【課題】常に高精度な補正パラメータを算出できる三次元測定機を提供する。
【解決手段】三次元測定機を構成する補正パラメータ算出装置１０は、測定子２１１Ａに当接する当接面６１１を有し、当接面６１１に測定子２１１Ａが当接することで測定子２１１Ａの中心を回転中心とする回転変位を拘束することなく測定子２１１Ａの並進変位を拘束する拘束手段６と、駆動機構の動作を制御してプローブを移動させることで、当接面６１１に近接する方向に測定子２１１Ａを移動させる移動制御手段と、プローブの移動量、及び駆動機構の移動量を取得する情報取得手段と、情報取得手段にて取得されたプローブ２１の移動量、及び駆動機構の移動量に基づいて、補正パラメータを算出する補正パラメータ算出手段とを備える。当接面６１１は、測定子２１１Ａが当接した際に測定子２１１Ａと１点で点接触する。 （もっと読む）

【課題】測定開始時間を短縮化するとともに、測定範囲が狭い部位も測定可能とする表面粗さ測定装置を提供する。
【解決手段】まず、ピックアップ１６で所定の試験片８０を走査し変位の測定データを取得する。測定はピックアップ１６の移動開始直後から実施する。次に測定により得られた変位の測定データを解析し、測定値が安定し始める点を測定値安定開始点として検出する。次に、ピックアップ１６が測定値安定開始点に到達するまでに要する移動時間を求める。そして、求めた移動時間を測定待ち時間に設定する。 （もっと読む）

【課題】支点上でバランスする探針と変位センサで構成される触針式段差計の感度と変位分解能を向上させる方法及び該方法を実施している表面形状測定用触針式段差計を提供する。
【解決手段】Fを探針に加える力、Ｉを支点回りの慣性モーメント、ｒを支点−探針間の距離、ｚを探針の先端の変位、ｔを時間としたときに成り立つ、探針の先端の運動方程式Ｆ＝Ｉ／ｒ^２ｄ^２ｚ／ｄｔ^２に基づき、探針に加える力に応じて支点−探針間の距離ｒを決め、支点と探針の先端とを結ぶ線を水平より４５度傾け、探針の先端を下げる。 （もっと読む）

【課題】表面形状への追随性が良くて、より実物に近い段差部形状が得られ、かつ、変位雑音が小さい触針式段差計における測定精度の改善方法及び装置を提供する。
【解決手段】変位雑音を小さくするために遮断周波数が１５Ｈｚ程度の低域通過フィルターとして、計算処理で行うデジタルフィルターを用いて計測結果をフィルタリングし、その際の窓関数としてブラックマン窓等を用いる。 （もっと読む）

【課題】変位センサ等に影響を与えずに、蓋部材の着脱を簡単にすることができる触針式表面形状測定器を提供する。
【解決手段】触針式表面形状測定器は、差動トランスを支持する第一支持部材２及び探針１６を支持する第二支持部材１５を収容する収容ケース１を設け、ケース本体１ａと、蓋部材１ｂとから成り、前記ケース本体１ａに、２つの蓋固定用磁石を、それらの磁極が互いに反対向きになるように隣接して配置すると共に、前記蓋部材固定用磁石の側面及び一端面を囲むように強磁性体材料から成る周囲壁を設け、前記蓋部材１ｂにおける、ケース本体１ａに装着した時に前記蓋部材固定用磁石に対面する位置に、強磁性体材料から成る被吸着部を設け、蓋部材１ｂをケース本体１ａに装着した時に、ケース本体１ａの周囲壁と前記蓋部材１ｂの被吸着部とで前記蓋固定用磁石の周囲が囲まれる。 （もっと読む）

【課題】
特に軟らかい試料を針とびがなく、かつ変形が少ない最適の条件で測定できるようにする触針式段差計の針飛び抑制方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の針飛び抑制方法は、試料の段差、探針の走査速度、探針先の曲率半径、探針先の形状、探針を試料に押し付ける力、変位センサを支える支点周りの慣性モーメント、及び支点と探針間の距離のパラメーターで決まる探針の飛びの大きさすなわち飛びの高さ、飛び時間、飛び時間中に進む距離を、前記パラメーターの関数として算出して、飛びが起きない条件を予め求め、前記パラメーターに基く測定条件に応じて探針を試料に押し付ける最小限の力を設定することを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】表面形状への追随性が良く、かつ、変位雑音が小さい表面形状測定用触針式段差計及び該段差計における測定精度の改善方法を提供する。
【解決手段】変位センサ２０の磁性体コアに固有雑音の小さい強磁性体のコアを使用し、低雑音の差動トランスとして形成し、低雑音の差動トランスの出力を、低雑音のデジタルロックインアンプで計測し、変位の測定結果からセンサ２０の固有振動に起因する雑音を、低域通過フィルターを用いて移動平均法で除去し、低域通過フィルターの遮断周波数を通常の１５Ｈｚ程度よりも高くする。 （もっと読む）

