液状樹脂供給装置及び樹脂モールド装置
【課題】複数プレス部に搬入されるワークにコンパクトな装置構成で効率よくしかも製品に応じた仕様でワークに液状樹脂を供給できる液状樹脂供給装置を提供する。
【解決手段】シリンジ１９に充填された液状樹脂５をワークＷに吐出して供給するディスペンスユニット１８に交換用の複数のシリンジ１９を保持したシリンジ供給部１７が回転可能に設けられ、ディスペンスユニット１８はシリンジ供給部１７から交換用のシリンジ１９を受け取って液材吐出位置Ｊに保持されたワークＷに液状樹脂５を所定量吐出して供給する。
【解決手段】シリンジ１９に充填された液状樹脂５をワークＷに吐出して供給するディスペンスユニット１８に交換用の複数のシリンジ１９を保持したシリンジ供給部１７が回転可能に設けられ、ディスペンスユニット１８はシリンジ供給部１７から交換用のシリンジ１９を受け取って液材吐出位置Ｊに保持されたワークＷに液状樹脂５を所定量吐出して供給する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体チップがキャリア上に保持されたワークに液状樹脂を供給する液状樹脂供給装置及びこれを備えた樹脂モールド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワークを複数プレス部に対して供給して樹脂モールドする場合、各プレス部にはローダーによってワーク及び樹脂（タブレット樹脂、液状樹脂、粉末・顆粒状樹脂、或いはペースト状樹脂など）をプレス部に備えたモールド金型に搬入してクランプすることで樹脂モールドされる。このとき、複数プレス部において効率的に樹脂モールドを行なうためには、ローダーや減圧装置を各プレス部において兼用することによるコンパクト化のほかに、成形サイクルを最も遅いプレス部の樹脂モールド動作に合わせて行うことが知られている（特許文献１参照）。
また、液状樹脂を供給するディスペンサーに液状樹脂の収容量によらずにシリンジを自動装着する装置も提案されている。具体的にはプランジャーの中央部に備えたねじ穴にロッドをねじ嵌合させたままロッドを後退させてシリンジをロック機構によりロックすることでシリンジをディスペンサーに自動装着するようになっている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−８３０２７号公報
【特許文献２】特開２００９−２８５８５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば、複数プレス部にワークと共に液状樹脂を供給する場合には、一の液状樹脂供給装置（ディスペンサー）でワークに液状樹脂を供給する場合、温度管理が必要な液状樹脂の吐出時間が長くなるため、生産効率が落ちてしまうおそれがある。
また、ディスペンサーにシリンジを自動装着させるとしても、シリンジ搬送機構によりシリンジのプランジャーのねじ穴とロッドを位置合わせして個別にねじ嵌合させて装着するのは、装置が大がかりになるうえに設置面積も必要になるし、シリンジの交換から液状樹脂の供給までに時間がかかる。
更には、液状樹脂の種類や供給量が異なる製品に対して効率よく液状樹脂を供給することでミックスプロダクションを実現したいというニーズもある。
【０００５】
本発明は上記従来技術の課題を解決し、コンパクトな装置構成で液状樹脂を充填したシリンジの交換を迅速かつ効率よく行いしかも製品に応じた仕様でワークに液状樹脂を供給できる液状樹脂供給装置及びこれを用いた樹脂モールド装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は上記目的を達成するため、次の構成を備える。
半導体チップがキャリア上に保持されたワークに液状樹脂を供給する液状樹脂供給装置であって、シリンジに充填された液状樹脂をワークに吐出して供給するディスペンスユニットに交換用の複数のシリンジを保持したシリンジ供給部が回転可能に設けられ、ディスペンスユニットはシリンジ供給部から交換用のシリンジを受け取って液材吐出位置に保持されたワークに液状樹脂を所定量吐出して供給することを特徴とする。
上記構成によれば、交換用シリンジを保持したシリンジ供給部が回転することにより、ディスペンスユニットに対するシリンジ交換位置及び作業者によるシリンジ供給部のシリンジ交換位置のいずれにおいてもシリンジにアクセスすることができるので、装置を簡素化、コンパクトに設置できるうえに、シリンジ供給部の回転によって、シリンジ交換位置を変更することなく一定の位置で行えるため交換作業が容易に行える。
【０００７】
一対のディスペンスユニットの間に前記シリンジ供給部が回転可能に設けられ、各ディスペンスユニットは前記シリンジ供給部を共用して交換用のシリンジを受け取って液材吐出位置に保持されたワークに液状樹脂を所定量吐出して供給することを特徴とする。
上記構成によれば、一対のディスペンスユニットが共通のシリンジ供給部を共用して交換用のシリンジを受け取って液材吐出位置に保持されたワークに液状樹脂を所定量吐出して供給することで、温度管理が必要なディスペンスユニットからワークに対する液状樹脂の吐出動作が効率よく実現でき、複数プレス部において連続する樹脂モールド動作に追従することができ、生産効率の向上に寄与することができるうえに、異なるワークに対しても液状樹脂を供給することができ汎用性が向上する。
【０００８】
前記シリンジ供給部には回転角で６０°ごとにシリンジが保持されており、各ディスペンスユニットは、前記シリンジ供給部のシリンジ受け取り位置と液材供給位置との間を移動可能であって、シリンジ受け取り位置と前記シリンジ供給部の回転中心とを結ぶ角度が１２０°となるように配置されていることを特徴とする。
これによれば、例えばロボットハンドが同じ位置から液材吐出位置にワークを供給してディスペンスユニットにより液材を供給することができるので、液状樹脂供給装置をコンパクトに配置することができるうえに、シリンジ供給部に回転角で６０°ごとにシリンジを保持しておくことで、各ディスペンスユニットもシリンジ供給部に保持されたシリンジを同時に交換することも可能になる。
【０００９】
前記シリンジ供給部及び前記ディスペンスユニットには、シリンジ先端に設けられたチューブノズルを開閉するピンチバルブが各々設けられていることを特徴とする。
これによって、シリンジ供給部においてもディスペンスユニットにおいても保持されたシリンジから液状樹脂が漏れ出すのを防ぐことができる。
【００１０】
前記ディスペンスユニットに保持されたシリンジのチューブノズル付近の液状樹脂を捨て打ちする捨て打ちカップが前記液材供給位置と退避位置との間を移動可能に設けられていることを特徴とする。
これにより、シリンジのチューブノズル付近の比較的質の悪い液状樹脂を捨て打ちカップに捨ててから使用することで、液状樹脂の品質を高品質に維持することができる。
【００１１】
各ディスペンスユニットは液材供給位置においてワークに吐出された液状樹脂の吐出量が各々計量されて供給されることを特徴とする。
これにより、温度管理が必要なディスペンスユニットからワークに対する液状樹脂の吐出動作が精度良く行えるため、複数プレス部において連続する樹脂モールド動作に追従することができ、生産効率の向上に寄与することができる。
【００１２】
樹脂モールド装置においては、ワークをロボットハンドに保持して搬送するワーク搬送機構に備えた多関節ロボットの移動範囲を囲んで前記ワーク供給部、前述したいずれかの液状樹脂供給装置、前記プレス部及び前記ワーク収納部が配置されていることを特徴とする。
これにより、ワークや液状樹脂の供給から樹脂モールドを行なって成形品を収納するまでの一連の作業を効率よくしかも製品に応じた仕様で樹脂モールドすることができる。
【発明の効果】
【００１３】
上記液状樹脂供給装置を用いれば、コンパクトな装置構成で液状樹脂を充填したシリンジの交換を迅速かつ効率よく行いしかも製品に応じた仕様でワークに液状樹脂を供給できる。また、樹脂モールド装置においては、複数プレス部に搬入されるワークに液状樹脂を効率よく供給することで、複数プレス部における連続する樹脂モールド動作に追従することができ、生産効率の向上に寄与することができる。また、液状樹脂の種類や供給量が異なる製品に対して効率よく液状樹脂を供給することでミックスプロダクションを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】樹脂モールド装置の全体構成例を示す平面レイアウト図である。
【図２】ワーク搬入時の液状樹脂供給装置の側面図である。
【図３】ピンチバルブの開閉動作を示す断面説明図である。
【図４】シリンジ供給部からシリンジを受け取る前の液状樹脂供給装置の側面図である。
【図５】シリンジ供給部からシリンジを受け取る状態を示す液状樹脂供給置の側面図である。
【図６】シリンジ供給部からシリンジを受け取った後の液状樹脂供給置の側面図である。
【図７】液状樹脂を捨て打ちする状態を示す液状樹脂供給置の側面図である。
【図８】ワークに液状樹脂を吐出している状態を示す液状樹脂供給置の側面図である。
【図９】一対のディスペンスユニットとシリンジ供給部のレイアウト構成を示す平面説明図である。
【図１０】圧縮成形動作を示す断面説明図である。
【図１１】他例に係る圧縮成形動作を示す断面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明に係る樹脂モールド装置の好適な実施の形態について添付図面と共に詳述する。以下の実施形態では、プレス装置の一例として圧縮成形装置を用い、下型を可動型とし上型を固定型として説明する。
【００１６】
（樹脂モールド装置の全体構成）
図１は、本発明に係る樹脂モールド装置の一実施形態である平面レイアウト図である。本実施形態の樹脂モールド装置は、ワーク搬送機構Ｈに備えた多関節ロボットの移動範囲を囲んでワーク供給部Ａ、樹脂供給部Ｂ、プレス部Ｃ、ワーク検査部Ｄ（冷却部）、加熱硬化部Ｅ及びワーク収納部Ｆのような各処理工程を行う処理部と、これらの処理部の動作を制御する制御部Ｇが配置されている。プレス部Ｃの近傍には情報読取り部Ｉが設けられている。また、樹脂供給部Ｂの近傍には、表示部Ｊ及び操作部Ｍが設けられている。このように多関節ロボットの移動範囲を囲んで各工程を配置したことにより、移動距離が短縮されて工程間で効率の良いワーク搬送が実現できる。特に樹脂モールド装置に加熱硬化部Ｅを組み込まれているので、樹脂モールド後の成形品を迅速にキュア炉に搬入して加熱硬化させることができる。以下各部の構成について具体的に説明する。
【００１７】
図１において、ワークＷは、半導体チップがキャリア上に保持されたものが用いられる。このワークＷは、例えばＥ−ＷＬＰ（Ｅｍｂｅｄｄｅｄ Ｗａｆｅｒ Ｌｅｖｅｌ Ｐａｃｋａｇｅ）若しくはｅＷＬＢ (ｅｍｂｅｄｅｄｄ Ｗａｆｅｒ Ｌｅｂｅｌ ＢＧＡ)と呼ばれる樹脂封止方法に用いられるものである。具体的には、例えばウエハ搬送治具のような周辺装置を共用するため半導体ウエハと同じサイズとして、直径１２インチ（約３０ｃｍ）の丸型の金属製（ＳＵＳ等）のキャリアプレートＫに熱はく離性を有する粘着シート（粘着テープ）が貼着されており、該粘着シートに複数の半導体チップが行列状に粘着されたものが用いられる。各ワークＷの縁部には、製品に関する情報が対応付けられた情報コード（ＱＲコード、バーコード等）が付与されている。なお、キャリアプレートＫは矩形状であってもよい。この場合、半導体チップを複数行の行列状配置する場合、半導体チップが配置できないエリアを小さくすることができ成形効率上好ましい。
【００１８】
また、ワークＷとしては、半導体チップがキャリアプレートＫ上に保持されたＥ−ＷＬＰ（ｅＷＬＢ）用のワークＷではなく、再配線層にボールマウントしたウエハを樹脂モールドするウエハレベルパッケージ（ＷＬＰ）のワークＷであってもよい。この場合、可能なときはウエハ自体に情報コードを付与してもよいし、マガジンの各スリット（収納位置）に対して個別に情報コードを付与してもよい。更に、ワークＷは半導体チップが実装された樹脂基板やリードフレームであっても良い。
【００１９】
（表示部Ｌ及び操作部Ｍ）
