接合シート貼付装置及び方法
【課題】一枚の基板に対する接合シートの貼り付けから検査完了までの時間を大幅に短縮し、且つ接合シートのロスの可能性を低くすることができる接合シート貼付装置及び方法を提供する。
【解決手段】基板を支持する貼付ステージと、接合シートが基板に向くように、貼付ステージの上方に複数の接合シートを供給する接合シート供給装置と、貼付ステージの上方に上下動可能に設けられ、基板の一つの辺に沿った複数の貼付位置に接合シートを逐次貼り付ける貼付ヘッドと、接合シート供給装置と貼付ヘッドとが取り付けられたフレームと、を有する貼付ユニットと、貼付ユニットを基板の辺に沿って貼付方向に移送する移送装置と、及び貼付ユニットが接合シートの貼付動作を連続して行っている間に、既に貼付ユニットにより貼り付けられた接合シートの貼付状態を検査する検査装置とを有する。
【解決手段】基板を支持する貼付ステージと、接合シートが基板に向くように、貼付ステージの上方に複数の接合シートを供給する接合シート供給装置と、貼付ステージの上方に上下動可能に設けられ、基板の一つの辺に沿った複数の貼付位置に接合シートを逐次貼り付ける貼付ヘッドと、接合シート供給装置と貼付ヘッドとが取り付けられたフレームと、を有する貼付ユニットと、貼付ユニットを基板の辺に沿って貼付方向に移送する移送装置と、及び貼付ユニットが接合シートの貼付動作を連続して行っている間に、既に貼付ユニットにより貼り付けられた接合シートの貼付状態を検査する検査装置とを有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接合シートの一面に基材層が接合された接合シート連続体から、接合シートのみを基板に貼り付ける接合シート貼付装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フレキシブルプリント配線（ＦＰＣ）基板を含む基板、電子部品、機械部品、光学部品等の部品を、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）基板やプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）基板等の他の部品に接合する際、接合シートが使用されている。例えば、ＬＣＤ基板にＦＰＣ基板を実装する際には、異方性導電膜シート（Anisotropic Conductive Film Sheet(以下、ＡＣＦシートという））が使用されている。
【０００３】
ＡＣＦシートは、導電性の金属粒子が混入されたエポキシ系の合成樹脂などにより形成され、２個の部材を接合することができるものである。ＡＣＦシートを使用したＬＣＤ基板へのＦＰＣ基板の実装は、大別すると以下の３つの工程により実行される。第１の工程では、ＡＣＦシートを、ＡＣＦシート自体の接合力（粘着力）により上面に基材層が付着した状態で、ＬＣＤ基板の辺上の所定の貼付位置に供給する。次いで、ＡＣＦシートの下面を前記貼付位置に貼り付けるとともに、ＡＣＦシートの上面の基材層を剥離する。第２の工程では、ＦＰＣ基板をＬＣＤ基板に対してアライメント後にＬＣＤ基板上のＡＣＦシートに仮圧着する。第３の工程では、ＦＰＣ基板をＬＣＤ基板に対して本圧着する。
【０００４】
しかしながら、前記第１の工程においては、ＡＣＦシートの前記貼付位置への貼付及びＡＣＦシートから基材層の剥離後に、特に剥離開始及び終了位置付近において、貼付不良及び剥離不良が生じやすいという問題点があった。また、近年、ＬＣＤ基板やＰＤＰ基板等の基板は大型化の傾向にある。これに伴い、ＡＣＦシートは、その無駄を無くすために実装位置にのみポイント的に分割されて貼り付けられるようになってきている。このため、１枚の基板に対するＡＣＦシートの貼付箇所が増え、ＡＣＦシートの貼付状態の良否の検査をすべき箇所が増加している。例えば、３７インチの基板に部品を実装する場合、基板の一辺あたりの部品実装数は３〜１２個となるので、基板一枚あたりの検査箇所は少なくとも１４箇所以上必要となる。したがって、従来のように作業者が目視してこの貼付状態の良否を検査していたのでは、その検査に甚大な時間と労力がかかることになる。
【０００５】
この問題点を解決する装置及び方法が、特許第３３２４５９９号公報（特許文献１）に開示されている。特許文献１の装置及び方法は、ＬＣＤ等の表示パネルに粘着された導電膜（ＡＣＦシート）の貼付状態の検査を、カメラを有する認識手段を備えて自動化することによって、短時間且つ的確に行うことができるようになされている。より具体的には、以下の動作を行う。
【０００６】
まず、一枚の基板に対して、基材層が付着した状態のＡＣＦシートを複数貼り付ける。その後、基材層のみを複数のＡＣＦシートから剥離する。次いで、一枚の基板上に貼り付けた複数のＡＣＦシートの貼付状態の検査を、カメラを有する認識手段によって行う。この検査により、一カ所でも貼付不良又は剥離不良が生じていると、その貼付不良又は剥離不良の箇所に再度、貼付又は剥離動作を行い再検査する。この動作を、ＡＣＦシートの貼付不良又は剥離不良を無くすようにするために、所定の回数繰り返す。
