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Fターム[4J100BC08]の内容

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【解決手段】 式(1)及び(2)で示される繰り返し単位をそれぞれ1種以上含む重量平均分子量1,000〜50,000の高分子化合物。
【化1】


[R1、R3はH又はCH3、R4はアルキレン基、R2は式(R2−1)〜(R2−4)から選ばれるラクトン構造を有する置換基。
【化2】


(YはCH2又はO、YがCH2の場合、R5はCO27、YがOの場合、R5はH又はCO27、R6はH又はアルキル基、R7はアルキル基又は該アルキル基の炭素−炭素結合間に酸素原子が挿入された基。)]
【効果】 本発明の高分子化合物は、レジスト材料、特に化学増幅型ポジ型レジスト材料のベース樹脂として使用されて、高い感度、解像性、ドライエッチング耐性を与えると共に、基板密着性が良好で、パターン側壁の荒れが防止されたレジストパターンを与える。 (もっと読む)


【課題】プラズマ重合により、より低い誘電率の膜を製造する方法およびより低い誘電率の高分子膜を提供すること。
【解決手段】式(1)で示される化合物のガスを含む混合ガスを減圧下の反応室に供給する工程と、反応室内に形成されたプラズマ中を通過させることにより反応室内に設置された基板表面に前記ガスを吹き付けて、前記有機化合物を骨格に含む高分子膜を基板表面上に成長させる工程とを含む高分子膜の製造方法。該製造方法により得られる高分子膜。


(PCAは炭素原子数7以上のポリシクロ脂肪族炭化水素基。ALKは炭素原子数1〜10の二価の脂肪族炭化水素基。mは1または2。nは0または1。R1およびR2は炭素原子数1〜6のアルキル基、炭素原子数2〜6のアルケニル基、炭素原子数2〜6のアルキニル基、炭素原子数1〜6のアルコキシ基、炭素原子数6〜10のアリール基または炭素原子数6〜10のアリールオキシ基。) (もっと読む)


【解決手段】 式(1)及び(2)で示される繰り返し単位をそれぞれ1種以上含む重量平均分子量1,000〜50,000の高分子化合物。
【化1】


[R1、R3はH又はCH3。R4はアルキレン基。R2は式(R2−1)〜(R2−7)から選ばれる酸不安定基。
【化2】


(破線は結合位置及び結合方向を示す。R5はアルキル基、R6、R7はアルキル基。Zは結合する炭素原子と共に単環又は架橋環を形成する酸素原子を含んでもよい2価の炭化水素基、mは0又は1。)]
【効果】 本発明の高分子化合物は、レジスト材料、特に化学増幅ポジ型レジスト材料のベース樹脂として使用されて高い感度、解像性、エッチング耐性を与えると共に、優れた基板密着性、現像液親和性を有する。 (もっと読む)


本発明は、架橋のためのエチレン性不飽和官能基を持つ、水媒体性多段階ポリマー分散物の製造方法に関する。該方法は、 a.第一段階ポリマーを水溶性または水中分散性にするのに十分な量までカルボン酸官能化モノマーを含んでいる、該第一段階ポリマーの水性エマルションまたは水性溶液を作ること、 b.該第一段階ポリマーを塩基で少なくとも部分的に中和すること、 c.該少なくとも部分的に中和された第一段階ポリマーに第二段階モノマー混合物を加え、そして当該第二段階モノマー混合物を、第一段階ポリマーよりも低度に親水性である第二段階ポリマーへとエマルション重合することによって、2段階ポリマー分散物を形成すること、および d.得られた2段階ポリマー分散物と、エチレン性不飽和基および該2段階ポリマー中のカルボン酸に対して反応性である基を含んでいる2官能性化合物とを反応させることの段階を含む。本発明はさらに、水媒体性硬化性多段階ポリマー分散物に、コーティング組成物に関する。 (もっと読む)


本発明は、ある種の硫黄含有基をポリマー、特にRAFT重合方法によって作製されたものから除去するための方法を提供する。 (もっと読む)


可溶性ポリマーおよび該ポリマーを調製する方法。ここで、本発明のポリマーは、アミン含有材料を捕捉するために用いることが可能であるアシルスルホンアミドアミン反応性側基を有する。 (もっと読む)


