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Fターム[4J100AB07]の内容

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【課題】 感度、ラフネス特性、孤立スペースパターンの解像性に優れ、かつ良好な形状のパターンを形成可能とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いた感活性光線性又は感放射線性膜、及び、パターン形成方法を提供すること。
【解決手段】 酸の作用により分解してアルカリ可溶性基を発生する構造部位(S1)と、アルカリ現像液の作用により分解してアルカリ現像液中への溶解速度が増大する構造部位(S2)とを備えた繰り返し単位(A)と、活性光線又は放射線の照射により酸を発生する繰り返し単位(B)とを備えた樹脂を含む感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】長期間の保存においても、液中パーティクルの発生が抑制され、また、優れた放射線感度、露光時の高い後退接触角等特性の経時変動が小さい、保存安定性に優れる感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】本発明は、[A]塩基解離性基を含む構造単位(f)を有する含フッ素重合体を含有し、分子量1,000以下の[A]含フッ素重合体の含有量が0.02質量%以下である感放射線性樹脂組成物である。上記構造単位(f)の塩基解離性基がフッ素原子を有することが好ましく、上記塩基解離性基がフッ素原子を有する芳香族炭化水素基であることがさらに好ましい。 (もっと読む)


【課題】閾値電圧の絶対値及びヒステリシスが小さい有機薄膜トランジスタを製造しうる有機薄膜トランジスタ絶縁層材料を提供すること。
【解決手段】本発明の有機薄膜トランジスタゲート絶縁層材料は、フッ素原子を含む基を有する繰り返し単位と、光二量化反応性基を有する繰り返し単位と、電磁波もしくは熱の作用により、活性水素と反応する第2の官能基を生成する第1の官能基を有する繰り返し単位とを、有する高分子化合物(A)、及び活性水素化合物(B)を含有する。 (もっと読む)


【課題】表面極性をリソグラフィ的に変え、自己組織化層によるパターン形成方法の提供。
【解決手段】光酸発生剤を含む感光層の一部分を照射し、発生した酸を隣の下層120aの部分に拡散させる工程。前記下層120aは酸分解可能基、アタッチメント基および官能基を含む酸感受性コポリマーを含む。感光層は下層の表面上に配置されており、拡散させる工程は下層120aおよび感光層を加熱することを含み、下層120a中の酸感受性コポリマーの酸感受性基は拡散した酸と反応して下層の表面に極性領域を形成し、前記極性領域はパターンの形状を有する。感光層は除去され、下層の表面上に自己組織化層150bを形成する工程。前記自己組織化層150bは極性領域に対する親和性を有するブロックと、極性領域に対する親和性が低いブロックとを有するブロックコポリマーを含む。第1もしくは第2のドメインのいずれかを除去し下層の部分を露出させる工程。 (もっと読む)


【課題】 高感度、高解像性、良好なパターン形状、良好なラインエッジラフネスを高次元で同時に満足するとともに、露光時のアウトガス性能が充分に良好な感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、並びに、それを用いた感活性光線性又は感放射線性膜及びパターン形成方法を提供する。
【解決手段】 本発明に係る感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物は、活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する繰り返し単位(A)と、1級又は2級の水酸基を備えた繰り返し単位(C)とを含んだ樹脂(P)を含有している。 (もっと読む)


【課題】帯電極性の異なる複数種類の粒子の存在下でも凝集が抑制された着色樹脂粒子の製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】顔料1〜30重量%と、(メタ)アクリル系重合性単量体50〜98.9重量%と、窒素含有基を有する化合物0.1〜20重量%とを含む重合性組成物を、酸可溶性の難水溶性無機系分散剤の存在する水性媒体中で、重合させることで着色樹脂粒子を得る工程と、懸濁重合後の水性媒体を、酸を添加することで、3以下のpHにする工程と、前記pH3以下の水性媒体から、前記着色樹脂粒子を分離し、洗浄する工程と、前記洗浄後の着色樹脂粒子を、0〜80℃の条件下で水溶性有機溶剤を含むアルカリ水溶液中で保持する工程と、前記アルカリ水溶液から、前記着色樹脂粒子を分離し、洗浄する工程とを含むことを特徴とする電気泳動用着色樹脂粒子の製造方法により上記課題を解決する。 (もっと読む)