図１に示すように、表示部Ｌ及び操作部Ｍは一体的に配置されている。作業者は、表示部Ｌに表示された情報を確認しながら、必要に応じて操作部Ｍを操作して装置内部における各部（例えば多関節ロボット２）の動作を制御可能となっている。また、後述する各種情報の入力や変更を行なうことも可能となっている。なお、通信回線を用いることで装置から離れた位置に表示部と操作部を設けて遠隔操作する構成としてもよい。
【００２０】
（ワーク搬送機構Ｈ）
図１において、ワーク搬送機構Ｈは、ワークＷをロボットハンド１に吸着保持して各工程間を搬送する回転及び直線移動可能な多関節ロボット２を備えている。多関節ロボット２は、折りたたみ可能な垂直リンクによる上下動と、回転可能な水平リンクとの組み合わせにより構成されている。上記各リンクは、図示しないサーボモータに備えたエンコーダにより回転量が検出されてフィードバック制御が行われる。ロボットハンド１は、キャリアプレートＫを載置して吸着保持するようになっている。尚、ロボットハンド１は、ワークＷを吸着保持するほかに、機械的にチャックする方式でも良い。また、ロボットハンド１は垂直軸を中心に回転する他に、水平軸を中心に回転（反転）するようになっていても良い。
【００２１】
また、図１において、多関節ロボット２のベース部３は、直動ガイドレール４に沿って往復移動可能に設けられている。例えば、ベース部３に設けられたナットにボールねじが連繋しており、図示しないサーボモータにより正逆回転駆動することにより、多関節ロボット２が直動ガイドレール４に沿って往復動するようになっている。
【００２２】
（ワーク供給部Ａ及びワーク収納部Ｆ）
図１において、多関節ロボット２が往復動する直動ガイドレール４の手前側には、ワーク供給部Ａとワーク収納部Ｆが併設されている。具体的には、ワークＷ（被成形品）を収納した供給マガジン９と、ワークＷ（成形品）を収納可能な収納マガジン１０が２列ずつ併設されている。尚、供給マガジン９と収納マガジン１０とは構造が同様であるので、以下では供給マガジン９の構造を代表して説明するものとする。また、２列設けられた供給マガジン９は、同じ種類のワークＷを収納する場合でも、異なる種類のワークＷを収納する場合でもいずれでも良い。収納マガジン１０についても同様である。また、供給マガジン９及び収納マガジン１０を1列ずつ設ける構成としてもよく、或いはそれぞれを３列以上設ける構成としてもよい。
【００２３】
（情報読取り部Ｉ）
図１において、情報読取り部Ｉには、コード情報読取り装置１６とアライナ１６ａとが設けられており、供給マガジン９から搬送されたワークＷを受け取ったアライナ１６ａを回転させることでワークＷの情報コードをコード情報読取り装置１６の直下に移動させる。この際に、ワークＷは一定の方向に統一される。コード情報読取り装置１６は、ワークＷに付与された製品に関する情報コード（ＱＲコード、バーコード等）を読み取る。この情報コードに対応して、記憶部４７には、樹脂供給情報（樹脂種別、樹脂供給量、供給時間など）やモールド条件（プレス番号、プレス温度、プレス時間、成形厚など）、キュア情報（キュア温度、キュア時間など）、冷却情報（冷却時間）、などの成形条件が記憶されている。コード情報読取り装置１６が読み取った情報コードに対応した成形条件情報に基づいて、搬送しているワークＷに対して後述する各工程の処理を行う。多関節ロボット２は成形条件の読み取りが完了したワークＷを樹脂供給部Ｂからワーク収納部Ｆに至る後の各処理工程へ順次搬送する。
【００２４】
（樹脂供給部Ｂの構成）
図１において、ワーク供給部Ａに隣接して樹脂供給部Ｂが設けられている。樹脂供給部Ｂには液状樹脂供給装置が設けられている。液状樹脂供給装置には、複数のシリンジ１９を回転可能に保持したリボルバ式のシリンジ供給部１７を挟んで両側に一対のディスペンスユニット１８が設けられている。樹脂供給部Ｂ内は、液状樹脂の品質維持のため、室内を冷却し除湿する空調装置が設けられている。また、後述するように装置側面には扉が設けられており、作業者がシリンジを交換可能となっている。
【００２５】
図９Ａにおいて、シリンジ１９に充填された液状樹脂をワークＷに吐出して供給する一対のディスペンスユニット１８の間に交換用の複数のシリンジ１９を保持したシリンジ供給部１７が回転可能に設けられている。各ディスペンスユニット１８はシリンジ供給部１７を共用して交換用のシリンジ１９を受け取って液材吐出位置に保持されたワークＷに液状樹脂を所定量吐出して供給する。
【００２６】
また、図９（Ｂ）において、シリンジ供給部１７には回転角で６０°ごとにシリンジ１９が６か所に保持されている。また、一対のディスペンスユニット１８は、シリンジ供給部１７のシリンジ受け取り位置Ｌと液材供給位置Ｊとの間を移動可能であって、シリンジ受け取り位置とシリンジ供給部１７の回転中心とを結ぶ角度が１２０°となるように配置されている。
【００２７】
これによれば、例えばロボットハンド１が同じ位置から液材吐出位置Ｊにワークを供給してディスペンスユニット１８により液材を供給することができるので、液状樹脂供給装置をコンパクトに配置することができるうえに、シリンジ供給部１７に回転角で６０°ごとにシリンジ１９を保持しておくことで、各ディスペンスユニット１８もシリンジ供給部１７に保持されたシリンジを同時に交換することも可能になる。また、装置手前側（図９（Ａ）図示の下側）もしくは装置側面側にシリンジ交換用の扉を設けた場合、該当する扉を開けることでその方向に向けられたシリンジ１９を容易に交換することができる。
【００２８】
（プレス部Ｃ）
次に図１及び図１０を参照してプレス部Ｃの構成について説明する。
図１に示すように、本実施形態では複数のプレス部Ｃが直動ガイドレール４より奥側に併設されている。一例としてプレス部Ｃを２台設けたが、１台であっても３台以上であっても良い。またプレス部Ｃは同じ製品を樹脂モールドするモールド金型を備えていても、異なる製品を樹脂モールドするモールド金型を備えていてもいずれでも良い。プレス部Ｃの搬送エリア１１に臨む側には仕切り壁２４が設けられており、該仕切り壁２４には開口部（図示せず）が設けられている。開口部は開閉可能なシャッター２５によって通常は閉塞されている。シャッター２５は、シリンダ、ソレノイドなどの駆動源により開閉するように設けられる。
【００２９】
また、プレス部Ｃにはプレス装置２６から搬送エリア１１にかけて往復動可能なローダー３２が設けられている。また、シャッター２５により手前側の搬送エリア１１には、図示しないワーク載置部が設けられている。ワーク載置部には、ロボットハンド１に吸着保持された液状樹脂が塗布されたワークＷが受け渡され、或いはプレス装置２６からローダー３２によって取出されたワークＷが受け渡される。
【００３０】
図１において、各プレス装置２６には、フィルム供給装置３５が設けられている。図１０（Ａ）に示すようにフィルム供給装置３５は上型２８のクランプ面を覆う長尺状のリリースフィルム３６をリール間で繰り出し及び巻き取りを行う装置である。リリースフィルム３６は上型面に公知の吸引機構により吸着保持されるようになっている。リリースフィルム３６としては、モールド金型の加熱温度に耐えられる耐熱性を有するもので、金型面より容易に剥離するものであって、柔軟性、伸展性を有するフィルム材、例えば、ＰＴＦＥ、ＥＴＦＥ、ＰＥＴ、ＦＥＰ、フッ素含浸ガラスクロス、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニリジン等が好適に用いられる。尚、リリースフィルム３６として、クランプ面を覆う程度の大きさの短冊状に切断されたものを用いる構成を採用してもよい。
【００３１】
ワークＷのプレス部Ｃへの搬入搬出動作及びプレス動作について説明する。図１０（Ａ）において、プレス装置２６の上型２８と下型３０とは型開きした状態にあり、図１に示す仕切り壁２４のシャッター２５は開口部を閉塞した状態にある。ロボットハンド１に吸着保持されたワークＷはワーク載置部（図示せず）に載置されて吸着が解除されて受け渡される。ロボットハンド１が退避すると、ローダー３２がワーク載置部よりワークＷをハンドにより掴みシャッター２５が開放した状態で開口部よりプレス装置２６内に進入して下型３０にワークＷをセットする。
【００３２】
下型３０にワークＷがセットされた状態を図１０（Ａ）に示す。ワークＷをセットしたローダー３２はプレス装置２６から開口部を経て搬送エリア１１に戻るとシャッター２５が閉じて（図１参照）、プレス装置２６がワークＷをクランプして圧縮成形が行われる。図１０（Ｂ）に示すように、下型３０が上昇して上型２８との間でワークＷがクランプされる。上型２８のキャビティ２８ａを含むクランプ面にはリリースフィルム３６が吸着保持されている。
【００３３】
また、圧縮成形が終了すると、図１０（Ｃ）に示すようにプレス装置２６が型開きし、ワークＷはリリースフィルム３６が吸着された上型２８より離型し、下型３０に載置されたままの状態にある。シャッター２５が開放されるとローダー３２が搬送エリア１１からプレス装置２６内に進入して下型３０に載置されたワークＷを掴んで搬送エリア１１へ取出してワーク載置部２２に受け渡す（図１参照）。
【００３４】
ここでプレス装置２６の他例について図１１を参照して説明する。
上述したプレス装置２６と同一部材には同一番号を付して説明を援用するものとする。図１０では下型３０に対してワークＷを搬入する構成になっていたが、上型２８に対してワークＷを搬入する構成としてもよい。たとえば、該ロボットハンド１が液状樹脂の塗布されたワークＷをチャックハンドにより掴んで反転して上型２８に供給する構成とすることができる。この場合、ある程度チクソ性が高く樹脂モールド前の状態で反転させても樹脂が落下しない程度の粘度を有するエポキシ樹脂等を用いるのが好ましい。
【００３５】
本実施形態における上型２８は、キャリアプレートＫの縁部で開閉してこれを支持可能な爪部２８ｂを有してワークＷを保持可能に構成される。図１１（Ａ）は型開きしたプレス装置２６にワークＷが搬入された状態を示す。ワークＷは、キャリアプレートＫが上型２８のクランプ面から離間した状態で爪部２８ｂによって上型２８に吊り下げ保持（フローティング支持）されている。この場合、クランプするまで上型２８のクランプ面からキャリアプレートＫを離して保持することにより、液状樹脂への加熱を抑制される。これにより、液状樹脂の粘度が加熱によって一時的に低下して液状樹脂が下型３０に落下してしまうような事態を効果的に回避できる。また、Ｅ−ＷＬＰに用いられる粘着シートの加熱を遅らせることもでき、フライングダイの防止にも有効である。
【００３６】
図１１（Ｂ）は、プレス装置２６が型閉じした状態を示す。ワークＷは上型２８と下型３０とでクランプされて圧縮成形される。圧縮成形が完了するとプレス装置２６が型開きする。図１１（Ｃ）に示すように、下型３０が下動すると、ワークＷはモールド面がリリースフィルム３６に覆われた下型３０より離型し、かつ上型２８に吸着保持されたままになる。この状態で搬送エリア１１に待機する前述した多関節ロボット２のロボットハンド１を反転させてプレス装置２６内へ進入させて、ワークＷを掴んだまま上型２８面への吸着を解除することで、ロボットハンド１に受け渡して搬出することができる。
この場合には、プレス部Ｃに設けたローダー３２を省略して、ロボットハンド１を反転させた状態で直接型開きしたプレス装置２６に進入させてワークＷを上型２８に吸着保持させ、成形後のワークＷを上型２８より受け取ってプレス装置２６から取り出すことが可能になる。
【００３７】
（ワーク検査部Ｄ）
次にワーク検査部Ｄの構成について図１を参照して説明する。図１において、ベース部３９には直動レール３９ａが設けられている。この直動レール３９ａには可動ステージ４０がレール長手方向に往復動可能に設けられている。可動ステージ４０は例えば公知の駆動機構、ナット部がボールねじに連繋し、該ボールねじをモータにより正逆回転駆動することにより直動レール３９ａ上を往復動するようになっている。可動ステージ４０は、加熱硬化後のワークＷの冷却部を兼用している。
【００３８】
