【課題】免震建物における地震時における上部構造の変位を経時的に記録可能な有効適切な変位記録装置を提供する。
【解決手段】下部構造１の上面に平板状の感圧センサー４を水平に設置して、上部構造２に設けたタッチペン６の先端を感圧センサーの表面に対して水平方向に変位可能に当接せしめ、感圧センサーに対するタッチペンの当接位置を検出してその位置信号を刻々と情報演算処理装置７に出力し、情報演算処理装置により上部構造の経時的な相対変位を刻々と演算処理してそのデータをデータ記録装置８に電磁的に記録する。タッチペンを棒状の支持部材５の先端部にコイルバネ等の弾性部材を介して上下方向に変位可能かつ下方に付勢された状態で装着する。支持部材とタッチペンとの圧力センサーを設けて上部構造の上下方向の相対変位も検出可能とする。 （もっと読む）

【課題】エンジンのシリンダブロック等の貫通穴の内周面を簡便に測定する内周面測定装置を提供する。
【解決手段】内周面測定装置１は、測定スピンドル２９と第１支持部５と第２支持部１７とガイドブロック４８とを有する。第１支持部５及び第２支持部１７はシリンダブロック２の両端面に着脱自在に取付られ、シリンダブロック２の貫通穴３に挿通された、測定スピンドル２９を回転自在に支持する。測定スピンドル２９は、円筒形状であり、内面３２を切欠いて回転軸３０の方向に略平行にのびるスリット３３を有する。測定スピンドル２９の内側に配置されるガイドブロック４８には、貫通穴３の内周面４を計測する変位センサ５１が固定される。ガイドブロック４８は、スリット３３に係合し回転軸３０に沿って測定スピンドル２９内を手動でスライド移動する。任意の測位位置において測定スピンドル２９を手動で回転させて、内周面４の形状測定を行う。 （もっと読む）

【課題】ミス値を取得してしまったとしても、ミス値を用いることなく幾何誤差の同定を行うことにより、ミス値を用いることによる幾何誤差の同定精度の低下を防止することができる幾何誤差同定装置を提供する。
【解決手段】計測値（たとえばターゲット球の直径の計測値）と（Ｓ４）、設定値（予め設定されている直径）とを比較することにより（Ｓ５）、計測値が正しい計測値であるか否かを判断し、たとえミス値を取得したとしても当該ミス値を用いることなく、正しい計測にもとづく計測値のみを用いて幾何誤差の同定を行うため（Ｓ１０）、幾何誤差の同定精度を従来と比較して向上することができる。 （もっと読む）

【課題】探針の交換を、支点を傷めずに、片手でワンタッチで行うことができる触針式表面形状測定器用の探針交換用冶具を提供する。
【解決手段】探針交換用冶具は、触針式表面形状測定器に下方から装着可能なハウジングを備え、ハウジングが測定器に装着された時に、測定器の第一支持部材２に接触して、第一支持部材２を下方から持ち上げて、支点用針５を支点支持面から離間させる押上面２６ａをハウジングに設け、ハウジングに、探針と共に測定器の第二支持部材を取り外す探針交換部材２１を上下方向に移動可能に設け、探針交換部材２１の上端に磁石２２を配置し、ハウジングを下方から測定器に装着した状態において、探針交換部材２１がハウジングに対して最上位置にある時に、磁石２２で第二支持部材の高透磁率部材１７を吸着し、そのままの状態で、探針交換部材２１を下方に下げることにより第二支持部材を第一支持部材２から取り外すように構成する。 （もっと読む）

【課題】測定アームを交換しても、測定アームのバランスを自動的に調整し、使い勝手および作業効率の向上が期待できる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】表面性状測定機において、測定アーム２４は、ブラケット２２に回転軸２３を支点として円弧運動可能に支持された第１測定アーム２４Ａと、これの先端に着脱機構２５を介して着脱可能に設けられ先端にスタイラス２６Ａ，２６Ｂを有する第２測定アーム２４Ｂとを含んで構成される。測定アームを円弧運動方向へ付勢しスタイラスに測定力を付与する測定力付与手段は、測定アームを回転軸を支点として円弧運動方向へ付勢するボイスコイル６２を含んで構成される。第２測定アームの交換後に、ボイルコイルに通電する電流を調整して測定アームのバランスを調整するバランス調整手段が設けられる。 （もっと読む）

【課題】普及している測定機を使用して、簡単な方法で、ナイフエッジ先端部の半径を正確に測定できる測定方法。
【解決手段】輪郭形状測定機を使用して、ナイフエッジ20の先端部を、先端に球体31を有する第１触針33で測定し、最小二乗円の半径を第１測定値Ｒ_kaとして算出し、ナイフエッジの先端部を、先端に球体32を有する第２触針34で測定し、最小二乗円の半径を第２測定値Ｒ_kbとして算出し、第１触針33と第２触針34の一方の先端部を、第１触針と第２触針の他方で測定し、最小二乗円の半径を第３測定値Ｒ_abとして算出し、（Ｒ_ka+Ｒ_kb-Ｒ_ab）／２を算出し、ナイフエッジの先端部の半径とするナイフエッジ先端部の半径測定方法。 （もっと読む）

