【課題】オペレータが被検査物のＸ線透視像を目視で観察して、その被検査物の合否判定を行う装置において、不合格品が頻発する状態になっても処理レートが殆ど低下することがなく、しかも、不合格品が合格品として流出するこ恐れのないインラインＸ線透視目視検査装置を提供する。
【解決手段】Ｘ線発生装置２とＸ線ラインセンサ３よりも搬送方向下流側に振り分け装置９を配置し、オペレータの合否判定結果を入力する入力手段８による入力歩手用に基づき、その入力がなされた対象である被検査物Ｗが振り分け装置９の配設位置に搬送されるタイミングと合わせて当該振り分け装置９に対して駆動制御信号を供給することにより、オペレータによる合否判定の入力操作が種々に変化しても、該当の被検査物Ｗが合否判定結果に応じて振り分け装置９により確実に振り分けられることを可能とする。 （もっと読む）

【課題】物品に照射するＸ線の強度を高めた場合でも、効率良くＸ線の漏洩を防止することが目的とされる。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、Ｘ線を用いて物品の検査を行う装置であって、照射部１２と、受光部と、搬送機構とを備える。照射部１２は、物品にＸ線を照射する。受光部は、物品を透過したＸ線を受光する。搬送機構は、搬送ベルト１６３とガイド部材１６５とを有し、Ｘ線の照射位置へと物品を搬送する。搬送ベルト１６３は、物品を載せた状態で、物品を照射位置へ導くベルトである。ガイド部材１６５は、搬送ベルト１６３のうち少なくとも物品に接する部分１６３ａをガイドする。そして、物品の搬送方向から見たときのガイド部材１６５の両端部１６５２，１６５３は、中央部１６５１に対して起き上がっている。 （もっと読む）

【課題】 加熱炉内に収容されている電子部品などのワークに最も近接した位置でＸ線照射を行うことで、実際の加熱条件下におけるワークの挙動をリアルタイム且つ詳細に観察することのできる加熱型Ｘ線観察装置を提供することである。
【解決手段】 ハンダ付けの対象物であるワーク２０を収容して加熱処理を施す加熱炉１２と、前記ワーク２０にＸ線を照射してハンダ付けの状態を検査するＸ線検査ユニット１３とを備えた加熱型Ｘ線観察装置において、前記Ｘ線検査ユニット１３は、加熱処理中の加熱炉１２内に突出し、先端部のＸ線ターゲット部４０が前記ワーク２０の検査部位に近接した位置でＸ線を照射するＸ線照射管３０を備えた。 （もっと読む）

【課題】検査対象物のＸ線透視方向を最適に変更することにより、検査対象物を良好に検査および観察することができるＸ線検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象物が載置されるテーブルを有するベース部材と、検査対象物に対してＸ線を放射するＸ線発生点と、検査対象物を透過したＸ線を検出するＸ線画像検出手段と、ベース部材の前方両側に左右対称に配され、第１可動支点を介してベース部材を支持し、第１固定支点を介してフレームに固定される第１リンクバー部材と、ベース部材の後方両側に左右対称に配され、一端部で支持バー部材を介してＸ線画像検出手段を支持し、中間部で第２可動支点を介してベース部材を支持し、他端部で第２固定支点を介してフレームに固定される第２リンクバー部材と、テーブルの鉛直方向位置を調整する観察中心点調整手段と、ベース部材を揺動させる旋回駆動手段とを備えた。 （もっと読む）

【課題】微細に加工された半導体デバイス内の所望の箇所の３次元的構造を観察するための電子顕微鏡用試料作製装置、電子顕微鏡及びその方法を提供する。
【解決手段】試料片１０の加工にダイサーを用い、試料片上の観察対象となる部分を突起状に削り出す加工に集束イオンビーム加工を用い、試料片１０を１軸全方向傾斜試料ホルダに、突起１１の中心軸と試料傾斜軸Ｚを一致させて固定し、高角に散乱された電子で結像したＴＥＭ像を投影像として用い、再構成を行う。 （もっと読む）

