【課題】 大面積のパターンでも熱膨張の影響を受けにくい型を提供すること。
【解決手段】 樹脂、特に好ましくはインプリント技術により成型可能な樹脂からなり被成形物200に転写するための成型パターン１ａを有する成型層１と、樹脂の熱膨張係数より低い材料、例えば金属からなる基層２とを有し、被成形物200の被成形面に対し可撓性を有するフィルム状に形成されるインプリント用型。基層２と成形層１の間に基層２及び成形層１の両方と結合する材料からなる中間層を有していても良い。 （もっと読む）

【課題】剣山型マイクロニードルを射出成形で作製するための金型、特に金型の穴の目詰まりの清掃が容易で良好な状態に維持し易い金型を提供する。
【解決手段】直方体状の金属製平板の角に複数の切り込み部分を形成させ、そのような２枚１組の金属平板で１列の微小針が作製できるような窪みを持った鋳型を作製する。その鋳型を必要な個数だけ集めて金型を作製することによって、分解して清掃が容易な金型として射出成形に使用して、良好な形状の剣山型マイクロニードルを作製できることを見出した。この結果により、金属平板の組合せにより、金型の穴の目詰まりの清掃が容易で良好な状態に維持し易い射出成形用の金型が提供できるようになった。 （もっと読む）

【課題】部品の精密な寸法を保持し、また、構造或いは外見を傷めることなく成形されるため、改良された金型構造を提供する。
【解決手段】異種材料成形体のインサート成形のための金型構造であり、上部金型２１０及び下部金型２２０を含む。前記上部金型は、インサート物を配設するキャビティ２１２を含む。前記下部金型は、剛性体２２２及び前記インサート物を載置する弾性接触部材２２４を含む。前記弾性接触部材は、前記形成プロセスの間の前記注入材料の寸法変動を吸収する。 （もっと読む）

【課題】細孔の間隔が１８０ｎｍ以上のものであっても、細孔の深さムラが少ない酸化皮膜を形成できるモールドの製造方法を提供する。
【解決手段】アルミニウム基材１０の表面に細孔１２を有する酸化皮膜１４が形成されたモールド１８を製造する方法であって、（ａ）アルミニウム基材１０の表面を陽極酸化して酸化皮膜１４を形成する工程、（ｂ）工程（ａ）の後、酸化皮膜１４を除去する工程、（ｃ）工程（ｂ）の後、アルミニウム基材１０を工程（ａ）で印加した最高電圧の９０％未満の電圧で陽極酸化して酸化皮膜１４を形成する工程、（ｄ）工程（ｃ）の後、酸化皮膜１４の細孔１２の孔径を拡大する工程、（ｅ）工程（ｃ）と工程（ｄ）とを交互に繰り返す工程を有する。 （もっと読む）

【課題】テンプレートに付けたパターンを印写可能媒体に印写することによってパターンを基板に転写する印写リソグラフィで、この印写可能媒体として熱可塑性または熱硬化性樹脂を使うとき、それだけを必要な温度に迅速に加熱する装置・方法を提供する。
【解決手段】テンプレート３０の転写すべきパターンの上に薄い金属層３５が設けてあり、このテンプレート３０を印写可能媒体３４に接触させ、それとそれを保持するホルダ３１を通してレーザ３６のビーム３７で照射する。このビーム３７を金属層３５が効率的に吸収し、この金属層からの熱を印写可能媒体３４へ効率的に伝達するので、印写可能媒体３４の加熱が迅速であり、熱が基板３２に入って基板を歪めることがない。 （もっと読む）

【課題】 金属表面に形成された凹状又は凸状のパターンを有する印刷版面を短時間で、かつ、高精度に再現できるパターン形成体を提供する。
【解決手段】 第一の金属原版の凹状又は凸状パターンを転写するためのパターン形成体において、金属板上に形成される光硬化性のパターン形成材料と光硬化性のパターン形成材料中に埋没させるパターン形成材料を補強し、光硬化効率を高めるための光透過性の補強板と、光硬化性パターン形成材料の中に光透過性の補強板が第一の金属原版に接触しないように配置された支持体から成るパターン形成体及び複製方法である。 （もっと読む）

【課題】超短投写距離の傾斜投写光学系を含み平面ミラーを備えた構成も実現できる投写型映像表示装置で傾斜投写による台形歪みが無くフォーカス性能が良好な小型でコンパクトなセットを提供する。
【解決手段】投写型映像表示装置であって、複数のレンズで構成された傾斜投写光学系を備え、投写面に最も近い位置に配置されたレンズは、光束が通過する映像垂直方向有効領域が前記複数レンズの光軸のうちで最多数のレンズにより共有される光軸を含まない位置に配置され、このレンズと投写面の間に光軸に対して所定の角度を持って光路折り返し平面ミラーを配置し、この平面ミラーで折り返された映像光束により得られる拡大映像を映像表示面方向に得られるように構成した。 （もっと読む）

