【課題】
電子線を照射した際に得られる２次電子像のコントラストが大きく、互いに直交する２種類の直線形状突起物集合体及びこれを用いた走査型電子顕微鏡用寸法校正試料を提供することにある。
【解決手段】
（１００）面単結晶シリコン基板の結晶面を利用して、直線パターンの上面を形成し、上面に対して鋭角の角度を有する側壁を（１１１）面で形成し、＜０１１＞軸に平行または垂直に直線形状突起構造体を形成する。突起構造体の上面に平行な断面は上面から底部に向かって横幅が小さくなる逆テーパ構造とする。
【効果】
本発明によって、互いに直交する２種類の直線形状突起物の境界から得られる２次電子像のコントラストを大きくし、縦方向横方向の２方向で寸法校正を精度良く行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】分注精度の高い分注方法、分注装置および分注精度の高い自動分析装置を提供すること。
【解決手段】分注方法は、分注ポンプ４の駆動前に検体の粘度を測定する粘度ステップと、測定した粘度に応じて個々の検体に対して分注条件を設定し、この分注条件に応じて分注の制御をおこなう制御ステップとを有する。分注装置は、分注ノズル２に備えた検体の粘度を測定する粘度測定手段と、測定した粘度に応じて分注条件を設定し、この分注条件に基づいて分注を制御する制御部２１１とを備える。自動分析装置は、検体および／または試薬を分注する装置として、上述の分注装置を備える。 （もっと読む）

【課題】 液体試料を遠心力によって移動させて、液体試料を試料保持部内で定量化を行い、確実に一定量の液体試料を流路内に流入する遠心装置用プレート、及び遠心装置を提供する。
【解決手段】 試料保持部を持つプレートに液体試料を注入後、遠心力によって前記液体試料の移動を行うプレート１０１において、遠心された際に定量化を行う定量部１１０を形成するための壁１０９を試料保持部１０７の円心方向へ覆いかぶさるように設け、液体試料を流路１０８に流入するために必要な圧力をＰ₁、遠心を行った際に流路１０８にかかる圧力をＰ₂とした場合に、Ｐ₁＞Ｐ₂となる回転数で遠心を行う。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハやデバイスチップから所望の特定領域を含む試料片のみをサンプリング（摘出）して、分析／計測装置の試料ステ−ジに、経験や熟練や時間のかかる手作業の試料作り工程を経ることなく、マウント（搭載）する試料作製方法およびその装置を提供すること。
【解決手段】FIB加工と、摘出試料の移送、さらには摘出試料の試料ホルダへの固定技術
を用いる。
【効果】分析や計測用の試料作製に経験や熟練技能工程を排除し、サンプリング箇所の決定から各種装置への装填までの時間が短縮でき、総合的に分析や計測の効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】撥水性を有する薄膜の厚みの不均一やバラツキなどによって、スペクトル解析に支障をきたす問題や試料スポットの凝集位置精度を改善し測定精度を改善する。
【解決手段】
溶媒に試料を含ませた溶液の液滴を試料台面に滴下し、前記試料台上に針状突起物を設置し前記針状突起物を前記液滴に接触させる第１の工程と、前記液滴を前記針状突起物に接触させつつ溶媒を蒸発させて濃縮させて試料スポットを形成する第２の工程と、前記試料スポットに赤外線を照射し前記試料スポットを透過した赤外線を顕微赤外線分光光度分析する第３の工程によりマイクロ分光分析する。 （もっと読む）

【課題】 小さな容積の容器中のガスを質量分析する場合に、ガスが測定中に減少して、測定のタイミングによって絶対量や組成比が正しく測定できない問題あった。
【解決手段】 オリフィスを通して真空排気される容積Ｖの試料室の内部でガスを内部に有する容器を開封し、開封後の複数の時刻Ｔで試料室の内部のガスを質量分析してガスの検出強度Ｍ（Ｔ）を得て、複数の時刻Ｔの検出強度Ｍ（Ｔ）とオリフィスのコンダクタンスＣとから、下記の式（１）に基づいて容器中の内部のガス量Ｑを得る。
Ｍ（Ｔ）＝Ａ・Ｃ／Ｓ・Ｑ／Ｖ・ｅｘｐ（−Ｃ（Ｔ−Ｔ０）／Ｖ）＋Ｂ ・・式（１）
ただし、Ａ：感度補正係数、Ｓ：ポンプの排気量、Ｔ０：容器を開封した時刻、Ｂ：バックグラウンド強度。
以上の方法により容積の小さい容器中に含まれるガスであってもそのガスを精度良く分析できる。 （もっと読む）

