【課題】 回転機構を持たない基板処理装置であっても、基板と接触する部位を清掃することができる基板処理装置の清掃装置を提供する。
【解決手段】 清掃装置２は、処理されるウエハＷと同じ外形のベース４００と、ベース４００の下面の周縁部に下向きに植設された清掃具であるブラシ４０２と、ブラシ４０２を動かす駆動源の振動発生装置４０４とからなり、ハンド１１上で清掃装置２の振動発生装置４０４が振動してブラシ４０２が振動し、ハンド１１のウエハ支持部材８１の支持面８６ａを清掃する。 （もっと読む）

【課題】 表面に付着したゴミの清掃が容易なロールを提供する。
【解決手段】
走行するシートの表面に回転しながら接触するロールであって、棒状の軸と、円筒形状の円筒部と、を備え、前記軸は、前記円筒部の長手方向両端面の中心を貫いて配置され、前記円筒部は、前記軸を回転中心として回転可能であり、前記シート上において製品としての機能を発揮しない部分に接触する前記円筒部表面に、前記シートに転写するための互いに異なる複数の文字、数字、図形、記号のいずれかの形状である記号形状が形成されているロール。 （もっと読む）

【課題】 光学部材の周辺温度や圧電素子の貼着状態によって、第１の曲げ振動と同じ時間位相で、次数が１つ異なる振動を励起したとしても、それぞれの振動を検出すると、時間位相がずれる。
【解決手段】 光学ローパスフィルタ４１０にｍ次の振動モードの曲げ振動を励起したときに検出される振動と、光学ローパスフィルタ４１０にｍ＋１次の振動モードの曲げ振動を励起したときに検出される振動とで、どのくらいの時間位相ずれが発生しているのかを検出する。そして、検出した時間位相ずれに基づいて、本駆動の際に利用する本駆動パラメータを算出する。 （もっと読む）

【課題】 第１の曲げ振動に対する第２の曲げ振動の時間位相を正確に９０°ずれていない振動を励起すると、光学部材を破損するおそれがある。
【解決手段】 第１の駆動電極に通電してから、第２の駆動電極に通電するまでの駆動位相ずれ量を設定する設定手段と、振動検出手段が第１の検出電極からの出力してから前記第２の検出電極からの出力するまでの検出位相ずれ量を測定する測定手段とを有し、設定手段が予め設定される第１の駆動位相ずれ量を設定したときに、測定手段によって測定される検出位相ずれ量に基づいて、設定手段は第２の駆動位相ずれ量を設定し、設定手段が第１の駆動位相ずれ量を設定するときに、駆動手段が第１の駆動電極および第２の駆動電極に通電する第１の電圧は、設定手段が第２の駆動位相ずれ量を設定するときに、駆動手段が第１の駆動電極および第２の駆動電極に通電する第２の電圧よりも低い。 （もっと読む）

【課題】汚れ付着時に自動的に清掃を行うことができ、メンテナンスが簡略化され、効率的な清掃を行うことが可能な太陽電池パネル用清掃装置を提供すること。
【解決手段】設置状態の太陽電池パネル１００の受光面１００ａに付着した汚れを除去する清掃装置１０であって、前記太陽電池パネル１００の受光面１００ａに接触した状態で移動するブレード部１８を有する清掃部１２と、一定周期毎に前記汚れ状態を認識する認識部１４と、降雨状態の検知を行うレインセンサ１６と、前記認識部１４が認識した情報により清掃が必要か否かを判定し、清掃が必要と判定した状況で且つレインセンサ１６の検知した降雨状態が清掃可能な降雨状態のときに前記清掃部１４を動作させる制御部と、を有することを特徴とする太陽電池パネル用清掃装置１０。 （もっと読む）

【課題】 使用後の混練槽の内部の清掃を容易に行えるようにする。
【解決手段】 混練槽４の内部に回転軸１５が回転可能に設けられ、回転軸１５に複数の混練部材４５が設けられた混練機１であって、前記回転軸１５を、混練槽４側に軸受２２によって回転自在に支持される固定側軸部１６と、複数の混練部材４５が設けられた分割側軸部２５とに分割可能に連結する。清掃の際に、回転軸１５を、固定側軸部１６と分割側軸部２５とに分割することにより、分割側軸部２５と一緒に混練部材４５を混練槽４の内部から取り出すことができるので、それらが清掃の邪魔になるようなことはく、混練槽４の内部の清掃を容易に短時間を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】従来の方法でローソク立ての掃除をする場合、受皿部と芯の付根に垂れ蝋が固着し、専用の用具などを使用しても手間が掛かり、材質によっては傷を付ける恐れもあったが、本発明は、それら全ての問題を解決するためになされたものである。
【解決手段】中空部を有するグリップ部に、無数の硬質線材を束ねたブラシ部がブラシ固定部により、ブラシ先端が外側に突き出した形状で中空部に固定されたことを特徴とするローソク立て掃除器。 （もっと読む）

