制御部６０に入力する。このデータ処理部４６のデータ処理に用いる閾値は、検出器４１〜４４それぞれからの検出信号に対して個別に設定されている。各閾値の大きさは、ユーザが予め選択したレシピの設定内容において、それぞれパラメータ項目の中の１つとして設定されている。
【００３６】
全体制御部６０は、表面検査装置１の装置全体としての動作を制御する。全体制御部６０は、ウエハ載置部２０，照明光学系３０，検出光学系４０といった装置各部を、作動制御部５０を介して制御する。その際、全体制御部６０は、検出光学系４０からの検出信号を含む装置各部から入力される検出信号を、データ処理部４６や作動制御部５０を介して取得する。全体制御部６０には、記憶部７０、入力処理部８０、及び情報表示部９０が備えられている。全体制御部６０は、作動制御部５０等とともに、ＰＣ(personal computer)装置１００によって構成されている。
【００３７】
記憶部７０は、例えば、ＰＣ装置１００のメモリやハードディスク等により構成される。記憶部７０には、回転ステージ２２及び直進ステージ２３の位置情報や、これら位置情報と関連付けられた検出器４１〜４４からの検出信号等が、全体制御部６０により検査結果情報として記憶される。なお、この場合における検出器４１〜４４からの検出信号は、データ処理部４６によりデータ処理されてから全体制御部６０に供給されたものである。また、記憶部７０には、それぞれ検査作業で用いられるレシピを格納したレシピファイルに加え、全体制御部６０が後述の各種の装置機能を実行するためのソフトウェア等も記憶されている。
【００３８】
入力処理部８０は、例えば、ＰＣ装置１００に付設のキーボードやマウス、或いはタッチパネル等の入力機器を含んで構成されている。入力処理部８０は、ウエハ１０の表面検査や表面検査装置１の校正に用いる各種設定値，各種指令等についての入力機器を用いた操作入力を全体制御部６０に対し供給するインタフェースである。
【００３９】
情報表示部９０は、例えば、ＰＣ装置１００に付設のディスプレイ等の出力機器により構成されている。情報表示部９０には、ウエハ１０の表面検査に用いるレシピをユーザが閲覧選択する際に用いる後述のレシピ情報表示画面５００等の閲覧設定画面や、設定選択されたレシピに従って行われた表面検査の検査結果（欠陥マップ，欠陥寸法別ヒストグラム等）若しくはウエハのスロット番号等の閲覧報知画面が表示される。また、情報表示部９０には、表面検査や校正の結果が異常と判定された場合は、異常が生じた旨の警告も表示される。情報表示部９０によるこれら表示は、レシピに従った検査作業の進行に合わせて、全体制御部６０によって表示制御される。
【００４０】
表面検査装置１では、入力処理部８０，作動制御部５０等といった装置各部からの入力に基づいて、各種の装置機能を実行するためのソフトウェアや予め選択されたレシピに含まれる検査手順や検査条件に従って、全体制御部６０が照明光学系３０，検出光学系４０，情報表示部９０等といった装置各部の作動を全体制御する。
【００４１】
以下、上述した構成の表面検査装置１における、全体制御部６０による閲覧設定画面を用いたレシピの閲覧制御構成について説明する。
【００４２】
図２は、本実施の形態の表面検査装置におけるレシピ閲覧制御部の構成図である。
レシピ閲覧制御部は、レシピ情報編集機能部１１０と、表示情報作成機能部１２０と、レシピ情報表示機能部１３０とを備えている。レシピ閲覧制御部は、記憶部７０に記憶され、全体制御部６０を構成するＰＣ装置１００上で動作するプログラムにより、その構成及び機能が実現される。また、レシピ情報編集機能部１１０には、レシピファイル登録・編集機能部１１１，レシピファイル検索機能部１１２，レシピファイルコピー機能部１１３，レシピファイル削除機能部１１４，レシピファイル名称変更機能部１１５，レシピ隠蔽情報作成機能部１１６が備えられている。
【００４３】
レシピファイル登録・編集機能部１１１は、記憶部７０に設けられた階層型フォルダ構造のレシピ格納フォルダ７３へのレシピファイル２３０の登録や、登録済みのレシピファイル２３０に格納されているレシピの設定内容の編集等といったレシピファイル２３０の登録・編集処理を行う。また、レシピファイル登録・編集機能部１１１は、レシピファイル登録・編集処理に伴い、レシピ分類フォルダ（図示省略）をレシピ格納フォルダ７３に階層関係を有して作成して、レシピ格納フォルダ７３に登録されたレシピファイル２３０それぞれの系統的な管理を行う。レシピ分類フォルダには、レシピ分類の分類名称がユーザによって付される。レシピファイル登録・編集機能部１１１によるレシピファイル２３０のレシピ格納フォルダ７３への登録は、登録ユーザにより選択されたレシピ分類の分類名称を基にレシピ分類フォルダを適宜選択し、登録ユーザにより設定されたレシピ名称をレシピファイル２３０に付して、レシピ分類フォルダに対応付けて行われる。
【００４４】
レシピファイルコピー機能部１１３は、レシピ格納フォルダ７３に登録されている所望のレシピファイル２３０のコピーを作成するレシピファイルコピー処理を行う。
【００４５】
レシピファイル削除機能部１１４は、レシピ格納フォルダ７３に登録済みのレシピファイル２３０の中から所望のレシピファイル２３０を削除するレシピファイル削除処理を行う。また、レシピファイル削除機能部１１４は、レシピ格納フォルダ７３に作成済みの階層関係を有したレシピ分類フォルダの中から所望のレシピ分類フォルダ７３を削除し、このレシピ分類フォルダ７３に対応して登録されているレシピファイル２３０を削除するレシピ分類削除処理を行う。レシピファイル削除機能部１１４は、レシピ分類削除処理を行った際は、残ったレシピファイル２３０それぞれの系統的な管理を行うため、レシピ分類フォルダの削除に伴うレシピ分類の階層関係の編集も行う。
【００４６】
レシピファイル名称変更機能部１１５は、レシピ格納フォルダ７３に格納されている所望のレシピファイル２３０に付されたレシピ名称の変更を行うレシピファイル名称変更処理を行う。また、レシピファイル名称変更機能部１１５は、レシピファイル２３０それぞれの系統的な管理を行うためのレシピ分類フォルダに付されているレシピ分類の分類名称の変更を行う分類名称変更処理も行う。
【００４７】
レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、ユーザ自身が閲覧可能な、レシピ格納フォルダ７３に登録されている所望のレシピに係り、そのレシピファイル２３０に格納されているレシピの設定内容の一部若しくは全部、又はそのレシピファイル２３０が対応付けられているレシピ分類フォルダのレシピ分類を、他のユーザに対して隠蔽し又は隠蔽解除するレシピ隠蔽情報作成処理を行う。なお、このレシピ隠蔽情報作成機能部１１６のレシピ隠蔽情報作成処理については、追って詳細に説明する。
【００４８】
上述したレシピ情報編集機能部１１０の各機能部１１１〜１１６による処理は、ユーザそれぞれによる入力処理部８０の入力機器の所定操作に基づいて行われる。そして、各機能部１１１〜１１６よる処理は、装置管理者（アドミニストレータ'Administrator'）が予めユーザそれぞれに対して設定した操作権限（ユーザ権限）に基づいて、ユーザ毎にその実行が制限されている。
【００４９】
本実施例では、予め装置管理者により、エンジニア'Engineer'，マネージャー'Manager'，スタッフ'Staff'，テクニシャン'Technician'，オペレータ'Operator'という５種類のユーザグループ毎に分けられ、それぞれ対応する操作権限が規定されている。記憶部７０のグループ別操作権限格納フォルダ７１には、この５種類のユーザグループ毎の操作権限内容を規定したグループ別操作権限ファイル２１０が登録されている。
【００５０】
図３は、グループ別操作権限ファイルの構成を模式的に示した説明図である。
図示のグループ別操作権限ファイル２１０で、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６による隠蔽ＩＤ情報作成機能について着目すれば、ユーザグループＩＤがエンジニア'Engineer'若しくはスタッフ'Staff'であるユーザは操作権限を有し、ユーザグループＩＤがマネージャー'Manager'，テクニシャン'Technician'，オペレータ'Operator'の何れかであるユーザは操作権限を有していない設定になっている。各ユーザの操作権限は、予め装置管理者によってこれら５種類のユーザグループ（操作権限グループ）の何れかに割り当てられて設定されている。その設定内容は、グループ別ユーザＩＤファイル２２０として記憶部７０のグループ別ユーザＩＤ格納ファイル７２に登録されている。
【００５１】
図４は、グループ別ユーザＩＤファイルの構成を模式的に示した説明図である。
グループ別ユーザＩＤファイル２２０には、ユーザの識別を示すユーザＩＤそれぞれと、操作権限の識別を表わすユーザグループＩＤそれぞれとの対応関係が記憶されている。
【００５２】
図示のグループ別ユーザＩＤファイル２２０では、例えば、ユーザＩＤが'Engineer A'〜'Engineer F'の各ユーザはユーザグループＩＤがエンジニア'Engineer'に、 ユーザＩＤが'Manager A'〜'Manager C'の各ユーザはユーザグループＩＤがマネージャー'Manager'に、ユーザＩＤが'Staff A'〜'Staff D'の各ユーザはユーザグループＩＤがスタッフ'Staff'に、ユーザＩＤが'Technician A'〜'Technician C'の各ユーザはユーザグループＩＤがテクニシャン'Technician'に、ユーザＩＤが'Operator A'〜'Operator E'の各ユーザはユーザグループＩＤがオペレータ'Operator'に割り当てられていて、ユーザそれぞれの操作権限が登録されている。
【００５３】
したがって、レシピ情報編集機能部１１０は、これらグループ別操作権限ファイル２１０及びグループ別ユーザＩＤファイル２２０を参照すれば、各機能部１１１〜１１６の中、例えばレシピ隠蔽情報作成機能部１１６による隠蔽ＩＤ情報作成機能については、エンジニア'Engineer'操作権限のユーザＩＤが'Engineer A'，'Engineer B'の各ユーザ、及びスタッフ'Staff'操作権限のユーザＩＤが'Staff A'〜'Staff D'の各ユーザが処理を行うことができ、ユーザＩＤが'Manager A'〜'Manager C'，'Technician A'〜'Technician C'，'Operator A'〜' Operator E'のその他のユーザは処理を行うことができないことを判別することができる。
【００５４】
図２に戻り、記憶部７０には、上述したグループ別操作権限ファイル２１０，グループ別ユーザＩＤファイル２２０に加え、レシピファイル２３０，隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が登録・保存されるようになっている。
【００５５】
レシピファイル２３０は、それぞれ検査作業で用いられるレシピを格納したファイルである。各レシピは、レシピ名称を付したレシピファイル２３０にそれぞれ格納されて、記憶部７０のレシピ格納フォルダ７３に登録・保存される。
【００５６】
レシピ格納フォルダ７３は、階層型のレシピ分類フォルダによって構成されている。各レシピ分類フォルダは、ユーザによる入力処理部８０の入力機器の所定操作に基づいて、レシピファイル登録・編集機能部１１１によって作成され、ユーザによりレシピ分類の分類名称が付されて登録されるようになっている。
【００５７】
個々のレシピファイル２３０は、ユーザによる入力処理部８０の入力機器の所定操作に基づいて、レシピファイル登録・編集機能部１１１により、ユーザによって作成又は選択されたレシピ分類フォルダに対応付けてレシピ格納フォルダ７３に登録・保存される。この結果、検査作業で用いられるレシピそれぞれのレシピファイル２３０は、記憶部７０のレシピ格納フォルダ７３に、系統的に分類管理されて登録・保存されることになる。
【００５８】
隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０は、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６により作成されたレシピ又はレシピ分類に係る隠蔽ＩＤ情報（隠蔽識別情報）２４１を格納するファイルである。隠蔽ＩＤ情報２４１は、レシピ格納フォルダ７３に登録・保存されているレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０に係り、その設定内容の一部又は全部を所定のユーザに対して閲覧できないように隠蔽するための情報である。隠蔽ＩＤ情報２４１は、ユーザによる入力処理部８０の入力機器の所定操作に基づいて、ユーザが閲覧可能なレシピ分類又はレシピの設定内容の一部若しくは全部を他のユーザが閲覧できないようにするために、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６によってレシピ分類又はレシピの設定内容における隠蔽部分それぞれに対応して作成される。隠蔽ＩＤ情報２４１は、例えば、隠蔽対象となるレシピ分類又はレシピについて、レシピ分類フォルダに付されている分類名称や，レシピファイル２３０に格納されているレシピのレシピ名称，被検査体のフィルム種別（形成膜の種別），被検査体のフィルム厚さ（形成膜の膜厚），測定感度，…といったパラメータ項目毎に対応させて作成され、図２に示すように、隠蔽先のユーザのユーザグループＩＤ２４２及びユーザＩＤ２４３を有している。隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０は、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６が作成した隠蔽ＩＤ情報２４１を登録・保存しておくため、記憶部７０内の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に、隠蔽ＩＤ情報２４１の隠蔽対象に係るレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０に対応させて、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６によって作成される。
【００５９】