【課題】プリフォームを射出成形する際、コールドスラグの発生を低減し、生産性などを向上させることができるプリフォームの射出成形装置の提供を目的とする。
【解決手段】プリフォームの射出成形装置１は、ボトムインサート３、ノズルインサート４及びニードルバルブ５を有し、ニードルバルブ５が、先端側に、円柱状のストレート部５１、及び、ノズルインサート４のテーパ孔４１と対応するテーパ角を有する截頭円錐状のテーパ部５２を有し、溶融樹脂１０９の射出が閉じられるとき、テーパ部５２の先端側の部分が、ボトムインサート３のゲート用孔３１に挿入され、ストレート部５１の先端側の部分が、ノズルインサート４のテーパ孔４１に挿入される構成としてある。 （もっと読む）

【課題】
ゴム材料の射出が完了した複数の金型を積み重ねて加硫を行なう加硫装置において、加硫後のゴム材料の品質ばらつきを低減することである。
【解決手段】
それぞれ内部に電気ヒータを有する金型３０ａ〜３０ｃを積み重ねた積層金型２６と、金型３０ａ〜３０ｃの表面に設けられたヒータ側電気接点に給電側電気接点を押圧して接続する接続ユニット４０ａ〜４０ｃとを有する。 （もっと読む）

【課題】設計・製作の自由度が比較的高い「熱媒体用管路の製造方法」を提供すること。
【解決手段】（ｉ）熱溶融性の第１材料を用いて基板の主面上に第１層を形成する工程であって、製造することになる熱媒体用流路に相当する形状となるように第１層を形成する工程、（ｉｉ）非熱溶融性の第２材料を用いて基板の主面上に第２層を形成する工程であって、第２層によって第１層が包み込まれるように第２層を形成する工程、および、（ｉｉｉ）第１層を溶融させる工程を含んで成り、工程（ｉｉｉ）では、溶融させた第１層の第１材料を基板上から除去することによって、基板と第２層との間に熱媒体用流路を形成することを特徴とする熱媒体用管路の製造方法。 （もっと読む）

【課題】簡単に実施可能な、冷却液を流すための管手段を備えた金型要素を製造するための方法を提供する。
【解決手段】冷却液を流すことが出来る管手段（４）を備える金型要素（２）を製造する方法は、開いた流路手段（８３、８４、８５；９０、９１、９２）から構成される、前記管手段（４）の前駆手段を備える、前記金型要素（２）の第１の部品（７４）と第２の部品（７３）を設けるステップと、前記第２の部品（７３）の表面が、前記開いた流路手段（８３、８４、８５；９０、９１、９２）に対向することによって、前記管手段（４）が形成されるよう、前記第１の部品（７４）と前記第２の部品（７３）を連結するステップと、から構成され、前記連結するステップは、補助金型において、前記第１の部品（７４）および前記第２の部品（７３）に当接するよう成形された第３の部品（７５）により、前記第１の部品（７４）を、前記第２の部品（７３）に一体的化するステップから構成される。 （もっと読む）

【課題】高い離型性を有し、かつ簡単に再現可能であるとともに、微細パターンの形状保持性に優れたインプリント用モールドおよびその製造方法、並びに微細構造の製造方法を提供することである。
【解決手段】微細パターン２を表面１ａに有する表面層１と、この表面層１の裏面１ｂを支持する支持層５とを備え、表面層１が紫外線硬化性官能基を有する紫外線硬化型側鎖結晶性ポリマーからなるインプリント用モールド１０およびその製造方法である。モールド１０を用いて微細構造を製造する方法である。 （もっと読む）

