【課題】検査効率に優れたガラス基板検査システムを提供すること。
【解決手段】カセット３０からガラス基板２０を取り出す取り出し装置４０と、取り出し装置４０によりカセット３０から取り出されたガラス基板２０を検査する検査装置５０とを備え、カセット３０がガラス基板２０を収納可能な収納位置を複数有するガラス基板検査システム１０であって、収納位置毎に収納位置からガラス基板２０を取り出す動作を取り出し装置４０に行わせる実行部８１と、収納位置毎にガラス基板２０の有無を判定する有無判定部８２とを有し、実行部８１は、有無判定部８２によりガラス基板２０が無いと判定された収納位置に対する取り出し動作を取り出し装置４０に行わせない。 （もっと読む）

【課題】 ワークを、軸ズレさせることなく回転させる回転装置等を提供する。
【解決手段】 回転装置５９は、ワーク７１の表面に接触しつつワーク７１を回転させるローラ１３を有する回転ユニット１１と、ワーク７１に対して回転ユニット１１を押しつけるスプリング３１と、スプリング３１の押圧によるワーク７１の軸ズレを防止する軸ズレ防止部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】２種類の波長の紫外線を、同時又は個別に、各波長の強度を調整しながら照射することができる紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】紫外線照射装置１００は、第１開口１１１及び第２開口１２１を有する筐体１０１と、筐体１０１内に配置され、第１開口１１１を介して、第１波長領域内の紫外線を照射する第１ランプ１１２と、筐体１０１内に配置され、第２開口１２１を介して、第２波長領域内の紫外線を照射する第２ランプ１２２と、を備える。また、紫外線照射装置１００は制御部１３０を備える。制御部１３０は、第１開口１１１を介した第１ランプ１１２からの紫外線照射強度及び第２開口１２１を介した第２ランプ１２２からの紫外線照射強度を制御する。 （もっと読む）

【課題】設定された撮像位置を維持したまま、周長が異なる金属リングの側縁を検査するための画像生成装置を提供する。
【解決手段】画像生成装置１は、第１の一対のローラ６ａ，１０ａ間及び第２の一対のローラ６ｂ，１０ｂ間に金属リング２を挟持し、少なくとも一つのローラを回転させることにより金属リング２を周方向に回転させるローラ６ａ，６ｂ，１０ａ，１０ｂと、金属リング２の側縁２ａを定位置Ｐで撮像するカメラ４と、得られた画像を処理して表示する画像処理装置５とを備える。 （もっと読む）

【課題】製造ライン内に組み込まれたインライン基板検査装置の光学系の校正作業を製造ラインを停止させることなく実施できるようにする。
【解決手段】この発明は、上流ラインから下流ラインヘ基板の受け渡しを行う機能を有する検査ステージもしくは搬送コンベア等の検査エリア以外の場所に光学系の校正作業を実施するための校正作業（メンテナンス）エリアを設け、光学系の移動ストロークをこの校正作業エリアまで移動可能とし、光学系の校正作業を検査エリア外で実施可能とした。校正作業エリアでは、実際の基板の移動と同じ状態で移動する標準粒子付基板を用いて検査することによって光学系の校正作業を正確に行なうようにした。標準粒子付基板の高さを検査エリア内の基板の高さに合わせるようにして、校正作業を正確に行なえるようにした。 （もっと読む）

【課題】タイヤ表面の微細な異常箇所であっても目視により容易に発見することができ、検査に伴う人的労力も軽減することのできるタイヤ外観検査用補助装置を提供する。
【解決手段】第１及び第２の圧接ローラ２０，３０を荷重付与機構４０によってタイヤ１の外周面に圧接させることにより、タイヤ１をタイヤ径方向に変形させるようにしたので、外観検査をしようとするタイヤ１の表面に引張変形を生じさせることができる。これにより、タイヤ１の外面にクラックが発生していた場合には、タイヤ表面の引張変形によってクラックを広げることができ、微細なクラックであっても容易に発見することができる。その際、荷重付与機構４０によってタイヤ１を径方向に容易に変形させることができるので、人手によって変形させる場合に比べ、検査に伴う人的労力を大幅に軽減することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、長いリング状ワークであっても高い精度で検査することができる検査装置の提供を課題とする。
【解決手段】リング状ワーク１６の内側に、３個のローラ１７、１８、１９を介在させ、ローラ１７、１８、１９でワーク１６を緊張させ、ワーク１６の上エッジ１１１に存在する可能性のある疵を検出するリング状ワークの検査装置１０において、第１ローラ１７と第２ローラ１８は軸間距離Ｌ３を一定に保ち、第３ローラ１９を移動させることで、ワーク１６を緊張させ、第１ローラ１７と第２ローラ１８との間に、撮像手段２３が設けられていることを特徴とする。
【効果】軸間距離Ｌ３が一定であるため、第１ローラ１７と第２ローラ１８との間で、ワーク１６が振動から受ける影響は同じになる。第１ローラ１７と第２ローラ１８との間に撮像手段２３を設けることで、異なるワークであっても高い精度で検査を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】検査対象物が転がり易い形状を有している場合であっても該検査対象物の検査および分別が容易である異物または不良品の検出装置及び異物または不良品の排除装置等を提供する。
【解決手段】異物または不良品の排除装置１は、透明部材１１，１２、仕切り部材２１，２２、供給部３０、カメラ４１，４２、制御部５０、吸引制御部６０および吸引機６１〜６８を備える。仕切り部材２１，２２と一体化された透明部材１１，１２が巡回移動する過程において、仕切り部材２１，２２の各区画に検査対象物Ａが１個ずつ供給部３０により供給され、透明部材１１，１２を挟んで上方および下方の双方からカメラ４１，４２により検査対象物Ａが撮像される。撮像により得られた画像が解析されて、検査対象物Ａ中に混在する異物または不良品が検出される。吸引機６１〜６４により、仕切り部材２２の各区画に入れられた検査対象物Ａのうち異物または不良品が吸引除去される。 （もっと読む）