可動ステージ４０は直動レール３９の一端側であるワーク受取位置に待機している。この可動ステージ４０に、プレス部Ｃで圧縮成形されたワークＷがロボットハンド１によって載置され吸着を解除されて受け渡される。受け渡し位置にある可動ステージ４０のワーク搬送機構Ｈ側には、レーザー変位計４１がワークＷの上下一対で設けられており、ロボットハンド１によってワークＷが可動ステージ４０に載置される前に該レーザー変位計４１によってレーザー光を照射してワークＷの厚みが計測される。制御部Ｇは、測定した厚みを稼働情報として記憶部４７に記憶する。この場合、ワークＷの厚みからキャリアプレートＫの厚みを差し引くことで成形品の厚みを算出可能である。また、可動ステージ４０は、直動レール３９の一端側より他端側に移動する。この直動レール３９の他端側の上方には外観検査部４２が設けられている。外観検査部４２では、成形品を一括或いは分割して撮像して外観観察によって未充填、フローマークまたはフライングダイのような成形不良がないか否かが検査される。成形の良否と不良がある場合には不良の種類や撮像画像を稼働情報として記憶部４７に記憶する。検査が終了すると、ワークＷを載置した可動ステージ４０が受け渡し位置へ戻って、ロボットハンド１に受け渡されて、加熱硬化部Ｅへ搬送される。
尚、異常（想定を上回る未充填など）が検出されたときには表示部Ｊにその旨を通知し、装置全体の動作を止めてメンテナンスすることで、不良品が連続生産されるのを防ぐことができる。
【００３９】
（加熱硬化部Ｅ）
次に加熱硬化部Ｅの構成について図１を参照して説明する。加熱硬化部Ｅにはキュア炉４３が設けられており、検査後のワークＷをロボットハンド１によりキュア炉４３に収納してモールド樹脂を１２０℃から１５０℃程度で加熱硬化（ポストキュア）することで加熱硬化を完了させる。キュア炉４３内には、対向配置されたスリット４３ａが高さ方向に所定ピッチで形成されこのピッチでワークＷが保持されるようになっている。ワークＷをキュア炉４３に収納するときには、いずれかに形成されたスリット４３ａに沿ってワークＷを挿入して保持するようになっている。
【００４０】
図１においてキュア炉４３の搬送エリア１１を囲む側には内扉４４が設けられており、装置外面側には外扉４５が開閉可能に設けられている。内扉４４には２段分のスリット４３ａ位置に対応して開口部（図示せず）が各々設けられている。内扉４４の内方には開閉扉４６が各開口部を常時遮断するように個別に開閉可能に設けられている。また、図１に示すように、１２段のスリット４３ａを平面視で２列備えることで、総数で２４枚のワークＷを並行してポストキュアすることが可能となっている。
【００４１】
この場合、プレス部Ｃで樹脂モールドしてからポストキュアを開始するまでの時間が長くなった場合、樹脂モールド部分に反りが発生してしまうことがある。しかしながら、多関節ロボット２を用いて高さ方向にもワークＷをスムーズに移動可能な構成にしたことにより、高さの異なる所望のスリット４３ａに対していずれも短時間で移動可能となっている。このように、搬送に要する時間が成形品質に影響のあるモールド装置では多関節ロボット２による搬送時間の短縮の効果は特に大きい。
【００４２】
一つの開閉扉４６を開放すると２枚分のワークＷをロボットハンド１によって上下２段のスリット４３ａに各々挿入して保持させることができる。このように開閉扉４６を個別に開閉することで開閉面積を小さくしてワークＷを収納取出しすることができるので、炉内の温度の低下を防ぎ、かつ搬送エリア１１側への放熱を抑制することができる。
【００４３】
ワーク検査部Ｄにおいて検査されたワークＷはロボットハンド１に吸着保持されてキュア炉４３へ搬送される。キュア炉４３は開閉扉４６が閉塞されて所定温度に加熱されている。ワークＷを挿入するときは、ロボットハンド１が内扉４４に近づくと制御部Ｇが図示しない駆動機構を制御してスリット４３ａに対向する開閉扉４６が開放し、ロボットハンド１が炉内に進入してワークＷをスリット４３ａに沿って挿入する。そして、ロボットハンド１の吸着を解いてワークＷをキュア炉４３に受け渡してからロボットハンド１がキュア炉４３から退避する。ロボットハンド１が内扉４４より離れると開閉扉４６を閉塞する。以上の動作が繰り返し行われる。ワークＷをキュア炉４３に収納してから所定時間経過すると、再度ロボットハンド１がキュア炉４３内に進入して、ワークＷを吸着保持したままキュア炉４３より搬出し冷却部Ｎへ搬送するようになっている。
【００４４】
（冷却部Ｎ）
冷却部Ｎは、ワーク検査部Ｄの上方における空間に、冷却用マガジン（図示せず）が設けられている。冷却用マガジン内の両側壁には、対向配置されたスリットが高さ方向に所定ピッチで形成されておりこのピッチでワークＷを保持可能に構成されている。この場合、ロボットハンド１を任意の高さに移動可能な多関節ロボット２によって、所定のスリットに対してワークＷを受渡し可能となっている。成形品の加熱硬化が完了したワークＷはロボットハンド１により吸着保持されたまま冷却部Ｎのスリット（受け渡し位置）へ搬送されて吸着を解除されて受け渡される。この状態で所定時間放置することでワークＷが自然冷却される。尚、冷却部Ｎは、ワーク検査部Ｄとは別個に設けることも可能であるが、ワーク検査部Ｄの空いているエリアを利用することで装置をコンパクトに構成することができる。
【００４５】
（ワーク収納部Ｆ）
ワーク収納部Ｄの構成は前述したようにワーク供給部Ａの構成と同様である。ロボットハンド１は、冷却部で冷却されたワークＷを可動ステージ４０より受け取って隣接する収納マガジン１０へ搬送して収納する。
【００４６】
（制御部Ｇ）
図１において、制御部Ｇは、ＣＰＵ（中央演算処理装置）やＲＯＭ、ＲＡＭなどの記憶部４７を備え、前述した装置各部の動作を制御する。記憶部４７には各種制御プログラムが記憶されているほかに、ワーク搬送対象候補リストや搬送順序情報やワークＷに付されたコード情報が記憶されている。ＣＰＵは、ＲＯＭより必要なプログラムをＲＡＭに読み出して実行させ、ＲＡＭを用いて入力情報を一次的に記憶させたり入力情報に応じた演算処理を行ったりして制御プログラムに基づいてコマンドを出力する。
【００４７】
制御部Ｇには、ワーク供給部Ａの稼働情報（受け渡し済みの供給マガジンスリット番号）、コード情報読取り装置１６の稼働情報（レシピ情報；樹脂条件、モールド条件、キュア条件、冷却条件）、樹脂供給部Ｂの情報（シリンジ番号；（樹脂の種類、樹脂の解凍時刻、収容総量）、使用料（供給毎／総量）、供給開始／完了時刻）、プレス部Ｃの稼働情報（金型温度曲線、クランプ圧力曲線、成形厚、フィルム使用量）、キュア炉４３の稼働情報（炉内温度）、ワーク検査部Ｄの稼働情報（フライングダイ、成形厚）、ワーク収納部Ｆの情報（受取済みスリットの位置）などの情報が随時入力され、各部に必要なコマンドを出力する。制御部Ｇは、このような稼働情報や上述した成形条件などをワークＷに紐付けして記憶する。これにより、成形後のワークＷについての実際の製造条件等を確認することができる。例えば成形後のワークＷのキャリアプレートＫの情報コードを読取ることで、成形条件と稼働情報とを確認することができ、実際の成形品と関連する情報を容易に閲覧可能としたことにより、成形条件の最適化に利用可能となっている。
尚、制御部Ｇはワーク搬送機構Ｈを囲むように配置されているが、例えばコントローラのように有線若しくは無線により遠隔操作できるものであっても良い。
【００４８】
制御部Ｇは、最も時間がかかる工程の繰り返しサイクルに合わせて多関節ロボット２によるワーク供給動作及びワーク取り出し動作のタイミングを制御している。ちなみに各工程の最小サイクルは、所要時間を装置数で除して算出される。本実施形態では、プレス装置２６における樹脂モールド工程の最小サイクルが工程間で最大となるためこれに合わせてワークＷの搬入搬出のタイミングが決められている。
【００４９】
ここで液状樹脂供給装置の構成について、図２乃至図８を参照して具体的に説明する。図２において、シリンジ供給部１７は、保持部本体１７ａに回転ホルダー１７ｂが回転可能に支持されている。シリンジ１９は、シリコーン樹脂やエポキシ樹脂といった熱硬化性樹脂を所定量ずつ貯留し、回転ホルダー１７ｂの上部に設けられたフランジ部１７ｃに周方向で６箇所に設けられた凹部１７ｄに保持されている。また、回転ホルダー１７ｂの下方にはシリンジ１９の先端に設けられたチューブノズル１９ａから万一液状樹脂が漏出してもこれを受け止めるための樹脂受け部１７ｅが設けられている。
【００５０】
凹部１７ｄに保持された各シリンジ１９のチューブノズル１９ａに対応する位置には、ピンチバルブ１７ｆが各々設けられている。ピンチバルブ１７ｆは、図３（Ｂ）に示すように通常の状態ではチューブノズル１９ａを閉じた状態になっている。これによって、シリンジ供給部１７において保持されたシリンジ１９から液状樹脂が漏れ出すのを防いでいる。また、後述するディスペンスユニット１８にシリンジ１９を受け渡すとき、後述するピンチバルブ１８ｆによってチューブノズル１９ａを閉じてから図３（Ａ）に示すようにピンチバルブ１７ｆを開放してシリンジ１９をディスペンスユニット１８に受け渡すようになっている。
【００５１】
図２において、保持部本体１７ａの上部にはモータ２０が組み付けられている。モータ２０のモータ軸２０ａはフランジ部１７ｃと連繋している。モータ２０を起動すると、回転ホルダー１７ｂは所定方向に６０°回転して新たな交換用シリンジ１９をシリンジ受け取り位置Ｌまで回転するようになっている。尚、前述したように、シリンジ供給部１７は、一対のディスペンサユニット１８により共用しているため、双方のディスペンサユニット１８に供給するシリンジ１９を同時に交換することができる。また、一対のディスペンサユニット１８は、個別にシリンジ１９を交換してもよい。
【００５２】
次に、図２において、一方のディスペンスユニット１８についてその構成を説明する。尚、他方のディスペンスユニット１８はシリンジ供給部１７を挟んで反転した配置となっている以外同様の構成要素を備えているため説明は省略する。ディスペンスユニット１８は、シリンジ供給部１７に対して図示しない直動機構によって接離動可能なユニット本体１８ａにピストン保持部１８ｂが上下動可能に保持されている。ピストン保持部１８ｂの上部にはピストン１８ｃが上下動可能に設けられている。ピストン保持部１８ｂにはピストン１８ｃの高さ位置を検出する位置検出部が設けられ、ピストン１８ｃにはシリンジ１９内における接触を検出可能なスイッチが設けられている。これにより、ディスペンスユニット１８では、装着中のシリンジ１９における液状樹脂の残量を検出可能となっている。また、樹脂供給開始からのピストン１８ｃ移動量から液状樹脂の供給量も検出可能である。このような構成により、所定のシリンジ１９における液状樹脂の残量が１つのワークＷに対する供給量に満たないときは、そのシリンジ１９を未使用のシリンジ１９に交換してもよく、残量を使い切った後に交換して不足分を新たなシリンジ１９から供給してもよい。
【００５３】
また、ピストン保持部１８ｂには、ピストン１８ｃより下方にシリンジ１９を受け取って保持するチャック１８ｄが設けられている。また、チャック１８ｄより下方には、シリンジ１９やチューブノズル１９ａの姿勢を保持するガイド部１８ｅが設けられている。また、チャック１８ｄに保持された各シリンジ１９のチューブノズル１９ａに対応する位置には、ピンチバルブ１８ｆが各々設けられている。ピンチバルブ１８ｆは、図３に示すシリンジ保持部１７に設けられたものと同様の構成である。これによって、チャック１８ｄに保持されたシリンジ１９から液状樹脂が漏れ出し装置に付着したり供給量が変動したりするのを防ぐことができる。
【００５４】
また、ユニット本体１８ａの近傍には捨て打ちカップ２１が回転可能に設けられている。捨て打ちカップ２１は、シリンジ１９から液状樹脂を吐出する際に、チューブノズル１９ａ先端側の比較的品質が劣化した液状樹脂５を吐出するため設けられている。捨て打ちカップ２１は、後述するように回動機構７によってワークＷに液状樹脂を吐出する前に退避位置から液材吐出位置Ｊへ回転移動して不要樹脂が捨て打ちされる。
【００５５】
図１に示す樹脂供給部Ｂと搬送エリア１１とは仕切り壁により仕切られており、該仕切り壁には、ロボットハンド１が進退可能な開口部を開閉するシャッター６が設けられている。このシャッター６は、一対のディスペンスユニット１８とワーク搬送機構Ｈとを挟む位置に配置され、ワークＷを出し入れするときを除いて閉止することで樹脂供給部Ｂ内を気密に保ち装置外とワーク搬送機構Ｈのエリアとが直接繋がって空気の移動が行われないようにしている。シャッター６を開放することによりワークＷが液材吐出位置Ｊへ搬入される。
【００５６】
