【課題】付着したドロスの清掃作業を容易に行うことができるレーザ加工機を提供すること。
【解決手段】筒部材５を装着する場合には、開口部３２から筒部材５を第１通路内３３aへ挿入し、その筒部材５を第２通路３３ｂへ向けて移動させる。これにより、筒部材５が段差通路３３の段差内周面３３ｅに当接され受け止められることで、筒部材５を吸引通路３３内に保持することができる。一方、筒部材５を取り外す場合には、筒部材５をその挿入方向とは逆方向へ移動させることで、吸引通路３３内から抜き取ることができる。このように、筒部材５を吸引通路３３に対して抜き差しすることで、加工台部３から筒部材５を着脱することができるので、かかる筒部材５の着脱作業を簡素化して、清掃作業を容易に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】乾式洗浄媒体の運動速度及び清浄度を高めることにより洗浄品質及び洗浄効率を向上することが可能であると共に、複雑な形状の部品であっても傷付きや洗浄残しを発生することなく乾式洗浄を行うことが可能な乾式洗浄方法及び乾式洗浄装置を提供する。
【解決手段】付着物４が付着した被洗浄体１に洗浄媒体２を衝突させることにより被洗浄体１から付着物４を除去する乾式洗浄方法において、洗浄媒体２として可撓性を有し気流により飛翔する薄片状のものを用いる。 （もっと読む）

【課題】微細化した水粒子の粒径が大きくなることを防止して、被洗浄面に水膜が形成されることを防止し、被洗浄ノズルを効率的に洗浄可能なノズル洗浄装置を提供する。
【解決手段】複数の被洗浄ノズル１を着脱自在に保持するノズルホルダ１１と、微細化した水粒子と圧縮空気とを混合してなる二流体を生成する二流体生成装置１２と、二流体生成装置１２に接近配置され、ノズルホルダ１１に保持した被洗浄ノズル１へ向けて二流体を噴き付ける二流体噴射ノズル１３と、二流体噴射ノズル１３が被洗浄ノズル１に順次対面するように、二流体生成装置１２及び二流体噴射ノズル１３をノズルホルダ１１に対して相対移動させる移動手段１４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】洗浄によって高温となったワークに直接触れることなく、ワーク保持治具からワークを取り出す等の作業を行う。
【解決手段】洗浄ステーション１４に組み込まれたワーク搬送装置１８は、ワークとしてのシリンダヘッド１２のバスケット１０（ワーク保持治具）までの搬送、バスケット１０に収容されたシリンダヘッド１２の洗浄装置１６への投入、洗浄が終了したシリンダヘッド１２の洗浄装置１６からの導出、シリンダヘッド１２のバスケット１０からの取り出しを行うためのものである。シリンダヘッド１２をバスケット１０から取り出すための払出コンベア２８には、取出機構を構成する払出レバー１５２、引出レバー１５６等が設けられ、シリンダヘッド１２は、これらが変位する際、バスケット１０の内部に設けられた案内用ローラ８４に案内される。 （もっと読む）

【課題】複数のガラスを同時に液体に浸漬しつつ、ガラスへの傷の発生を低減し、且つガラス表面への液体の供給及び排出を速やかにできる浸漬用部材、保持部材及び保持部材ユニットを提供する。
【解決手段】浸漬用部材１ａは、複数のガラスＧの液体への浸漬に用いられ、ガラスＧを互いに非接触状態に維持しつつ載置する複数の載置部１１と、前記載置部１１に液体を流入し且つ前記載置部１１から液体を流出する流路１２と、を備える。保持部材は、この浸漬用部材１と、主表面の設けられた側から載置部の少なくとも一部を覆う蓋体と、を備える。また、保持部材ユニットは、保持部材が収納容器に収納されてなる。 （もっと読む）

【課題】異物除去性能および搬送性能に優れ、かつ、所定の粒子径を有する異物を特に効率よく除去し得るクリーニングシートおよびクリーニング機能付搬送部材を提供する。
【解決手段】本クリーニングシート１００は、実質的に粘着力を有さないクリーニング層１０を備えるクリーニングシートであって、該クリーニング層は、平均表面粗さＲａが０．１０μｍ以上である凹凸形状部分を有し、該クリーニング層は、シリコンウェハのミラー面に対する、ＪＩＳ−Ｚ−０２３７で規定される１８０°引き剥がし粘着力が０．２０Ｎ／１０ｍｍ未満である。クリーニング機能付搬送部材は、搬送部材と、該搬送部材の少なくとも片面に設けられたクリーニング層とを備える。 （もっと読む）