本発明は、溶媒含有量が低い、ヒドロキシ官能性コポリマーに基づく水性ヒドロキシ官能性バインダー分散体、このようなバインダーの製造方法、これらに基づくバインダーの組合せ、及びバインダーの塗料での使用に関する。 (もっと読む)


【課題】常温で液状であり、取り扱いが容易である(メタ)アクリレートの提供、さらには溶剤に対する溶解性が向上した(メタ)アクリレート(共)重合体を提供することを目的とする。
【解決手段】下記一般式(1)で表されるノルボルナンラクトン系(メタ)アクリレート。
【化1】


(上式において、R1は炭素数2〜4のアルキレン基、nは1〜3の整数、R2は水素原子またはメチル基を表す。)
また、一般式(1)で表されるノルボルナンラクトン系(メタ)アクリレートを含む単量体混合物を重合することによって得られる(共)重合体。
本発明の好ましい態様として、一般式(1)で表される化合物の少なくとも1種と、共重合可能な化合物の少なくとも1種を含む単量体混合物を重合することによって得られる共重合体であって重量平均分子量(Mw)が2000〜200000である共重合体。 (もっと読む)


官能基の濃度が高く充分な官能基の特性を得ることができ、幅広い波長領域で高い透明性を有する含フッ素化合物、含フッ素ポリマーおよびその製造方法を提供する 下記式(1)で表される含フッ素ジエンを提供する。 CF=CFCHCH(C(R)(R)(OH))CHCH=CH (1) ただし、RとRは、それぞれ独立にフッ素原子、あるいは炭素数5以下のフルオロアルキル基を表す。 (もっと読む)


【課題】
水性塩基現像液に優れた溶解反応を示すポリマーを含むネガ型レジスト組成物を提供する。
【解決手段】
以下の2つの化学式のうちの1つを有する少なくとも1種のフルオロスルホンアミド・モノマー単位を有するポリマーを含むネガ型レジスト組成物である
【化1】


ここで化学式中、Mは、重合可能な骨格部分であり、Zは、−C(O)O−、−C(O)−、−OC(O)−、−O−C(O)−C(O)−O−またはアルキルからなる群から選択される連結部分であり、Pは、0または1であり、Rは、炭素数が1〜20個の直鎖または分岐鎖アルキル基であり、Rは、水素、フッ素、炭素数が1〜6個の直鎖または分岐鎖アルキル基、または一部もしくは全てがフッ素化された炭素数が1〜6個の直鎖または分岐鎖アルキル基であり、nは、1〜6の整数である。 (もっと読む)


本発明は、光画像形成およびフォトレジスト組成物に有用な低多分散性アクリルポリマーに、ならびにこれらの組成物を使用する光画像形成方法に関する。本発明の低多分散性ポリマーは、RAFT(可逆付加開裂連鎖移動)重合のような、制御ラジカル重合(CRP)技術を用いて製造される。 (もっと読む)


【解決手段】 下記一般式[1](式中、R1及びR2は各々独立して軽水素原子又は重水素原子を表し、R3は軽水素原子、重水素原子又はメチル基{但し、該メチル基の3つの水素原子は各々独立して軽水素原子又は重水素原子である}を表し、R4はノルボルナン環と炭素数5〜7の炭化水素環との縮合環からなる基であり、当該基が有する水素原子の少なくとも1つが重水素原子である)で表される新規な化合物、及び該化合物を含有する重合性組成物を重合してなる新規な重合体である。
一般式[1]
【化1】
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【解決手段】 下記一般式[1](式中、R1及びR2はそれぞれ独立して軽水素原子又は重水素原子を表し、R3は軽水素原子、重水素原子又はメチル基{但し、該メチル基の3つの水素原子はそれぞれ独立して軽水素原子又は重水素原子である}を表し、R4はノルボルニル基であり、当該基が有する水素原子の4つ以上が重水素原子である)で表される新規な化合物、及び前記化合物を含有する重合性組成物を重合してなる新規な重合体である。
【化1】
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本発明は、リビングフリーラジカル重合技法によるフォトレジストポリマーの調製に関する。立体的にかさ高いエステルモノマーは、重合成分として利用される。連鎖移動剤の使用は重合処理条件に含まれる。ヘテロ原子を含むポリマー末端基の開裂について述べる。本発明のフォトレジスト組成物は、光酸発生剤と、式[A][B][C](式中、A、BおよびCはそれぞれ個別に以下の構造の1つであり、式中、B≠Cという条件で、xは両方の数値を含めて約0〜約200であり、yは両方の数値を含めて約1〜約200、zは両方の数値を含めて約1〜約200である)を含むポリマー樹脂を含む。
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【課題】
本発明は、全ての性質を改良することによって、幅広い受け入れのグルシジル(メタ)アクリレート粉末コーティング組成物を提供することが目的である。
【解決手段】
構造式Iを有するグルシジル(メタ)アクリレートモノマー(i)と、
【化15】