図２において、液材吐出位置Ｊには、ワークＷを載置するワーク載置部２２が設けられている。ワーク載置部２２にはロボットハンド１に吸着保持されたワークＷの吸着が解かれて載置される。ワークＷはキャリアプレートＫが支持突起２２ａに支持される。ワーク載置部２２には、重量計２３が設けられており、ワークＷの重さとワークＷに吐出される液状樹脂の重さが計量される。液状樹脂の吐出量は、製品に応じて予め決まっており、いずれの場合にも目標値±０．３ｇ程度の精度で吐出される。液状樹脂が吐出されたワークＷは、ワーク載置部２２よりロボットハンド１に吸着保持されてプレス部Ｃへ搬送される。
【００５７】
ユニット本体１８ａは図示しない駆動源（モータ、シリンダ等）を起動すると液材吐出位置Ｊからシリンジ供給部１７へ近接したシリンジ受け取り位置Ｌへ移動してチャック１８ｄにシリンジ１９を保持する。ユニット本体１８ａはシリンジ１９を保持したまま液材吐出位置Ｊへ移動してピストン１８ｃを図示しないシリンダやモータなどの駆動源により下動させてシリンジ１９内に圧入することで液圧によりピンチバルブ１８ｆを開放してチューブノズル１９ａより液状樹脂を吐出する。ピストン１８ｃの下動が停止するとピンチバルブ１８ｆによってチューブノズル１９ａが閉じるようになっている。
【００５８】
以上のように構成された一対のディスペンスユニット１８を併用することにより、温度管理が必要なディスペンスユニット１８からワークＷに対する液状樹脂の吐出動作が効率良くかつ精度良く行えるため、複数プレス部Ｃにおいて連続する樹脂モールド動作に追従することができ、生産効率の向上に寄与することができる。
【００５９】
次に、ディスペンスユニット１８によるシリンジ１９の受け取りから液状樹脂の供給までの動作について図４乃至図８を参照して説明する。
図４に示すように、シリンジ供給部１７にはシリンジ１９が保持されている。シリンジ１９のチューブノズル１９ａはピンチバルブ１７ｆにより閉じられている。また、ディスペンスユニット１８は、液材吐出位置Ｊに待機している。またピストン１８ｃはピストン保持部１８ｂの上方に待機した状態にある。
【００６０】
次に図５に示すように、ディスペンスユニット１８が図示しない直動機構により液材吐出位置Ｊからシリンジ受け取り位置Ｌまで移動する。ディスペンスユニット１８のチャック１８ｄがシリンジ１９を保持しピンチバルブ１８ｆがチューブノズル１９ａをクランプする。また、シリンジ供給部１７のピンチバルブ１７ｆを開放する。
【００６１】
そして、図６に示すようにディスペンスユニット１８の直動機構を作動させてシリンジ受け取り位置Ｌから液材吐出位置Ｊまで移動する。これにより、ディスペンスユニット１８にシリンジ１９を装着することができる。シリンジ１９を交換する場合には、使用後のシリンジ１９を元の位置に戻した後、シリンジ供給部１７のモータ２０を起動して回転ホルダー１７ｂを６０°回転させることにより新たなシリンジ１９を供給可能になる。
【００６２】
次に液状樹脂の供給動作について図７及び図８を参照して説明する。
尚、ワークＷはロボットハンド１によってワーク載置部２２に載置されており、シャッター６は閉じた状態にあるものとする。図７に示すように、シリンジ１９が交換された後、或いは樹脂モールド動作を再開しシリンジ１９より樹脂供給を開始する前には、回動機構７を作動させて回転軸７ａに直交して連続する保持アーム８に保持された捨て打ちカップ２１を退避位置（図９Ａ，Ｂ参照）から液材吐出位置Ｊまで回転させる。そして、ピンチバルブ１８ｆを開放しピストン１８ｃを所定量下動させて、ディスペンスユニット１８に保持されたシリンジ１９のチューブノズル１９ａ付近の液状樹脂５を捨て打ちカップ２１に捨て打ちする。捨て打ちが終了すると、ピンチバルブ１８ｆを閉じ、回動機構７を作動させて捨て打ちカップ２１を液材吐出位置Ｊから退避位置まで回転させる。これにより、シリンジ１９のチューブノズル１９ａ付近の比較的質の悪い液状樹脂５を捨て打ちカップ２１に捨ててから使用することで、液状樹脂５の品質を高品質に維持することができる。
【００６３】
図８において、液状樹脂５の捨て打ちが終了すると、再度ピンチバルブ１８ｆが開放され、ピストン１８ｃが下動して液状樹脂５がワークＷ上に吐出される。ワーク載置部２２に設けられた重量計２３により、ワークＷの重さとワークＷに吐出される液状樹脂５の重さが計量される。ピストン１８ｃの下動が停止するとピンチバルブ１８ｆが閉じて液状樹脂５の供給が停止する。
【００６４】
ここで、液状樹脂５の供給時の具体的な動作について説明する。液状樹脂５の吐出が開始されると例えば最終的な供給量の目標値の８〜９割程度といった十分に少ない量まで供給する。この際の供給量の詳細な計測値を重量計２３により計量し、目標値と計測値との差として算出される供給量に対して十分に少ない量まで供給する。このように各供給において最終的な供給量に対して十分に少ない量まで供給する動作を１回以上実行する。高精度な供給を行うためにはこの動作を繰り返す必要があるが、本装置ではディスペンスユニット１８が複数設けられているため、樹脂供給部Ｂにおける液状樹脂５の供給により装置全体のスループットを下げることなく液状樹脂５を高精度に供給することが可能となっている。続いて、最後の供給時には供給した総量が最終的な供給量となるように最後の供給時の供給量を算出して供給する。
【００６５】
また、各供給時には室内が冷却されているため、シリンジ１９内から吐出される液状樹脂５の粘度は高くなっている。このため、チューブノズル１９ａからの吐出された液状樹脂５はそのままではチューブノズル１９ａに吊り下がった状態となってしまうことがある。そこで、ピストン１８ｃの移動量により検出した供給量に応じてチューブノズル１９ａを閉止し、ピストン保持部１８ｂを上下動させることでチューブノズル１９ａからワークＷの間に吊り下がった液状樹脂５を強制的に切り離してワークＷ側に塗布する糸きり動作を行う。この場合、シリンジ１９の内外をチューブノズル１９ａによって閉止しているため、シリンジ１９内の液状樹脂５が糸きり動作の際に外側の液状樹脂５に引き寄せられて流れ出てしまい供給量が変動することはない。したがって、冷却されて粘度が高くなった液状樹脂５であっても高精度に供給することができる。
【００６６】
ワークＷは、ロボットハンド１によって保持されてワーク載置部２２よりプレス部Ｃへ搬送されて樹脂モールド動作に移行する。
【００６７】
上記樹脂モールド装置を用いれば、ワークＷや液状樹脂５の供給から樹脂モールドを行なって成形品を検査して良品のみを加熱硬化させて収納するまでの一連の作業をコンパクトな装置構成で効率よくしかも製品に応じた仕様で樹脂モールドが行える樹脂モールド装置を提供することができる。
【００６８】
上述した樹脂モールド装置は、樹脂供給部Ｂにディスペンスユニット１８をプレス部Ｃにプレス装置２６を２台ずつ設けたが更に増やしてもよい。またワーク搬送機構Ｈに備えた多関節ロボットも１台に限らず複数台設けて、搬送エリアを分担させてワークの搬送を行うことも可能である。
また、プレス装置２６は圧縮成形装置に限らずトランスファモールド装置であってもよく、減圧空間を形成してモールドを行っても良い。
【００６９】
また、充填された液状樹脂５の異なる複数種類のシリンジ１９をシリンジ供給部１７に保持させ、選択的にディスペンスユニット１８に対して受け渡す構成を採用することで複数種類の液状樹脂５を用いたモールド樹脂封止を並行して行うミックスプロダクションを行うこともできる。この場合でも、シリンジ供給部１７が回転することでディスペンスユニット１８のいずれに対してもシリンジ１９を受け渡すことができる。このため、１つのシリンジ供給部１７を一対のディスペンスユニット１８で兼用でき、ミックスプロダクションを実現する構成であっても個別にシリンジ供給部を設ける必要がなく、装置をコンパクトにすることができる。
【００７０】
また、１つのシリンジ供給部１７に対してシリンジ１９の交換作業を行なえばよい。この場合、例えば凹部１７ｄ毎に識別番号を設け、交換する際に識別番号が一致するシリンジを凹部１７ｄにセットすることにより、交換作業を簡易にすることができると共に交換ミスも防止することができるため、例えばシリンジ保持部を樹脂の種類別に設ける構成と比較し、作業性を向上することもできる。このように、ミックスプロダクションを実現する構成であっても装置をコンパクトにすることができると共に作業性も向上することができる。
【符号の説明】
【００７１】
Ａ ワーク供給部
Ｂ 樹脂供給部
Ｃ プレス部
Ｄ ワーク検査部
Ｅ 加熱硬化部
Ｆ ワーク収納部
Ｇ 制御部
Ｈ ワーク搬送機構
Ｉ 情報読取り部
Ｋ キャリアプレート
Ｌ 表示部
Ｍ 操作部
Ｎ 冷却部
Ｗ ワーク
１ ロボットハンド
２ 多関節ロボット
３，３９ ベース部
４ 直動ガイドレール
５ 液状樹脂
６，１５，２５ シャッター
７ 回動機構
８ 保持アーム
９ 供給マガジン
１０ 収納マガジン
１１ 搬送エリア
１２，２４ 仕切り壁
１６ コード情報読取り装置
１６ａ アライナ
１７ シリンジ供給部
１７ａ 保持部本体
１７ｂ 回転ホルダー
１７ｃ フランジ部
１７ｄ 凹部
１７ｅ 樹脂受け部
１７ｆ，１８ｆ ピンチバルブ
１８ ディスペンスユニット
１８ａ ユニット本体
１８ｂ ピストン保持部
１８ｃ ピストン
１８ｄ チャック
１８ｅ ガイド部
１９ シリンジ
１９ａ チューブノズル
２０ モータ
２０ａ モータ軸
２１ 捨て打ちカップ
２２ ワーク載置部
２２ａ 支持突起
２３ 重量計
２４ａ 開口部
２６ プレス装置
２８ 上型
２８ａ，３０ａ キャビティ
２８ｂ 爪部
２９ 下型プラテン
３０ 下型
３２ ローダー
３５ フィルム供給装置
３６ リリースフィルム
３９ａ 直動レール
４０ 可動ステージ
４２ 外観検査部
４３ キュア炉
４４ 内扉
４５ 外扉
４６ 開閉扉
４７ 記憶部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体チップがキャリア上に保持されたワークに液状樹脂を供給する液状樹脂供給装置及びこれを備えた樹脂モールド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワークを複数プレス部に対して供給して樹脂モールドする場合、各プレス部にはローダーによってワーク及び樹脂（タブレット樹脂、液状樹脂、粉末・顆粒状樹脂、或いはペースト状樹脂など）をプレス部に備えたモールド金型に搬入してクランプすることで樹脂モールドされる。このとき、複数プレス部において効率的に樹脂モールドを行なうためには、ローダーや減圧装置を各プレス部において兼用することによるコンパクト化のほかに、成形サイクルを最も遅いプレス部の樹脂モールド動作に合わせて行うことが知られている（特許文献１参照）。
また、液状樹脂を供給するディスペンサーに液状樹脂の収容量によらずにシリンジを自動装着する装置も提案されている。具体的にはプランジャーの中央部に備えたねじ穴にロッドをねじ嵌合させたままロッドを後退させてシリンジをロック機構によりロックすることでシリンジをディスペンサーに自動装着するようになっている（特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２０１０−８３０２７号公報
【特許文献２】特開２００９−２８５８５８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば、複数プレス部にワークと共に液状樹脂を供給する場合には、一の液状樹脂供給装置（ディスペンサー）でワークに液状樹脂を供給する場合、温度管理が必要な液状樹脂の吐出時間が長くなるため、生産効率が落ちてしまうおそれがある。
また、ディスペンサーにシリンジを自動装着させるとしても、シリンジ搬送機構によりシリンジのプランジャーのねじ穴とロッドを位置合わせして個別にねじ嵌合させて装着するのは、装置が大がかりになるうえに設置面積も必要になるし、シリンジの交換から液状樹脂の供給までに時間がかかる。
更には、液状樹脂の種類や供給量が異なる製品に対して効率よく液状樹脂を供給することでミックスプロダクションを実現したいというニーズもある。
【０００５】
本発明は上記従来技術の課題を解決し、コンパクトな装置構成で液状樹脂を充填したシリンジの交換を迅速かつ効率よく行いしかも製品に応じた仕様でワークに液状樹脂を供給できる液状樹脂供給装置及びこれを用いた樹脂モールド装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は上記目的を達成するため、次の構成を備える。