【課題】洗浄プロセスを短縮することができ、許容できる範囲の電気接続負荷を有する洗浄装置を提供する。
【解決手段】汚れやインキ等を表面から取り除くための洗浄布１０を備えている洗浄装置が、洗浄プロセスを補助するための超音波装置を有している。洗浄装置は、１つまたは複数の超音波発生器２４，３４，４４，５４，１２４と、それぞれ振動する平坦な金属体２３，３３，４３，５３，１２３の形態である１つまたは複数の共振子とを有しており、この共振子から、洗浄すべき表面の実質的に直線状の領域へ音響エネルギーが付与される。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置の内部や、半導体製造装置のガス給排気系に配設されている排気バルブあるいは半導体製造装置やガス給排気系に配設されている圧力制御バルブなど複雑な構造部分に付着している付着物を安全に取り除く汚染表面清掃技術を提供する。
【解決手段】半導体製造装置１およびそれにつながるガス給排気系の内部壁面部分を、多関節型に形成したアーム１２部分の先端部に清掃具１４を装着してなる清掃ロボット２で清掃するようにした。 （もっと読む）

【課題】車体を損傷させることなく、洗浄力が高く耐久性に優れた洗車ブラシを提供すること。
【解決手段】洗車ブラシ１０は、先端部分が複数に分岐（ｎ股分岐（ｎ：ｎ＞１の整数））した又は分岐しない短冊状の複数の洗浄片１２，１２…と、洗車機に取り付けるための孔１４，１６が形成された取付本体１８からなる。洗車ブラシ１０は、ガソリンスタンドの洗車用ブラシとして用いられる。そして、洗車ブラシ１０は、軟質塩化ビニル樹脂を含む洗車用発泡体からなるものであって、可塑剤を３７．５質量％以上５０質量％以下含有する。 （もっと読む）

【課題】清浄具の本体から払拭具を容易に取り替えることができ、且つ払拭具を取り付けた箇所に硬質部が露出せず、本体を洗浄，消毒し易く、コンパクトな構成の清浄具を提供することを目的とする。
【解決手段】棒状部材１１と軟質材製払拭具１２を備えた清浄具１０である。棒状部材１１は、長手方向両側に掴み部１３ｂ，１６ｂ、中央に折り曲げ／曲げ戻し自在な可撓性部材１４（折曲点）を備える。棒状部材１１を直線状にして可撓性部材１４（折曲点）及び棒先部分１３ａ，１６ａに払拭具１２を巻き、棒状部材１１を二つ折りにして払拭具１２を狭圧保持する。 （もっと読む）

例えば、集積チップ製造装置のクリーニングで又は集積チップ製造装置と組み合わせて使用するためのクリーニングウェハ又は基板。クリーニング基板は、一つ以上の予め決められた接着剤、非粘着、静電又は突出、くぼみあるいは他の物理的区分などの異なる予め決められた表面特徴を有する基板を含むことができる。予め決められた特徴は、集積チップウェハの適所に集積チップ製造装置などで使用されるコンポーネントのより効果的なクリーニングを提供できる。クリーニング基板は、真空、機械的、静電又は他の力によってクリーニング又は他の位置に付勢される。クリーニング基板は、削り又は研磨を含む様々な機能を達成するのに適される。クリーニング基板は、新規な製造方法で作られ、チップ製造装置と組み合わせて新規な使用方法で使用される。 （もっと読む）

【課題】塗装機の塗料経路に空気とマイクロナノバブルを含有させた洗浄用液体とを交互に供給した際、塗装機の塗料経路内に付着して残っている水性塗料をマイクロナノバブルの破裂による衝撃波で剥離させて洗浄効果を高める。
【解決手段】水性塗料ＷＰが循環する塗料供給配管４に連通可能に接続され水性塗料が供給される塗装機６と、塗装機６の塗料経路６ａに連通可能に接続され空気と洗浄用液体とを交互に供給する洗浄用切替制御弁７と、洗浄用切替制御弁７に連通可能に接続され洗浄用液体を当該洗浄用切替制御弁７に供給する洗浄用液体供給機８と、洗浄用液体供給機８の洗浄用液体中にマイクロナノバブルを含有させるマイクロナノバブル発生機９とを備え、洗浄用液体供給機８から塗装機６までの距離は、マイクロナノバブルが収縮して消滅する位置が塗装機６の塗料経路６ａ内になるような長さに設定されている。 （もっと読む）

【課題】平板材料の表面に付着しているゴミを拭き取るゴミ取りロール３１の清掃装置３２の洗浄液吐出ノズル３０の塵埃微粉による目詰まりを解消する。
【解決手段】洗浄液吐出口１１と、洗浄液供給管１２から供給される洗浄液が入り込む注入口１３と、注入口から吐出口まで洗浄液を導く流通管１４を具備するノズル本体１５に、流通管１４から吐出口に向けて進退移動する針桿１６と、針桿を吐出口に向けて進退駆動する駆動装置１７を付設する。吐出口に塵埃微粉が入り込んでも、その塵埃微粉が、流通管から吐出口へと移動する針桿に叩き出され、同時に、洗浄液にも流し出されるので、吐出口の目詰まりが回避される。吐出ノズル３０の内側から塵埃微粉を吐出し排除するので、吐出口がシートで覆われていても支障を来さず、清掃装置の拭取シート１８をゴミ取りロール３１に摺接させるバックアップ材に吐出ノズルを使用することも出来る。 （もっと読む）