【課題】１台で複数種類の基板をランダムに且つ効率よく検査することができる基板検査装置を提供する。
【解決手段】外寸が互いに異なる複数種類の基板１０Ａ〜Ｃをそれぞれセット可能な共通治具１４０が装着された基板載置部（支持台）１３０と、基板載置部上の基板を撮像する撮像手段１１０と、基板載置部上の基板の種類を識別する基板種別情報を取得する基板種別情報取得手段１５０と、複数種類の基板それぞれに対応する複数の検査用プログラムを記憶する記憶手段と、基板載置部上の検査対象の基板について取得された基板種別情報に基づいて、複数の検査用プログラムから基板に対応する検査用プログラムを選択して実行することにより、撮像手段による基板の撮像を行うとともに、撮像された基板の画像データを用いて基板の検査結果を出すように検査用データ処理を行う検査処理手段とを備える。 （もっと読む）

本発明は、広帯域光源と選別デバイスとを備えるシステムに関し、より詳細にはレーザ式選別デバイスに関する。本発明の目的は、選別プロセスに対して全ての波長を提供する光源を有する選別デバイスを備えるシステムを提供することにある。このことは、全ファイバ・スーパコンティニューム光源を使用することにより解決される。
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【課題】フレームを簡単に折り畳んで運ぶことのできるサイズ可変ステージを提供する。
【解決手段】互いに平行に設置され、互いに接近し離間することのできるベースフレームＢＦ１１，ＢＦ２１と、ベースフレームＢＦ１１，ＢＦ２１間を橋渡しする少なくとも１本のスライドフレームＳＦ１とを備えている。連結部材Ｃ１１，Ｃ２１は、ベースフレームＢＦ１１，ＢＦ２１の縦長方向に沿ってスライドするスライド機構と、ベースフレームＢＦ１１，ＢＦ２１に対するスライドフレームＳＦ１の角度を変化させることができる回転機構とが設けられている。さらに、連結部材Ｃ１１，Ｃ２１には、スライドフレームＳＦ１を、前記ベースフレームＢＦ１１，ＢＦ２１の縦長方向と直角な水平方向に沿ってスライドさせることのできる補助スライド機構が設けられている。 （もっと読む）

【課題】異種容器や不具合を有する容器などの異常容器をより高い精度で判別することができる検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置１００は、容器１２を斜め上方から撮像する第１カメラ２０と、第１カメラ２０によって撮像された画像において認識される容器の口部の位置に基づいて該容器が正常容器であるか異常容器であるかを判定する処理部とを備える。 （もっと読む）

本発明は多様な被検査体を検査するためのビジョン検査システム及びこれを用いる被検査体の検査方法を開示する。本発明のシステムは、定盤、第１移送装置、カメラ、第２移送装置及びコンピュータで構成される。第１移送装置は、定盤の上面に設置され、被検査体が置かれるテーブルを持ち、定盤の第１位置と第２位置の間でテーブルを直線運動させる。カメラは、定盤の上方に被検査体の画像を撮影して画像データを獲得するように配置されている。第２移送装置は、定盤の上面に、第１位置と第２位置の間でカメラを直線運動させるように設置されている。コンピュータは、第１移送装置の作動を制御して、第１位置から第２位置にテーブルを移送させるとともに、第２移送装置の作動を制御して、第２位置から第１位置にカメラを移送させる。