半導体チップがキャリア上に保持されたワークに液状樹脂を供給する液状樹脂供給装置であって、シリンジに充填された液状樹脂をワークに吐出して供給するディスペンスユニットに交換用の複数のシリンジを保持したシリンジ供給部が回転可能に設けられ、ディスペンスユニットはシリンジ供給部から交換用のシリンジを受け取って液材吐出位置に保持されたワークに液状樹脂を所定量吐出して供給することを特徴とする。
上記構成によれば、交換用シリンジを保持したシリンジ供給部が回転することにより、ディスペンスユニットに対するシリンジ交換位置及び作業者によるシリンジ供給部のシリンジ交換位置のいずれにおいてもシリンジにアクセスすることができるので、装置を簡素化、コンパクトに設置できるうえに、シリンジ供給部の回転によって、シリンジ交換位置を変更することなく一定の位置で行えるため交換作業が容易に行える。
【０００７】
一対のディスペンスユニットの間に前記シリンジ供給部が回転可能に設けられ、各ディスペンスユニットは前記シリンジ供給部を共用して交換用のシリンジを受け取って液材吐出位置に保持されたワークに液状樹脂を所定量吐出して供給することを特徴とする。
上記構成によれば、一対のディスペンスユニットが共通のシリンジ供給部を共用して交換用のシリンジを受け取って液材吐出位置に保持されたワークに液状樹脂を所定量吐出して供給することで、温度管理が必要なディスペンスユニットからワークに対する液状樹脂の吐出動作が効率よく実現でき、複数プレス部において連続する樹脂モールド動作に追従することができ、生産効率の向上に寄与することができるうえに、異なるワークに対しても液状樹脂を供給することができ汎用性が向上する。
【０００８】
前記シリンジ供給部には回転角で６０°ごとにシリンジが保持されており、各ディスペンスユニットは、前記シリンジ供給部のシリンジ受け取り位置と液材供給位置との間を移動可能であって、シリンジ受け取り位置と前記シリンジ供給部の回転中心とを結ぶ角度が１２０°となるように配置されていることを特徴とする。
これによれば、例えばロボットハンドが同じ位置から液材吐出位置にワークを供給してディスペンスユニットにより液材を供給することができるので、液状樹脂供給装置をコンパクトに配置することができるうえに、シリンジ供給部に回転角で６０°ごとにシリンジを保持しておくことで、各ディスペンスユニットもシリンジ供給部に保持されたシリンジを同時に交換することも可能になる。
【０００９】
前記シリンジ供給部及び前記ディスペンスユニットには、シリンジ先端に設けられたチューブノズルを開閉するピンチバルブが各々設けられていることを特徴とする。
これによって、シリンジ供給部においてもディスペンスユニットにおいても保持されたシリンジから液状樹脂が漏れ出すのを防ぐことができる。
【００１０】
前記ディスペンスユニットに保持されたシリンジのチューブノズル付近の液状樹脂を捨て打ちする捨て打ちカップが前記液材供給位置と退避位置との間を移動可能に設けられていることを特徴とする。
これにより、シリンジのチューブノズル付近の比較的質の悪い液状樹脂を捨て打ちカップに捨ててから使用することで、液状樹脂の品質を高品質に維持することができる。
【００１１】
各ディスペンスユニットは液材供給位置においてワークに吐出された液状樹脂の吐出量が各々計量されて供給されることを特徴とする。
これにより、温度管理が必要なディスペンスユニットからワークに対する液状樹脂の吐出動作が精度良く行えるため、複数プレス部において連続する樹脂モールド動作に追従することができ、生産効率の向上に寄与することができる。
【００１２】
樹脂モールド装置においては、ワークをロボットハンドに保持して搬送するワーク搬送機構に備えた多関節ロボットの移動範囲を囲んで前記ワーク供給部、前述したいずれかの液状樹脂供給装置、前記プレス部及び前記ワーク収納部が配置されていることを特徴とする。
これにより、ワークや液状樹脂の供給から樹脂モールドを行なって成形品を収納するまでの一連の作業を効率よくしかも製品に応じた仕様で樹脂モールドすることができる。
【発明の効果】
【００１３】
上記液状樹脂供給装置を用いれば、コンパクトな装置構成で液状樹脂を充填したシリンジの交換を迅速かつ効率よく行いしかも製品に応じた仕様でワークに液状樹脂を供給できる。また、樹脂モールド装置においては、複数プレス部に搬入されるワークに液状樹脂を効率よく供給することで、複数プレス部における連続する樹脂モールド動作に追従することができ、生産効率の向上に寄与することができる。また、液状樹脂の種類や供給量が異なる製品に対して効率よく液状樹脂を供給することでミックスプロダクションを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】樹脂モールド装置の全体構成例を示す平面レイアウト図である。
【図２】ワーク搬入時の液状樹脂供給装置の側面図である。
【図３】ピンチバルブの開閉動作を示す断面説明図である。
【図４】シリンジ供給部からシリンジを受け取る前の液状樹脂供給装置の側面図である。
【図５】シリンジ供給部からシリンジを受け取る状態を示す液状樹脂供給置の側面図である。
【図６】シリンジ供給部からシリンジを受け取った後の液状樹脂供給置の側面図である。
【図７】液状樹脂を捨て打ちする状態を示す液状樹脂供給置の側面図である。
【図８】ワークに液状樹脂を吐出している状態を示す液状樹脂供給置の側面図である。
【図９】一対のディスペンスユニットとシリンジ供給部のレイアウト構成を示す平面説明図である。
【図１０】圧縮成形動作を示す断面説明図である。
【図１１】他例に係る圧縮成形動作を示す断面説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下、本発明に係る樹脂モールド装置の好適な実施の形態について添付図面と共に詳述する。以下の実施形態では、プレス装置の一例として圧縮成形装置を用い、下型を可動型とし上型を固定型として説明する。
【００１６】
（樹脂モールド装置の全体構成）
図１は、本発明に係る樹脂モールド装置の一実施形態である平面レイアウト図である。本実施形態の樹脂モールド装置は、ワーク搬送機構Ｈに備えた多関節ロボットの移動範囲を囲んでワーク供給部Ａ、樹脂供給部Ｂ、プレス部Ｃ、ワーク検査部Ｄ（冷却部）、加熱硬化部Ｅ及びワーク収納部Ｆのような各処理工程を行う処理部と、これらの処理部の動作を制御する制御部Ｇが配置されている。プレス部Ｃの近傍には情報読取り部Ｉが設けられている。また、樹脂供給部Ｂの近傍には、表示部Ｊ及び操作部Ｍが設けられている。このように多関節ロボットの移動範囲を囲んで各工程を配置したことにより、移動距離が短縮されて工程間で効率の良いワーク搬送が実現できる。特に樹脂モールド装置に加熱硬化部Ｅを組み込まれているので、樹脂モールド後の成形品を迅速にキュア炉に搬入して加熱硬化させることができる。以下各部の構成について具体的に説明する。
【００１７】
図１において、ワークＷは、半導体チップがキャリア上に保持されたものが用いられる。このワークＷは、例えばＥ−ＷＬＰ（Ｅｍｂｅｄｄｅｄ Ｗａｆｅｒ Ｌｅｖｅｌ Ｐａｃｋａｇｅ）若しくはｅＷＬＢ (ｅｍｂｅｄｅｄｄ Ｗａｆｅｒ Ｌｅｂｅｌ ＢＧＡ)と呼ばれる樹脂封止方法に用いられるものである。具体的には、例えばウエハ搬送治具のような周辺装置を共用するため半導体ウエハと同じサイズとして、直径１２インチ（約３０ｃｍ）の丸型の金属製（ＳＵＳ等）のキャリアプレートＫに熱はく離性を有する粘着シート（粘着テープ）が貼着されており、該粘着シートに複数の半導体チップが行列状に粘着されたものが用いられる。各ワークＷの縁部には、製品に関する情報が対応付けられた情報コード（ＱＲコード、バーコード等）が付与されている。なお、キャリアプレートＫは矩形状であってもよい。この場合、半導体チップを複数行の行列状配置する場合、半導体チップが配置できないエリアを小さくすることができ成形効率上好ましい。
【００１８】
また、ワークＷとしては、半導体チップがキャリアプレートＫ上に保持されたＥ−ＷＬＰ（ｅＷＬＢ）用のワークＷではなく、再配線層にボールマウントしたウエハを樹脂モールドするウエハレベルパッケージ（ＷＬＰ）のワークＷであってもよい。この場合、可能なときはウエハ自体に情報コードを付与してもよいし、マガジンの各スリット（収納位置）に対して個別に情報コードを付与してもよい。更に、ワークＷは半導体チップが実装された樹脂基板やリードフレームであっても良い。
【００１９】
（表示部Ｌ及び操作部Ｍ）
図１に示すように、表示部Ｌ及び操作部Ｍは一体的に配置されている。作業者は、表示部Ｌに表示された情報を確認しながら、必要に応じて操作部Ｍを操作して装置内部における各部（例えば多関節ロボット２）の動作を制御可能となっている。また、後述する各種情報の入力や変更を行なうことも可能となっている。なお、通信回線を用いることで装置から離れた位置に表示部と操作部を設けて遠隔操作する構成としてもよい。
【００２０】
（ワーク搬送機構Ｈ）
図１において、ワーク搬送機構Ｈは、ワークＷをロボットハンド１に吸着保持して各工程間を搬送する回転及び直線移動可能な多関節ロボット２を備えている。多関節ロボット２は、折りたたみ可能な垂直リンクによる上下動と、回転可能な水平リンクとの組み合わせにより構成されている。上記各リンクは、図示しないサーボモータに備えたエンコーダにより回転量が検出されてフィードバック制御が行われる。ロボットハンド１は、キャリアプレートＫを載置して吸着保持するようになっている。尚、ロボットハンド１は、ワークＷを吸着保持するほかに、機械的にチャックする方式でも良い。また、ロボットハンド１は垂直軸を中心に回転する他に、水平軸を中心に回転（反転）するようになっていても良い。
【００２１】
また、図１において、多関節ロボット２のベース部３は、直動ガイドレール４に沿って往復移動可能に設けられている。例えば、ベース部３に設けられたナットにボールねじが連繋しており、図示しないサーボモータにより正逆回転駆動することにより、多関節ロボット２が直動ガイドレール４に沿って往復動するようになっている。
【００２２】
（ワーク供給部Ａ及びワーク収納部Ｆ）
図１において、多関節ロボット２が往復動する直動ガイドレール４の手前側には、ワーク供給部Ａとワーク収納部Ｆが併設されている。具体的には、ワークＷ（被成形品）を収納した供給マガジン９と、ワークＷ（成形品）を収納可能な収納マガジン１０が２列ずつ併設されている。尚、供給マガジン９と収納マガジン１０とは構造が同様であるので、以下では供給マガジン９の構造を代表して説明するものとする。また、２列設けられた供給マガジン９は、同じ種類のワークＷを収納する場合でも、異なる種類のワークＷを収納する場合でもいずれでも良い。収納マガジン１０についても同様である。また、供給マガジン９及び収納マガジン１０を1列ずつ設ける構成としてもよく、或いはそれぞれを３列以上設ける構成としてもよい。
【００２３】
（情報読取り部Ｉ）
図１において、情報読取り部Ｉには、コード情報読取り装置１６とアライナ１６ａとが設けられており、供給マガジン９から搬送されたワークＷを受け取ったアライナ１６ａを回転させることでワークＷの情報コードをコード情報読取り装置１６の直下に移動させる。この際に、ワークＷは一定の方向に統一される。コード情報読取り装置１６は、ワークＷに付与された製品に関する情報コード（ＱＲコード、バーコード等）を読み取る。この情報コードに対応して、記憶部４７には、樹脂供給情報（樹脂種別、樹脂供給量、供給時間など）やモールド条件（プレス番号、プレス温度、プレス時間、成形厚など）、キュア情報（キュア温度、キュア時間など）、冷却情報（冷却時間）、などの成形条件が記憶されている。コード情報読取り装置１６が読み取った情報コードに対応した成形条件情報に基づいて、搬送しているワークＷに対して後述する各工程の処理を行う。多関節ロボット２は成形条件の読み取りが完了したワークＷを樹脂供給部Ｂからワーク収納部Ｆに至る後の各処理工程へ順次搬送する。
【００２４】
（樹脂供給部Ｂの構成）