【課題】湿潤状態である電池の作動時はもちろんのこと、乾燥状態になる作動停止時にも高い気体非透過性が保持され、膜の断裂等も生じる危険性がなく、作動再開時には再び優れた気体非透過性が示される陰イオン交換膜からなる固体高分子型燃料電池用隔膜膜を提供する。
【解決手段】ポリオレフィン製多孔質基材、好適には空隙率が40〜60%のものの細孔内に、特定のハロゲノアルキルスチレン化合物からなる繰り返し単位を有する架橋された炭化水素鎖からなる陰イオン交換樹脂が、その炭化水素鎖の一端が細孔表面にグラフト結合した状態で充填されてなる陰イオン交換膜からなる固体高分子型燃料電池用隔膜。 (もっと読む)


【課題】優れたフォーカスマージンでレジストパターンを製造することができるレジスト組成物の提供。
【解決手段】式(a)で表される構造単位を有する樹脂及び式(B1)で表される塩を含有するレジスト組成物。


[式中、Rは水素原子又はメチル基;Aは、単結合、脂肪族炭化水素基等;Aは炭素数1〜6の脂肪族炭化水素基;環Wは炭素数4〜36の脂肪族環;環Wは、炭素数4〜18のラクトン環;Q1及びQ2は、それぞれ独立に、フッ素原子又は炭素数1〜6のペルフルオロアルキル基;Lb1は、炭素数3〜18の脂環式炭化水素基;Yは置換基を有していてもよい炭素数1〜18の脂肪族炭化水素基;Z+は有機カチオンを表す。] (もっと読む)


【課題】遮光性が高く、耐薬品性、耐磨耗性および基板との密着性に優れ、さらに微細着色パターン欠陥修復にも適合する硬化膜を形成しうる、低温焼成可能な新規組成物を提供すること。
【解決手段】一般式(I)で表されるラジカル重合性モノマー(a1)および該モノマー(a1)以外のラジカル重合性モノマー(a2)を重合して得られる共重合体(A)と、顔料(B)と、不飽和カルボン酸から導かれる構成単位および不飽和カルボン酸無水物から導かれる構成単位からなる群より選ばれる少なくとも1種の構成単位を有する重合体(C)とを含有する熱硬化性着色組成物。
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【課題】陽極及び陰極からなる一対の電極と、前記陽極上に形成されたテーパ状のバンクと、該バンクにより区切られた層形成領域と、該層形成領域に形成された、発光層を含む少なくとも一層の有機層とを有する有機電界発光素子において、液体状の有機半導体又は液晶性を有する有機半導体を用いて、湿式法により発光層を形成する際に、ハンドリング性に優れ、発光層とその下層との間での混合を防止できる有機電界発光素子を提供すること。
【解決手段】ゲル化した架橋ポリマー、及び液体状の有機半導体又は液晶性を有する有機半導体を含む発光層、並びに、架橋剤により架橋された正孔注入層又は正孔輸送層を有する有機電界発光素子。 (もっと読む)


【課題】優れた耐光性と、樹脂との高い相溶性を有し、樹脂に添加した場合に長期の光曝露による樹脂の劣化と、それ自体のブリードアウトを効果的に抑制することができる紫外線吸収剤として有用な重合体を提供する。
【解決手段】一般式(1)で表される単量体に由来する構造単位を有することを特徴とする重合体。


[R1a〜R1pの少なくとも1つは、重合性基を有する。] (もっと読む)


【課題】 特に露光光源として電子線、X線又はEUV光を用いるリソグラフィーにおいて、感度、解像力、パターン形状、ラインエッジラフネス、及びドライエッチング耐性を同時に満足する感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物並びにそれを用いた感活性光線性又は感放射線性膜及びパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】 活性光線または放射線の照射により分解して酸を発生する繰り返し単位(A)と、芳香環およびラクトン構造を有する繰り返し単位(C)を含む樹脂(P)を含有することを特徴とする感活性光線性または感放射線性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】塗膜表面に優れた防汚性及び滑り性を付与することができ、フッ素系界面活性剤又はフッ素系表面改質剤として用いることができる含フッ素重合性樹脂、それを用いた活性エネルギー線硬化型組成物及びその硬化物を提供する。
【解決手段】平均分子量が2,500〜10,000であるポリ(パーフルオロアルキレンエーテル)鎖を有し、その両末端にラジカル重合性不飽和基を有する化合物(A)と、反応性基(b)を有するラジカル重合性不飽和単量体(B)とを必須の単量体成分として共重合させて得られる重合体に、前記官能基(b)と反応性を有する官能基(c)とラジカル重合性不飽和基とを有する化合物(C)を反応させて得られる含フッ素重合性樹脂を用いる。 (もっと読む)