【課題】放射線の影響によって受光素子の耐久性が低下したりノイズが発生することを回避し得る検査装置を得る。
【解決手段】Ｘ線ラインセンサ８は、Ｘ線照射器７からのＸ線Ｋ１，Ｋ２が照射される領域Ｒ１内に配置され、受けたＸ線を光Ｋ３に変換するシンチレータ３１と、シンチレータ３１から発せられた光Ｋ３を、Ｘ線Ｋ１，Ｋ２が照射されない領域Ｒ２内に導く光導波路３３と、領域Ｒ２内に配置され、光導波路３３によって導かれた光Ｋ３を受光する受光素子３２とを有する。 （もっと読む）

【課題】被検査物に対してＸ線を斜めに照射して高い検出精度を達成できるＸ線異物検出装置の具体的な構造を提案する。
【解決手段】 Ｘ線異物検出装置１は、Ｘ線発生器１１と搬送手段６とＸ線検出器１２を備えており、搬送手段６の搬送方向の両側には底面Ｓ１と側面Ｓ２に接して被検査物Ｗの移動を案内し、Ｘ線検出位置において被検査物Ｗを所定の傾斜状態に設定する傾斜ガイド１３及びサイドガイド１４を有する。搬送手段の搬送ベルト９は底面と側面が接する稜線Ｒに接触して被検査物Ｗを搬送する。 （もっと読む）

【課題】簡単な操作によって被検査物に対するＸ線の照射角度を変更して容易にその照射角度を最適化し、さらに、装置サイズをコンパクトに維持する。
【解決手段】搬送面上の被検査物Ｗを所定の搬送方向Ｙに搬送する搬送手段５と、搬送面上を搬送される被検査物Ｗに向けてＸ線を照射するＸ線発生器１８と、搬送面を挟んでＸ線発生器１８と対向配置され、被検査物Ｗを透過してくるＸ線をＸ線検出面に受けるＸ線検出器１９と、を備えるＸ線異物検出装置１において、搬送手段５が、搬送面を形成する搬送コンベア６を備えるとともに搬送面のＸ線検出面に対する角度が変更自在となるように傾斜可能に設けられ、且つ傾斜時に被検査物Ｗの側面を支持しながら被検査物Ｗの搬送をガイドするガイドコンベア１２を備える。 （もっと読む）

【課題】筒状電離箱を用いて高い測定感度および分解能を共に改善できるように構成した電離箱型Ｘ線異物検出装置を提案すること。
【解決手段】電離箱型Ｘ線異物検出装置１の検査面５の真下には幅方向に一定のピッチで２列に筒状電離箱２４（１）〜２４（ｍ）、２５（１）〜２５（ｎ）が配列されている。各筒状電離箱は、その中心軸線がＸ線発生源１２に向く姿勢となるように配置してある。検査面上の検査対象物Ｗを透過したＸ線は各筒状電離箱の中心軸線に沿って各筒状電離箱に封入されている電離ガスを通過するので、直径方向に通過する場合に比べて、Ｘ線が通過する電離ガスの容積が格段に多い。よって、測定感度の高い電離箱型Ｘ線異物検出装置を実現でき、測定の分解能を高めるために各筒状電離箱を細くして細かいピッチで配列した場合においても、各筒状電離箱を軸線方向に長くすることにより、所望の測定感度を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】システム自体と基板の汚染を防止する蛍光Ｘ線分析システム、それに用いるプログラムを提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析システム１００は、基板１を測定する蛍光Ｘ線分析装置４０と、基板１の被測定物２を反応性ガスにより溶解する気相分解装置２０と、溶液で被測定物２を回収して基板１の表面に保持する試料回収装置３０と、基板１を、蛍光Ｘ線分析装置４０から気相分解装置２０へ、気相分解装置２０から試料回収装置３０へ、および試料回収装置３０から蛍光Ｘ線分析装置４０への搬送を行う搬送装置５０と、蛍光Ｘ線分析装置４０、気相分解装置２０、試料回収装置３０および搬送装置５０を制御するとともに、被測定物２の測定値が所定の分析閾値未満の基板１であるか、否かを識別する制御装置６０とを有する制御装置６０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い放射線検出器を提供する。
【解決手段】 Ｘ線ラインセンサ１では、低エネルギ範囲のＸ線を吸収して光を発するシンチレータ層２４と、高エネルギ範囲のＸ線を吸収して光を発するシンチレータ層２６とが接触させられており、更に、後側のシンチレータ層２６の厚さよりも、前側のシンチレータ層２４の厚さが薄くなっている。これらにより、同じ角度で前側から入射した低エネルギ範囲のＸ線及び高エネルギ範囲のＸ線に対するシンチレータ層２４での発光位置Ｐ１とシンチレータ層２６での発光位置Ｐ２とのずれ量が小さくなるため、このとき、シンチレータ層２４が発した光及びシンチレータ層２６が発した光は、対向する光検出部１６及び光検出部２３によって検出されることになる。従って、同時に取得された低エネルギ範囲のＸ線透過像と高エネルギ範囲のＸ線透過像とがずれるのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】Ｘ線検査装置に使用されるＸ線遮蔽カーテンの耐久性を向上することが可能な技術を提供する。
【解決手段】Ｘ線検査装置１は、搬入口２ａから搬入された物品３を搬出口２ｂに搬送するコンベア２２と、コンベア２２で搬送される物品３にＸ線２６を照射するＸ線照射部２４と、Ｘ線照射部２４からの物品３を透過したＸ線２６を検出するラインセンサ２５と、搬入口２ａ及び搬出口２ｂに設けられたＸ線遮蔽カーテン２３とを備えている。Ｘ線遮蔽カーテン２３はタングステン含有層を有している。 （もっと読む）