本実施例では、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、作成した隠蔽ＩＤ情報２４１を隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納して隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に登録・保存する際に、登録・保存する隠蔽ＩＤ情報２４１の隠蔽対象に係るレシピ分類又はレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が既に隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に作成されている場合は、同じレシピ分類又はレシピに係る隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０の新たな作成は行わない方式を採用している。そのため、同じレシピ分類又はレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が既に隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に作成されている場合は、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、例えば、これから登録・保存する隠蔽ＩＤ情報２４１と、既に作成されている同じレシピ又はレシピ分類に係る隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている隠蔽ＩＤ情報２４１との間での隠蔽対象範囲の広狭に応じて、既に作成されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０の隠蔽ＩＤ情報２４１の編集を行って登録・保存するようになっている。また、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０の隠蔽ＩＤ情報２４１の編集によって隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に隠蔽ＩＤ情報２４１がなくなった場合は、このレシピ又はレシピ分類に係る隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０を隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４から削除するようになっている。
【００６０】
表示情報作成機能部１２０は、記憶部７０に記憶されている各ファイル２１０，２２０，２３０，２４０それぞれの情報を基に、レシピ情報表示機能部１３０がレシピ情報表示画面５００等の閲覧設定画面を作成する際に参照するレシピ表示情報３００を作成する。本実施の形態では、表示情報作成機能部１２０には、隠蔽判断機能部１２１が含まれている。
【００６１】
隠蔽判断機能部１２１は、レシピ表示情報３００の作成に当たり、隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に登録されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０それぞれの隠蔽ＩＤ情報２４１を基に、レシピ格納フォルダ７３に登録・保存されているレシピ分類フォルダ，レシピファイル２３０それぞれの、レシピ分類の分類名称，レシピの各パラメータ項目について、表面検査装置１にログインして認証されたユーザに対しての隠蔽の要否、換言すればユーザによる閲覧の可否を判断する。
【００６２】
表示情報作成機能部１２０は、表面検査装置１に対してのユーザのログイン認証により、記憶部７０のレシピ格納フォルダ７３及び隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４からレシピファイル２３０及び隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０を読み出し、ログインユーザのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを基にした隠蔽判断機能部１２１による判断結果を基に、後述するレシピ情報表示画面５００等の閲覧設定画面をレシピ情報表示機能部１３０が作成する際に参照するレシピ表示情報３００を作成する。
【００６３】
表示情報作成機能部１２０は、レシピ表示情報３００として、ログインユーザに合わせた分類管理テーブル３１０、分類名称管理テーブル３２０、及び隠蔽情報テーブル３３０を作成する。
【００６４】
分類管理テーブル３１０は、レシピ情報表示機能部１３０がレシピ情報表示画面５００を作成するに当たり、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類それぞれの分類名称と、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類相互の階層関係とを参照するための表示情報テーブルである。
【００６５】
分類管理テーブル３１０には、レシピ情報表示機能部１３０によるレシピ情報表示画面５００の作成に際して記憶部７０のレシピ格納フォルダ７３から抽出された、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されていないレシピ分類フォルダや、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されているレシピ分類フォルダであってもその隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている分類名称に対応した隠蔽ＩＤ情報２４１の隠蔽先にログインユーザのユーザＩＤが含まれていないレシピ分類フォルダが、表示情報作成機能部１２０によって互いの階層関係を含めて格納される。
【００６６】
分類名称管理テーブル３２０は、レシピ情報表示機能部１３０がレシピ情報表示画面５００を作成するに当たり、ログインユーザが閲覧可能なレシピファイル２３０それぞれのレシピ名称と、ログインユーザが閲覧可能な被検査体のフィルム種別（形成膜の種別），被検査体のフィルム厚さ（形成膜の膜厚），測定感度，…等といったレシピ名称以外のパラメータ項目の設定内容とを参照するための表示情報テーブルである。
【００６７】
分類名称管理テーブル３２０には、レシピ情報表示機能部１３０によるレシピ情報表示画面５００の作成に際して記憶部７０のレシピ格納フォルダ７３から抽出された、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されていないレシピファイル２３０や、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されているレシピファイル２３０であってもパラメータ項目の中のレシピ名称に対応する隠蔽ＩＤ情報が格納されておらず、又はレシピ名称に対応する隠蔽ＩＤ情報が格納されてはいてもその隠蔽先にログインユーザが含まれていないレシピファイル２３０が、表示情報作成機能部１２０によって分類管理テーブル３１０に格納されたレシピ分類フォルダと対応付けられて格納される。
【００６８】
さらに、その中の、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されているレシピファイル２３０を分類名称管理テーブル３２０に格納するに当たっては、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０の中に、被検査体のフィルム種別（形成膜の種別），被検査体のフィルム厚さ（形成膜の膜厚），測定感度，…等といったレシピ名称以外のパラメータ項目に対応した隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先としてログインユーザが含まれている場合には、そのパラメータ項目の設定内容については閲覧できないように、表示情報作成機能部１２０によって編集が施されて格納される。
【００６９】
隠蔽情報テーブル３３０は、レシピ情報表示機能部１３０がレシピ情報表示画面５００を作成するに当たり、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４から抽出され、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６による隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０又は隠蔽ＩＤ情報の編集が施される表示情報テーブルである。
【００７０】
したがって、隠蔽情報テーブル３３０に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及び隠蔽ＩＤ情報２４１は、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６による編集状況を随時反映したものになっている。
【００７１】
なお、この表示情報作成機能部１２０による、レシピ表示情報３００としてのこれら分類管理テーブル３１０、分類名称管理テーブル３２０、及び隠蔽情報テーブル３３０の作成処理の詳細については、後述する。
【００７２】
レシピ情報表示機能部１３０は、レシピ表示情報３００の分類管理テーブル３１０，分類名称管理テーブル３２０，隠蔽情報テーブル３３０を参照して、図５に示すレシピ情報表示画面５００や、図７に示すレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を作成し、情報表示部９０の画面上に表示する。レシピ情報表示機能部１３０は、分類表示機能部１３１，リスト表示機能部１３２を含んでいる。
【００７３】
ここで、表面検査装置１のログインユーザに対し、閲覧設定画面として情報表示部９０に表示されるレシピ情報表示画面５００について説明する。
【００７４】
図５は、レシピ情報表示画面の一実施例である。
図示の例では、レシピ情報表示画面'IDP(Integrated Data Processing) Condition file menu'５００は、レシピ分類表示部'Classification'５１０と、レシピパラメータ表示部５２０と、レシピ検索表示部'IDP Search'５３０とを有し、選択ボタン'Select'５４１，終了ボタン'Close'５４２が設けられた構成になっている。
【００７５】
レシピ分類表示部５１０には、記憶部７０のレシピ格納フォルダ７３に格納されたレシピファイル２３０の中、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類それぞれの分類名称及びレシピ分類それぞれの相互関係が階層ツリー形式で表示される。
【００７６】
レシピパラメータ表示部５２０には、例えばレシピ分類表示部５１０上で選択されたレシピ分類に含まれるレシピファイル２３０それぞれのレシピの設定内容、又はレシピ検索表示部５３０で選択されたレシピの設定内容が表示される。図示の例では、レシピパラメータ表示部５２０は、レシピ名表示部'Process name'５２１，フィルム種別表示部'Film kind'５２２，フィルム厚表示部'Film thickness'５２３，測定感度表示部'Measurement range'５２４，…等といったパラメータ項目別の表示部を有している。各表示部５２１，５２２，５２３，５２４，…には、レシピ名称，被検査体のフィルム（酸化膜）種別，被検査体のフィルム（酸化膜）厚さ，測定感度，…といったパラメータ項目毎の設定内容が表示される。
【００７７】
レシピ検索表示部５３０には、記憶部７０のレシピ格納フォルダ７３に格納されたレシピファイル２３０の中、ログインユーザが閲覧・選択可能なレシピファイル２３０それぞれのレシピ名称がリスト表示される。
【００７８】
なお、図５中に例示したレシピ分類の分類名称やレシピファイル２３０のレシピ名称は説明簡便のために記載したものであり、実際は、被検査体であるウエハの種別（例えば、ウエハに形成されている半導体デバイスの製品コードやメーカ名等），ウエハの材質名称，作業工程名称，検査条件名称，…等といった特徴情報を含む、レシピ及びその設定内容の把握が容易な名称になっている。
【００７９】
レシピ情報表示画面５００を情報表示部９０に表示するに当たって、図２に示したレシピ情報表示機能部１３０では、分類表示機能部１３１が、レシピ表示情報３００の分類管理テーブル３１０を参照して、レシピ分類表示部５１０に表示するレシピツリーを作成する。また、リスト表示機能部１３２が、レシピ表示情報３００の分類管理テーブル３１０及び分類名称管理テーブル３２０を参照して、レシピパラメータ表示部５２０に表示するレシピの設定内容や、レシピ検索表示部５３０に表示するレシピ名称を閲覧可能なレシピの検索結果を作成する。
【００８０】
レシピ情報表示画面５００は、ユーザの表面検査装置１へのログイン認証後、レシピ情報表示機能部１３０によって情報表示部９０にＯＳＤ(On Screen Display)表示され、入力処理部８０と協働して、ユーザが検査作業に用いるレシピを選択設定する場合等のユーザインタフェースを構成する。
【００８１】
ログインユーザは、レシピ情報表示画面５００を閲覧して、検査作業に用いるレシピを選択設定する。具体的には、ユーザは、例えば入力処理部８０の入力機器のマウスを操作して、レシピ情報表示画面５００上で、レシピパラメータ表示部５２０又はレシピ検索表示部５３０に表示されている所望のレシピ名称にポインタを合わせて左クリックすることで、所望のレシピを選択することができる。レシピ情報表示機能部１３０の分類表示機能部１３１は、この操作入力を入力処理部８０から受け、レシピ名表示部５２１及びレシピ検索表示部５３０上の選択されたレシピ名称の表示を表示色や表示態様（例えば、outline character表示等の表示態様）を変える等してハイライト表示し、その選択をユーザに報知する。ユーザは、この選択したレシピ名称のハイライト表示で所望のレシピの選択を確認し、レシピ検索表示部５３０の選択ボタン５４１をマウスにより左クリックしてこのレシピの選択を確定し、この選択したレシピを用いた検査作業を進め得るようになっている。これに対し、ユーザは、選択ボタン５４１の代わりに終了ボタン５４２をマウスにより左クリックすることで、レシピ情報表示画面５００を用いたレシピの選択処理を終了させることができる。
【００８２】
本実施の形態の表面検査装置１では、ログイン認証後のレシピ情報表示画面５００を用いたレシピの選択処理において、ログインユーザがレシピ隠蔽情報作成機能部１１６による隠蔽ＩＤ情報作成機能についての操作権限を有するエンジニア'Engineer'操作権限又はスタッフ'Staff'操作権限のユーザである場合は、他のユーザが自身の検査作業とは関係がないレシピを誤って選択又は閲覧しなくて済むように、ユーザ自身が閲覧可能なレシピ分類又はレシピを他のユーザを隠蔽先にして隠蔽すなわち秘匿しておくことができるようになっている。その際、エンジニア'Engineer'操作権限又はスタッフ'Staff'操作権限のログインユーザは、その隠蔽すなわち秘匿を、隠蔽先の他のユーザのユーザ操作権限とは関係なしに、所望のユーザに対して所望の範囲で行えるようになっている。
【００８３】
そのために、本実施の形態の表面検査装置１では、レシピ情報編集機能部１１０にはレシピ隠蔽情報作成機能部１１６が備えられ、表示情報作成機能部１２０には隠蔽判断機能部１２１が備えられ、記憶部７０には隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が保存され、表示情報作成機能部１２０には隠蔽判断機能部１２１が備えられた構成になっており、レシピ表示情報３００には隠蔽情報テーブル３３０が含まれるようになっている。
【００８４】
次に、本実施の形態の表面検査装置１において、エンジニア'Engineer'操作権限又はスタッフ'Staff'操作権限を有するユーザが、レシピ情報編集機能部１１０のレシピ隠蔽情報作成機能部１１６により、ユーザ自身が閲覧可能なレシピ分類又はレシピを他のユーザに対して隠蔽する構成について説明する。