【課題】希釈装置を提供する。
【解決手段】希釈装置は入口ポートと出口ポートとを含む。希釈装置は、内部流路を画成する第１の多孔管も含む。第１の多孔管は、第１の多孔管の外側の外側領域と内部流路との間に連通する複数の細孔を有する。希釈装置は、第１の多孔管の周囲に配置された第２の多孔管も含む。第２の多孔管は、第１の多孔管を中心としてその周囲に第１の室を画成する。第２の多孔管は、第２の多孔管の外側の外側領域と第１の室との間に連通する複数の細孔を有する。希釈装置は、第２の多孔管の周囲に配置されたハウジングをさらに含む。ハウジングは、第２の多孔管を中心としてその周囲に第２の室を画成する。ハウジングは、第２の室に連通する入口ポートを有する。第１の多孔管は、第２の室に連通する第１の多孔管の第１の端部にポートを含む。 （もっと読む）

【課題】簡単な前処理だけで固体試料に含まれる元素の高感度な定性分析又は高精度な定量分析を可能とする蛍光Ｘ線分析方法を提供する。
【解決手段】粉末試料等の固体試料を秤量し、秤量した固体試料を酸等の液体に溶解して溶液化し、溶液中の固体試料の濃度を調整した溶液化試料の蛍光Ｘ線分析を行い、検量線を用いて溶液化試料中の分析対象の元素の濃度を求め、固体試料中の分析対象の元素の濃度に換算する。溶液中で固体試料が希釈されることにより、固体試料の主成分又は母材の影響が低下し、ガラスビード法と同様の効果で高精度に元素の定量を行うことができる。また溶液中に完全には溶解しない元素についても、沈殿物を分散させた溶液、濾過した沈殿物又は溶液中に沈降した沈殿物の蛍光Ｘ線分析を行うことにより、簡易的に分析することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】樹脂に含まれる母材を除去して測定対象の元素を濃縮することにより、樹脂に含まれる金属元素の検出感度を向上させることができる蛍光Ｘ線分析方法を提供する。
【解決手段】樹脂試料に酸化剤を加えて加熱する等の方法により樹脂試料を灰化し、灰化した試料の蛍光Ｘ線分析を行う。又は、樹脂試料を硫酸等の酸で溶解し、樹脂試料を溶解した溶液を蒸発させ、蒸発後に残った残渣の蛍光Ｘ線分析を行う。Ｘ線を散乱して蛍光Ｘ線分析におけるバックグラウンドの原因となる樹脂試料の母材を構成するＣ，Ｈ等、及びＸ線を吸収して蛍光Ｘ線を減衰させるＣｌ，Ｂｒ等が試料中から低減され、金属元素に起因する蛍光Ｘ線の強度がバックグラウンドに比べて相対的に増大し、樹脂試料中に含まれる金属元素を検出する感度が向上する。 （もっと読む）