【課題】 検出精度の高い異物検査システムを提供する。
【解決手段】 コンベヤにより搬送される商品ＭにＸ線照射手段からのＸ線を照射し、前記商品Ｍを透過したＸ線をＸ線検出器に入射させて、前記商品に付着ないし混入している異物Ｄを検出することで合否の判定を行う異物検査システムに関する。前記Ｘ線照射手段２１，３１およびＸ線検出器２２，３２を２組設けると共に、これら２組のＸ線照射手段２１，３１およびＸ線検出器２２，３２を前記コンベヤの搬送方向Ｙに対して交差する平面上に設け、前記２組の光学系２０，３０の光軸Ｓ１，Ｓ１が、搬送方向Ｙの上流から見て互いに交差するように前記２組のＸ線照射手段２１，３１およびＸ線検出器２２，３２を配設する。 （もっと読む）

【課題】本発明は厚い窓材を有する撮像窓を備える分析室内の試料に対して、分析室外から分析対象位置を鮮明に撮像できるようにして、分析位置の特定ができなかった試料の分析を可能にするＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】窓材４１を有する撮像窓４０を備える分析室２内でＸ線を試料Ｓに照射して分析を行うＸ線分析装置であって、窓材４１を透過させて試料Ｓを照明する試料照明手段７と、試料Ｓを分析室２の外部から撮像する撮像手段８であって、撮像部８１とフード８２を有し、試料照明手段７からの照射光が、窓材の裏面４１ｂで反射光となって撮像部８１内に入射しないように形成されている撮像手段８とを有し、試料照明手段７がフードを取り囲むように配置され、フードの窓近位部８２ｂの端部が撮像窓４０に近接しているＸ線分析装置。 （もっと読む）

【課題】本発明は、線源しゃへい装置およびガンマー線を用いた計測システムに関するものである。
【解決手段】線源しゃへい体は、しゃへい本体部と、前記しゃへい本体部の中心に設けられた線源格納部と、前記線源格納部から下方に放射されるガンマー線の通路と、前記通路を開閉するシャッタとから構成されている。前記しゃへい本体部は、周囲４箇所および上下２箇所に所定の面積を有する凸面からなる突出部を備え、前記一方の突出部から他方の突出部にかけた面または曲面によって囲まれている。前記しゃへいケースは、内部周囲における４箇所および上下２箇所、合計６箇所に設けられた凹部と、前記線源を放射する孔と、前記線源しゃへい体との間に形成された空間部とから構成されている。前記突出部は、前記しゃへいケースの凹部と嵌合される。また、前記突出部の面積は、小さい場合、前記空間部が大きすぎ、この部分においてガンマー線のエネルギーを減衰させることができないため、ガンマー線の減衰程度を考慮して決められる。 （もっと読む）