【００８５】
なお、説明に当たっては、スタッフ'Staff'操作権限を有するユーザＩＤが'Staff A'のユーザが、自身のユーザグループＩＤ'Staff'及びユーザＩＤ'Staff A'を使用して表面検査装置１にログインした状況を想定する。その上で、レシピ閲覧制御部の表示情報作成機能部１２０及びレシピ情報表示機能部１３０が後述する表示情報作成処理を行って、情報表示部９０には、図５に示したレシピ情報表示画面５００が閲覧設定画面として表示されている状況を想定する。また、以下では、スタッフ'Staff'操作権限を有するユーザＩＤが'Staff A'のユーザのことをユーザ'Staff A'、分類名称が'P001'のレシピ分類のことをレシピ分類'P001'、レシピ名称を'Recipe 18'としてレシピファイル２３０に格納されているレシピのことをレシピ'Recipe 18'とも便宜的に略称する。
【００８６】
レシピ情報表示画面５００において、レシピ分類表示部５１０には、ログインユーザであるユーザ'Staff A'が閲覧可能なレシピ分類それぞれの分類名称及びレシピ分類それぞれの相互関係が階層ツリー形式で表示される。レシピ検索表示部５３０には、ログインユーザが閲覧及び選択可能なレシピファイル２３０のレシピ名称が表示される。
【００８７】
レシピパラメータ表示部５２０には、当初は、ログインユーザによるレシピ分類表示部５１０を使用したレシピ分類の選択や、レシピ検索表示部５３０を使用したレシピファイル２３０すなわちレシピの選択が未だ行われていないため、その表示はデフォルトされた表示内容になっている。デフォルトされたレシピパラメータ表示部５２０の表示内容としては、例えば、ログインユーザが閲覧可能な全レシピファイル２３０それぞれの閲覧可能なレシピ設定内容に係るリスト表示、ログインユーザが閲覧可能な所定のレシピ分類に含まれる閲覧可能なレシピファイル２３０それぞれの閲覧可能なレシピ設定内容に係るリスト表示、又はブランク状態等が該当する。
【００８８】
ここで、ログインユーザは、ログイン当初のレシピ情報表示画面５００でマウスを操作して、そのレシピ分類表示部５１０上の所望のレシピ分類、レシピパラメータ表示部５２０上の所望のレシピのパラメータ、又はレシピ検索表示部５３０上のレシピ名称の中の所望のレシピ名称にポインタを合わせ、左クリックすることで、所望のレシピファイル２３０を選択することができる。
【００８９】
ここでは、まず、レシピ分類表示部５１０上の所望のレシピ分類がログインユーザにより選択された場合（図５中、Ｓ511）について説明する。
【００９０】
この場合、レシピ情報表示機能部１３０の分類表示機能部１３１は、入力処理部８０から選択されたレシピ分類を受け、レシピ分類表示部５１０の選択されたレシピ分類の分類名称の表示をハイライト表示し、その選択をユーザに報知する。また、レシピ情報表示機能部１３０のリスト表示機能部１３２は、レシピ表示情報３００の分類管理テーブル３１０及び分類名称管理テーブル３２０を参照して、レシピパラメータ表示部５２０の表示内容を、選択されたレシピ分類に含まれるレシピファイル２３０それぞれのログインユーザが閲覧可能なパラメータ項目に対応した設定内容に変更表示する。
【００９１】
例えば、図５に示したレシピ情報表示画面５００は、レシピ分類表示部５１０上でレシピ分類'P001'が所望のレシピ分類として選択されて（Ｓ511）、この選択されたレシピ分類の分類名称'P001'がレシピ分類表示部５１０上でハイライト表示され、レシピパラメータ表示部５２０には、このレシピ分類'P001'に属する３つのレシピ'Recipe 18'，'Recipe 19'，'Recipe 20'それぞれのレシピ名称，フィルム種別，フィルム厚さ，測定感度，等といったパラメータ項目の設定内容が表示されている状況に該当している。
【００９２】
このようなレシピ情報表示画面５００上で、ログインユーザが、レシピパラメータ表示部５２０のレシピ名表示部５２１上の所望のレシピ名称、例えばレシピ'Recipe 19'にマウスのポインタを合わせて左クリックすれば（Ｓ512）、リスト表示機能部１３２は、レシピパラメータ表示部５２０に表示された３つのレシピ'Recipe 18'，'Recipe 19'，'Recipe 20'の中、レシピ'Recipe 19'に係るレシピ名表示部５２１の表示内容をハイライト表示し、その選択を報知する。
【００９３】
さらに、ログインユーザが、このレシピ'Recipe 19'に係るレシピ名表示部５２１以外の項目別表示部５２２，５２３，５２４，…の閲覧可能な表示内容の中の何れか、例えばフィルム厚表示部５２３のフィルム厚'2222'にマウスのポインタを合わせて左クリックすれば（Ｓ513）、リスト表示機能部１３２は、レシピ'Recipe 19'のフィルム厚'2222'に係るフィルム厚表示部５２３の表示内容をハイライト表示し、その選択を報知する。
【００９４】
なお、ログインユーザが、レシピ分類表示部５１０上でレシピ分類'P001'を所望のレシピ分類として選択した後（Ｓ511）、レシピ'Recipe 19'を事前に選択することなしに、レシピ'Recipe 19'のレシピ名表示部５２１以外の個別表示部５２２〜５２４の閲覧可能な表示内容、例えばフィルム厚表示部５２３の表示'2222'にいきなりマウスのポインタを合わせて左クリックした場合は（Ｓ513）、リスト表示機能部１３２は、レシピ'Recipe 19'に係るレシピ名表示部５２１及びフィルム厚表示部５２３の表示内容をハイライト表示し、その選択を報知する。
【００９５】
例えば、図５に示したレシピ情報表示画面５００は、レシピ分類'P001'が選択され（Ｓ511）、このレシピ分類'P001'の選択に基づきリスト表示部５２０に表示されたレシピ分類'P001'に属する３つのレシピ'Recipe 18'，'Recipe 19'，'Recipe 20'の中のレシピ'Recipe 19'が選択され（Ｓ512）、さらにそのフィルム厚'2222'が選択されている（Ｓ513）状態の、レシピ情報表示画面５００に該当している。
【００９６】
ここで、このログインユーザがレシピ隠蔽情報作成機能部１１６による隠蔽ＩＤ情報作成機能に操作権限を有するユーザ'Staff A'である場合、ユーザ'Staff A'は、レシピ情報表示画面５００上で、レシピ分類表示部５１０上の所望のレシピ分類、又はレシピパラメータ表示部５２０上の何れか所望の閲覧可能なパラメータ項目の設定内容を選択して（Ｓ511，Ｓ512，又はＳ513）、この選択したレシピ分類又はパラメータ項目の閲覧可能な設定内容にマウスのポインタを合わせて右クリックすることで（Ｓ521，Ｓ522，又はＳ523）、その選択対象をレシピ閲覧制御部のレシピ情報編集機能部１１０による作業対象として選択することができる。
【００９７】
レシピ閲覧制御部では、この選択が入力処理部８０から取り込まれると、レシピ情報編集機能部１１０が起動し、レシピ情報編集機能部１１０による、その選択した作業対象、例えばレシピ分類'P001'（Ｓ521）、レシピ'Recipe 19'（Ｓ522）、又はフィルム厚'2222'（Ｓ523）に対してのレシピ情報編集作業を開始する。これに伴い、レシピ情報編集機能部１１０は、レシピ情報表示画面５００上の作業対象であるレシピ分類'P001'、レシピ'Recipe 19'、又はフィルム厚'2222'の表示に対応させて、各機能部１１１〜１１６による作業を選択するためのポップアップメニュー５６０をレシピ情報表示機能部１３０により表示させる（Ｓ531）。
【００９８】
ポップアップメニュー５６０には、レシピ情報編集機能部１１０がグループ別操作権限ファイル２１０及びグループ別ユーザＩＤファイル２２０を参照して得たユーザの操作権限の範囲内での各機能部１１１〜１１６による作業メニューが表示される。
【００９９】
図示の例では、ユーザ'Staff A'がログインした場合を想定しているので、ポップアップメニュー５６０には、レシピファイルコピー機能部１１３によるレシピファイルコピー'Copy & Paste'，レシピファイル削除機能部１１４によるレシピファイル削除'Delete'，レシピファイル名称変更機能部１１５によるレシピファイル名称変更'Rename'，レシピ隠蔽情報作成機能部１１６による隠蔽ＩＤ情報作成'Hidden'，…等がメニュー表示されている。
【０１００】
ユーザ'Staff A'は、このポップアップメニュー５６０の所望の作業表示にマウスのポインタを合わせ、左クリックすることによって、該当する機能部１１１〜１１６による作業を選択することができ、該当する機能部１１１〜１１６が起動する。
【０１０１】
例えば、この作業メニューの選択において、レシピ隠蔽情報作成'Hidden'が選択されると、レシピ情報編集機能部１１０では、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６が起動する。これにより、ユーザ'Staff A'は、自らが隠蔽元のユーザとなって、先に選択したレシピ分類'P001'（Ｓ521）、又はパラメータ項目の設定内容であるレシピ'Recipe 19'（Ｓ522）若しくはフィルム厚'2222'（Ｓ523）を隠蔽対象とし、他のユーザを隠蔽先とするレシピ隠蔽ＩＤ情報の作成作業を開始することができる。
【０１０２】
さらに、本実施例では、ポップアップメニュー５６０による所望の機能部１１１〜１１６による作業の選択において、ユーザ'Staff A'がレシピ隠蔽情報作成機能部１１６によるレシピ隠蔽情報作成作業を選択する場合には、レシピ情報編集機能部１１０は、ステップＳ521〜Ｓ523によって選択した作業対象に応じた隠蔽範囲をレシピパラメータ表示部５２０上に表示して、ユーザ'Staff A'が確認できる構成になっている。
【０１０３】
例えば、レシピ情報編集機能部１１０は、ポップアップメニュー５６０のレシピ隠蔽情報作成'Hidden'にマウスのポインタが合わせられ、そのポップアップメニュー５６０が例えばレシピ分類'P001'に対してポップアップされたものであるならば（Ｓ521）、例えばレシピパラメータ表示部５２０上に表示されているレシピ'Recipe 18'，'Recipe 19'，'Recipe 20'それぞれについて、表示部５２１〜５２４のパラメータ項目の設定内容全てをハイライト表示して、隠蔽対象による隠蔽範囲がレシピ分類'P001'に含まれる全てのレシピ'Recipe 18'，'Recipe 19'，'Recipe 20'それぞれの設定内容全体になることを示す。また、レシピパラメータ表示部５２０上に表示されているレシピ'Recipe 18'，'Recipe 19'，'Recipe 20'の何れかのレシピ名称、例えばレシピ名称'Recipe 19'に対してポップアップされたものであるならば（Ｓ522）、レシピ'Recipe 19'についてのみ、表示部５２１〜５２４のパラメータ項目の設定内容全てをハイライト表示して、隠蔽範囲がレシピ'Recipe 19'の設定内容全体になることを示す。また、レシピパラメータ表示部５２０上に表示されている何れかのレシピのレシピ名称以外のパラメータ項目の設定内容、例えば、レシピ'Recipe 19'のフィルム厚表示部５２３のフィルム厚'2222'に対してポップアップされたものであるならば（Ｓ523）、そのフィルム厚'2222'をハイライト表示して、隠蔽範囲がレシピ'Recipe 19'のパラメータ項目の中のフィルム厚'2222'になることを示す。その際、この隠蔽範囲のハイライト表示は、前述の選択した作業対象に係るハイライト表示とは識別可能な表示になっている。
【０１０４】
なお、この各機能部１１１〜１１６による作業の選択の仕方については、ポップアップメニュー５６０によらずとも、ユーザの操作権限に関係なく各機能部１１１〜１１６よる作業の選択スイッチをレシピ情報表示画面５００上に予め設けておき、ユーザ自身に操作権限が設定されていない作業が選択された場合には、その選択を無効とする等、種々の変形例が可能である。
【０１０５】
次に、レシピ情報編集機能部１１０の各機能部１１１〜１１６による作業の中、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６によって行われるレシピ隠蔽情報作成処理について、図６，図７を基に説明する。
【０１０６】
図６は、隠蔽情報作成機能部によるレシピ隠蔽情報作成処理の一実施例のフローチャートである。
【０１０７】
レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、レシピ隠蔽情報作成処理の開始に当たって、先にレシピ情報表示画面５００上で選択した、例えばレシピ分類'P001'，レシピ'Recipe 19'，レシピ'Recipe 19'のフィルム厚'2222'といった隠蔽対象の選択情報を、入力処理部８０から取り込む（ステップＳ610）。
【０１０８】
また、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、ユーザ'Staff A'のログイン認証の際に表示情報作成機能部１２０が作成したレシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０を読み込む（Ｓ620）。
【０１０９】
そして、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象の選択情報、ステップＳ620でレシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０から読み込んだ隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０、及び記憶部７０のグループ別ユーザＩＤ格納フォルダ７２に登録されているグループ別ユーザＩＤファイル２２０を基にして、レシピ情報表示機能部１３０が図７に示すようなレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を情報表示部９０に表示するためのユーザ表示情報を作成する。レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、このユーザ表示情報をレシピ情報表示機能部１３０に参照させて、図５に示したレシピ情報表示画面５００に代えて、図７に示すレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を情報表示部９０に表示させる（Ｓ630）。
【０１１０】
このレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００は、入力処理部８０と協働して、ユーザ自身が隠蔽元となって、先のステップＳ610でレシピ隠蔽情報作成機能部１１６が取り込んだ隠蔽対象について、隠蔽ＩＤ情報を作成・登録したり、それまで閲覧できなかった隠蔽先のユーザが閲覧できるように隠蔽ＩＤ情報を編集したりするためのユーザインタフェースである。
【０１１１】