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【課題】原料の粒状物と類似した色彩を示す原料以外の粒状物を高精度に判別する粒状物選別機を提供する。
【解決手段】粒状物選別機は、粒状物の選別処理を制御する制御装置２０を備えている。制御装置２０においては、ＣＣＤカメラ１６により撮影された粒状物の画像から、前処理部２２により粒状物の画素領域を特定し、制御部２６により、特定された画素領域を構成する画素が示す色を、色相及び彩度をパラメータとして示した判別情報に変換する。次に、制御部２６において、参照テーブル２８に記憶されている所定の粒状物固有の色を、色相及び彩度をパラメータとして示した粒状物色情報と判別情報とを用いて、粒状物が所定の粒状物か否かを判別し、所定の粒状物以外の粒状物を噴風装置１８により除外し選別する。 （もっと読む）

【課題】被検査面に互いに曲率の異なる箇所が含まれる場合にも、被検査面全体に対し、正反射光像に基づく検査を実行できるようにする。
【解決手段】カメラ１と、カメラ１の光軸に沿う照明光を出射可能な照明装置２とを固定配備し、検査対象のワークＷを６軸ロボット３の先端アーム３５に装着して検査を実施する。検査に先立つ準備モードでは、ワークＷの被検査面を複数の撮像対象領域に分けて撮像するように、ワークＷの位置および姿勢が定められ、さらに生成された画像に対する検査対象領域が定められる。このとき、被検査面に含まれるいずれの箇所も、必ず１または２以上の画像の検査対象領域内に現れるとともに、いずれの画像の検査対象領域も正反射光像領域内に含まれるように設定する。 （もっと読む）

【課題】 設置場所のレイアウトに柔軟に対応する。
【解決手段】 色彩選別機１０では、供給ホッパ１４が第１昇降機１６に取り付けられた第１態様と、供給ホッパ１４が第２昇降機５２に取り付けられた第２態様と、の何れの場合でも、穀粒Ｇを２回選別することができるため、第１昇降機１６及び第２昇降機５２の何れに供給ホッパ１４を取り付けてもよい。したがって、第１昇降機１６に供給ホッパ１４を取り付けるか第２昇降機５２に供給ホッパ１４を取り付けるかを選択することができる。しかも、操作パネル６４は、色彩選別機１０の前面上部の他に、色彩選別機１０の右面上部及び左面上部にも設置可能にされている。このため、色彩選別機１０の設置場所のレイアウトに柔軟に対応できる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、被検査体の外観検査において、拡張性が高くフレキシブルなシステム構成を可能とし、また基板などの被検査体の検査時間を短縮し、または検査精度を向上することを目的とする。
【解決手段】 基板２の外観検査装置２００において、複数のスレーブＰＣ１４０は、基板２の撮像を行う複数の撮像部３０と、該複数の撮像部３０の各々に対応して設けられ、対応する撮像部３０により撮像された基板２の撮像データに基づいて基板２の検査を行う。該複数のスレーブＰＣ１４０の各々は他のスレーブＰＣ１４０に、該他のスレーブＰＣ１４０による検査に必要な共用データを送信する。共用データは、各々のスレーブＰＣ１４０が対応する撮像部３０により撮像された基板２の撮像データから取得してものである。スレーブＰＣ１４０は各々、他のスレーブＰＣ１４０から受信した共用データを参照して基板２の外観検査を行う。 （もっと読む）

【課題】
複数種類の容器が搬送されてきても容器の形状種類ごとに整列機構部品を取り替える必要がない容器内異物検出装置としたい。
【解決手段】
液体が封入された透明な容器を搬送しながら撮像手段２０で容器１を撮像し、容器内における異物を画像処理によって検出する容器内異物検出装置であり、搬送路の撮像手段２０を設置した位置より上流側に搬送されてくる容器１を整列させるとともに撮像手段２０を通り過ぎる容器１の移動速度よりも遅い速度で容器を移動させる整列搬送手段１４を設けた。 （もっと読む）

【課題】半導体基板上のパターンの検査を精度よく行うことができるテンプレートヒストグラムを生成する。
【解決手段】パターン検査装置のテンプレートヒストグラム取得部５２では、準備された複数の参照画像のそれぞれから検査領域の画素値の参照ヒストグラムが生成される。続いて、各画素値における複数の参照ヒストグラムの複数の頻度に対して所定の演算が行われ、各画素値に対応するとともに複数の頻度の最小値以上最大値以下の１つの頻度が求められることにより、検査領域に対する１つのテンプレートヒストグラムが取得される。半導体基板のパターンの検査において、テンプレートヒストグラムは被検査画像中の検査領域における画素値のヒストグラムと比較され、これにより、半導体基板上のパターンの検査が精度よく行われる。 （もっと読む）