【課題】インプリント用モールドの製造において微細なモールドパターンを高いパターン精度で形成することができ、しかも基板をエッチング加工するために形成した薄膜パターンを最終的にモールドパターンにダメージを与えないように除去できるインプリント用モールドの製造方法を提供する。
【解決手段】透光性基板１上に、ハフニウムおよびジルコニウムのうちの少なくとも一方の元素を含有する材料で形成された下層３と、該下層の酸化を抑制する材料で形成された上層４の積層膜からなる薄膜を有するマスクブランクを用いて、前記薄膜をエッチング加工して薄膜のパターンを形成する工程と、該薄膜のパターンをマスクとして透光性基板１をエッチング加工してモールドパターンを形成する工程と、該モールドパターンを形成した後、薄膜の下層を、塩素、臭素、ヨウ素、およびキセノンのうちいずれかの元素とフッ素との化合物を含む非励起状態の物質に接触させて除去する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】加工性を向上できる金属構造体の製造方法および金属構造体を提供する。
【解決手段】金属構造体の製造方法は、以下の工程を備えている。基板上にパターン１２ａを有する樹脂型を形成する。樹脂型のパターン１２ａを覆うように金属層１３を形成する。炭酸ガスレーザを照射することにより、樹脂型を除去する。樹脂型を形成する工程は、基板を被覆するように樹脂層を形成する工程と、樹脂層上に、パターンを有するマスクを配置し、マスクのパターンを介してレーザを照射することにより、樹脂層の一部を除去する工程とを含むことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】熱分解後の酸化銅（Ｉ）の再酸化を抑制可能な熱反応型レジスト材料を提供すること。
【解決手段】本発明の熱反応型レジスト材料は、リチウム、ナトリウム、マグネシウム、カルシウム、チタン、鉄、コバルト、亜鉛、ガリウム、シリコン、ゲルマニウム、鉛、ビスマス、及びテルル、並びにその酸化物、塩化物、フッ化物、及び炭酸化物からなる群から選択された少なくとも１つの再酸化防止剤と、酸化銅（Ｉ）と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ナノ構造体作製用型体の陽極酸化皮膜の膜厚を調整することで、耐傷性や耐久性等を有するナノ構造体作製用型体とそのナノ構造体作製用型体の製造方法を提供すること。
【解決手段】ナノ構造を利用したナノ構造体を作製するための型体であって、アルミニウム材料の表面に陽極酸化皮膜が形成されたものであり、該陽極酸化皮膜は、少なくともある一の方向に対し平均周期５０ｎｍ以上４００ｎｍ以下でポアを有し、該ポアは、テーパー形状部とその下部にある細孔形状部とからなり、該テーパー形状部は、陽極酸化皮膜の表面では広く開口しており、深部に入るに従って徐々に細くなっていくテーパー形状となっており、該細孔形状部は、実質的に等しい径の細孔形状となっており、該テーパー形状部を有するテーパー形状層の下側に連続して細孔形状部を有する細孔形状層を有することを特徴とするナノ構造体作製用型体。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、単粒子膜を構成する各粒子が２次元に最密充填し、高精度に配列した曲面上の単粒子膜エッチングマスクとその製造方法、該単粒子膜エッチングマスクを用いた曲面上の微細構造体の製造方法および該製造方法で得られた高精度な曲面上の微細構造体を提供する。
【解決手段】曲面、傾斜および段差など非平面である部分で面方向のピッチまたは大きさが０．１μｍ〜１００００μｍである表面が一部若しくは全部である基板上に形成する、粒子が２次元に最密充填した単粒子膜であって、
下記式（１）で定義される粒子の配列のずれＤ（％）が１０％以下であることを特徴とする単粒子膜。
Ｄ（％）＝｜Ｂ−Ａ｜×１００／Ａ・・・（１）
（式（１）中、Ａは前記粒子の平均粒径、Ｂは前記単粒子膜における前記粒子間の平均ピッチを示す。） （もっと読む）

【課題】対象物に対する高精度な微細加工を迅速に行う。
【解決手段】微細加工装置の加工ヘッド４は、基板４１１上に交互に配列された複数の可動リボン４１３ａおよび固定リボンを有する回折格子型の空間光変調デバイス４１、および、空間光変調デバイス４１の複数の可動リボン４１３ａから保持部３に向けて突出する複数の切削刃４２を備える。加工ヘッド４では、複数の可動リボン４１３ａの昇降により、複数の切削刃４２が対象物９の被切削面９１に対して個別に接触および離間し、切削刃４２が被切削面９１に接触した状態で、対象物９が移動されることにより微細切削加工が行われる。微細加工装置では、可動リボン４１３ａの昇降を高精度に制御することにより、対象物９に対する微細切削加工を迅速かつ高精度に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】複数の段差を備えた微細な３次元構造パターンの形成に好適なパターン形成方法及びパターン形成体を提供する。
【解決手段】パターン形成方法は、基板上に第１層目のハードマスク層１２、エッチストッパ層１３、第２層目のハードマスク層２２を形成し、該ハードマスク層及びエッチストッパ層をパターニングし、該ハードマスク層をエッチングマスクとして基板１１に異方性エッチングを行う。複数の段差を備えた微細な３次元構造パターン形成方法及びパターン形成体。 （もっと読む）

【課題】化学増幅レジストの性能を引き出すことにより、高い解像性能と良好なパターン品質を有するレジストパターンが得られるレジスト付き基体の製造方法、レジストパターン付き基体の製造方法、パターン付き基体の製造方法及びレジスト処理方法を提供する。
【解決手段】基体上に化学増幅レジストを塗布するレジスト塗布工程と、前記レジスト塗布工程後、レジスト塗布基体に対してベークを行うパターン露光前ベーク工程と、を有し、前記パターン露光前ベーク工程後に形成されることになるパターン未露光のレジスト層に対して現像剤による減膜処理を行うとすると前記レジスト層の残膜率が９５％以上となる時間及び温度条件にて、前記パターン露光前ベーク工程を行う。 （もっと読む）