【課題】細穴の奥や突起部を有するような被測定物でも高精度、かつ高速に測定を行うタッチプローブを提供する。
【解決手段】プローブ本体１２と、前記プローブ本体１２の先端部に形成された、被測定物と接触する測定子１４と、前記プローブ本体１２内に形成され、前記プローブ本体１２の軸方向に垂直でかつ互いに直交する２方向に変位可能に構成された変位機構と、前記２方向の各変位を検出する前記変位機構に設けられた変位検出部２５
ａ、２５ｂと、を備えたことを特徴とするタッチプローブ１を提供する。 （もっと読む）

【課題】計測対象物における孔の三次元座標を正確に計測することが可能である三次元計測治具及びこれを用いた三次元計測方法を提供する。
【解決手段】レーザ測定機ＬによってワークＷにおける孔Ｗｈの三次元座標を得るのに用いられるリフレクタＲを保持する三次元計測治具１であって、立形ＮＣフライス盤１０のスピンドル軸１２に取り外し可能に装着される連結部２と、立形ＮＣフライス盤１０の動作によりワークＷの孔ＷｈにリフレクタＲを相対的に接近させ、且つ、該ワークＷにおける孔Ｗｈの縁にリフレクタＲが接触した時点でリフレクタＲを孔Ｗｈに押し付け可能なターゲット保持機構３を備えている。 （もっと読む）

【課題】座標測定装置を用いて一連のワークピースを測定して検査するに際し、迅速かつ高速度に測定を実施しつつも、正確な測定結果を得ることを可能にする。
【解決手段】座標測定装置上で較正済み加工品を高速測定する工程（２８）と、較正済み加工品と測定された加工品との間の差に対応する誤差マップを生成する工程（３０）と、続くワークピースを同じ高速度で測定する工程（３４）と、当該続くワークピースの測定値を誤差マップを用いて補正する工程（３６）と、を実行するよう座標測定装置を構成する。加工品とは、ワークピースの一つであってもよい。 （もっと読む）

【課題】転動部材４の転動面４Ａを触針３にて直接測定しても、高周波帯域のウェービネス等の測定を容易にし、転動部材４の転動面４Ａと接触する触針３の先端３Ａの摩耗を抑制し、転動部材４の転動面４Ａと接触する触針３の先端３Ａに硬い粒子等が刺さり難い転動部材の周面測定装置１を提供する。
【解決手段】本発明に係る転動部材の周面測定装置１は、周面測定時に転動部材４の転動面４Ａに直接接触する触針の先端が、ダイヤモンドからなることを特徴とする。触針３の先端３Ａの接触面３Ａ１は、転動部材の転動面と１箇所で接触する為には、平面または凸形状になっていることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】弾性を有するチューブの高精度な内径測定方法を実現する。
【解決手段】弾性を有するチューブ５０を外径方向から圧縮軸２１を用いて圧縮すること、チューブ５０の圧縮変位量を、変位センサー２５を用いて測定すること、チューブ５０の圧縮荷重を荷重検出器２０を用いて測定すること、圧縮変位量の変化に対する圧縮荷重の変化の変曲点を解析処理装置３０で検出することを含み、変曲点における圧縮変位量を内径測定値とする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数枚のウエハの表面粗さの測定を連続で自動的に行うことができ、測定効率を向上させることができる表面粗さ測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のウエハ７０を載置できる回転駆動可能なステージ１０と、
該ステージ上で前記複数のウエハを同心円状に位置決め固定する位置決め手段５０と、
上下方向及び水平方向に直線的に移動可能に支持された接触子２１を、所定の測定位置にあるウエハの表面に接触させて水平方向に直線移動させることにより、該ウエハの表面粗さを測定する表面粗さ測定手段２０と、
測定対象となる測定対象ウエハを前記所定の測定位置に前記ステージを回転させて移動させ、前記表面粗さ測定手段により該測定対象ウエハの表面粗さを測定する一連の動作を前記複数のウエハに対して順次行うように前記ステージ及び前記表面粗さ測定手段を制御する制御手段４０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】プローブ部材の摺動部に滑り軸受けを用いた接触式変位測定器において、プローブ部材伸縮時の蛇腹ブーツ内の空気の移動をスムーズにして測定値バラツキを防止する。
【解決手段】測定対象物に当接して変位可能な接触子４と、前記接触子４と接続し滑り軸受構造により変位するプローブ部材８と、前記接触子４及び前記プローブ部材８の間に設けられた蛇腹部６と、前記プローブ部材８の変位に対応した出力を行う差動トランス１４，１６を有する接触式変位測定ヘッド１を備えた接触式変位測定器であって、前記プローブ部材８の変位に伴って前記蛇腹部６が伸縮する時の前記蛇腹部６内の空気を逃がす通路１８を前記プローブ部材８の内部に設けた。 （もっと読む）