【課題】気体中の水分及び有機物などを除去できる気体濾過部を備えるだけでなく、気体緩衝室も設定され、濾過と緩衝という機能が一体に集中し、検出性能を向上させることが出来る気体濾過緩衝装置を提供する。
【解決手段】少なくとも一つの気体濾過ユニットと、処理する気体を通過させて、前記少なくとも一つの気体濾過ユニットに流入させる入気口１と、前記少なくとも一つの気体濾過ユニットにより処理された気体を通過させて、少なくとも一つの気体濾過ユニットから流出させる出気口２５と、を備える気体濾過緩衝装置において、前記少なくとも一つの気体濾過ユニットが、気体の濃度、圧力及び流速をバランスさせて、気体の流路圧力損失、局部圧力損失を低下させ、通気流量と圧力の変動を低減し、前記気体を緩衝するための入気緩衝室４を備える。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置からの排ガス中に含まれるフルオロコンパンズ等の被測定対象成分の排出重量を正確に求めるために、半導体製造装置の下流に設置されたポンプからのポンプ排出ガスの流量を高精度かつ正確に求め、これにより被測定対象成分の排出重量を高精度に求められるようにする。
【解決手段】半導体製造装置１からの排ガスを吸引するとともにシールガスが供給されるポンプ４の上流側または下流側において、排ガスに標準ガスを既知量添加し、排ガスとシールガスと標準ガスとが混合されてなり、ポンプから排出されるポンプ排出ガス中の標準ガスの濃度を定量し、得られた標準ガス濃度と標準ガス添加量とからポンプ排出ガスの流量を算出し、ポンプ排出ガス中の被測定対象成分の濃度を定量し、この被測定対象成分濃度を前記ポンプ排出ガス流量とに基づいて、被測定対象成分の排出重量を算出する。 （もっと読む）

【課題】濃度分析をより高精度に行うＳＩＭＳ分析法を提供する。
【解決手段】基板上に分析対象となる薄膜又は薄膜積層体を形成し、薄膜の最表面又は薄膜積層体の最上層の最表面に支持体を貼りあわせ、薄膜又は薄膜積層体を基板から剥離することで分析試料を作製する。基板と、薄膜又は薄膜積層体と、の間に剥離層を形成し、該剥離層をきっかけとすることが好ましい。更に好ましくは、剥離層と、薄膜又は薄膜積層体と、の間に緩和層を形成する。該分析試料はＳＩＭＳ分析に用いることができ、剥離した分析試料を裏面側からＳＩＭＳ分析することで、従来のＳＩＭＳ分析法では必要であった研磨工程を経ることなく、従来のＳＩＭＳ分析法と同様に高精度な濃度分析を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】頻繁なメンテナンスや測定結果の校正をしなくても、気泡を含む液体の特性を精度良く測定することができる液体の特性測定方法を提供する。
【解決手段】測定対象液１の特性を特性測定部２により測定する方法であって、特性測定部２の測定領域Ｓ内の測定対象液１に含まれている気泡３の割合を減少させることにより、気泡３に起因する測定誤差を低減する。 （もっと読む）

【課題】多相流から混合液体を良好に抽出することを可能とする混合液体抽出装置を提供する。また、この混合液体抽出装置を含む混合液体密度計測装置を提供する。
【解決手段】混合液体抽出装置は、オリフィスと、一対の連通管１３と、気液抽出タンク１４と、気液排出管１５と、液溜タンク１７と、液流量調節弁１８、１９とを有している。パイプラインにスラグ流等が流れることにより、オリフィス前後の圧力差が周期的に変化する。これに伴って一対の連通管１３と気液抽出タンク１４とでは、気液の抽出と気体を主とした排出とが同時に行われる。気液抽出タンク１４内においては、気液が左右、上下などに強制的に揺さぶられて撹拌され、液体を伴う気体が排出される。これによって気液抽出タンク１４内には、液相の比率が高い気液が残ることになる。そして、この液相の比率が高い気液から気体が除去されて混合液体が抽出され、液溜タンク１７に溜まるようになる。 （もっと読む）

【課題】ナノメータサイズの微細粒子の成分を分析する場合でも、校正を迅速に行うことができる微細粒子成分分析装置を提供する。
【解決手段】大気をサンプリングするサンプリング装置１１１と、サンプリング装置１１１でサンプリングされたサンプリングガス１中から目的とする粒径のナノメータサイズの微細粒子２を分級して送出する静電式の分級器１１２と、分級器１１２からの微細粒子２の成分を分析するレーザイオン化飛行時間型の質量分析装置１１４と、検量成分３ｂを微細粒子の金属のコア３ａに規定量被着させた検量体３を単位容積当り目的とする粒子数で生成させて分級器１１２へ送給する検量体生成装置１０とを備えて微細粒子成分分析装置１１０を構成した。 （もっと読む）