ログインユーザ'Staff A'は、レシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００上のＧＵＩ（Graphical User Interface）をマウスによって操作して、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象について、隠蔽ＩＤ情報の作成、又は既に作成又は登録されている隠蔽ＩＤ情報の編集を、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６に対し指示して行う（Ｓ640）。
【０１１２】
図７は、レシピ情報隠蔽ユーザ登録画面の一実施例である。
レシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００は、隠蔽ＩＤ選択部'Chosen hidden ID'７1０と、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部'Registered hidden ID list'７２０と、登録実行ボタン'Addition'７３０，個別削除ボタン'delete'７４０，全削除ボタン'All delete'７５０，承認ボタン'OK'７６０，取消ボタン'Cancel'７７０といった操作スイッチとを含む構成になっている。
【０１１３】
隠蔽ＩＤ選択部７１０は、レシピ情報表示画面５００上で選択された隠蔽対象、すなわちステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象について、隠蔽先のユーザグループのユーザを設定するための操作表示部である。本実施例では、隠蔽ＩＤ選択部７１０は、グループＩＤ選択部'Group ID list'７１１と、ユーザＩＤ選択部'User ID list'７１２とを有している。
【０１１４】
グループＩＤ選択部７１１は、隠蔽先のユーザグループを選択するための操作表示部である。グループＩＤ選択部７１１には、グループ別操作権限格納フォルダ７１のグループ別操作権限ファイル２１０を基に、装置管理者により規定された操作権限それぞれに対応したユーザグループＩＤの一覧が表示される。
【０１１５】
隠蔽元となるユーザ'Staff A'は、グループＩＤ選択部７１１の表示上で所望のユーザグループＩＤにマウスのポインタを合わせて左クリックすることにより、隠蔽先のユーザグループを選択することができる。選択されたユーザグループＩＤの表示はハイライト表示され、その選択がユーザに報知される。
【０１１６】
図示のレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を例に説明すると、グループＩＤ選択部７１１には、グループ別操作権限ファイル２１０を基に、操作権限に対応して割り当てたエンジニア'Engineer'，マネージャー'Manager'，スタッフ'Staff'，テクニシャン'Technician'，オペレータ'Operator'の５種類のユーザグループＩＤが表示される。そして、その中の、オペレータ'Operator'の表示がハイライト表示され、隠蔽先のユーザグループとしてオペレータ'Operator'が選択された状態に該当する。
【０１１７】
ユーザＩＤ選択部７１２は、隠蔽先のユーザグループのユーザを選択するための操作表示部である。ユーザＩＤ選択部７１２には、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象を閲覧可能なユーザのユーザＩＤの一覧が、ログインユーザ'Staff A'のユーザＩＤを取り除いて表示される。その表示に当たって、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、隠蔽対象を閲覧可能なユーザを、例えば、次のようにして取得する。
【０１１８】
レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、ステップＳ620で読み込んだレシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０の中に、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象を含むレシピ分類若しくはレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０があるか否かを確認する。確認の結果、隠蔽対象を含むレシピ分類若しくはレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０がない場合は、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報、若しくはその取り込んだ隠蔽対象を含むさらに広範な隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報は登録も作成もされておらず、隠蔽対象は全てのユーザグループのユーザに対して閲覧可能であると判断する。これにより、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、グループ別ユーザＩＤファイル２２０に登録されているユーザそれぞれのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを取得し、この中からログインユーザ'Staff A'のユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを取り除いて、レシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００のユーザＩＤ選択部７１２に表示するためのデフォルトのユーザ表示情報を作成する。その後、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、グループＩＤ選択部７１１により隠蔽先のユーザグループが選択されたならば、この作成したデフォルトのユーザ表示情報から選択されたユーザグループに対応するユーザのユーザＩＤを抽出し、ユーザＩＤ選択部７１２に表示するためユーザ表示情報をこの抽出したユーザＩＤに更新する。
【０１１９】
一方、確認の結果、隠蔽対象を含むレシピ分類若しくはレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０がある場合は、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、その隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている隠蔽ＩＤ情報の中に、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報、若しくはその取り込んだ隠蔽対象を含むさらに広範な隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報があるか否かを確認する。この確認により、該当する隠蔽ＩＤ情報がない場合は、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報、若しくはその取り込んだ隠蔽対象を含むさらに広範な隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報は登録も作成もされておらず、隠蔽対象は全てのユーザグループのユーザに対して閲覧可能であると判断する。これにより、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、グループ別ユーザＩＤファイル２２０に登録されているユーザそれぞれのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを取得し、この中からログインユーザ'Staff A'のユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを取り除いて、レシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００のユーザＩＤ選択部７１２に表示するためのユーザ表示情報を作成する。その後、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、グループＩＤ選択部７１１により隠蔽先のユーザグループが選択されたならば、この作成したユーザ表示情報から選択されたユーザグループに対応するユーザのユーザＩＤを抽出し、ユーザＩＤ選択部７１２に表示するためユーザ表示情報をこの抽出したユーザＩＤに更新する。
【０１２０】
これに対し、前述した確認により、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報、若しくはその取り込んだ隠蔽対象を含むさらに広範な隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報がある場合は、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、これら隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先としてのユーザのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象について隠蔽されているユーザ、すなわち隠蔽対象を閲覧することができないユーザのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤと判断する。そして、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、この隠蔽対象を閲覧することができないユーザのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを抽出し、次に述べるレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００の登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０に表示するためのユーザ表示情報を作成する。この登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０に表示するためのユーザ表示情報の作成とともに、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、この抽出した隠蔽対象を閲覧することができないユーザのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤと、グループ別ユーザＩＤファイル２２０に登録されているユーザグループのユーザとを対照し、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象を閲覧することができるユーザそれぞれのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを取得する。レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、この取得した、隠蔽対象を閲覧することができるユーザグループＩＤ及びユーザＩＤそれぞれの中からログインユーザ'Staff A'のユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを取り除いて、レシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００のユーザＩＤ選択部７１２に表示するためのユーザ表示情報を作成する。その後、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、グループＩＤ選択部７１１により隠蔽先のユーザグループが選択されたならば、この作成したユーザ表示情報から選択されたユーザグループに対応するユーザのユーザＩＤを抽出し、ユーザＩＤ選択部７１２に表示するためユーザ表示情報をこの抽出したユーザＩＤに更新する。
【０１２１】
そのため、情報表示部９０にレシピ情報表示画面５００に代えてレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を表示した当初は、未だグループＩＤ選択部７１１によるユーザグループＩＤの選択がなされていないので、本実施例では、ユーザＩＤ選択部７１２には、ユーザグループを問わず、隠蔽対象を閲覧可能なユーザのユーザＩＤが、ログインユーザ'Staff A'のユーザＩＤが取り除かれた上で、デフォルト表示される。
【０１２２】
図示のレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を例に説明すると、グループＩＤ選択部７１１では、ユーザグループのオペレータ'Operator'が選択されていることから、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象を閲覧することができるユーザとして、ユーザＩＤ選択部７１２には、ユーザＩＤが'Operator A'，'Operator B'，'Operator C'，'Operator D'，'Operator E'の各ユーザが該当することが表わされている。なお、ユーザＩＤ選択部７１２における'All'の表示は、隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先として、ユーザグループがオペレータ'Operator'のユーザ全員を選択するために付加されたものである。
【０１２３】
隠蔽元となるユーザ'Staff A'は、ユーザＩＤ選択部７１２の表示上で隠蔽先の所望のユーザＩＤにマウスのポインタを合わせて左クリックすることにより、隠蔽先のユーザを選択することができる。選択されたユーザＩＤの表示はハイライト表示され、その選択がユーザに報知される。また、ユーザ'Staff A'は、ユーザＩＤ選択部７１２の表示上で上述したユーザＩＤの選択操作を所望のユーザＩＤを変えて繰り返すことにより、同じユーザグループＩＤの複数のユーザを隠蔽先として選択することも可能になっている。
【０１２４】
図示のレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００では、ユーザグループのユーザ全員を選択するための'All'の表示がハイライト表示され、隠蔽対象の隠蔽先として、ユーザグループがオペレータ'Operator'のユーザ全員が選択された状態に該当する。
【０１２５】
また、例えば、図示のレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象がレシピ分類'P001'のレシピ'Recipe 19'のパラメータ項目の中のレシピ名称'Recipe 19'である場合のレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００とすると、ユーザＩＤ選択部７１２に表示されている、レシピ'Recipe 19'を閲覧することができるユーザ'Operator A'，'Operator B'，'Operator C'，'Operator D'，'Operator E'のユーザそれぞれの中には、レシピ'Recipe 19'のパラメータ項目の中の全てを閲覧することができるユーザだけではなく、レシピ名称'Recipe 19'以外のパラメータ項目の一部、例えばフィルム厚'2222'について閲覧することができないユーザも含まれることになる。