【課題】微粉末の摩耗粉や剥離粉が周囲に飛散することがなく、また、剥離時における摩擦熱の発生を抑制できる新規な固着物剥離除去装置の提供
【解決手段】車体等に固着した固着物を剥離除去する固着物剥離除去装置であって、回転駆動手段により回転される取り付け軸３０に取り付けられて当該取り付け軸３０を中心に回転する円板状の剥離部材２０を有し、当該剥離部材２０は、エチレンプロピレンジエンゴム（ＥＰＤＭ）を主体とし、当該エチレンプロピレンジエンゴムに、少なくとも所定量の充填剤と、軟化剤と、白色顔料と、架橋剤とを配合したゴム組成物からなる。 （もっと読む）

【課題】予備のＮＦ_３を用いることによって、フッ素セルのオンサイトでの使用の困難性を克服して、安全で、連続的に、規制を遵守する方法でフッ素を与える。
【解決手段】次の工程を有する反応チャンバーの洗浄方法：
（ａ）目的の基材に材料を堆積させるための反応チャンバーを与える工程；
（ｂ）上記反応チャンバーの内部で、上記目的の基材に上記材料を堆積させる工程；
（ｃ）上記堆積を周期的に中断する工程；
（ｄ）上記反応チャンバーの内部と、フッ素及び窒素の混合物とを接触させて、上記反応チャンバーの上記内部を洗浄する工程；及び
（ｅ）上記フッ素及び窒素の混合物が使用できない場合に、切り替えを行って、上記反応チャンバーの内部と三フッ化窒素とを接触させる工程。 （もっと読む）

【課題】従来のシロッコファン清掃器は、清掃するときに、シロッコファンを取り外さなければならなかったり、ケーシングの横側から清掃ブラシを入れなければならなかった。しかし一般的な家庭用エアコンは、シロッコファンを外すのは困難であり、横側から清掃ブラシを入れることもできない。さらに、羽根の数が多く、確実で効率的な清掃が難しい。
【解決手段】細い棒状本体の先端に清掃ブラシと羽根送り部を設けて、エアコンの外側正面からシロッコファンを確実で効率的に清掃できるようにした。 （もっと読む）

【課題】ブラシ素線の寿命を長くすることができる移動電極式電気集塵装置用のブラシユニット及び移動電極式電気集塵装置を提供する。
【解決手段】ブラシユニット５０は、軸５１の外周面長手方向に設けられたリブ５２と、複数のブラシ素線６２を帯状体６３に植設したチャンネルブラシ６０と、帯状体６３をリブ５２との間に挟む固定具５４と、帯状体６３をリブ５２と固定具５４との間に挟んだ状態で、リブ５２と固定具５４とを着脱可能に締結するボルト５７及びナット５６とを備える。 （もっと読む）

【課題】自動的に清掃可能で、清掃後の表示部の状況が確認できるとともに、メインテナンスが容易な表示部清掃装置、表示装置及び清掃方法を提供することを目的とする。
【解決手段】第１輝度測定器２５、第２輝度測定器２７で清掃前後の同じ表示素子１６の輝度を計測する。清掃後の輝度が清掃前と比較して閾値以上向上していない場合には、その表示素子の識別情報を記憶部６８に記憶させ、１列分の表示素子１６の清掃が終了した後に２回目の清掃を行う。２回目の清掃後にも輝度が向上しないと判別された表示素子がある場合には、輝度が向上したと判別されない表示素子について、輝度比較制御部５４は、主制御部５２にアラームを通知する。輝度の測定は、ブロア３１により表示素子１６を乾燥させた後に行う。表示装置１には扉１１が設けられており、係員が出入りして清掃ユニット１７の保守点検を行う。 （もっと読む）

【課題】エンジン２０の構成部品を洗浄するエンジンの洗浄装置６０において、洗浄対象部品５０の損傷を抑制又は防止しつつ、ラジカルを洗浄対象部品５０に供給して洗浄対象部品５０を洗浄する。
【解決手段】洗浄対象部品５０へ向かうガスが流れる上流側通路４６のガスに過酸化水素を供給する過酸化水素供給器７５と、上流側通路４６における洗浄対象部品５０の近傍で、過酸化水素供給器７５により供給された過酸化水素をＯＨラジカルに分解する分解器６５とを設ける。 （もっと読む）