図１において、ワーク供給部Ａに隣接して樹脂供給部Ｂが設けられている。樹脂供給部Ｂには液状樹脂供給装置が設けられている。液状樹脂供給装置には、複数のシリンジ１９を回転可能に保持したリボルバ式のシリンジ供給部１７を挟んで両側に一対のディスペンスユニット１８が設けられている。樹脂供給部Ｂ内は、液状樹脂の品質維持のため、室内を冷却し除湿する空調装置が設けられている。また、後述するように装置側面には扉が設けられており、作業者がシリンジを交換可能となっている。
【００２５】
図９Ａにおいて、シリンジ１９に充填された液状樹脂をワークＷに吐出して供給する一対のディスペンスユニット１８の間に交換用の複数のシリンジ１９を保持したシリンジ供給部１７が回転可能に設けられている。各ディスペンスユニット１８はシリンジ供給部１７を共用して交換用のシリンジ１９を受け取って液材吐出位置に保持されたワークＷに液状樹脂を所定量吐出して供給する。
【００２６】
また、図９（Ｂ）において、シリンジ供給部１７には回転角で６０°ごとにシリンジ１９が６か所に保持されている。また、一対のディスペンスユニット１８は、シリンジ供給部１７のシリンジ受け取り位置Ｌと液材供給位置Ｊとの間を移動可能であって、シリンジ受け取り位置とシリンジ供給部１７の回転中心とを結ぶ角度が１２０°となるように配置されている。
【００２７】
これによれば、例えばロボットハンド１が同じ位置から液材吐出位置Ｊにワークを供給してディスペンスユニット１８により液材を供給することができるので、液状樹脂供給装置をコンパクトに配置することができるうえに、シリンジ供給部１７に回転角で６０°ごとにシリンジ１９を保持しておくことで、各ディスペンスユニット１８もシリンジ供給部１７に保持されたシリンジを同時に交換することも可能になる。また、装置手前側（図９（Ａ）図示の下側）もしくは装置側面側にシリンジ交換用の扉を設けた場合、該当する扉を開けることでその方向に向けられたシリンジ１９を容易に交換することができる。
【００２８】
（プレス部Ｃ）
次に図１及び図１０を参照してプレス部Ｃの構成について説明する。
図１に示すように、本実施形態では複数のプレス部Ｃが直動ガイドレール４より奥側に併設されている。一例としてプレス部Ｃを２台設けたが、１台であっても３台以上であっても良い。またプレス部Ｃは同じ製品を樹脂モールドするモールド金型を備えていても、異なる製品を樹脂モールドするモールド金型を備えていてもいずれでも良い。プレス部Ｃの搬送エリア１１に臨む側には仕切り壁２４が設けられており、該仕切り壁２４には開口部（図示せず）が設けられている。開口部は開閉可能なシャッター２５によって通常は閉塞されている。シャッター２５は、シリンダ、ソレノイドなどの駆動源により開閉するように設けられる。
【００２９】
また、プレス部Ｃにはプレス装置２６から搬送エリア１１にかけて往復動可能なローダー３２が設けられている。また、シャッター２５により手前側の搬送エリア１１には、図示しないワーク載置部が設けられている。ワーク載置部には、ロボットハンド１に吸着保持された液状樹脂が塗布されたワークＷが受け渡され、或いはプレス装置２６からローダー３２によって取出されたワークＷが受け渡される。
【００３０】
図１において、各プレス装置２６には、フィルム供給装置３５が設けられている。図１０（Ａ）に示すようにフィルム供給装置３５は上型２８のクランプ面を覆う長尺状のリリースフィルム３６をリール間で繰り出し及び巻き取りを行う装置である。リリースフィルム３６は上型面に公知の吸引機構により吸着保持されるようになっている。リリースフィルム３６としては、モールド金型の加熱温度に耐えられる耐熱性を有するもので、金型面より容易に剥離するものであって、柔軟性、伸展性を有するフィルム材、例えば、ＰＴＦＥ、ＥＴＦＥ、ＰＥＴ、ＦＥＰ、フッ素含浸ガラスクロス、ポリプロピレン、ポリ塩化ビニリジン等が好適に用いられる。尚、リリースフィルム３６として、クランプ面を覆う程度の大きさの短冊状に切断されたものを用いる構成を採用してもよい。
【００３１】
ワークＷのプレス部Ｃへの搬入搬出動作及びプレス動作について説明する。図１０（Ａ）において、プレス装置２６の上型２８と下型３０とは型開きした状態にあり、図１に示す仕切り壁２４のシャッター２５は開口部を閉塞した状態にある。ロボットハンド１に吸着保持されたワークＷはワーク載置部（図示せず）に載置されて吸着が解除されて受け渡される。ロボットハンド１が退避すると、ローダー３２がワーク載置部よりワークＷをハンドにより掴みシャッター２５が開放した状態で開口部よりプレス装置２６内に進入して下型３０にワークＷをセットする。
【００３２】
下型３０にワークＷがセットされた状態を図１０（Ａ）に示す。ワークＷをセットしたローダー３２はプレス装置２６から開口部を経て搬送エリア１１に戻るとシャッター２５が閉じて（図１参照）、プレス装置２６がワークＷをクランプして圧縮成形が行われる。図１０（Ｂ）に示すように、下型３０が上昇して上型２８との間でワークＷがクランプされる。上型２８のキャビティ２８ａを含むクランプ面にはリリースフィルム３６が吸着保持されている。
【００３３】
また、圧縮成形が終了すると、図１０（Ｃ）に示すようにプレス装置２６が型開きし、ワークＷはリリースフィルム３６が吸着された上型２８より離型し、下型３０に載置されたままの状態にある。シャッター２５が開放されるとローダー３２が搬送エリア１１からプレス装置２６内に進入して下型３０に載置されたワークＷを掴んで搬送エリア１１へ取出してワーク載置部２２に受け渡す（図１参照）。
【００３４】
ここでプレス装置２６の他例について図１１を参照して説明する。
上述したプレス装置２６と同一部材には同一番号を付して説明を援用するものとする。図１０では下型３０に対してワークＷを搬入する構成になっていたが、上型２８に対してワークＷを搬入する構成としてもよい。たとえば、該ロボットハンド１が液状樹脂の塗布されたワークＷをチャックハンドにより掴んで反転して上型２８に供給する構成とすることができる。この場合、ある程度チクソ性が高く樹脂モールド前の状態で反転させても樹脂が落下しない程度の粘度を有するエポキシ樹脂等を用いるのが好ましい。
【００３５】
本実施形態における上型２８は、キャリアプレートＫの縁部で開閉してこれを支持可能な爪部２８ｂを有してワークＷを保持可能に構成される。図１１（Ａ）は型開きしたプレス装置２６にワークＷが搬入された状態を示す。ワークＷは、キャリアプレートＫが上型２８のクランプ面から離間した状態で爪部２８ｂによって上型２８に吊り下げ保持（フローティング支持）されている。この場合、クランプするまで上型２８のクランプ面からキャリアプレートＫを離して保持することにより、液状樹脂への加熱を抑制される。これにより、液状樹脂の粘度が加熱によって一時的に低下して液状樹脂が下型３０に落下してしまうような事態を効果的に回避できる。また、Ｅ−ＷＬＰに用いられる粘着シートの加熱を遅らせることもでき、フライングダイの防止にも有効である。
【００３６】
図１１（Ｂ）は、プレス装置２６が型閉じした状態を示す。ワークＷは上型２８と下型３０とでクランプされて圧縮成形される。圧縮成形が完了するとプレス装置２６が型開きする。図１１（Ｃ）に示すように、下型３０が下動すると、ワークＷはモールド面がリリースフィルム３６に覆われた下型３０より離型し、かつ上型２８に吸着保持されたままになる。この状態で搬送エリア１１に待機する前述した多関節ロボット２のロボットハンド１を反転させてプレス装置２６内へ進入させて、ワークＷを掴んだまま上型２８面への吸着を解除することで、ロボットハンド１に受け渡して搬出することができる。
この場合には、プレス部Ｃに設けたローダー３２を省略して、ロボットハンド１を反転させた状態で直接型開きしたプレス装置２６に進入させてワークＷを上型２８に吸着保持させ、成形後のワークＷを上型２８より受け取ってプレス装置２６から取り出すことが可能になる。
【００３７】
（ワーク検査部Ｄ）
次にワーク検査部Ｄの構成について図１を参照して説明する。図１において、ベース部３９には直動レール３９ａが設けられている。この直動レール３９ａには可動ステージ４０がレール長手方向に往復動可能に設けられている。可動ステージ４０は例えば公知の駆動機構、ナット部がボールねじに連繋し、該ボールねじをモータにより正逆回転駆動することにより直動レール３９ａ上を往復動するようになっている。可動ステージ４０は、加熱硬化後のワークＷの冷却部を兼用している。
【００３８】
可動ステージ４０は直動レール３９の一端側であるワーク受取位置に待機している。この可動ステージ４０に、プレス部Ｃで圧縮成形されたワークＷがロボットハンド１によって載置され吸着を解除されて受け渡される。受け渡し位置にある可動ステージ４０のワーク搬送機構Ｈ側には、レーザー変位計４１がワークＷの上下一対で設けられており、ロボットハンド１によってワークＷが可動ステージ４０に載置される前に該レーザー変位計４１によってレーザー光を照射してワークＷの厚みが計測される。制御部Ｇは、測定した厚みを稼働情報として記憶部４７に記憶する。この場合、ワークＷの厚みからキャリアプレートＫの厚みを差し引くことで成形品の厚みを算出可能である。また、可動ステージ４０は、直動レール３９の一端側より他端側に移動する。この直動レール３９の他端側の上方には外観検査部４２が設けられている。外観検査部４２では、成形品を一括或いは分割して撮像して外観観察によって未充填、フローマークまたはフライングダイのような成形不良がないか否かが検査される。成形の良否と不良がある場合には不良の種類や撮像画像を稼働情報として記憶部４７に記憶する。検査が終了すると、ワークＷを載置した可動ステージ４０が受け渡し位置へ戻って、ロボットハンド１に受け渡されて、加熱硬化部Ｅへ搬送される。
尚、異常（想定を上回る未充填など）が検出されたときには表示部Ｊにその旨を通知し、装置全体の動作を止めてメンテナンスすることで、不良品が連続生産されるのを防ぐことができる。
【００３９】
（加熱硬化部Ｅ）
次に加熱硬化部Ｅの構成について図１を参照して説明する。加熱硬化部Ｅにはキュア炉４３が設けられており、検査後のワークＷをロボットハンド１によりキュア炉４３に収納してモールド樹脂を１２０℃から１５０℃程度で加熱硬化（ポストキュア）することで加熱硬化を完了させる。キュア炉４３内には、対向配置されたスリット４３ａが高さ方向に所定ピッチで形成されこのピッチでワークＷが保持されるようになっている。ワークＷをキュア炉４３に収納するときには、いずれかに形成されたスリット４３ａに沿ってワークＷを挿入して保持するようになっている。
【００４０】
図１においてキュア炉４３の搬送エリア１１を囲む側には内扉４４が設けられており、装置外面側には外扉４５が開閉可能に設けられている。内扉４４には２段分のスリット４３ａ位置に対応して開口部（図示せず）が各々設けられている。内扉４４の内方には開閉扉４６が各開口部を常時遮断するように個別に開閉可能に設けられている。また、図１に示すように、１２段のスリット４３ａを平面視で２列備えることで、総数で２４枚のワークＷを並行してポストキュアすることが可能となっている。
【００４１】
この場合、プレス部Ｃで樹脂モールドしてからポストキュアを開始するまでの時間が長くなった場合、樹脂モールド部分に反りが発生してしまうことがある。しかしながら、多関節ロボット２を用いて高さ方向にもワークＷをスムーズに移動可能な構成にしたことにより、高さの異なる所望のスリット４３ａに対していずれも短時間で移動可能となっている。このように、搬送に要する時間が成形品質に影響のあるモールド装置では多関節ロボット２による搬送時間の短縮の効果は特に大きい。
【００４２】
一つの開閉扉４６を開放すると２枚分のワークＷをロボットハンド１によって上下２段のスリット４３ａに各々挿入して保持させることができる。このように開閉扉４６を個別に開閉することで開閉面積を小さくしてワークＷを収納取出しすることができるので、炉内の温度の低下を防ぎ、かつ搬送エリア１１側への放熱を抑制することができる。
【００４３】
ワーク検査部Ｄにおいて検査されたワークＷはロボットハンド１に吸着保持されてキュア炉４３へ搬送される。キュア炉４３は開閉扉４６が閉塞されて所定温度に加熱されている。ワークＷを挿入するときは、ロボットハンド１が内扉４４に近づくと制御部Ｇが図示しない駆動機構を制御してスリット４３ａに対向する開閉扉４６が開放し、ロボットハンド１が炉内に進入してワークＷをスリット４３ａに沿って挿入する。そして、ロボットハンド１の吸着を解いてワークＷをキュア炉４３に受け渡してからロボットハンド１がキュア炉４３から退避する。ロボットハンド１が内扉４４より離れると開閉扉４６を閉塞する。以上の動作が繰り返し行われる。ワークＷをキュア炉４３に収納してから所定時間経過すると、再度ロボットハンド１がキュア炉４３内に進入して、ワークＷを吸着保持したままキュア炉４３より搬出し冷却部Ｎへ搬送するようになっている。