【０１２６】
登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０は、ユーザグループを問わず、先にステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象についての現在の隠蔽先の状況を確認するための確認表示部である。登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０には、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６が情報隠蔽ユーザ登録画面７００のユーザＩＤ選択部７１２に表示するためのユーザ表示情報を作成する際に併せて取得した、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０に表示するためのユーザ表示情報を基に、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象を閲覧することができないユーザのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤが表示される。すなわち、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象について、その取り込んだ隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報、又はその取り込んだ隠蔽対象を含む、さらに広範な隠蔽対象に対応した隠蔽ＩＤ情報に、隠蔽先として既に登録されているユーザのユーザＩＤの一覧がリスト表示される。したがって、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０には、隠蔽ＩＤ選択部７1０による隠蔽先のユーザグループ及びユーザの選択に際して、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象に係り、既に隠蔽ＩＤ情報が作成又は登録されている、現在の隠蔽先のユーザグループ及びユーザの状況が報知されることになる。隠蔽元となるログインユーザ'Staff A'は、この登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０の表示を参照することで、レシピ情報表示画面５００において選択した隠蔽対象に係り、現在の隠蔽先の状況を確認することができる。
【０１２７】
また、本実施例では、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０は、レシピ情報表示画面５００上で選択した隠蔽対象に係り、その表示されているユーザを隠蔽先から外し、閲覧可能に隠蔽ＩＤ情報を編集する際の、対象ユーザの選択部としても使用される。
【０１２８】
この場合、隠蔽元となるユーザ'Staff A'は、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０の表示上で隠蔽先になっている所望のユーザグループのユーザＩＤにマウスのポインタを合わせて左クリックすることにより、隠蔽対象について閲覧可能にするユーザを選択することができる。選択されたユーザＩＤの表示はハイライト表示され、その選択がユーザに報知される。
【０１２９】
なお、本実施例では、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０との間でユーザの重複表示を防止し、ユーザインタフェースとしての取り扱い性の観点から、隠蔽ＩＤ選択部７1０のユーザＩＤ選択部７１２には、既に隠蔽対象について隠蔽済のユーザのユーザＩＤは表示されない構成としたが、グループＩＤ選択部７１１により選択されたユーザグループについて、グループ別ユーザＩＤファイル２２０の抽出結果をそのままに、グループ構成員全員のユーザＩＤをそれぞれ表示し、隠蔽先のユーザを選択する構成とすることも排除するものではない。
【０１３０】
登録実行ボタン７３０は、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６に、ステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象の選択情報に係り、上述した隠蔽ＩＤ選択部７１０のグループＩＤ選択部７１１及びユーザＩＤ選択部７１２で選択したユーザグループのユーザを隠蔽先とした、隠蔽ＩＤ情報の作成を指示するためのＧＵＩである。
【０１３１】
ユーザが登録実行ボタン７３０にマウスのポインタを合わせて左クリックすることにより、入力処理部８０から隠蔽ＩＤ情報の作成指示を取り込むと、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、隠蔽対象の選択情報に係り、隠蔽ＩＤ選択部７１０のグループＩＤ選択部７１１及びユーザＩＤ選択部７１２で選択されたユーザグループのユーザを隠蔽先する隠蔽ＩＤ情報を作成する。そして、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、この作成した隠蔽ＩＤ情報を基にレシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０を編集する。
【０１３２】
レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、隠蔽情報テーブル３３０の編集に当たり、該当の隠蔽対象に対応したレシピ分類若しくはレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が既に隠蔽情報テーブル３３０に格納されている否か、さらに隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が既に隠蔽情報テーブル３３０に格納されている場合には、該当の隠蔽対象についての隠蔽ＩＤ情報が既に隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている否か応じて、例えば、次のようにして編集する。
【０１３３】
レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、該当の隠蔽対象に対応したレシピ分類若しくはレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が未だ隠蔽情報テーブル３３０に格納されていない場合は、隠蔽情報テーブル３３０に、該当の隠蔽対象に対応したレシピ分類若しくはレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０を新たに追加し、この隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に、該当の隠蔽対象について作成した隠蔽ＩＤ情報を格納する。
【０１３４】
これに対し、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、該当の隠蔽対象に対応したレシピ分類若しくはレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が既に格納されており、その隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に該当の隠蔽対象についての隠蔽ＩＤ情報がない場合は、該当の隠蔽対象について作成した隠蔽ＩＤ情報をそのまま該当の隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納する。一方、該当の隠蔽対象に対応したレシピ分類若しくはレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に該当の隠蔽対象についての隠蔽ＩＤ情報がある場合には、その隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先に、該当の隠蔽対象について作成した隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先のユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを追加する。
【０１３５】
そのため、隠蔽情報テーブル３３０に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及び隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている隠蔽ＩＤ情報は、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及び隠蔽ＩＤ情報に対して、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６によるレシピ隠蔽情報の作成進行が反映されたものになる。この編集されたレシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０を基に、レシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００の表示内容も、レシピ情報表示機能部１３０によって、隠蔽情報が作成されたユーザのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤが隠蔽ＩＤ選択部７１０のグループＩＤ選択部７１１及びユーザＩＤ選択部７１２から表示削除され、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０に表示追加され、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６によるレシピ隠蔽情報の作成進行が反映されたものになる。レシピ情報表示機能部１３０は、この表示において、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０への追加表示の際は、その表示色や表示形態を変える等して、既に隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に隠蔽ＩＤ情報が登録されているユーザグループのユーザと区別可能にハイライト表示する。
【０１３６】
個別削除ボタン７４０は、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０に表示されている隠蔽先のユーザグループのユーザを特定して、隠蔽先から外す隠蔽情報作成処理をレシピ隠蔽情報作成機能部１１６に指示するためのＧＵＩである。
【０１３７】
ユーザが個別削除ボタン７４０にマウスのポインタを合わせて左クリックすることにより、入力処理部８０から隠蔽ＩＤ情報の個別削除指示を取り込むと、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、隠蔽対象の選択情報に係り、予め登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０上で選択されたユーザグループのユーザを、その隠蔽対象についての隠蔽情報の隠蔽先から削除した隠蔽ＩＤ情報に変更すべく、レシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０を編集し、該当の隠蔽対象の隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先からユーザのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを削除する。
【０１３８】
全削除ボタン７５０は、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０に表示されている隠蔽先のユーザグループのユーザ全てを隠蔽先から外す隠蔽情報作成処理をレシピ隠蔽情報作成機能部１１６に指示するためのＧＵＩである。
【０１３９】
ユーザが全削除ボタン７５０にマウスのポインタを合わせて左クリックすることにより、入力処理部８０から隠蔽ＩＤ情報の全削除指示を取り込むと、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、隠蔽対象の選択情報に係り、予め登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０上でのユーザグループのユーザの選択なしに、登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０上の全てのユーザグループのユーザを、その隠蔽対象についての隠蔽情報の隠蔽先から削除した隠蔽ＩＤ情報に変更すべく、レシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０を編集し、該当の隠蔽対象の隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先からユーザのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤを削除する。
【０１４０】
これら個別削除ボタン７４０及び全削除ボタン７５０の操作に基づく隠蔽対象についての隠蔽先の削除に伴い、レシピ情報表示機能部１３０は、この編集されたレシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０を基に、この隠蔽先から削除したユーザのユーザグループＩＤ及びユーザＩＤの表示を登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部７２０から表示削除し、隠蔽ＩＤ選択部７１０のグループＩＤ選択部７１１及びユーザＩＤ選択部７１２に表示追加して、レシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００の表示内容を、この隠蔽先の削除に対応させて変更する。
【０１４１】
また、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、これら個別削除ボタン７４０及び全削除ボタン７５０の操作に基づく隠蔽情報テーブル３３０の編集で、隠蔽対象に対応する隠蔽ＩＤ情報から隠蔽先が無くなり、全てのユーザがこの隠蔽対象について閲覧可能になる場合には、その隠蔽対象に対応する隠蔽ＩＤ情報を隠蔽情報テーブル３３０から削除する。さらに、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、この隠蔽対象に対応する隠蔽ＩＤ情報の削除によって、隠蔽対象に対応したレシピ分類若しくはレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０から隠蔽ＩＤ情報が無くなり、全てのユーザがこのレシピ分類若しくはレシピについて閲覧可能になる場合には、この隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０を隠蔽情報テーブル３３０から削除する。