【課題】定常状態で測定が行えるとともに、複数の断面形状が直接測定できる断面形状測定方法を提供すること。
【解決手段】 接触式のプローブ１７を用いてワーク３０の複数の測定位置Ｓ１，Ｓ２，…での断面形状Ｆ１，Ｆ２，…を測定する断面形状測定方法であって、測定位置Ｓ１，Ｓ２，…を通りかつワーク３０を一巡する経路に沿ってプローブ１７を移動させる際に、プローブ１７を測定対象物の一周分である測定区間Ｅｎに所定の重複区間である加速区間Ｅａおよび減速区間Ｅｄだけ長い距離を加えて移動させるとともに、次の測定位置へとプローブ１７を移動させる際の変移経路Ｅｍとし、プローブ１７の移動方向を断面形状が隣接する連続方向Ｌに対して傾斜させて重複区間分を相殺する。 （もっと読む）

【課題】再現性の高い高精度の測定を、短時間で行える生産性に優れたボールねじ軸の累積リード誤差測定装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】被測定ボールねじ軸Ｗを回転不動に固定する固定支持台１と、前記被測定ボールねじ軸Ｗのねじ溝に当接させるボール接触子５と、ボール接触子５を被測定ボールねじ軸Ｗの軸心Ｌｚに対し直交方向に往復移動させるとともにボール接触子５を所定の押し込み力で前記ねじ溝に当接させるボール接触子スライド手段と、ボール接触子スライド手段を軸心Ｌｚと平行に水平往復移動する位置検出スライド手段と、位置検出スライド手段を前記被測定ボールねじ軸Ｗのねじ部間で往復移動させる位置決め往復スライド手段２と、ボール接触子５の軸心Ｌｚ方向における位置を検出するリード位置測定手段６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】エンジンのシリンダブロック等の貫通穴の内周面を簡便に測定する内周面測定装置を提供する。
【解決手段】内周面測定装置１は、測定スピンドル２９と第１支持部５と第２支持部１７とガイドブロック４８とを有する。第１支持部５及び第２支持部１７はシリンダブロック２の両端面に着脱自在に取付られ、シリンダブロック２の貫通穴３に挿通された、測定スピンドル２９を回転自在に支持する。測定スピンドル２９は、円筒形状であり、内面３２を切欠いて回転軸３０の方向に略平行にのびるスリット３３を有する。測定スピンドル２９の内側に配置されるガイドブロック４８には、貫通穴３の内周面４を計測する変位センサ５１が固定される。ガイドブロック４８は、スリット３３に係合し回転軸３０に沿って測定スピンドル２９内を手動でスライド移動する。任意の測位位置において測定スピンドル２９を手動で回転させて、内周面４の形状測定を行う。 （もっと読む）

【課題】高精度で、しかも、スタイラスや測定アームなどの汚破損を少なくできる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】表面性状測定機において、測定アーム２４は、ケーシング２８内においてブラケット２２に回転軸２３を支点として円弧運動可能に支持された第１測定アーム２４Ａと、これの先端に着脱機構２５を介して着脱可能に設けられ先端にスタイラス２６Ａ，２６Ｂを有する第２測定アーム２４Ｂとを含んで構成され、着脱機構はケーシング内に配置される。測定アームの円弧運動量を検出する変位検出器２７は、測定アームに配置されたスケール２７Ａと、ブラケット２２にスケールに対向して配置された検出ヘッドとを含んで構成され、スケールの検出面が測定アームの軸線上で測定アームの円弧運動面上に配置される。 （もっと読む）

【課題】第１に、専門的知識を有さない対象者を対象として正確な足に関するデータを採取可能となり、第２に、簡単容易に実現され、第３に、個々の足の形状に合った靴の通信販売等が実現され、第４に、低コストで実現される、靴製作用の測定キットを提案する。
【解決手段】この靴製作用の測定キット１は、足型取り器２と測定器３とを別体で備えている。足型取り器２は、弾性を有しない可変材４を備え、足を載せることによって圧縮荷重を受け、塑性変形に基づき表面に少なくとも足の足裏面に対応した凹凸を形成可能である。測定器３は、少なくとも足外形よりも若干前側に伸びた形状を備えており足が載せられる基板５と、基板５の後部外周に付設され足の踵を囲んで保持可能な踵止め６と、基板５の前部表面に表示され足の足長サイズの測定に用いる目盛表示７と、基板５の中央部に設けられ少なくとも足の表面の高さ周りデータを採取可能なメジャー８とを有している。 （もっと読む）

【課題】普及している測定機を使用して、簡単な方法で、ナイフエッジ先端部の半径を正確に測定できる測定方法。
【解決手段】輪郭形状測定機を使用して、ナイフエッジ20の先端部を、先端に球体31を有する第１触針33で測定し、最小二乗円の半径を第１測定値Ｒ_kaとして算出し、ナイフエッジの先端部を、先端に球体32を有する第２触針34で測定し、最小二乗円の半径を第２測定値Ｒ_kbとして算出し、第１触針33と第２触針34の一方の先端部を、第１触針と第２触針の他方で測定し、最小二乗円の半径を第３測定値Ｒ_abとして算出し、（Ｒ_ka+Ｒ_kb-Ｒ_ab）／２を算出し、ナイフエッジの先端部の半径とするナイフエッジ先端部の半径測定方法。 （もっと読む）

