【課題】対象物をミリング加工及び検査する。
【解決手段】対象物の第一の表面のミリング加工期間中に、粒子ビームにより対象物の第一の表面をミリング加工する工程と、少なくとも第一の表面ミリング加工期間の大部分において、第一及び第二の表面の間に置かれた関心要素（ＥＯＩ）から構成されうる対象物を、電子検出器により対象物の第二の表面の画像を取得する工程と、対象物の第二の表面のミリング加工期間中に、粒子ビームにより対象物の第二の表面をミリング加工する工程と、少なくとも第二の表面ミリング加工期間の大部分において、電子検出器により対象物の第一の表面の画像を取得する工程とからなるシーケンスを、少なくとも一回反復する。 （もっと読む）

【課題】 荷電粒子光学装置において試料キャリアの温度を決定する方法を提供する。
【解決手段】 本発明は、荷電粒子光学装置において試料キャリアの温度を決定する方法に関し、該方法は、荷電粒子のビームを用いた試料キャリアの観測を含み、その観測は、その試料キャリアの温度に関する情報を与える。本発明は、TEM、STEM、SEM又はFIBなどの荷電粒子光学装置が、試料キャリアの温度に関する変化を観測するために使用することができるという見識に基づく。その変化は、力学的変化（例えば、二次金属）、結晶学的変化（例えば、ぺロブスカイトの）、及び発光変化（強度又は減衰期間）であってよい。望ましい実施形態において、異なる熱膨張係数を持つ金属（208、210）を示す2つの二次金属（210a、210b）を示し、反対方向に湾曲する。その2つの二次金属間の距離は、温度計として使用され得る。 （もっと読む）

【課題】従来は測定し難かった測定対象物であっても容易に測定できるＸ線回折装置及びＸ線回折の測定方法を提供する。
【解決手段】Ｘ線を照射するＸ線照射源１と、Ｘ線が測定対象物９に照射されて回折したＸ線を検出する検出器２と、Ｘ線照射源１と検出器２とを移動可能に支持する支持部材１０と、を備えているＸ線回折装置１００であって、支持部材１０は、直交する二軸のそれぞれの軸方向に、それぞれ独立して移動可能な第１の位置決め手段１３及び第２の位置決め手段１４と、二軸に垂直な軸の軸方向に移動可能な第３の位置決め手段１５とを備え、Ｘ線照射源１及び検出器２が固定された第１の位置決め手段１３、第２の位置決め手段１４及び第３の位置決め手段１５が所定の位置に移動することにより、Ｘ線の照射位置及び回折したＸ線の検出位置が決定されるように構成されているＸ線回折装置。 （もっと読む）

【課題】イオン液体の表面を浮遊する微細試料を、イオン液体に覆われることなく走査電子顕微鏡で観察する。
【解決手段】浮遊性あるいは疎水性の試料を親水性のイオン液体水溶液の表面に浮かべることで、微細試料がイオン液体に覆われることを防止する。親水性の試料の場合には、疎水性のイオン液体を使用する。粘性が低く、流動性が大きいイオン液体水溶液を用いることで、微細試料がイオン液体の表面で自由に凝集，分散，整列できるようにし、さらにはイオン液体中に沈降した微細試料の再浮上を可能にする。微細試料の形態が安定した後、走査電子顕微鏡下での観察を容易にするために、電子顕微鏡観察前にイオン液体水溶液を乾燥させることで、イオン液体水溶液の流動性を低下させる。 （もっと読む）

【課題】被検査物の底面付近および被検査物の全体についても異物検査を行うことが可能なＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置は、被検査物Ｂを搬送する検査テーブル７１１と、検査テーブル７１１で搬送される被検査物ＢにＸ線を照射するＸ線源２００と、Ｘ線源２００から照射されるＸ線を検知するラインセンサ４００とを備えている。そして、Ｘ線源２００は、検査テーブル７１１の水平な搬送面と、被検査物Ｂの搬送領域のＸ線源２００から最も離れた位置Ｐとの交点Ｇへ入射するＸ線とのなす角（θ１）が０°より大きく且つ３０°以下を満たすように配置される。 （もっと読む）

【課題】プレ撮影と本撮影との間での格子位置の変動によるアーチファクトの発生を防止する。
【解決手段】被検体を配置しない状態でのプレ撮影時に生成される第１の位相微分像と、被検体を配置した状態での本撮影時に生成される第２の位相微分像とについて、値がπ／２から−π／２、または−π／２からπ／２に変化する境界線を求め、所定方向に境界線を通過するたびにπまたは−πずつ変化する第１の階段状データと第２の階段状データとそれぞれを作成する。第１の位相微分像に第１の階段状データを加算して第１の加算済位相微分像を生成し、第２の位相微分像に前記第２の階段状データを加算して第２の加算済位相微分像を生成する。第２の加算済位相微分像から第１の加算済位相微分像を減算して補正済位相微分像を生成する。 （もっと読む）