【０１４２】
承認ボタン７６０は、隠蔽先のユーザがログイン認証した後のレシピ情報表示画面５００の表示に反映させるため、隠蔽元のログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに係り、上述のようにしてレシピ隠蔽情報作成機能部１１６によって編集されたレシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０の内容を、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４へ登録・保存することをレシピ隠蔽情報作成機能部１１６に指示するためのＧＵＩである。
【０１４３】
取消ボタン７７０は、隠蔽元のログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに係り、上述のようにレシピ隠蔽情報作成機能部１１６によって編集されたレシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０の内容を、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４へ登録・保存せず、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６にレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を用いたレシピ隠蔽情報作成処理の強制終了を指示するためのＧＵＩである。
【０１４４】
図６に示すように、ユーザが承認ボタン７６０にマウスのポインタを合わせて左クリックすることにより、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６が入力処理部８０から隠蔽ＩＤ情報の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４への登録・保存指示を取り込むと（Ｓ650,YES）、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、隠蔽先のユーザがログイン認証した後のレシピ情報表示画面５００の表示に反映させるため、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されているログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに係り、その隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及びこの隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている隠蔽ＩＤ情報を、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６によって編集されたレシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及びこの隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている隠蔽ＩＤ情報に書き換え、登録・保存する（Ｓ660）。
【０１４５】
レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、レシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及び隠蔽ＩＤ情報を、隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納して登録・保存するに当たり、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに係り、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及び隠蔽ＩＤ情報の内容と、レシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及び隠蔽ＩＤ情報とを照合することによって行われる。例えば、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに係り、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されていない、レシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０又は隠蔽ＩＤ情報については、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に追加される。同様に、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに係り、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されてはいても、レシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０に格納されていない隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０又は隠蔽ＩＤ情報については、その削除が行われる。また、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納され、レシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０にも格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０又は隠蔽ＩＤ情報については、隠蔽情報テーブル３３０に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０又は隠蔽ＩＤ情報の内容に置き換えられる。これにより、隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に登録・保存されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及び隠蔽ＩＤ情報は、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピについては、レシピ表示情報３００の隠蔽情報テーブル３３０に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及び隠蔽ＩＤ情報に変更されることになる。
【０１４６】
これに対し、ユーザが取消ボタン７７０にマウスのポインタを合わせて左クリックすることにより、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６が入力処理部８０からレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を用いたレシピ隠蔽情報作成処理の強制終了を取り込むと（Ｓ650,NO）、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに係り、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及び隠蔽ＩＤ情報の上述したような変更を行わない。
【０１４７】
承認ボタン７６０又は取消ボタン７７０の操作により、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６によるレシピ隠蔽情報作成処理がこのようにして終了すると、レシピ情報編集機能部１１０は、レシピ情報表示画面５００等の閲覧設定画面を作成する際にレシピ情報表示機能部１３０が参照するレシピ表示情報３００を、表示情報作成機能部１２０に作成指示する（Ｓ670）。その上で、レシピ情報編集機能部１１０は、上述したレシピ隠蔽情報作成機能部１１６によるレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を用いたレシピ隠蔽情報作成処理を含む、ステップＳ521〜Ｓ523によって選択した作業対象に対しての処理を終了させる。
【０１４８】
これにより、このレシピ表示情報３００の作成指示を受けた表示情報作成機能部１２０は、記憶部７０に記憶されている各ファイル２１０，２２０，２３０，２４０それぞれの記憶情報を基に、レシピ情報表示機能部１３０がレシピ情報表示画面５００を作成する際に参照するレシピ表示情報３００を表示情報作成機能部１２０が作成し直すことになる。
【０１４９】
したがって、ステップＳ640での承認ボタン７６０の操作に基づいて、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６が作成した隠蔽ＩＤ情報を記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４の隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に登録・編集した場合は、表示情報作成機能部１２０が作成し直したレシピ表示情報３００は、前述のステップＳ630によりレシピ情報隠蔽ユーザ登録画面７００を用いて作成した隠蔽ＩＤ情報を反映させたものになる（Ｓ670）。一方、ステップＳ640での取消ボタン７７０の操作に基づいて、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６が作成した隠蔽ＩＤ情報を記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４の隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に登録・編集しなかった場合は、表示情報作成機能部１２０が作成し直したレシピ表示情報３００は、前述のステップＳ610で取り込んだ隠蔽対象の選択情報をユーザが設定した際の、レシピ情報表示画面５００の基となったレシピ表示情報３００と変わらない。
【０１５０】
これにより、情報表示部９０には、表示情報作成機能部１２０が作成し直したレシピ表示情報３００を基に、図５に示したレシピ情報表示画面５００が、ユーザが検査作業に用いるレシピを選択設定するためのユーザインタフェースとして、レシピ情報表示機能部１３０によって再び表示されることになる。この結果、ユーザは、例えば、別の隠蔽対象のレシピ分類又はレシピを選択してレシピ隠蔽情報作成処理を行うことも含め、レシピの選択の確定を行って検査作業やレシピ情報編集を進める等の種々の作業処理を行い得る。
【０１５１】
次に、ログインユーザがユーザ認証された際のレシピ表示情報３００の作成指示、又は図６に示したレシピ隠蔽情報作成処理のステップＳ670で述べたレシピ表示情報３００の作成指示に基づき、表示情報作成機能部１２０が行う表示情報作成処理について、図８に基づいて説明する。この場合、表示情報作成機能部１２０の表示情報作成処理によって作成されるレシピ表示情報３００は、図２に示した分類管理テーブル３１０、分類名称管理テーブル３２０、及び隠蔽情報テーブル３３０に該当する。レシピ表示情報３００は、レシピ情報表示機能部１３０が閲覧設定画面としてのレシピ情報表示画面５００等の閲覧設定画面を生成する際に参照する情報である。
【０１５２】
図８は、表示情報作成機能部による表示情報作成処理の一実施例のフローチャートである。
【０１５３】
表示情報作成機能部１２０は、レシピ表示情報３００の作成指示を取り込むと、記憶部７０のレシピ格納フォルダ７３に登録されているレシピ分類フォルダ、及びこのレシピ分類フォルダに対応させて格納されているレシピファイル２３０を、レシピ分類フォルダに対応付けて階層関係を有して系統的に管理しているレシピの系統順に従って、レシピ格納フォルダ７３から１つずつ読み込む（Ｓ710）。表示情報作成機能部１２０は、このレシピ分類フォルダ及びレシピファイル２３０の読み込み結果に基づいて、レシピ格納フォルダ７３に登録されている全てのレシピ分類フォルダ、及びこれらレシピ分類フォルダに対応して格納されている全てのレシピファイル２３０について、レシピ格納フォルダ７３からの読み込みが終了したか否か、すなわち、レシピ格納フォルダ７３に登録されている全てのレシピ分類フォルダ及びレシピファイル２３０について、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに係るレシピ表示情報３００の作成が済んだか否かについて確認する（Ｓ720）。
【０１５４】
表示情報作成機能部１２０は、レシピ格納フォルダ７３に登録されている全てのレシピ分類フォルダ及びレシピファイル２３０について、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに係るレシピ表示情報３００の作成が済んでおり、ステップＳ710で新たなレシピ分類フォルダ及びレシピファイル２３０を読み込めない場合は（Ｓ720,NO）、ログインユーザに対して、レシピ情報表示機能部１３０がレシピ情報表示画面５００等の閲覧設定画面を生成する際に参照するレシピ表示情報３００についての表示情報作成処理を終了する。
【０１５５】
一方、レシピ格納フォルダ７３に登録されている全てのレシピ分類フォルダ及びレシピファイル２３０について、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに係るレシピ表示情報３００の作成が済んでおらず、未だログインユーザが閲覧可能か否かの判断がなされていないレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０が残っており、ステップＳ710でそのレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０を読み込んだ場合は（Ｓ720,YES）、その読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０について、次のようにして、ログインユーザに対してのレシピ分類又はレシピのレシピ表示情報を作成する。
【０１５６】
表示情報作成機能部１２０は、まず、ステップＳ710で読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０についての表示隠蔽フラグを一旦リセットして初期化する（Ｓ730）。この場合、表示隠蔽フラグは、ステップＳ710で読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０についてログインユーザにそのまま閲覧させるか否かを示すもので、リセット状態、すなわちフラグの値が０のときは、ログインユーザにそのまま閲覧させることを指示するものである。
【０１５７】