【課題】上向スタイラスと下向スタイラスとの相互位置関係を正確に把握できる表面性状測定機の校正方法を提供する。
【解決手段】基準球の上側表面に下向スタイラスを接触させたままＸ軸方向へ相対移動させてＸ軸上側形状測定データを取得するとともに、基準球の下側表面に下向スタイラスを接触させたままＸ軸方向へ相対移動させてＸ軸下側形状測定データを取得するＸ軸形状測定データ取得工程と、この形状取得工程からから得られる中心座標Ｏ３，Ｏ４から、上向スタイラスおよび下向スタイラスのオフセット量ΔＸ，ΔＺを算出するオフセット量算出工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数枚のウエハの表面粗さの測定を連続で自動的に行うことができ、測定効率を向上させることができる表面粗さ測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数のウエハ７０を載置できる回転駆動可能なステージ１０と、
該ステージ上で前記複数のウエハを同心円状に位置決め固定する位置決め手段５０と、
上下方向及び水平方向に直線的に移動可能に支持された接触子２１を、所定の測定位置にあるウエハの表面に接触させて水平方向に直線移動させることにより、該ウエハの表面粗さを測定する表面粗さ測定手段２０と、
測定対象となる測定対象ウエハを前記所定の測定位置に前記ステージを回転させて移動させ、前記表面粗さ測定手段により該測定対象ウエハの表面粗さを測定する一連の動作を前記複数のウエハに対して順次行うように前記ステージ及び前記表面粗さ測定手段を制御する制御手段４０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】弾性を有するチューブの高精度な内径測定方法を実現する。
【解決手段】弾性を有するチューブ５０を外径方向から圧縮軸２１を用いて圧縮すること、チューブ５０の圧縮変位量を、変位センサー２５を用いて測定すること、チューブ５０の圧縮荷重を荷重検出器２０を用いて測定すること、圧縮変位量の変化に対する圧縮荷重の変化の変曲点を解析処理装置３０で検出することを含み、変曲点における圧縮変位量を内径測定値とする。 （もっと読む）

【課題】測定時間の短縮が図れる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】被測定物Ｗを載置する回転テーブル２０と、被測定物の表面性状に応じた信号を発する検出手段３０と、回転テーブルおよび検出手段を相対移動させる検出器駆動機構４０と、検出手段からの信号を取り込み、この取り込んだ信号を処理して被測定物の形状や表面粗さなどの表面性状を求める処理装置６０とを備える。検出手段は、複数の検出器３１，３２を含んで構成される。処理装置６０は、複数の検出器３１，３２からの信号を順番に取り込んで処理する。 （もっと読む）

【課題】ボールねじナットの内周面の溝形状の検査を容易且つ短時間で行う。
【解決手段】ボールねじナットを回転テーブル２２により回転自在に支持するとともに、その回転角度をロータリエンコーダ２３で測定し、測定子３をＸＹＺテーブル１２により、ＸＹＺ方向に移動自在に支持するとともに、測定子３がボールねじナットの方向に移動するＸ軸方向の変位をリニアゲージ１３により測定し、測定子３が上下に移動するＺ軸方向の変位をダイヤルゲージ１４により測定する。これらセンサの検出信号をもとに、ボールねじナットにおける測定子３の位置座標を演算し、位置座標をもとにボールねじナットの各部の測定を行う。 （もっと読む）

【課題】タービンブレードの測定装置を提供すること。
【解決手段】測定装置は、ブレードに沿って複数の所定位置にてタービンエンジンの圧縮機ブレード又はタービンブレードの１以上の態様を測定することができる。測定装置は、タービンエンジンの圧縮機ブレード又はタービンブレードの第１の列が位置する限定スペース内に測定装置の個々の要素を移動させることができるように、分解可能である。次いで、要素は、このスペース内で再組み立てされ、ブレードについての測定値が収集できるようにタービンブレードに取り付けることができる。 （もっと読む）

【課題】Ｒ１，０００以上、特にＲ１０，０００以上の大径を有する被測定物のＲ形状を高精度に計測することができ、かつ、持ち運びができるようなＲ形状計測装置並びにＲ形状計測方法及びＲ形状計測プログラムを提供する。
【解決手段】被測定物上の少なくとも３点における座標値を測定する手段と、測定された前記座標値に基づいて、Ｒ形状の中心値（ａ，ｂ）及び半径Ｒを、Ａ＝−２ａ、Ｂ＝−２ｂ、Ｃ＝ａ^２＋ｂ^２−Ｒ^２と置換した場合に、該Ａ、Ｂ及びＣのそれぞれを変数として、円の一般式の残差平方和を示す式を偏微分してなる連立方程式から取得するＲ形状算出手段と、を含む。 （もっと読む）