【課題】検査対象の電気特性を測定する場合に、検査対象の電気特性に影響を与えることなく、ＳＥＭ画像の高倍率化、高分解能化及びリアルタイム性を実現する。
【解決手段】試料上の検査対象における目標位置の像を含む高画質且つ高倍率の第１の画像を取得する。次に、試料上の検査対象における目標位置の像とプローブの像を含む低画質且つ低倍率の第２の画像を取得する。次に、第２の画像に第１の画像データを組み込むことによって、第２の画像の倍率と同一の倍率の粗寄せ観察用の画像を生成する。プローブが検査対象における目標位置に近接するまで、粗寄せ観察用画像の生成を繰り返す。 （もっと読む）

【課題】アスベスト含有材料の無害化処理時に到達した加熱温度を正確かつ容易に評価することができる加熱温度判定方法を提供する。
【解決手段】アスベスト含有材料を加熱して無害化処理するにあたり、クリソタイルとカルシウムとを含むアスベスト含有検体を加熱して得られるオケルマナイト生成量と加熱温度との関係に基づいて、アスベスト含有材料が無害化処理時に到達する加熱温度を判定する。例えば、オケルマナイト生成量はＸ線回折によって測定される。 （もっと読む）

【課題】収束電子回折を用いた、物性の新規な測定方法を提供する。
【解決手段】物性の測定方法は、透過型電子顕微鏡により、試料の収束電子回折実験像を取得する工程と、収束電子回折実験像のＺｅｒｎｉｋｅモーメントの強度を計算する工程と、試料に関し物性を変化させて計算された収束電子回折計算像のＺｅｒｎｉｋｅモーメントの強度と、収束電子回折実験像のＺｅｒｎｉｋｅモーメントの強度とを比較する強度比較工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】移動台車に多数の機器を搭載することなく、被検車両の前輪を持ち上げて搬送しながら被検車両をＸ線検査することができ、これにより移動台車の構造を簡略化かつ軽量化して製造コストを下げることができるＸ線検査用車両搬送装置を提供する。
【解決手段】被検車両１の幅方向外側又は内側に位置し、被検車両の搬送方向に水平に延びる走行レール１２と、走行レールに沿って移動可能な移動台車１４と、移動台車を走行レールに沿って移動させる台車駆動装置１６と、搬送方向の複数の所定位置Ａ，Ｂ，Ｃで被検車両の前輪を被検車両の走行面１１上と移動台車１４上との間で移載可能な前輪移載装置２０とを備える。前輪移載装置２０は、移動台車に設けられ駆動装置を搭載しない台車搭載機器２２と、走行面近傍に固定して設けられた地上駆動装置２４とからなる。台車搭載機器２２と地上駆動装置２４は、各所定位置において協同して作動する。 （もっと読む）

【課題】 高抵抗体の帯電特性評価をミクロンスケールで行うことのできる高抵抗体の帯電特性評価装置、帯電特性評価方法および帯電特性評価プログラムを得る。
【解決手段】 真空内に載置された高抵抗体の帯電特性の均一性を評価する帯電特性評価装置。高抵抗体を帯電させる電子銃２と、２次電子検出器７０と、検出された２次電子を潜像画像データに変換する画像データ変換部８２と、変換された潜像画像データを２値化する２値化部８３と、２値化された潜像画像データのうち明部の画素数を計測する明部画素カウント部８４と、計測手段による計測結果に基づいて高抵抗体の帯電特性の均一性を評価するコンピュータと、を有する。 （もっと読む）

【課題】小型車両から大型車両までに適用することができ、Ｘ線の垂直照射と水平照射により検査できない車両部分が小さく、実質的に車両全体をＸ線検査する。
【解決手段】Ｘ線の垂直照射と水平照射によりＸ線検査する被検車両１の前輪を持ち上げて搬送するＸ線検査用車両搬送装置１０。被検車両１の走行面１１より低く被検車両の両側面より外側に位置し搬送方向に水平に延びる１対の台車用通路１３内に設けられた１対の走行レールと、走行面より下方に位置し走行レールに沿ってそれぞれ独立に移動可能な１対の移動台車１４と、移動台車にそれぞれ設けられ台車用通路上部と被検車両の前輪の前後位置との間で水平移動可能でありかつ前輪の前後位置において被検車両の前輪を持ち上げ可能な１対の前輪リフト装置１６と、被検車両より前方に位置し１対の移動台車１４を同期して走行レールに沿って移動させる台車駆動装置とを備える。 （もっと読む）

【課題】試料表面の分析部位における元素の挙動を解析するに際し、試料表面の分析部位の温度を簡便に素早く、精度良く測定する。
【解決手段】集束イオンビームを用いる微細部位解析装置において、イオン種がGaのGa集束イオンビーム３の前照射によって試料４の表面に注入されたGaを、試料４の表面温度の測定のための参照元素とし、分析時の試料４の表面の微細部位の温度を決定する。予め適当な試料４の表面温度毎にGa集束イオンビーム３を一定量試料４に前照射することにより試料４から放出された２次Gaイオンの収量を測定して、試料４の表面温度に対する２次Gaイオンの収量の関係を得る。この関係を一度調べれば、複数の試料４の分析時に、２次Gaイオンの収量を測定することで、試料４の表面の微細部位における温度を決定することができる。 （もっと読む）