【課題】現像欠陥、並びにスカムの発生が改良され、更に、液浸露光時に於ける液浸液に対する追随性が良好であるパターンを形成することが可能な感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、該組成物を用いて形成された感活性光線性または感放射線性膜、および該組成物を用いたパターン形成方法を提供すること。
【解決手段】(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物、(B)酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増大する樹脂、及び、(C)疎水性樹脂を含む感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物であって、疎水性樹脂(C)が、下記一般式(1)で表される単量体に由来する繰り返し単位を含むことを特徴とする感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物。(式中の各記号は、特許請求の範囲に記載の意味を表す。)
【化1】
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【課題】
常温乾燥型又は比較的低温での焼付け乾燥型の水性塗料組成物に使用したときに、形成される塗膜の耐水性を向上させることのできる変性ビニル系樹脂、及び該樹脂を用いた水性塗料組成物を提供すること。
【解決手段】
カルボキシル基とケトン性カルボニル基とを有する変性ビニル系樹脂であって、該変性ビニル系樹脂が、1級アミノ基、2級アミノ基及び水酸基からなる群より選ばれる少なくとも1種の官能基とケトン性カルボニル基とを有する化合物(A)と、酸無水物基含有ビニル系樹脂(B)とを反応させることにより得られたものであることを特徴とする変性ビニル系樹脂、及びヒドラジン誘導体とを含む水性塗料組成物。 (もっと読む)


【課題】安価で、活性が高く、環境に優しく、かつ、ラジカル開始剤を必要としないリビングラジカル重合方法を提供する。
【解決手段】反応容器の気相中の酸素の量を適切な範囲に制御することにより、触媒を使用しなくてもリビングラジカル重合方法を行うことができる。ラジカル反応性不飽和結合を有するモノマーをラジカル重合反応させて、分子量分布の狭いポリマーを得ることができ、リビングラジカル重合のコストを劇的に低減することができる。本発明は、従来の触媒における毒性、低溶解性、着色・臭いなどの弊害を排除し、従来のリビングラジカル重合方法に比べて格段に環境に優しく経済性に優れる。 (もっと読む)


【課題】ブロックコポリマーの相分離を利用して、基板表面に、位置及び配向性がより自在にデザインされたナノ構造体を備える基板を製造し得る下地剤を提供。
【解決手段】基板上に形成した複数種類のポリマーが結合したブロックコポリマーを含む層を相分離させるために用いられる下地剤であって、樹脂成分を含有し、該樹脂成分全体の構成単位のうち20モル%〜80モル%が芳香族環含有モノマー由来の構成単位であることを特徴とする下地剤 (もっと読む)


【課題】感度、、解像力、ラインエッジラフネス(LER)、ドライエッチング耐性に優れ、かつ良好な形状のパターンを形成することができる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、この組成物を用いて形成されたレジスト膜、並びに、この組成物を用いたパターン形成方法を提供する。
【解決手段】活性光線又は放射線の照射により分解して酸を発生する繰り返し単位(A)と、酸の作用により分解してアルカリ可溶性基を発生する繰り返し単位(B)とを含有する樹脂の間を酸分解性の架橋有機基で架橋してなり、酸の作用により該架橋が切断される高分子化合物(P)を含む感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、この組成物を用いて形成されたレジスト膜、並びに、この組成物を用いたパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】C4〜C8モノオレフィンモノマーおよびC4〜C14マルチオレフィンモノマーを含むモノマー混合物から誘導されたコポリマーをハロゲン化することにより製造されたポリマーと比べて、向上した特性を有するハロゲン化ターポリマーを提供する。
【解決手段】80〜99質量%のC4〜C8モノオレフィンモノマー、0.5〜5質量%のC4〜C14マルチオレフィンモノマーおよび0.5〜15質量%のp-メチルスチレンモノマーからなるハロゲン化ブチルターポリマーであって、該ターポリマーは、分子量分布を有しており、該モノマーは、分子量分布全体にわたって組成が等質であるターポリマーを形成するようにランダムに分布している、ハロゲン化ブチルターポリマー (もっと読む)


【課題】溶媒に対する溶解性が高く、塗布法で膜を形成することができ、発光効率が高く、寿命が長く、特に高温駆動での寿命が長い有機デバイス(特に有機エレクトロルミネッセンス素子)、及びそれを実現する重合性単量体とそれを用いた高分子化合物、有機デバイス用材料(特に有機エレクトロルミネッセンス素子用発光材料)を提供する。
【解決手段】特定のトリフェニルアミンユニット又はカルバゾールユニットと、特定のアジンユニットとを有し、さらに、重合性官能基を有する重合性単量体と、それを用いた高分子化合物、有機デバイス用材料(特に有機エレクトロルミネッセンス素子用発光材料)、また、これらを用いた有機デバイス、及び有機エレクトロルミネッセンス素子である。 (もっと読む)


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