【課題】 プローブの伸び、及び周辺空気の温度、湿度の影響を抑えた高精度な形状測定を行うことのできる形状測定用の接触式プローブおよび形状測定装置を提供する。
【解決手段】 プローブシャフト２と先端球１６を備えた接触式プローブ１において、
前記プローブシャフト２内の測長光路の少なくとも一部に透明体を設けることにより、少なくともこの部分だけ空気に暴露された光路を減らすことができる。その結果、外気の屈折率変化による測定誤差を抑え、精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】装置の高コスト化を抑えながら、被検面の形状を高精度に計測することができる技術を提供する。
【解決手段】被検物を保持する保持面を含む保持部と、被検面と被検面の形状を計測するための基準となる基準位置との間の距離を計測する距離計測部と、基準位置が被検面に沿うように距離計測部を駆動する駆動部と、駆動部によって駆動される距離計測部の基準位置を測定する位置測定部と、距離計測部によって計測された被検面と基準位置との間の距離と位置測定部によって測定された基準位置とに基づいて被検面の形状を算出する処理部と、を有し、位置測定部は、距離計測部に配置されて互いに異なる測定軸を有するレーザ干渉計と、レーザ干渉計のそれぞれからの光をそれぞれ反射する基準ミラーとを含み、レーザ干渉計の原点と基準ミラーとの間の距離を測定することで基準位置を測定し、基準ミラーの法線が保持面を含む面に交差するように配置される。 （もっと読む）

【課題】 接触式プローブによって、垂直に近いような急傾斜面であっても、安定して接触力を制御し、高精度な形状計測を行う。
【解決手段】 接触式プローブを被測定物の表面に沿って移動させることで、被測定物の表面形状を測定する形状測定方法において、プローブに加わる接触力の分力の大きさにより、被測定面の傾斜を推定し、垂直に近い状態であると判断するとプローブ支持手段の移動方向に交差する方向にプローブ支持手段を移動させる。 （もっと読む）

【課題】測定時間の短縮が図れる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】被測定物Ｗを載置する回転テーブル２０と、被測定物の表面性状に応じた信号を発する検出手段３０と、回転テーブルおよび検出手段を相対移動させる検出器駆動機構４０と、検出手段からの信号を取り込み、この取り込んだ信号を処理して被測定物の形状や表面粗さなどの表面性状を求める処理装置６０とを備える。検出手段は、複数の検出器３１，３２を含んで構成される。処理装置６０は、複数の検出器３１，３２からの信号を順番に取り込んで処理する。 （もっと読む）

【課題】測定物の母線と検出点とのずれ量である心ずれ量を算出して補正することにより、基準となる測定物の直径値とは異なる直径値を有する測定物であっても正確な直径値を算出する。
【解決手段】測定物の中心と回転の中心を一致させて、測定物を検出器に対して相対的に回転させ、測定物の真円度を測定する真円度測定装置において、基準測定物に対する前記検出器の検出方向と直交する方向に前記基準測定物を移動させる手段と、前記基準測定物を基準位置から前記検出器の検出方向と直交する方向に移動させたときの各位置における検出値の変化量に基づいて、前記基準測定物の母線と前記検出器の前記基準測定物に対する検出点とのずれ量である心ずれ量を算出する手段と、前記算出した心ずれ量に基づいて、任意の測定物の測定値を補正する手段とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】粘土を不要にして測定精度を高めることができ、測定者によるばらつきを回避できる隙間測定装置を提供する
【解決手段】本体部４と、該本体部４に配設された計測子５とを含み、前記本体部４と計測子５との合算値Ｃにより隙間を測定する隙間測定装置３であって、
前記計測子５は前記合算値Ｃが変化するように前記本体部４に移動可能に配設されている。 （もっと読む）

【課題】ボールねじナットの内周面の溝形状の検査を容易且つ短時間で行う。
【解決手段】ボールねじナットを回転テーブル２２により回転自在に支持するとともに、その回転角度をロータリエンコーダ２３で測定し、測定子３をＸＹＺテーブル１２により、ＸＹＺ方向に移動自在に支持するとともに、測定子３がボールねじナットの方向に移動するＸ軸方向の変位をリニアゲージ１３により測定し、測定子３が上下に移動するＺ軸方向の変位をダイヤルゲージ１４により測定する。これらセンサの検出信号をもとに、ボールねじナットにおける測定子３の位置座標を演算し、位置座標をもとにボールねじナットの各部の測定を行う。 （もっと読む）