【課題】感度の低下を抑えつつ鮮鋭度の高い放射線画像を撮影できる放射線撮影装置を提供する。
【解決手段】放射線が照射されることにより光を発生するシンチレータ８と、光を受光することにより電荷が発生する有機光電変換材料を含んで構成されたセンサ部１３が複数設けられたＴＦＴ基板３０と、が順次積層された放射線検出器２０を、被写体Ｂを透過した放射線がＴＦＴ基板３０側から入射するように配置する。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査を効率的に実施することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】対象物に欠陥を意図的に発生させたり、全ての検査位置（観察ポイント）に欠陥を持つ対象物を準備しなくとも、従来では固定であった基準画像に替えて、当該基準画像よりも後に得られるＸ線画像を新たに基準画像としてステップＳ１０で置き換えることで、必要最小限の構成により、基準画像としてより適切なＸ線画像が得られた段階で基準画像のデータを改善して、Ｘ線検査を効率的に実施することができる。さらに、好ましくは、評価値として欠陥度合い（気泡の面積比率等）を採用し、ステップＳ４，Ｓ７で画像を当該評価値として数値化することによりＸ線画像を評価し、評価値に最も近い画像を基準画像として置き換えることで、基準画像を自動的に置き換えることができる。 （もっと読む）

【課題】高精度に試料の不純物濃度分布を測定する方法を提供する。
【解決手段】本発明の試料の不純物濃度分布を測定する方法は、走査工程、フィルタ工程、二次電子の強度を測定する強度測定工程、ハイパスフィルタ１７のカットオフエネルギー値Ｅｃを段階的にＮ−１回上昇させる工程、及び、二次電子の強度のエネルギー分布曲線ＲＬ、ＲＨを評価する工程とを備える。カットオフエネルギー値Ｅｃの各段階において、走査工程、フィルタ工程、及び、強度測定工程が行われる。ｍを１以上Ｎ以下の任意の整数、ｐを１以上Ｎ−１以下の任意の整数、ｍ段階目のカットオフエネルギー値ＥｃをＥ_ｍ、カットオフエネルギー値ＥｃがＥ_ｍである際に測定された二次電子の強度をＩ_ｍとしたとき、Ｉ_ｐ＋１−Ｉ_ｐの値を、Ｅ_ｐ以上Ｅ_ｐ＋１以下のエネルギーを有する二次電子の強度とみなす。 （もっと読む）

【課題】
多元素同時分析を可能とし、運転に必要とされる洗浄作業や消耗品交換の保守作業を低減し、測定データをオンライン伝送する水質管理システムにも好適な蛍光Ｘ線水質計を提供する。
【解決手段】
測定試料の一部は脱泡槽１４の下部からノズル１３に導かれ、大気中に噴出することでセル等を用いずに流束を形成し、Ｘ線発生素子５からＸ線を投影する。陰極電圧可変用電源装置６はＸ線発生素子５が発生するＸ線のエネルギーが測定目的の元素に固有の蛍光Ｘ線エネルギーより大きくなるように調整され、流束から放射される固有の蛍光Ｘ線を半導体Ｘ線検出素子７で検出し、信号処理装置９で処理することで測定試料中に含まれる複数の元素を同時に測定し、その測定データを管理センターに伝送することで水質管理システムを構成する。 （もっと読む）

【課題】 画像の画質を向上させることができる放射線撮像装置を提供する。
【解決手段】 放射線撮像装置（２０）は、放射線が照射される被写体（３０）に対して一方向に移動して、被写体に対応した放射線画像を取得するための読み取りユニット（４０）と、読み取りユニットを駆動するアクチュエータ（５０）と、を有する。読み取りユニットは、放射線を可視光に変換するシンチレータ（４３）と、シンチレータにおける放射線の入射面から射出した可視光を受光して電気信号に変換するラインセンサ（４４）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】しきい光電子分光を効率的に行うことができる装置および方法を提供する。
【解決手段】しきい光電子分光装置１は、第１光源１０、第２光源２０、照射光学系３０、真空容器４０、分子線生成部５０、撮像部６０および検出部７０を備える。準備段階において、分子線生成部による分子線生成タイミングに対する第１光源による第１パルス光出力タイミングを各値に設定して、分子線生成部による分子線生成，第１光源による第１パルス光出力および撮像部による蛍光撮像を行う。続く測定段階において、準備段階で撮像部による蛍光撮像により得られた蛍光像に基づいて決定されるタイミングおよび照射位置となるように、分子線生成部による分子線生成タイミングに対する第２光源による第２パルス光出力タイミングを設定するとともに、分子線への第２パルス光の照射位置を設定する。 （もっと読む）