【００４４】
（冷却部Ｎ）
冷却部Ｎは、ワーク検査部Ｄの上方における空間に、冷却用マガジン（図示せず）が設けられている。冷却用マガジン内の両側壁には、対向配置されたスリットが高さ方向に所定ピッチで形成されておりこのピッチでワークＷを保持可能に構成されている。この場合、ロボットハンド１を任意の高さに移動可能な多関節ロボット２によって、所定のスリットに対してワークＷを受渡し可能となっている。成形品の加熱硬化が完了したワークＷはロボットハンド１により吸着保持されたまま冷却部Ｎのスリット（受け渡し位置）へ搬送されて吸着を解除されて受け渡される。この状態で所定時間放置することでワークＷが自然冷却される。尚、冷却部Ｎは、ワーク検査部Ｄとは別個に設けることも可能であるが、ワーク検査部Ｄの空いているエリアを利用することで装置をコンパクトに構成することができる。
【００４５】
（ワーク収納部Ｆ）
ワーク収納部Ｄの構成は前述したようにワーク供給部Ａの構成と同様である。ロボットハンド１は、冷却部で冷却されたワークＷを可動ステージ４０より受け取って隣接する収納マガジン１０へ搬送して収納する。
【００４６】
（制御部Ｇ）
図１において、制御部Ｇは、ＣＰＵ（中央演算処理装置）やＲＯＭ、ＲＡＭなどの記憶部４７を備え、前述した装置各部の動作を制御する。記憶部４７には各種制御プログラムが記憶されているほかに、ワーク搬送対象候補リストや搬送順序情報やワークＷに付されたコード情報が記憶されている。ＣＰＵは、ＲＯＭより必要なプログラムをＲＡＭに読み出して実行させ、ＲＡＭを用いて入力情報を一次的に記憶させたり入力情報に応じた演算処理を行ったりして制御プログラムに基づいてコマンドを出力する。
【００４７】
制御部Ｇには、ワーク供給部Ａの稼働情報（受け渡し済みの供給マガジンスリット番号）、コード情報読取り装置１６の稼働情報（レシピ情報；樹脂条件、モールド条件、キュア条件、冷却条件）、樹脂供給部Ｂの情報（シリンジ番号；（樹脂の種類、樹脂の解凍時刻、収容総量）、使用料（供給毎／総量）、供給開始／完了時刻）、プレス部Ｃの稼働情報（金型温度曲線、クランプ圧力曲線、成形厚、フィルム使用量）、キュア炉４３の稼働情報（炉内温度）、ワーク検査部Ｄの稼働情報（フライングダイ、成形厚）、ワーク収納部Ｆの情報（受取済みスリットの位置）などの情報が随時入力され、各部に必要なコマンドを出力する。制御部Ｇは、このような稼働情報や上述した成形条件などをワークＷに紐付けして記憶する。これにより、成形後のワークＷについての実際の製造条件等を確認することができる。例えば成形後のワークＷのキャリアプレートＫの情報コードを読取ることで、成形条件と稼働情報とを確認することができ、実際の成形品と関連する情報を容易に閲覧可能としたことにより、成形条件の最適化に利用可能となっている。
尚、制御部Ｇはワーク搬送機構Ｈを囲むように配置されているが、例えばコントローラのように有線若しくは無線により遠隔操作できるものであっても良い。
【００４８】
制御部Ｇは、最も時間がかかる工程の繰り返しサイクルに合わせて多関節ロボット２によるワーク供給動作及びワーク取り出し動作のタイミングを制御している。ちなみに各工程の最小サイクルは、所要時間を装置数で除して算出される。本実施形態では、プレス装置２６における樹脂モールド工程の最小サイクルが工程間で最大となるためこれに合わせてワークＷの搬入搬出のタイミングが決められている。
【００４９】
ここで液状樹脂供給装置の構成について、図２乃至図８を参照して具体的に説明する。図２において、シリンジ供給部１７は、保持部本体１７ａに回転ホルダー１７ｂが回転可能に支持されている。シリンジ１９は、シリコーン樹脂やエポキシ樹脂といった熱硬化性樹脂を所定量ずつ貯留し、回転ホルダー１７ｂの上部に設けられたフランジ部１７ｃに周方向で６箇所に設けられた凹部１７ｄに保持されている。また、回転ホルダー１７ｂの下方にはシリンジ１９の先端に設けられたチューブノズル１９ａから万一液状樹脂が漏出してもこれを受け止めるための樹脂受け部１７ｅが設けられている。
【００５０】
凹部１７ｄに保持された各シリンジ１９のチューブノズル１９ａに対応する位置には、ピンチバルブ１７ｆが各々設けられている。ピンチバルブ１７ｆは、図３（Ｂ）に示すように通常の状態ではチューブノズル１９ａを閉じた状態になっている。これによって、シリンジ供給部１７において保持されたシリンジ１９から液状樹脂が漏れ出すのを防いでいる。また、後述するディスペンスユニット１８にシリンジ１９を受け渡すとき、後述するピンチバルブ１８ｆによってチューブノズル１９ａを閉じてから図３（Ａ）に示すようにピンチバルブ１７ｆを開放してシリンジ１９をディスペンスユニット１８に受け渡すようになっている。
【００５１】
図２において、保持部本体１７ａの上部にはモータ２０が組み付けられている。モータ２０のモータ軸２０ａはフランジ部１７ｃと連繋している。モータ２０を起動すると、回転ホルダー１７ｂは所定方向に６０°回転して新たな交換用シリンジ１９をシリンジ受け取り位置Ｌまで回転するようになっている。尚、前述したように、シリンジ供給部１７は、一対のディスペンサユニット１８により共用しているため、双方のディスペンサユニット１８に供給するシリンジ１９を同時に交換することができる。また、一対のディスペンサユニット１８は、個別にシリンジ１９を交換してもよい。
【００５２】
次に、図２において、一方のディスペンスユニット１８についてその構成を説明する。尚、他方のディスペンスユニット１８はシリンジ供給部１７を挟んで反転した配置となっている以外同様の構成要素を備えているため説明は省略する。ディスペンスユニット１８は、シリンジ供給部１７に対して図示しない直動機構によって接離動可能なユニット本体１８ａにピストン保持部１８ｂが上下動可能に保持されている。ピストン保持部１８ｂの上部にはピストン１８ｃが上下動可能に設けられている。ピストン保持部１８ｂにはピストン１８ｃの高さ位置を検出する位置検出部が設けられ、ピストン１８ｃにはシリンジ１９内における接触を検出可能なスイッチが設けられている。これにより、ディスペンスユニット１８では、装着中のシリンジ１９における液状樹脂の残量を検出可能となっている。また、樹脂供給開始からのピストン１８ｃ移動量から液状樹脂の供給量も検出可能である。このような構成により、所定のシリンジ１９における液状樹脂の残量が１つのワークＷに対する供給量に満たないときは、そのシリンジ１９を未使用のシリンジ１９に交換してもよく、残量を使い切った後に交換して不足分を新たなシリンジ１９から供給してもよい。
【００５３】
また、ピストン保持部１８ｂには、ピストン１８ｃより下方にシリンジ１９を受け取って保持するチャック１８ｄが設けられている。また、チャック１８ｄより下方には、シリンジ１９やチューブノズル１９ａの姿勢を保持するガイド部１８ｅが設けられている。また、チャック１８ｄに保持された各シリンジ１９のチューブノズル１９ａに対応する位置には、ピンチバルブ１８ｆが各々設けられている。ピンチバルブ１８ｆは、図３に示すシリンジ保持部１７に設けられたものと同様の構成である。これによって、チャック１８ｄに保持されたシリンジ１９から液状樹脂が漏れ出し装置に付着したり供給量が変動したりするのを防ぐことができる。
【００５４】
また、ユニット本体１８ａの近傍には捨て打ちカップ２１が回転可能に設けられている。捨て打ちカップ２１は、シリンジ１９から液状樹脂を吐出する際に、チューブノズル１９ａ先端側の比較的品質が劣化した液状樹脂５を吐出するため設けられている。捨て打ちカップ２１は、後述するように回動機構７によってワークＷに液状樹脂を吐出する前に退避位置から液材吐出位置Ｊへ回転移動して不要樹脂が捨て打ちされる。
【００５５】
図１に示す樹脂供給部Ｂと搬送エリア１１とは仕切り壁により仕切られており、該仕切り壁には、ロボットハンド１が進退可能な開口部を開閉するシャッター６が設けられている。このシャッター６は、一対のディスペンスユニット１８とワーク搬送機構Ｈとを挟む位置に配置され、ワークＷを出し入れするときを除いて閉止することで樹脂供給部Ｂ内を気密に保ち装置外とワーク搬送機構Ｈのエリアとが直接繋がって空気の移動が行われないようにしている。シャッター６を開放することによりワークＷが液材吐出位置Ｊへ搬入される。
【００５６】
図２において、液材吐出位置Ｊには、ワークＷを載置するワーク載置部２２が設けられている。ワーク載置部２２にはロボットハンド１に吸着保持されたワークＷの吸着が解かれて載置される。ワークＷはキャリアプレートＫが支持突起２２ａに支持される。ワーク載置部２２には、重量計２３が設けられており、ワークＷの重さとワークＷに吐出される液状樹脂の重さが計量される。液状樹脂の吐出量は、製品に応じて予め決まっており、いずれの場合にも目標値±０．３ｇ程度の精度で吐出される。液状樹脂が吐出されたワークＷは、ワーク載置部２２よりロボットハンド１に吸着保持されてプレス部Ｃへ搬送される。
【００５７】
ユニット本体１８ａは図示しない駆動源（モータ、シリンダ等）を起動すると液材吐出位置Ｊからシリンジ供給部１７へ近接したシリンジ受け取り位置Ｌへ移動してチャック１８ｄにシリンジ１９を保持する。ユニット本体１８ａはシリンジ１９を保持したまま液材吐出位置Ｊへ移動してピストン１８ｃを図示しないシリンダやモータなどの駆動源により下動させてシリンジ１９内に圧入することで液圧によりピンチバルブ１８ｆを開放してチューブノズル１９ａより液状樹脂を吐出する。ピストン１８ｃの下動が停止するとピンチバルブ１８ｆによってチューブノズル１９ａが閉じるようになっている。
【００５８】
以上のように構成された一対のディスペンスユニット１８を併用することにより、温度管理が必要なディスペンスユニット１８からワークＷに対する液状樹脂の吐出動作が効率良くかつ精度良く行えるため、複数プレス部Ｃにおいて連続する樹脂モールド動作に追従することができ、生産効率の向上に寄与することができる。
【００５９】
次に、ディスペンスユニット１８によるシリンジ１９の受け取りから液状樹脂の供給までの動作について図４乃至図８を参照して説明する。
図４に示すように、シリンジ供給部１７にはシリンジ１９が保持されている。シリンジ１９のチューブノズル１９ａはピンチバルブ１７ｆにより閉じられている。また、ディスペンスユニット１８は、液材吐出位置Ｊに待機している。またピストン１８ｃはピストン保持部１８ｂの上方に待機した状態にある。
【００６０】
次に図５に示すように、ディスペンスユニット１８が図示しない直動機構により液材吐出位置Ｊからシリンジ受け取り位置Ｌまで移動する。ディスペンスユニット１８のチャック１８ｄがシリンジ１９を保持しピンチバルブ１８ｆがチューブノズル１９ａをクランプする。また、シリンジ供給部１７のピンチバルブ１７ｆを開放する。
【００６１】
そして、図６に示すようにディスペンスユニット１８の直動機構を作動させてシリンジ受け取り位置Ｌから液材吐出位置Ｊまで移動する。これにより、ディスペンスユニット１８にシリンジ１９を装着することができる。シリンジ１９を交換する場合には、使用後のシリンジ１９を元の位置に戻した後、シリンジ供給部１７のモータ２０を起動して回転ホルダー１７ｂを６０°回転させることにより新たなシリンジ１９を供給可能になる。
【００６２】
次に液状樹脂の供給動作について図７及び図８を参照して説明する。
尚、ワークＷはロボットハンド１によってワーク載置部２２に載置されており、シャッター６は閉じた状態にあるものとする。図７に示すように、シリンジ１９が交換された後、或いは樹脂モールド動作を再開しシリンジ１９より樹脂供給を開始する前には、回動機構７を作動させて回転軸７ａに直交して連続する保持アーム８に保持された捨て打ちカップ２１を退避位置（図９Ａ，Ｂ参照）から液材吐出位置Ｊまで回転させる。そして、ピンチバルブ１８ｆを開放しピストン１８ｃを所定量下動させて、ディスペンスユニット１８に保持されたシリンジ１９のチューブノズル１９ａ付近の液状樹脂５を捨て打ちカップ２１に捨て打ちする。捨て打ちが終了すると、ピンチバルブ１８ｆを閉じ、回動機構７を作動させて捨て打ちカップ２１を液材吐出位置Ｊから退避位置まで回転させる。これにより、シリンジ１９のチューブノズル１９ａ付近の比較的質の悪い液状樹脂５を捨て打ちカップ２１に捨ててから使用することで、液状樹脂５の品質を高品質に維持することができる。