その上で、表示情報作成機能部１２０は、隠蔽判断機能部１２１が、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に登録されている隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０の中に、ステップＳ710で読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０に対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０があるか否かを確認する（Ｓ740）。
【０１５８】
隠蔽判断機能部１２１は、この確認によって対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０がある場合には、この隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が、ログインユーザを隠蔽先に含む隠蔽ＩＤ情報を格納している隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０であるか否かの確認を行う。
【０１５９】
その確認のため、図示の例では、隠蔽判断機能部１２１は、この隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている、レシピ分類、又はレシピのレシピ名称，被検査体のフィルム種別，被検査体のフィルム厚さ，測定感度，…といったパラメータ項目に対応した隠蔽ＩＤ情報それぞれを順次読み込み（Ｓ750）、その読み込んだ隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先にログインユーザが含まれているか否かを確認する（Ｓ752〜758）。
【０１６０】
隠蔽判断機能部１２１は、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている全ての隠蔽ＩＤ情報について確認が済んだか否かを確認し（Ｓ752）、ステップＳ750で新たな隠蔽ＩＤ情報を読み込めない場合は（Ｓ752,NO）、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０に格納されている隠蔽ＩＤ情報それぞれの隠蔽先についてのログインユーザの確認処理を終了する。これに対し、隠蔽判断機能部１２１は、隠蔽ＩＤ情報を読み込んだ場合は（Ｓ752,YES）、図２に示したような隠蔽ＩＤ情報２４１の隠蔽先のユーザのユーザグループＩＤ２４２及びユーザＩＤ２４３を取り出し（Ｓ754）、その中にログインユーザのグループＩＤ及びユーザＩＤが含まれている否かを確認する（Ｓ756）。
【０１６１】
そして、隠蔽判断機能部１２１は、隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先の中にログインユーザが含まれている場合には（Ｓ756, YES）、ステップＳ710で読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０についての表示隠蔽フラグをセットし、フラグの値を１にして（Ｓ758）、ログインユーザの確認処理を終了する一方、含まれていない場合には（Ｓ756）、表示隠蔽フラグはそのままにして、次の隠蔽ＩＤ情報の読み込み（Ｓ750）を行う。
【０１６２】
このようにして、隠蔽判断機能部１２１が、ステップＳ710で読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０について、隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及びそれに格納されている隠蔽ＩＤ情報の確認を行った後（Ｓ730〜758）、表示情報作成機能部１２０は、表示隠蔽フラグのセット又はリセット状態を確認し（Ｓ760）、このレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０に係るレシピ表示情報の作成を行う（Ｓ770，Ｓ780）。
【０１６３】
レシピ表示情報３００の作成は、表示隠蔽フラグがリセット状態すなわち０の場合は、ステップＳ710で読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０については、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４にこのレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０に対応する隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０は格納されておらず、又は隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が格納されてはいてもその中にはログインユーザを隠蔽先とする隠蔽ＩＤ情報は格納されていないので、表示情報作成機能部１２０は、レシピ分類フォルダのレシピ分類、又はレシピファイル２３０のレシピ名称，被検査体のフィルム種別，被検査体のフィルム厚さ，測定感度，…等といったパラメータ項目それぞれを、レシピ表示情報３００の分類管理テーブル３１０又は分類名称管理テーブル３２０に格納して、ステップＳ710で読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０についてのレシピ表示情報３００の作成を行う（Ｓ770）。
【０１６４】
これに対して、表示隠蔽フラグがセット状態すなわち１の場合には、ステップＳ710で読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０については、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４にログインユーザを隠蔽先に含む隠蔽ＩＤ情報を格納した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が格納されていることから、その隠蔽ＩＤ情報に対応させて、レシピ分類フォルダのレシピ分類又はレシピファイル２３０のパラメータ項目それぞれを、レシピ表示情報３００の分類管理テーブル３１０又は分類名称管理テーブル３２０に格納する。
【０１６５】
本実施例では、レシピ分類フォルダのレシピ分類、又はレシピファイル２３０のパラメータ項目の中のレシピ名称に対応した隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先にログインユーザが含まれている場合には、表示情報作成機能部１２０は、レシピ分類フォルダのレシピ分類、又はレシピファイル２３０のレシピ名称，被検査体のフィルム種別，被検査体のフィルム厚さ，測定感度，…等といったパラメータ項目それぞれを、レシピ表示情報３００の分類管理テーブル３１０又は分類名称管理テーブル３２０に格納せず、ステップＳ710で読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０についてのレシピ表示情報の作成を行わない（Ｓ780）。一方、ステップＳ710で読み込んだのがレシピファイル２３０であり、被検査体のフィルム種別，被検査体のフィルム厚さ，測定感度，…等といったレシピ名称以外のパラメータ項目に対応した隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先にのみログインユーザが含まれている場合には、そのパラメータ項目の設定内容についてだけ閲覧できないように編集を施して、パラメータ項目それぞれを分類名称管理テーブル３２０に格納して、ステップＳ710で読み込んだレシピ分類フォルダ又はレシピファイル２３０についてのレシピ表示情報の作成を行う（Ｓ780）。
【０１６６】
また、図８では図示省略したが、表示情報作成機能部１２０は、上述したレシピ表示情報３００の作成に係り、ステップＳ740で隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０を確認する毎、その隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０がパラメータ項目の中のレシピ名称に対応した隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先にログインユーザが含まれていない隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０である場合には、その隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及びそれに格納されている隠蔽ＩＤ情報を、隠蔽情報テーブル３３０に格納する。その際、ログインユーザが隠蔽先に含まれている隠蔽ＩＤ情報については、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６による隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先の編集を行えない処置を施して格納する。これにより、隠蔽情報テーブル３３０には、ログインユーザが閲覧可能なレシピ分類及びレシピに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０及びそれに格納されている隠蔽ＩＤ情報が、ログインユーザが閲覧することができないパラメータ項目を除いて編集可能に格納されることになる。
【０１６７】
この結果、表示情報作成機能部１２０が生成した、分類管理テーブル３１０，分類名称管理テーブル３２０，隠蔽情報テーブル３３０を有する表示情報３００を基にして、レシピ情報表示機能部１３０は、図５に示したレシピ情報表示画面５００等の閲覧設定画面を生成する一方、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６は、ユーザ自身が閲覧可能なレシピ分類又はレシピの設定内容について他のユーザに対して隠蔽し又は隠蔽解除するための図６に示したレシピ隠蔽情報作成処理を行い得る。
【０１６８】
図９，図１０，図１１は、本実施の形態の表面検査装置において、ログインユーザがユーザ認証された後、情報表示部に閲覧設定画面として表示されるレシピ情報表示画面の表示態様の実施例を示したものである。
【０１６９】
なお、説明に当たっては、例えば、スタッフ'Staff'操作権限を有するユーザＩＤが'Staff B'のユーザが、自身のユーザグループＩＤ'Staff'及びユーザＩＤ'Staff B'を使用して表面検査装置１にログインした状況を想定する。その際、同じスタッフ'Staff'操作権限を有するユーザＩＤが'Staff A'のユーザが、レシピ隠蔽情報作成機能部１１６によるレシピ隠蔽情報作成処理を使用して、予めユーザ'Staff A'が閲覧可能なレシピファイル２３０に係り、ユーザ'Staff B'を隠蔽先とする隠蔽ＩＤ情報を生成し、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に格納してある状況を想定する。
【０１７０】
図９は、ログイン認証後、情報表示部に表示される閲覧設定画面の一実施例である。
本実施例は、予め、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４にレシピ名称'Recipe 19'のレシピファイル２３０に対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が格納され、その隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０には、ユーザ'Staff A'がレシピ隠蔽情報作成機能部１１６によって作成した、パラメータ項目の中のレシピ名称'Recipe 19'に対応したユーザ'Staff B'を隠蔽先とする隠蔽ＩＤ情報が格納されている状況での、ユーザ'Staff B'が表面検査装置１にログインした場合の閲覧設定画面５００に該当する。
【０１７１】
この場合、ユーザ'Staff B'がユーザ認証された際のレシピ表示情報３００の作成指示により、表示情報作成機能部１２０は、図８に示した表示情報作成処理の実行によって、レシピ名称'Recipe 19'のレシピファイル２３０については、レシピ名称，被検査体のフィルム種別，被検査体のフィルム厚さ，測定感度，…等といったパラメータ項目全てを、レシピ表示情報３００の分類名称管理テーブル３２０に格納していないレシピ表示情報３００を作成する。
【０１７２】
そのため、このレシピ表示情報３００を基にしてレシピ情報表示機能部１３０により作成されるユーザ'Staff B'の閲覧設定画面５００では、ユーザ'Staff B'がレシピ分類表示部５１０でレシピ名称'Recipe 19'のレシピファイル２３０が含まれるレシピ分類'P001'を選択しても、レシピパラメータ表示部５２０には、レシピ名称'Recipe 19'のレシピファイル２３０のパラメータ項目は全て隠蔽され、何も表示されない。また、レシピ検索表示部５３０にも、ユーザ'Staff B'が検索閲覧可能なレシピファイル２３０としてレシピ名称'Recipe 19'は表示されない。
【０１７３】
図１０は、ログイン認証後、情報表示部に表示される閲覧設定画面の別の実施例である。
【０１７４】
本実施例は、予め、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４にレシピ名称'Recipe 19'のレシピファイル２３０に対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が格納され、その隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０には、ユーザ'Staff A'がレシピ隠蔽情報作成機能部１１６によって作成した、パラメータ項目の中の被検査体のフィルム厚さ'Film thickness'に対応したユーザ'Staff B'を隠蔽先とする隠蔽ＩＤ情報が格納されている状況での、ユーザ'Staff B'が表面検査装置１にログインした場合の閲覧設定画面５００に該当する。
【０１７５】
この場合、ユーザ'Staff B'がユーザ認証された際のレシピ表示情報３００の作成指示により、表示情報作成機能部１２０は、図８に示した表示情報作成処理の実行によって、レシピ名称'Recipe 19'のレシピファイル２３０については、レシピ名称'Process name'，被検査体のフィルム種別'Film kind'，被検査体のフィルム厚さ'Film thickness'，測定感度'Measurement range'，…等といったパラメータ項目の中、被検査体のフィルム厚さ'Film thickness'についてはレシピ表示情報３００の分類名称管理テーブル３２０にその設定内容を格納していないレシピ表示情報３００を作成する。
【０１７６】
そのため、このレシピ表示情報３００を基にしてレシピ情報表示機能部１３０により作成されるユーザ'Staff B'の閲覧設定画面５００では、ユーザ'Staff B'がレシピ分類表示部５１０でレシピ名称'Recipe 19'のレシピファイル２３０が含まれるレシピ分類'P001'を選択しても、レシピパラメータ表示部５２０には、レシピ名称'Recipe 19'のパラメータ項目の中の被検査体のフィルム厚さ'Film thickness'については、その設定内容が隠蔽され、マスク表示される。