【課題】宇宙線ミュオン用いて、操業条件毎の反応炉内部の密度分布を推定する方法を提供する。
【解決手段】反応炉内部を通過してミュオン計測器で検出されるミュオンの飛来方向毎の累積強度情報を一定時間毎に繰り返し記録するステップ１と、ステップ１を実施している最中の反応炉の操業条件の時間変化を記録するステップ２と、ステップ１及びステップ２で記録された情報に基づいて、一定時間毎のミュオンの飛来方向毎の累積強度情報を操業条件と関連づけるステップ３と、ステップ３で得られた情報に基づいて、特定の操業条件のときにミュオン計測器で検出された飛来方向毎の累積強度情報の合計値を生成するステップ４とを含む操業条件と関連づけられた反応炉内密度分布推定方法。 （もっと読む）

【課題】 検出器の構成に対して変更を最小とするに、Ａ／Ｄ変換器を正面照射検出器内に載置することができる、正面照射検出器、Ａ／Ｄ変換器を正面照射検出器内に載置する方法、及びＣＴ装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 正面照射検出器は、コリメータ、Ｘ線から可視光への変換器、可視光からアナログ信号への変換器、基板、及び前記アナログ信号をディジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器を備える。Ａ／Ｄ変換器を検出器内に載置する方法は、Ａ／Ｄ変換器を基板のＸ線が照射されない位置に載置するステップを含む。ＣＴ装置は前記正面照射検出器を含んでいる。従来の検出器の構成に対して変更を最小とする上に、Ａ／Ｄ変換器を正面照射検出器の中に載置し、Ａ／Ｄ変換器がＸ線に照射されず、Ａ／Ｄ変換器が良好に保護されている。 （もっと読む）

【課題】円筒面変換処理と時間遅延積分処理との両方を同じ演算制御過程内で行うことを可能にすることにより、極めて分解能が高く、しかも強度の高い回折Ｘ線像を得ることができるＸ線回折装置を提供する。
【解決手段】ＣＰＵ１７、メモリ２０等から成るコンピュータの外部にＤＳＰ（デジタルシグナルプロセッサ）から成る信号処理部２１を設置して成るＸ線回折装置１である。測定装置２はＸ線回折測定を行う。２次元ピクセル型検出器１２は複数のピクセルから出力されるデータ量の大きな２次元回折線データを高速通信線であるカメラリンクケーブル２４を通して信号処理部２１へ伝送する。信号処理部２１は送られてきた大量の回折線データに対して円筒面変換処理２６及び時間遅延積分処理２７を行い、処理結果の画像データを１ラインの行データごとにバス２３へ伝送する。 （もっと読む）

【課題】 多結晶材料中の結晶粒の配向と弾性歪を測定する方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、一組の結晶粒（Ｇ_１，．．．Ｇ_ｉ，．．．，Ｇ_ｎ）を含む多結晶材料の試料中に含まれる結晶粒の結晶格子の配向と偏差弾性歪を測定する方法であって、一系列のラウエパターンを記録する工程と、前記ラウエパターンをインターレース解除する演算であって、結晶粒の空間的広がりをさらに特定するようにトモグラフィ演算と組み合わせられると有利であるインターレース解除演算と、を含む方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】ＬＮＧオープンラック式気化器の伝熱管内部欠陥の有無を診断する方法を提供するものである。
【解決手段】ＬＮＧオープンラック式気化器内部欠陥の有無を判断する上で、伝熱管ヘッダー内部に備えられたスパージ管ガス抜き穴のうち、上向きの穴にもっとも近く設置された伝熱管付け根部を撮影開始部位として選択し、マイクロフォーカスＸ線により当該付け根部の傷を撮影し、映像から傷の有無を確認し、内部欠陥状況を確認する診断方法。 （もっと読む）

【課題】シールドボックス内部の温度上昇を抑制する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、シールドボックス２００と、シールドボックス２００の内部に配置されたＸ線源３００およびＸ線源３００を制御する制御部８００と、を備えたＸ線検査装置である。このＸ線検査装置には、シールドボックス３００の天面部２３０の内面で、かつＸ線源３００の上方に、気体を集める凹部２３１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 蛍光Ｘ線の検出強度や分解能を向上させることができるＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】 Ｘ線分析装置１は、試料Ｓに照射するためのＸ線を出射するＸ線管３と、Ｘ線の照射によって試料Ｓから放出された蛍光Ｘ線を一端５ａから他端５ｂに伝播するキャピラリー管５を複数含むキャピラリー管集合体４と、キャピラリー管５の他端５ｂから出射された蛍光Ｘ線を検出するＸ線検出器６と、を備えている。キャピラリー管集合体４は、キャピラリー管５の一端５ａの集合によって形成された一端面４ａを有し、当該一端面４ａは、試料Ｓが膜状に配置される試料配置面となっている。 （もっと読む）

【課題】確実に異物検出を行うことが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１００は、被検査物ＡにＸ線を照射するＸ線源２００と、Ｘ線源２００から照射される低エネルギー帯のＸ線を検知するセンサ３１０および高エネルギー帯のＸ線を検知するセンサ３２０を有するセンサユニット３００と、センサ３１０により検知されたＸ線データに基づいて被検査物Ａの透過画像を生成すると共に、センサ３２０により検知されたＸ線データに基づいて被検査物Ａの透過画像を生成する画像生成部４０１と、２つの透過画像の輝度が一致または近似するように一方の透過画像の輝度を変換させる輝度変換テーブルを作成する輝度変換テーブル作成部４０６と、輝度変換テーブルを平滑化して平滑輝度変換テーブルを取得する平滑化部４０８と、を備える。 （もっと読む）