【００６３】
図８において、液状樹脂５の捨て打ちが終了すると、再度ピンチバルブ１８ｆが開放され、ピストン１８ｃが下動して液状樹脂５がワークＷ上に吐出される。ワーク載置部２２に設けられた重量計２３により、ワークＷの重さとワークＷに吐出される液状樹脂５の重さが計量される。ピストン１８ｃの下動が停止するとピンチバルブ１８ｆが閉じて液状樹脂５の供給が停止する。
【００６４】
ここで、液状樹脂５の供給時の具体的な動作について説明する。液状樹脂５の吐出が開始されると例えば最終的な供給量の目標値の８〜９割程度といった十分に少ない量まで供給する。この際の供給量の詳細な計測値を重量計２３により計量し、目標値と計測値との差として算出される供給量に対して十分に少ない量まで供給する。このように各供給において最終的な供給量に対して十分に少ない量まで供給する動作を１回以上実行する。高精度な供給を行うためにはこの動作を繰り返す必要があるが、本装置ではディスペンスユニット１８が複数設けられているため、樹脂供給部Ｂにおける液状樹脂５の供給により装置全体のスループットを下げることなく液状樹脂５を高精度に供給することが可能となっている。続いて、最後の供給時には供給した総量が最終的な供給量となるように最後の供給時の供給量を算出して供給する。
【００６５】
また、各供給時には室内が冷却されているため、シリンジ１９内から吐出される液状樹脂５の粘度は高くなっている。このため、チューブノズル１９ａからの吐出された液状樹脂５はそのままではチューブノズル１９ａに吊り下がった状態となってしまうことがある。そこで、ピストン１８ｃの移動量により検出した供給量に応じてチューブノズル１９ａを閉止し、ピストン保持部１８ｂを上下動させることでチューブノズル１９ａからワークＷの間に吊り下がった液状樹脂５を強制的に切り離してワークＷ側に塗布する糸きり動作を行う。この場合、シリンジ１９の内外をチューブノズル１９ａによって閉止しているため、シリンジ１９内の液状樹脂５が糸きり動作の際に外側の液状樹脂５に引き寄せられて流れ出てしまい供給量が変動することはない。したがって、冷却されて粘度が高くなった液状樹脂５であっても高精度に供給することができる。
【００６６】
ワークＷは、ロボットハンド１によって保持されてワーク載置部２２よりプレス部Ｃへ搬送されて樹脂モールド動作に移行する。
【００６７】
上記樹脂モールド装置を用いれば、ワークＷや液状樹脂５の供給から樹脂モールドを行なって成形品を検査して良品のみを加熱硬化させて収納するまでの一連の作業をコンパクトな装置構成で効率よくしかも製品に応じた仕様で樹脂モールドが行える樹脂モールド装置を提供することができる。
【００６８】
上述した樹脂モールド装置は、樹脂供給部Ｂにディスペンスユニット１８をプレス部Ｃにプレス装置２６を２台ずつ設けたが更に増やしてもよい。またワーク搬送機構Ｈに備えた多関節ロボットも１台に限らず複数台設けて、搬送エリアを分担させてワークの搬送を行うことも可能である。
また、プレス装置２６は圧縮成形装置に限らずトランスファモールド装置であってもよく、減圧空間を形成してモールドを行っても良い。
【００６９】
また、充填された液状樹脂５の異なる複数種類のシリンジ１９をシリンジ供給部１７に保持させ、選択的にディスペンスユニット１８に対して受け渡す構成を採用することで複数種類の液状樹脂５を用いたモールド樹脂封止を並行して行うミックスプロダクションを行うこともできる。この場合でも、シリンジ供給部１７が回転することでディスペンスユニット１８のいずれに対してもシリンジ１９を受け渡すことができる。このため、１つのシリンジ供給部１７を一対のディスペンスユニット１８で兼用でき、ミックスプロダクションを実現する構成であっても個別にシリンジ供給部を設ける必要がなく、装置をコンパクトにすることができる。
【００７０】
また、１つのシリンジ供給部１７に対してシリンジ１９の交換作業を行なえばよい。この場合、例えば凹部１７ｄ毎に識別番号を設け、交換する際に識別番号が一致するシリンジを凹部１７ｄにセットすることにより、交換作業を簡易にすることができると共に交換ミスも防止することができるため、例えばシリンジ保持部を樹脂の種類別に設ける構成と比較し、作業性を向上することもできる。このように、ミックスプロダクションを実現する構成であっても装置をコンパクトにすることができると共に作業性も向上することができる。
【符号の説明】
【００７１】
Ａ ワーク供給部
Ｂ 樹脂供給部
Ｃ プレス部
Ｄ ワーク検査部
Ｅ 加熱硬化部
Ｆ ワーク収納部
Ｇ 制御部
Ｈ ワーク搬送機構
Ｉ 情報読取り部
Ｋ キャリアプレート
Ｌ 表示部
Ｍ 操作部
Ｎ 冷却部
Ｗ ワーク
１ ロボットハンド
２ 多関節ロボット
３，３９ ベース部
４ 直動ガイドレール
５ 液状樹脂
６，１５，２５ シャッター
７ 回動機構
８ 保持アーム
９ 供給マガジン
１０ 収納マガジン
１１ 搬送エリア
１２，２４ 仕切り壁
１６ コード情報読取り装置
１６ａ アライナ
１７ シリンジ供給部
１７ａ 保持部本体
１７ｂ 回転ホルダー
１７ｃ フランジ部
１７ｄ 凹部
１７ｅ 樹脂受け部
１７ｆ，１８ｆ ピンチバルブ
１８ ディスペンスユニット
１８ａ ユニット本体
１８ｂ ピストン保持部
１８ｃ ピストン
１８ｄ チャック
１８ｅ ガイド部
１９ シリンジ
１９ａ チューブノズル
２０ モータ
２０ａ モータ軸
２１ 捨て打ちカップ
２２ ワーク載置部
２２ａ 支持突起
２３ 重量計
２４ａ 開口部
２６ プレス装置
２８ 上型
２８ａ，３０ａ キャビティ
２８ｂ 爪部
２９ 下型プラテン
３０ 下型
３２ ローダー
３５ フィルム供給装置
３６ リリースフィルム
３９ａ 直動レール
４０ 可動ステージ
４２ 外観検査部
４３ キュア炉
４４ 内扉
４５ 外扉
４６ 開閉扉
４７ 記憶部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体チップがキャリア上に保持されたワークに液状樹脂を供給する液状樹脂供給装置であって、
シリンジに充填された液状樹脂をワークに吐出して供給するディスペンスユニットに交換用の複数のシリンジを保持したシリンジ供給部が回転可能に設けられ、ディスペンスユニットはシリンジ供給部から交換用のシリンジを受け取って液材吐出位置に保持されたワークに液状樹脂を所定量吐出して供給することを特徴とする液状樹脂供給装置。
【請求項２】
一対のディスペンスユニットの間に前記シリンジ供給部が回転可能に設けられ、各ディスペンスユニットは前記シリンジ供給部を共用して交換用のシリンジを受け取って液材吐出位置に保持されたワークに液状樹脂を所定量吐出して供給することを特徴とする請求項１記載の液状樹脂供給装置。
【請求項３】
前記シリンジ供給部には回転角で６０°ごとにシリンジが保持されており、単数又は複数のディスペンスユニットは、前記シリンジ供給部のシリンジ受け取り位置と液材供給位置との間を移動可能であって、前記シリンジ受け取り位置と前記シリンジ供給部の回転中心を結ぶ角度が１２０°となるように配置されている請求項１又は請求項２記載の液状樹脂供給装置。
【請求項４】
前記シリンジ供給部及び前記ディスペンスユニットには、シリンジ先端に設けられたチューブノズルを開閉するピンチバルブが各々設けられている請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の液状樹脂供給装置。
【請求項５】
前記ディスペンスユニットに保持されたシリンジのチューブノズル付近の液状樹脂を捨て打ちする捨て打ちカップが前記液材供給位置と退避位置との間を移動可能に設けられている請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の液状樹脂供給装置。
【請求項６】
各ディスペンスユニットは液材供給位置においてワークに吐出された液状樹脂の吐出量が各々計量されて供給される請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載の液状樹脂供給装置。
【請求項７】
ワークをロボットハンドに保持して搬送するワーク搬送機構に備えた多関節ロボットの移動範囲を囲んで前記ワーク供給部、請求項１乃至請求項６記載のいずれか１項記載の液状樹脂供給装置、前記プレス部及び前記ワーク収納部が配置されていることを特徴とする樹脂モールド装置。
【請求項１】
半導体チップがキャリア上に保持されたワークに液状樹脂を供給する液状樹脂供給装置であって、
シリンジに充填された液状樹脂をワークに吐出して供給するディスペンスユニットに交換用の複数のシリンジを保持したシリンジ供給部が回転可能に設けられ、ディスペンスユニットはシリンジ供給部から交換用のシリンジを受け取って液材吐出位置に保持されたワークに液状樹脂を所定量吐出して供給することを特徴とする液状樹脂供給装置。
【請求項２】
一対のディスペンスユニットの間に前記シリンジ供給部が回転可能に設けられ、各ディスペンスユニットは前記シリンジ供給部を共用して交換用のシリンジを受け取って液材吐出位置に保持されたワークに液状樹脂を所定量吐出して供給することを特徴とする請求項１記載の液状樹脂供給装置。
【請求項３】
前記シリンジ供給部には回転角で６０°ごとにシリンジが保持されており、単数又は複数のディスペンスユニットは、前記シリンジ供給部のシリンジ受け取り位置と液材供給位置との間を移動可能であって、前記シリンジ受け取り位置と前記シリンジ供給部の回転中心を結ぶ角度が１２０°となるように配置されている請求項１又は請求項２記載の液状樹脂供給装置。
【請求項４】
前記シリンジ供給部及び前記ディスペンスユニットには、シリンジ先端に設けられたチューブノズルを開閉するピンチバルブが各々設けられている請求項１乃至請求項３のいずれか１項記載の液状樹脂供給装置。
【請求項５】
前記ディスペンスユニットに保持されたシリンジのチューブノズル付近の液状樹脂を捨て打ちする捨て打ちカップが前記液材供給位置と退避位置との間を移動可能に設けられている請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の液状樹脂供給装置。
【請求項６】
各ディスペンスユニットは液材供給位置においてワークに吐出された液状樹脂の吐出量が各々計量されて供給される請求項１乃至請求項５のいずれか１項記載の液状樹脂供給装置。
【請求項７】
ワークをロボットハンドに保持して搬送するワーク搬送機構に備えた多関節ロボットの移動範囲を囲んで前記ワーク供給部、請求項１乃至請求項６記載のいずれか１項記載の液状樹脂供給装置、前記プレス部及び前記ワーク収納部が配置されていることを特徴とする樹脂モールド装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【公開番号】特開２０１２−１２６０７５（Ｐ２０１２−１２６０７５Ａ）
【公開日】平成２４年７月５日（２０１２．７．５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−２８１４６７（Ｐ２０１０−２８１４６７）
【出願日】平成２２年１２月１７日（２０１０．１２．１７）
【公序良俗違反の表示】
（特許庁注：以下のものは登録商標）
１．ＱＲコード
【出願人】（０００１４４８２１）アピックヤマダ株式会社 (194)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２４年７月５日（２０１２．７．５）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年１２月１７日（２０１０．１２．１７）
【公序良俗違反の表示】
（特許庁注：以下のものは登録商標）
１．ＱＲコード
【出願人】（０００１４４８２１）アピックヤマダ株式会社 (194)
【Ｆターム（参考）】
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