【課題】蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】試料１０からの蛍光Ｘ線を測定する測定装置２と、試料１０全体及び試料１０の測定箇所の画像データをそれぞれ取得する撮像装置３と、試料１０全体及び測定箇所の画像データをそれぞれ測定結果と対応付けて管理する管理部１３とを備える。 （もっと読む）

【課題】廃棄物における特定の材質部分を迅速かつ分かり易く表示することにより、密閉装置内で行わなければならない有害廃棄物の弁別処理を迅速かつ正確に行うことができるようにする。
【解決手段】被検体に放射線を照射し、透視画像データを撮影する工程と、被検体容器の個体ナンバーと撮影方向とを特定する工程と、前記被検体から除去すべき材質部分を透視画像データより自動的に認識する工程と、前記被検体の撮影方向と測定結果とを同時に保存する工程と、前記被検体の個体ナンバーに対応する測定結果を適宜呼び出し、参照しながら前記被検体を分解処理する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、液体物品のパッケージを開けないままその液体物品に麻薬が隠れているかを判断することができる、液体物品に隠れている麻薬を検査する方法及び装置を開示している。
【解決手段】前記方法は、放射線ビームを発生して前記液体物品を透過させるステップと、前記液体物品を透過した放射線ビームを受け取って多角度投影データを形成するステップと、前記液体物品の均一性に基づき、前記多角度投影データに対して逆演算を行うことにより、被検液体物品の属性値を計算して取得するステップと、前記液体物品の識別情報を索引として、予め作成したデータベースから参照属性値を検索し、計算した属性値と参照属性値との差分値を算出するステップと、前記差分値が所定の閾値より大きいかを判断するステップと、を含み、前記差分値が所定の閾値より大きい場合には、前記液体物品に麻薬が隠れていると認める。 （もっと読む）

【課題】搬送路上を順次搬送されてくる被検査物がＸ線遮蔽カーテンに当接しても、Ｘ線遮蔽カーテンが被検査物の搬送を阻止することなく被検査物中の異物の検出が行えるＸ線異物検出装置を提供する。
【解決手段】被検査物を搬送する搬送手段と、搬送手段により搬送される被検査物にＸ線を照射するＸ線照射手段と、被検査物を透過した前記Ｘ線を検出するＸ線検出手段と、被検査物の搬送経路に設けられ搬送方向に直交する水平軸線を有し、回動自在な金属板でなり、垂直方向に吊り下げられ、搬送される前記被検査物と当接することにより揺動可能で、かつ搬送手段の搬送方向と反対方向に凸部を有しているＸ線遮蔽部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】直立搬送される被検査物がＸ線遮蔽部材を通過する際の衝突抵抗を緩和して転倒することを防止し、また、筐体外にＸ線が漏洩することを更に防止する。
【解決手段】被検査物Ｗの出入口４ａ，４ｂを備える筐体２と、被検査物Ｗを搬送路に沿って入口４ａから出口４ｂに搬送する搬送手段６と、筐体２内にて被検査物ＷにＸ線を照射して検査するＸ線検査手段と、搬送路を遮断するように設けられ、搬送される被検査物Ｗが当接することにより被検査物Ｗを通過させるＸ線遮蔽部材１０とを備えるＸ線検査装置１において、Ｘ線遮蔽部材１０は、基端側１５が搬送路外に位置し、先端側１６が搬送路上にあるとともに基端側１５より搬送方向Ｙ下流側に位置したものが搬送路の幅方向Ｚに対向して設けられ、先端側１６同士が搬送路のセンターラインＬ上にて当接していることで閉状態となり且つ閉状態に常時付勢されている一対の遮蔽板１１ａ，１１ｂを有する。 （もっと読む）