(式中、R8はH又は低級アルキル基、R9は1〜4の炭素原子を含有する分岐又は非分岐アルキル基を表す)
構造式IIを有するカプロラクトン(メタ)アクリレートモノマー(ii)と、
【化16】


(式中、Xは1〜5、RはH又は低級アルキル基を表す)
モノマー(i)及び(ii)以外の任意的なエチレン性不飽和モノマー(iii)とを共重合してから形成されるグルシジル(メタ)アクリレート系樹脂(a)と、
硬化剤(b)とを備える硬化性粉末コーティング組成物。 (もっと読む)


本発明は、リビングフリーラジカル重合の技術によるフォトレジストポリマーの調製を対象とする。本発明は、一側面において、立体的に大きなエステルモノマーを、重合成分として利用する。連鎖移動剤を用いることは、重合プロセス条件に含まれる。ヘテロ原子を含むポリマーの末端基を切断することが記載されている。一側面において、本発明のポリマーはランダムコポリマーであり、バッチプロセスにてまたは半連続的な重合反応条件下で調製され得る。 (もっと読む)


本発明は、電子(又は陽電子)捕獲解離を実行可能な質量分析器、タンデム質量分析法を実行する方法、電子捕獲解離を実行する方法、及び陽電子捕獲解離を実行する方法に関する。一実施形態においては、電子捕獲解離又は陽電子捕獲解離を実行可能な質量分析器が提供され、質量分析器は、第1の質量分析器と、第1の質量分析器の下流側の磁気トラップと、磁気トラップの下流側の第2の質量分析器と、磁気トラップに電子又は陽電子が供給されるように配置された電子源又は陽電子源とを具備する。
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多環式オレフィンモノマー、及び所望によりアリル的又はオレフィン的モノマーのオリゴマー、並びに多環式オレフィンモノマーを、Ni又はPdを含有する触媒の存在中で、或いはアリル的モノマーの場合、フリーラジカル開始剤の存在中で反応させることを含むこのようなオリゴマーを製造する方法。オリゴマーは、フォトレジスト組成物中に溶解速度調整剤として含めることができる。フォトレジスト組成物は、更にポリマーの結合樹脂、光酸発生剤、及び溶媒を含むことができる。 (もっと読む)


【課題】 ニトロキサイド化合物存在下において、分子量、および分子量分布の制御が困難とされていたラジカル重合性単量体の重合を制御し、リビングラジカル重合を利用した新規材料開発の範囲を著しく広げる。
【解決手段】 メタクリル酸エステル単位と、スチレン誘導体単位またはアクリル酸エステル単位とを含む共重合体を重合する際に、一般式(3)〜(6)で示される化合物の少なくとも1種以上の存在下、メタクリル酸エステルを含む重合系に対して、少なくとも1種以上のスチレン誘導体またはアクリル酸エステルを分割して加えて、アルコキシアミン基を有する共重合体を製造する。 (もっと読む)


【課題】 単独で既に種々の基体、特に公知の臨界の基体上に非常に良好な付着を示すので、接着促進剤の添加を完全に省くことができるポリビニルアセタールを提供する。
【解決手段】 ポリビニルアセタールを、ポリビニルアルコールからアルデヒド(ヘミアセタール又は完全アセタールとしても存在してよい少なくとも1種のアルデヒド)によるポリマー類似反応によって製造する。 (もっと読む)


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