【課題】合金系別にアルミニウム合金を判別する方法と、それを利用したアルミ合金選別設備を提供する。
【解決手段】回収する複数の校正用試料（第１アルミ合金）と排除する対比用試料（第２アルミ合金）のエネルギーの異なるＸ線の単位面積毎の透過Ｘ線強度測定結果を測定平面にプロットし、校正用試料の測定結果の分布を上側曲線と下側曲線で挟んだ判別帯を画定し、判別帯により測定平面を中密度領域と高密度領域と低密度領域に分け、対比用試料の測定結果分布と対比して高密度領域内または低密度領域内の校正用試料の測定結果に関する第１閾値を決め、中密度領域内の校正用試料の測定結果から第２閾値を決めておき、被選別試料に係る単位面積毎の透過Ｘ線強度測定値が高密度領域または低密度領域に含まれる割合が第１閾値より小さく、中密度領域に含まれる割合が第２閾値より大きいときに、回収対象品と判定する判別方法。 （もっと読む）

【課題】 10μm以下のビームサイズの入射X線を使用したX線反射率法で微小領域の膜厚を計測するには、入射角を変えながら、X線の焦点位置、試料表面、回転軸の関係を１μm以下の精度で維持、制御する必要がある。
【解決手段】 本発明は、X線レンズを振幅分割ビームスプリッターと集光光学系として用いることにある。X線レンズで屈折されたX線は、焦点位置で１０μm以下に集光するような角度分布を与える。薄膜積層体を焦点位置に配置し、鏡面反射されたX線を物体波、X線レンズを透過したX線を参照波として薄膜積層体下流に配置したX線レンズで重ね合わせ干渉させる。光路差と薄膜積層体中で生じた位相差を反映した干渉縞の間隔および位置から反射X線の位相を解析し、微小領域の膜厚を計測、検査することを特徴とする薄膜積層体検査方法 （もっと読む）

【課題】複数の信号を用いた高精度な寸法測定を実現することを可能にする。
【解決手段】本実施形態は、走査顕微鏡を用いて対象物の寸法測定を行う寸法測定方法であって、前記対象物の測定に関する始点および終点となる測長点を定義する工程と、前記対象物にビームを入射して走査することにより、同時刻における前記対象物からの複数の信号を検出する工程と、前記対象物の測長点の定義に基づいて、前記複数の信号から測長点を決定する工程と、前記対象物において決定された測長点の間の距離を算出する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】高精度に検査を行うことができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】
本実施の形態に係るＸ線検査装置１００においては、被検査物９００を透過した透過Ｘ線２１０がラインセンサ２２０により検出される。検出された透過Ｘ線２１０から透過画像が作成されて被検査物９００の検査が行われる。本発明のラインセンサ２２０は、シンチレータおよびフォトダイオードからなる間接型ラインセンサのシンチレータがないセンサである。 （もっと読む）

【課題】 硬Ｘ線やγ線等の放射線を高感度で検出することができ、位置分解能及び計数率特性に優れた、新規な放射線画像検出器を提供することを目的とする。
【解決手段】 入射した放射線を紫外線に変換するシンチレーターと、紫外線を電子に変換し、かかる電子をガス電子雪崩現象を利用して増幅し、検出するガス増幅型紫外線画像検出器とを組み合わせた放射線画像検出器であって、シンチレーターがＮｄ、Ｅｒ及びＴｍから選ばれる少なくとも１種の元素を含有するＬｉＬｕＦ_４結晶であり、ガス増幅型紫外線画像検出器が、ヨウ化セシウムやテルル化セシウムなどの紫外線を電子に変換する光電変換物質、電子をガス電子雪崩現象を利用して増幅するガス電子増幅器、及び増幅機能と検出機能を有するピクセル型電極より構成されることを特徴とする放射線画像検出器である。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、簡易な構造で、被検査物の高さに応じて被検査物が検査室の開口部を通過するときに必要となる力を変化させることができ、被検査物が検査室の開口部を通過しやすくすることができるＸ線検査装置を提供することである。
【解決手段】本発明に係るＸ線検査装置は、商品９００に検査室内でＸ線を照射して検査を行い、検査室の開口部にＸ線の漏洩を防止するＸ線漏洩防止カーテン５００を備える。Ｘ線検査装置は、閉状態のときにＸ線漏洩防止カーテン５００が開口部を閉塞し、開状態のときに商品９００が開口部を通過する。Ｘ線漏洩防止カーテン５００は、商品９００を水平に搬送するベルトコンベアの搬送面８１０に対して垂直方向に設けられた第１の回動軸５３０を中心に回動する第１の回動板５１０と、第１の回動軸５３０の上方に設けられた第２の回動軸５４０を中心に回動する第２の回動板５２０とを備える。 （もっと読む）