【課題】 従来の振動体の駆動回路は、使用する周波数帯域において、圧電素子に印加する交番電圧の振幅変化が振動体の共振周波数近傍で大きかった為、振動体の共振周波数の変化に対して交番電圧が大きく変動してしまう。
【解決手段】 本発明の振動体の駆動回路は、弾性体に固定された電気−機械エネルギー変換素子に交番電圧を印加することにより、前記電気−機械エネルギー変換素子と前記弾性体とから少なくとも構成される振動体に振動を発生させる。そして、前記電気−機械エネルギー変換素子に直列に接続されたインダクタとキャパシタとを有し、前記インダクタと前記キャパシタとによる直列共振周波数をｆｓとし、前記振動体の共振周波数をｆｍとした場合に、０．７３・ｆｍ＜ｆｓ＜１．２・ｆｍを満たすことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
アレンジロボットが、清掃ロボット及びパネル部材の位置等の環境情報を確実に取得し、自律運転することができる清掃ロボットシステム及びその制御方法を提供する。
【解決手段】
ハンド部１０に少なくとも清掃ロボット３とパネル部材５の位置及び形状を計測するセンサ１２、１３を設置した清掃ロボットシステム１の制御方法であって、アレンジロボット２が移動する際に、マニピュレータ４を作動させ、複数の位置でセンサ１２、１３が計測を行うステップと、センサ１２、１３が取得した情報を元に、アレンジロボット２の移動を自動制御するステップと、アレンジロボット２が清掃ロボット３を把持する際に、マニピュレータ４を作動させ、複数の位置でセンサ１２、１３が計測を行うステップと、センサ１２、１３が取得した情報を元に、マニピュレータ４が清掃ロボット３を把持する作業を自動制御するステップを有する。 （もっと読む）

【課題】ノズル内の流路における異物の付着を防止し、被処理基板に対する塗布液の塗布
の際に、ノズル吐出口から処理液を均一に吐出する。
【解決手段】吐出口１６ａから塗布液を吐出するノズル１６と、前記ノズル１６の待機期間において前記ノズル１６内の流路が前記塗布液から前記塗布液の溶剤Ｔに置換された状態で保持するメンテナンス手段２６とを具備し、前記メンテナンス手段２６は、前記ノズル１６に前記溶剤Ｔを供給する溶剤供給手段３３，３４と、前記ノズル１６の吐出口１６ａとの間に所定の間隙を形成する液保持板２８の液保持面２８ａと、この液保持面２８ａを洗浄する液保持面洗浄手段５１とを有する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、太陽光追従型発電システムにおいて、太陽光に追従する太陽電池パネル表面を動力なしで、自動的に研磨・洗浄することができる太陽電池パネル自動研磨および／または洗浄装置に関するものである。
【解決手段】太陽電池パネル自動研磨および／または洗浄装置は、太陽電池パネル用支持部材と、太陽電池パネルを回動可能に固定する太陽電池パネル保持枠と、前記太陽電池パネル保持枠に設けられた溝と、太陽電池パネルの表面を研磨・洗浄するロールブラシまたはチャンネルブラシと、前記ロールブラシまたはチャンネルブラシを固定するほぼコ字型保持部材とから少なくとも構成されている。前記太陽電池パネル用支持部材は、太陽電池パネルが太陽光を追従できるように支持されている。 （もっと読む）

【課題】放射性物質を含む酸化皮膜が形成された系統配管等の配管・機器の除染効果が高く、除染工期を短縮することができる除染方法および除染装置を提供すること。
【解決手段】除染装置１０は、放射性物質を含む酸化皮膜からなる除去対象酸化皮膜が表面に付着された金属製の除染対象部位３に、化学除染処理系統から供給した化学除染処理液を接液させて、化学除染処理により除去対象酸化皮膜を除去する除染装置であって、化学除染処理系統２０は、除染対象部位３に化学除染処理液を供給する除染処理液配管２１と、除染処理液配管２１に化学除染処理液を供給する薬液タンク３０と、薬液タンク３０内の化学除染処理液中に微小気泡を発生させる微小気泡発生装置４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】タッチ機能付きの操作パネルを含む表示装置において、効率的に操作面の清浄化を図ることができる表示装置を提供する。
【解決手段】表示装置は、使用者がタッチ操作する操作面として機能する画面を有する表示パネルと、イオンを発生させ、発生したイオンを操作面に向けて送り出すイオン放出モジュールと、画像データに基づいて、画面に画像を表示する制御部とを備え、画像データは、使用者がタッチする操作部の画像データである操作部表示データと、表示する操作部の位置情報とを含み、制御部は、位置情報から表示される操作部が位置する分割領域を算出し、制御部は、操作部が位置する分割領域に向けてイオンを吹き付けるように放出モジュールを駆動させる。 （もっと読む）

【課題】手作業によることなく、エアブローにより短時間で確実な切粉の除去を可能とし、歩留まり性の改善が可能な切粉除去装置および切粉除去方法を提供する。
【解決手段】この切粉除去装置１は、ワークの円筒状内部に残存した切粉を除去する切粉除去装置において、駆動源１６によって回転駆動される中空のシャフト１２を備え、前記シャフト１２は、前記ワークの円筒状内部に挿入可能に形成されると共に、該シャフト１２内に供給される圧縮空気が噴出される噴出穴１２ｄが複数形成されており、回転時に径方向にフローティングが生じるように配設されている。 （もっと読む）