【０１７７】
図１１は、ログイン認証後、情報表示部に表示される閲覧設定画面のさらに別の実施例である。
【０１７８】
本実施例は、予め、記憶部７０の隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ７４に、分類名称'Production'のレシピ分類の階層下の、分類名称'Ｐ001'のレシピ分類のレシピ分類フォルダに対応した隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０が格納され、その隠蔽ＩＤ情報ファイル２４０には、ユーザ'Staff A'がレシピ隠蔽情報作成機能部１１６によって作成した、分類名称'Ｐ001'のレシピ分類に対応したユーザ'Staff B'を隠蔽先とする隠蔽ＩＤ情報が格納されている状況での、ユーザ'Staff B'が表面検査装置１にログインした場合の閲覧設定画面５００に該当する。
【０１７９】
この場合、ユーザ'Staff B'がユーザ認証された際のレシピ表示情報３００の作成指示により、表示情報作成機能部１２０は、図８に示した表示情報作成処理の実行によって、分類名称'Ｐ001'のレシピ分類とその階層下の分類名称'Ｐ001'，'Device 1'，'Device 2'，'Layer 1'，'Layer 2'，'Layer 3'，'Layer 4'のレシピ分類とについてはレシピ表示情報３００の分類管理テーブル３１０に格納せず、これらレシピ分類に対応させられているレシピ名称'Recipe 18'，'Recipe 19'，'Recipe 20'，'Recipe 21'，'Recipe 22'のレシピファイル２３０それぞれについては、レシピ名称，被検査体のフィルム種別，被検査体のフィルム厚さ，測定感度，…等といったパラメータ項目全てを、レシピ表示情報３００の分類名称管理テーブル３２０に格納していないレシピ表示情報３００を作成する。
【０１８０】
そのため、このレシピ表示情報３００を基にしてレシピ情報表示機能部１３０により作成されるユーザ'Staff B'の閲覧設定画面５００では、レシピ分類表示部５１０において、分類名称'Production'の階層下のレシピ分類の分類名称'Ｐ001'，'Device 1'，'Device 2'，'Layer 1'，'Layer 2'，'Layer 3'，'Layer 4'が全て隠蔽され、何も表示されない。また、レシピ検索表示部５３０にも、ユーザ'Staff B'が検索閲覧可能なレシピファイル２３０として、これらレシピ分類に分類されたレシピファイル２３０それぞれのレシピ名称'Recipe 18'，'Recipe 19'，'Recipe 20'，'Recipe 21'，'Recipe 22'は表示されない。
【０１８１】
このように、本実施の形態の表面検査装置１によれば、ユーザ'Staff A'は、閲覧設定画面５００で閲覧可能なレシピ分類やレシピの設定内容について、表面検査装置１を共用する他の関係がないユーザ'Staff B'に対して隠蔽しておくことができ、レシピに関する機密情報の漏洩を防止でき、セキュリティを向上させることができる。また、隠蔽されたユーザ'Staff B'にとっては、例え権限を有していても、本来関係がないレシピが閲覧設定画面５００上で選択対象として表示されなくなるので、このようなレシピを誤って選択してしまうのを防止できるようになり、所望のレシピの選択を容易かつ的確に行い得るようになる。
【０１８２】
また、ユーザ'Engineer A'〜'Engineer F'，'Manager A'〜'Manager C'，'Staff A'〜'Staff D'，'Technician A'〜'Technician C'，'Operator A'〜'Operator E'それぞれの操作権限'Engineer'，'Manager'，'Staff'，'Technician'，'Operator'を設定可能な装置管理者（Administrator；アドミニストレータ）でなくとも、ユーザ（図示の実施の形態の場合は、'Engineer A'〜'Engineer F'及び'Staff A'〜'Staff D'）は、それぞれ自身がその所在を感得しているレシピ分類又はレシピについて、自ら（例えば、ユーザ'Staff A'）が隠蔽元になって隠蔽先の他のユーザ（例えば、'Staff B'，…）に対して隠蔽しておくだけで、装置管理者によって、ユーザそれぞれ（例えば、ユーザ'Staff A'及び'Staff B'それぞれ）に、操作権限を設定するのと実質的に同等な、強力な保護効果を取得することができる。
【０１８３】
さらに、関係先へのデモンストレーション時には、ユーザ自身の本来のユーザ設定'Staff A'を用いてではなく、その関係先に対応したユーザ設定（例えば、'Customer A'）を用いてデモンストレーションを行うことによって、デモンストレーション実施時に、デモンストレーション先'Customer A'に対して、本来のユーザ設定'Staff A'に含まれている他社メーカ用'Customer B'のレシピを隠しておくこともできる。
【０１８４】
本実施の形態に係る表面検査装置１は以上述べたように構成されるが、例えば、閲覧設定画面５００等の表示態様やその操作態様等の具体的構成については、種々の変形例が可能である。
【０１８５】
すなわち、本発明は、検査装置を共有するユーザ各自が、ユーザ自身の閲覧設定画面において閲覧可能なレシピ分類又はレシピを、他のユーザの閲覧設定画面において隠蔽しておくことができる検査装置であれば、その具体的な構成及び手順は上述した実施の形態の構成及び手順に限定されるものではない。
【符号の説明】
【０１８６】
１ 表面検査装置、 １０ ウエハ、 ２０ ウエハ載置部、
２１ ウエハチャック、 ２２ 回転ステージ、 ２３ 直進ステージ、
２４ ベース、 ３０ 照明光学系、 ３１ レーザ光源、
３２ 照明光偏光フィルタ、 ３３，３４ 反射ミラー、
３５ 照明角度切換ミラー、 ４０ 検出光学系、 ４１〜４４ 検出器、
４５ Ａ／Ｄ変換器、 ４６ データ処理部、 ５０ 作動制御部、
６０ 全体制御部、 ７０ 記憶部、 ７１ グループ別操作権限格納フォルダ、
７２ グループ別ユーザＩＤ格納フォルダ、 ７３ レシピ格納フォルダ、
７４ 隠蔽ＩＤ情報格納フォルダ、 ８０ 入力処理部、 ９０ 情報表示部、
１００ ＰＣ装置、 １０１ レシピ制御部、 １１０ レシピ情報編集機能部、
１１１ レシピファイル登録・編集機能部、 １１２ レシピファイル検索機能部、
１１３ レシピファイルコピー機能部、 １１４ レシピファイル削除機能部、
１１５ レシピファイル名称変更機能部、 １１６ レシピ隠蔽情報作成機能部、
１２０ 表示情報作成機能部、 １２１ 隠蔽判断機能部、
１３０ レシピ情報表示機能部、 １３１ 分類表示機能部、
１３２ リスト表示機能部、 ２１０ グループ別操作権限ファイル、
２２０ グループ別ユーザＩＤファイル、 ２３０ レシピファイル、
２４０ 隠蔽ＩＤ情報ファイル、 ２４１ 隠蔽ＩＤ情報、
２４２ 隠蔽先ユーザグループＩＤ、 ２４３ 隠蔽先ユーザＩＤ、
３００ レシピ表示情報、 ３１０ 分類管理テーブル、
３２０ 分類名称管理テーブル、 ３３０ 隠蔽情報テーブル
５００ レシピ情報表示画面、 ５１０ レシピ分類表示部、
５２０ レシピパラメータ表示部、 ５２１ レシピ名表示部、
５２２ フィルム種別表示部、 ５２３ フィルム厚表示部、
５２４ 測定感度表示部、 ５３０ レシピ検索表示部、 ５４１ 選択ボタン、
５４２ 終了ボタン、 ５６０ ポップアップメニュー、
７００ レシピ情報隠蔽ユーザ登録画面、 ７１０ 隠蔽ＩＤ選択部、
７１１ グループＩＤ選択部、 ７１２ ユーザＩＤ選択部、
７２０ 登録済み隠蔽ユーザＩＤ表示部、 ７３０ 登録実行ボタン、
７４０ 個別削除ボタン、 ７５０ 取消ボタン、 ７６０ 承認ボタン、
７７０ 取消ボタン、
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ユーザ認証により表示部に表示された閲覧設定画面上の閲覧可能なレシピの中から、ユーザにより選択された所望のレシピの設定内容に従って、検査光を被検査体の表面に照射し、被検査体の表面で発生した反射光又は散乱光を検出することによって、被検査体の表面に存在する異物を検出する検査装置であって、
検査に用いられるレシピが格納されているレシピ格納部と、
前記閲覧設定画面上の閲覧可能なレシピの中からユーザにより選択された所望のレシピに係り、装置を共有するユーザの中からユーザにより選択された所望の他のユーザに対して当該選択されたレシピの設定内容の一部又は全部を隠蔽するため、当該他のユーザを隠蔽先に含む隠蔽ＩＤ情報を作成するレシピ隠蔽情報作成機能部と、
装置を共有するユーザそれぞれにより該レシピ隠蔽情報作成機能部をもって作成された隠蔽ＩＤ情報が格納される隠蔽ＩＤ情報記憶部と、
前記閲覧設定画面上で前記レシピ格納部に格納されているレシピを閲覧可能に示すに際し、該隠蔽ＩＤ情報記憶部に隠蔽ＩＤ情報が格納されているレシピについては、該隠蔽ＩＤ情報記憶部に格納されている隠蔽ＩＤ情報それぞれの隠蔽先に当該ユーザ認証されたユーザが含まれているか否かに応じて、当該隠蔽ＩＤ情報に対応するレシピの設定内容の一部又は全部を隠蔽又は閲覧させるレシピ表示情報を作成する表示情報作成機能部と、
該表示情報作成機能部により作成されたレシピ表示情報に基づいて、前記ユーザ認証されたユーザが選択可能なレシピを示した前記閲覧設定画面を前記表示部に表示するレシピ情報表示機能部と
を備えていることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記レシピの設定内容は、レシピ名称，被検査体のフィルム種別（形成膜の種別），被検査体のフィルム厚さ（形成膜の膜厚），測定感度といったパラメータ項目であることを特徴とする請求項１記載の検査装置。
【請求項３】
ユーザ認証により表示部に表示された閲覧設定画面上の閲覧可能なレシピの中から、設定内容の一部又は全部を隠蔽するレシピを選択する隠蔽対象選択ステップ、
装置を共有するユーザの中から隠蔽先となる所望の他のユーザを選択する隠蔽先選択ステップ、
前記隠蔽対象選択ステップにより選択されたレシピの設定内容の一部又は全部を、前記隠蔽先選択ステップにより選択された他のユーザが前記閲覧設定画面上で閲覧できないように、当該レシピの設定内容の一部又は全部について当該他のユーザを隠蔽先に含む隠蔽ＩＤ情報を作成するレシピ隠蔽情報作成ステップ、
前記閲覧設定画面上で閲覧可能なレシピを示すに際し、隠蔽ＩＤ情報が作成されているレシピについては、当該隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先に当該ユーザ認証されたユーザが含まれているか否かに応じて、当該隠蔽ＩＤ情報に対応するレシピの設定内容の一部又は全部を隠蔽又は閲覧させるレシピ表示情報を作成する表示情報作成ステップ、
該表示情報作成ステップにより作成されたレシピ表示情報を基づいて、前記ユーザ認証されたユーザが選択可能なレシピを示した前記閲覧設定画面を前記表示部に表示するレシピ情報表示ステップ
を含むことを特徴とする検査レシピの隠蔽方法。
【請求項１】
ユーザ認証により表示部に表示された閲覧設定画面上の閲覧可能なレシピの中から、ユーザにより選択された所望のレシピの設定内容に従って、検査光を被検査体の表面に照射し、被検査体の表面で発生した反射光又は散乱光を検出することによって、被検査体の表面に存在する異物を検出する検査装置であって、
検査に用いられるレシピが格納されているレシピ格納部と、
前記閲覧設定画面上の閲覧可能なレシピの中からユーザにより選択された所望のレシピに係り、装置を共有するユーザの中からユーザにより選択された所望の他のユーザに対して当該選択されたレシピの設定内容の一部又は全部を隠蔽するため、当該他のユーザを隠蔽先に含む隠蔽ＩＤ情報を作成するレシピ隠蔽情報作成機能部と、
装置を共有するユーザそれぞれにより該レシピ隠蔽情報作成機能部をもって作成された隠蔽ＩＤ情報が格納される隠蔽ＩＤ情報記憶部と、
前記閲覧設定画面上で前記レシピ格納部に格納されているレシピを閲覧可能に示すに際し、該隠蔽ＩＤ情報記憶部に隠蔽ＩＤ情報が格納されているレシピについては、該隠蔽ＩＤ情報記憶部に格納されている隠蔽ＩＤ情報それぞれの隠蔽先に当該ユーザ認証されたユーザが含まれているか否かに応じて、当該隠蔽ＩＤ情報に対応するレシピの設定内容の一部又は全部を隠蔽又は閲覧させるレシピ表示情報を作成する表示情報作成機能部と、
該表示情報作成機能部により作成されたレシピ表示情報に基づいて、前記ユーザ認証されたユーザが選択可能なレシピを示した前記閲覧設定画面を前記表示部に表示するレシピ情報表示機能部と
を備えていることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記レシピの設定内容は、レシピ名称，被検査体のフィルム種別（形成膜の種別），被検査体のフィルム厚さ（形成膜の膜厚），測定感度といったパラメータ項目であることを特徴とする請求項１記載の検査装置。
【請求項３】
ユーザ認証により表示部に表示された閲覧設定画面上の閲覧可能なレシピの中から、設定内容の一部又は全部を隠蔽するレシピを選択する隠蔽対象選択ステップ、
装置を共有するユーザの中から隠蔽先となる所望の他のユーザを選択する隠蔽先選択ステップ、
前記隠蔽対象選択ステップにより選択されたレシピの設定内容の一部又は全部を、前記隠蔽先選択ステップにより選択された他のユーザが前記閲覧設定画面上で閲覧できないように、当該レシピの設定内容の一部又は全部について当該他のユーザを隠蔽先に含む隠蔽ＩＤ情報を作成するレシピ隠蔽情報作成ステップ、
前記閲覧設定画面上で閲覧可能なレシピを示すに際し、隠蔽ＩＤ情報が作成されているレシピについては、当該隠蔽ＩＤ情報の隠蔽先に当該ユーザ認証されたユーザが含まれているか否かに応じて、当該隠蔽ＩＤ情報に対応するレシピの設定内容の一部又は全部を隠蔽又は閲覧させるレシピ表示情報を作成する表示情報作成ステップ、
該表示情報作成ステップにより作成されたレシピ表示情報を基づいて、前記ユーザ認証されたユーザが選択可能なレシピを示した前記閲覧設定画面を前記表示部に表示するレシピ情報表示ステップ
を含むことを特徴とする検査レシピの隠蔽方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１３−７７０８（Ｐ２０１３−７７０８Ａ）
【公開日】平成２５年１月１０日（２０１３．１．１０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１１−１４１８９２（Ｐ２０１１−１４１８９２）
【出願日】平成２３年６月２７日（２０１１．６．２７）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年１月１０日（２０１３．１．１０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２３年６月２７日（２０１１．６．２７）
【出願人】（５０１３８７８３９）株式会社日立ハイテクノロジーズ (4,325)
【Ｆターム（参考）】
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