【課題】産業用コントローラなどの装置内部に侵入し基板に付着してしまった塵埃を除去する有効な装置は無かった。
【解決手段】電子部品が実装されたボードに付着堆積した塵埃を除去する塵埃除去装置であって、塵埃除去装置の電源回路に、手動操作による第１開閉装置、設定期間毎に反復実行できるタイマーによる第２開閉装置、上記塵埃の堆積量を検知するセンサにより制御される第３開閉装置のうち、少なくとも２種の開閉装置を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】拭き取り性に優れかつ発塵が少なく、しかもハンドリング性（手での把持性）に極めて優れたワイピング用布帛およびワイピング製品を提供する。
【解決手段】艶消し剤の含有率がポリエステル重量対比１．０重量％以下のポリエステルからなる単繊維径５０〜１５００ｎｍのポリエステルマルチフィラメント糸Ａを用いて、嵩高性が１．５ｃｍ^３／ｇ以上のワイピング用布帛およびワイピング製品を得る。 （もっと読む）

【課題】
プラスチック表面に付着した水垢や埃、大気中の化学物質、プラスチックの劣化物等の汚染物によって透明感や光沢が損なわれたプラスチック製品について、プラスチックを傷つけることなく、汚染物を除去し、本来の透明感や光沢を回復させる方法を提供する。
【解決手段】
ポリマーと可塑剤を含有した柔軟な組成物からなるゴム状弾性体である摩擦材を用いてプラスチックの表面を摩擦して汚染物を除去し、次いでプラスチックを界面活性剤を含有する洗浄剤で洗浄するか、又は布帛で摩擦して残存している付着物を除去する。 （もっと読む）

付着チャンバをｉｎ−ｓｉｔｕプラズマ洗浄する方法および装置が提供される。一実施形態では、真空を中絶させることなく付着チャンバをプラズマ洗浄する方法が提供される。この方法は、付着チャンバ内に配置されたサセプタであり、電気的浮動状態にある付着リングによって周囲を取り囲まれたサセプタ上に基板を配置すること、付着チャンバ内の基板上および付着リング上に金属膜を付着させること、付着リング上に付着した金属膜を、真空を中絶させることなく接地すること、ならびに付着チャンバ内に形成されたプラズマによって、付着リング上の接地された金属膜を再スパッタすることなく、かつ真空を中絶させることなしに、付着チャンバから汚染物質を除去することを含む。 （もっと読む）

【課題】農薬が付着した農薬散布機などをより効果的に洗浄できるようにする。
【解決手段】アルカリ性の水を用いて農薬散布機などの被洗浄物を洗浄した後、酸性の水を用いて被洗浄物を洗浄する。前記アルカリ性の水はｐＨ１０以上が好ましい。また、消石灰を水に溶解又は懸濁させたものが好ましい。前記アルカリ性の水に前記被洗浄物を３０〜１２０分間接触させるのが好ましい。前記酸性の水はｐＨ６以下が好ましい。前記農薬としては除草剤が好適である。 （もっと読む）

【課題】ソーラーパネルの大きさ、形状にとらわれず、設置が容易で、ソーラーパネルの電力変換効率を低下させることも無く、しかも軽量で、屋根に負担をかけない、使用勝手の良いソーラーパネル清掃装置を提供する。
【解決手段】ソーラーパネル１上で本体２ａを自走させる４足歩行手段４と、ソーラーパネル１の大きさや形状を認識するための超音波センサー２５と、ソーラーパネル１の表面を清掃する回転ブラシ５と、４足歩行手段４を駆動するための電源装置７と、超音波センサー２５の出力に基づき、本体２ａが順次走行するよう４足歩行手段４を制御する制御手段８を備えたもので、ソーラーパネル１の周囲に大掛かりなガイド部材は不要で、ソーラーパネル清掃装置２をソーラーパネル１上に置くだけで、自動でソーラーパネル１の大きさ、形状を認識しながら移動を繰り返しソーラーパネル１の全域を清掃することができる。 （もっと読む）

【課題】機械主軸のテーパー内周面や、工具の円錐状管の内周テーパー部分の清掃は、深さや形状が異なり、竹や木の棒を使って行うことは均一性を保てなかった。また専用工具を使うと清掃部分が剛性材で形成されるため、１つのテーパークリーナーの清掃対象主軸や管は内径やテーパー形状が異なると使用できない課題があった。
【解決手段】清掃部２と握り部３とを有し、清掃部２が、先端に至るほど互いの間隔が狭くなるテーパー形状部分２１を有し、テーパー形状部分２１に複数の清掃面部２０を形成し、複数の清掃面部２０同士の間隔が互いの方向に伸縮可能な構成であるテーパークリーナーによる。清掃部２は、複数の清掃面部２０の間に空隙部分４を設けるとともに清掃部２の先端中央部分が開口している構成であるテーパークリーナーによる。 （もっと読む）