【課題】比較的低濃度の成分も確実に分析することができる微細粒子成分分析装置を提供する。
【解決手段】大気をサンプリングするサンプリング装置１１と、サンプリング装置１１でサンプリングされたサンプリングガス１中から目的とする粒径のナノメータサイズの微細粒子２を分級して送出する静電式の分級器１２と、分級器１２から送出された微細粒子２のうちの一部を吸着すると共に、吸着した当該微細粒子２の成分を送出する濃縮装置１５と、分級器１２からの微細粒子２の成分及び濃縮装置１５からの微細粒子２の成分を分析するレーザイオン化飛行時間型の質量分析装置１４と、分級器１２からの微細粒子２及び濃縮装置１５からの微細粒子２の成分のいずれか一方を質量分析装置１４に送給するように切り換える三方制御弁１６Ａ〜１６Ｃを備えて微細粒子成分分析装置１０を構成した。 （もっと読む）

【課題】 構成のシンプル化及び装置全体の低コスト化を図りつつ、少流量、高粘度、高温度の試料液でも測定部の通過流量を安定よく一定に維持して長時間に亘る連続使用時にもＴＯＣ濃度を常に高精度な測定状態に保つことができる連続式ＴＯＣ濃度測定装置を提供する。
【解決手段】 測定対象となる試料液の測定フロー７に、チュービングポンプ６の逆転により空気を吸い込み、その後の正転復帰により順方向に流動する試料液の二つのフォトセンサ１４ａ，１４ｂ間での流動に要する時間から現在の流量を計測する流量計測部５と、その計測流量に基づいて試料液流量を自動補正するフィードバック式流量制御系８とを組み込み、それらによる流量計測及び流量自動補正動作を、連続測定中に定期的かつ自動的に行うように構成している。
（もっと読む）

【課題】効率良く測定対象に係る試料水を正確に採取測定することができ、かつ、安価な試料水の採取測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】長手方向先端側を給水部２とし基端側を開放部３とする容器４と、該容器４の内部にて先端側基端側間を緊密状態で進退動可能なヘッド部５を有し、ヘッド部５を基端側へ退動することにより、給水部２から容器４内の採取領域Ｓに試料水を採取するスライド部材６とを備える。容器４は、その胴部７において薬品投入部８を有し、スライド部材６を退動することにより、あらかじめ薬品が投入された採取領域Ｓに試料水を採取し、該採取された試料水を投入された薬品により発色させて測定を行うこととする。薬品投入部７が採取領域Ｓに対して基端側に配設されているので、薬品投入、試料水の採取並びに測定の際に、いちいちスライド部材６を容器４から取付け取外しすることなく試料水の採取測定を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波によって液体を搬送する方法、弾性表面波によって液体を搬送する装置において、基板の表面に液体が広がることを抑制することを目的とする。
【解決手段】基板の上に固体片を置くステップと、基板の上に液体を滴下するステップと、基板に弾性表面波を励振するステップと、基板の上に滴下された液体と基板の上に置かれた固体片とを接触させ、固体片と基板との間に液体を入り込ませるステップと、を含み、固体片と基板との間に入り込んだ液体を、弾性表面波によって固体片と共に搬送する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、溶融物、及び／又は液体の扱いを単純にして、更に正確な分析を可能にするために、既存の装置を改良することである。
【解決手段】浸漬キャリアを有する、液体、又は溶融物の分析のための本発明による浸漬センサは、試料チャンバの中に配置された溶融物を測定するためのセンサを定め、浸漬キャリアは、中に配置された注入口開口部を有する試料チャンバを有する。液体、又は溶融物は、ガラス、又は金属溶融物を、特に、アルミニウム、又は鉄溶融物を含むことが好ましい。センサは、試料チャンバの中の予め決定された点に向けて配向される。分析は、この点で行われる。分析される液体、又は溶融物はこの点に供給されるので、自由表面がセンサの測定領域に位置する。 （もっと読む）