【課題】簡易に機械的強度等の解析に利用でき、さらにガラス短繊維の含有量が多い場合にも好適に採用できる繊維配向解析方法を提供する。
【解決手段】樹脂成形品のスライス画像を二値化し、この二値化画像に対してフーリエ変換を施すことで得られるパワースペクトル画像を用いて、樹脂成形品内の一部における充填材の配向状態の傾向を解析する。本発明の解析方法に含まれる配向状態解析工程が、各パワースペクトル画像における、充填材の配向度及び／又は配向角を解析する工程であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】複数の検体容器内の検体の判定を効率的に行うことができる検体判定装置を提供する。
【解決手段】複数の検体容器が一列に立てられた検体ラックを載置する検体ラック載置部と、前記検体ラック載置部を、前記検体ラックに立てられた前記検体容器の列の方向に直交する水平線回りに所定の角度に傾斜させる傾斜部１２と、前記検体ラックに立てられた前記検体容器にＸ線を照射する照射部６と、前記照射部により前記検体容器に照射されたＸ線を検出する検出部７と、前記検出部による検出結果に基づいて前記検体容器内の検体の液面の角度を判定する液面判定部４とを備える。 （もっと読む）

【課題】容器内の液体の正確な液面高さを検出できるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】本発明のＸ線検査装置１００は、Ｘ線源から照射されるＸ線ＸＳを用いて、容器内の物品の検査を行うＸ線検査装置であって、Ｘ線源から照射され容器を透過したＸ線ＸＳに基づいてＸ線画像を生成する画像生成部２４２と、生成されたＸ線画像における、物品の最上端面画像ＳＺＧと最下端面画像ＳＫＧとから、当該最上端面画像ＳＺＧの中心位置Ｐ１および当該最下端面画像ＳＫＧの中心位置Ｐ２を検出する中心検出部２４３と、検出された中心位置Ｐ１と中心位置Ｐ２との距離に基づいて、液面高さＴを検出する高さ検出部２４４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】クリーンルームでのシート製作に際し、工場エアやファン、冷却水を用いることなく、光源や検出器の冷却が可能な放熱機構を提供する。
【解決手段】両端が開口した通風路と、該通風路の内部もしくは該通風路に隣接して設けられた少なくとも一つの第1発熱体と、前記通風路の一端に配置され前記通風路に熱対流を生じさせる程度の発熱量を有する第２発熱体、を備えている。 （もっと読む）

【課題】試料の高さ方向のばらつきを検査する。
【解決手段】試料２９を保持するホルダ２１１と、ホルダ２１１に保持された試料２９帯電処理する帯電制御部２３と、ホルダ２１１に保持された試料２９に電圧を印加するリターディング電源２４と、リターディング電源２４により電圧が印加された試料２９に向けて電子線を照射して、試料２９の表面近傍で引き戻されたミラー電子を結像させる電子光学系２０と、ミラー電子を結像させることで得られたミラー画像を画像処理する画像処理部２７と、を有する。画像処理部２７は、ミラー電子を結像させることで得られたミラー画像と、予め用意された標準品のミラー画像との差に応じた情報を、試料２９の高さ方向のばらつきとして出力する。 （もっと読む）

【課題】 コンクリート構造物の強度を損なわず、鉄筋の状況を広範囲に簡易かつ安価に測定できる鉄筋状況測定方法を提供する。
【解決手段】 コンクリートの柱１等に鉄筋１１、帯筋１２が配筋されているコンクリート構造物において、当該構造物の表側に対して鉄筋１１が配筋されている裏側で、Ｘ線の撮影可能な範囲内で、構造物の側面と側面を斜め方向に貫通させる貫通孔２０を形成し、当該貫通孔２０に短冊状の感光フィルム３０を挿入し、構造物の表側からＸ線を照射して鉄筋状況を測定し、感光フィルム３０を抜いて下側の貫通孔２０ｂから樹脂を充填する鉄筋状況測定方法である。 （もっと読む）

【課題】取り付け作業が容易で、且つ放射線の漏洩防止をも良好に行うことが可能な乗客コンベアの移動手摺り劣化診断装置を提供すること
【解決手段】乗客コンベアの移動手摺り劣化診断装置であって、移動手摺り１０に対して放射線を照射する光源を内部に含み、移動手摺り１０のうち照射される部分及び光源を覆う筐体によって構成される放射線発生部２と、移動手摺り１０を透過した透過光を受光することにより移動手摺り１０を撮影するカメラを内部に含み、移動手摺り１０のうちカメラによって撮像される部分及びカメラを覆う筐体によって構成され且つ放射線発生部２の筐体と組み合わせられることにより箱体となる受光部１と、箱体を移動手摺り１０が貫通するための貫通穴において光源から照射される放射線が箱体の外部に漏れることを抑えるための遮蔽板とを含むことを特徴とする。 （もっと読む）