【特許文献１】特許第３３２４５９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１の装置及び方法においては、一枚の基板に貼り付けられた複数のＡＣＦシートの貼付状態の検査を、一枚一枚順番に基板上の全てのＡＣＦシートの貼付状態の検査を終了するまで行っていた。したがって、基板が大型化し、一枚の基板に対するＡＣＦシートの貼付箇所が増加すればするほど、また貼付不良又は剥離不良が生じて再検査の回数が増せば増すほど、ＡＣＦシートの貼り付けから検査完了までの時間が累進的に増加するという問題点があった。
【０００８】
また、特許文献１の装置及び方法では、複数のＡＣＦシートを基板に全て貼り付けてからまとめて検査を行うので、貼り替えが必要な貼付不良が多数発生している場合には、無駄になるＡＣＦシートが大量に発生してしまう可能性があるとともに、多数のＡＣＦシート貼付動作が無駄になる可能性もあった。
【０００９】
そこで、本発明は、一枚の基板に対する接合シートの貼り付けから検査完了までの時間を大幅に短縮し、且つ接合シートのロス及び貼付動作のロスの可能性を低くすることができる接合シート貼付装置及び方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【００１１】
本発明の第１態様によれば、接合シートの一面に基材層が接合された接合シート連続体から、前記接合シートのみを基板に貼り付ける接合シート貼付装置であって、
前記基板を支持する貼付ステージと、
前記貼付ステージの上方に前記接合シートを供給する接合シート供給装置と、前記貼付ステージの上方に上下動可能に設けられ、前記接合シートを前記基板に押し付けて貼り付ける貼付ヘッドと、を有する貼付ユニットと、
前記貼付ユニットを前記基板の前記一辺に沿った貼付方向に移送する移送装置と、
前記貼付ユニットが前記接合シートの貼付動作を連続して行っている間に、既に前記貼付ユニットにより貼り付けられた接合シートの貼付状態を検査する検査装置と、
を有することを特徴とする接合シート貼付装置を提供する。
【００１２】
本発明の第２態様によれば、前記検査装置は、前記貼付ユニットを移送する移送装置によって、前記貼付ユニットと一体的に移送されることを特徴とする第１態様に記載の接合シート貼付装置を提供する。
【００１３】
本発明の第３態様によれば、前記検査装置は、前記貼付ユニットと独立して移動可能な移送装置を備えたことを特徴とする第１態様に記載の接合シート貼付装置を提供する。
【００１４】
本発明の第４態様によれば、前記貼付ステージは、全部又は前記基板の前記辺を支持する部分の近傍部分が光を透過する光透過体と光を拡散させる光拡散体とを備え、
前記光透過体の内部へ光を入射させる光源をさらに有し、
前記検査装置は、前記光源から前記光透過体を透過するとともに前記光拡散体によって拡散され、且つ前記貼付ステージ上で支持されている前記基板を透過した光により、既に前記貼付ユニットにより前記基板に貼り付けられた前記接合シートを照らして、前記接合シートの貼付状態を検査することを特徴とする第１態様から第３態様のいずれか１つに記載の接合シート貼付装置を提供する。
【００１５】
本発明の第５態様によれば、少なくとも１つの光反射部材をさらに備え、
前記光源の光は、前記光反射部材で反射されたのち、前記光透過体の内部に入射されることを特徴とする第４態様に記載の接合シート貼付装置を提供する。
【００１６】
本発明の第６態様によれば、接合シートの一面に基材層が接合された接合シート連続体から、前記接合シートのみを基板に貼り付ける接合シート貼付方法であって、
貼付ヘッドを下降させて前記接合シートを前記基板に貼り付ける貼付ユニットにより、前記基板の辺に沿った第１の貼付位置に、前記接合シート連続体から第１の接合シートを貼り付ける第１の工程と、
前記貼付ユニットを、前記基板の前記辺に沿って前記第１の貼付位置に対向する位置から第２の貼付位置に対向する位置まで移送する第２の工程と、
前記貼付ユニットにより、前記第２の貼付位置に前記接合シート連続体から第２の接合シートを貼り付ける第３の工程と、
前記第２の工程もしくは第３の工程を実施する間に、前記第１の接合シートの貼付状態を検査する工程と、
を含むことを特徴とする接合シート貼付方法を提供する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、貼付ユニットが接合シートの貼付動作を連続して行っている間に、既に貼付ユニットにより貼り付けられた接合シートの貼付状態を検査するので、貼付及び検査作業効率が向上し、一枚の基板に対する接合シートの貼り付けから検査完了までの時間を従来よりも大幅に短縮することができる。また、貼付不良又は剥離不良が生じた場合には、すぐに次の貼付動作を停止させることができるので、従来よりも接合シートのロスを少なく（例えば一枚のみに）するとともに貼付動作のロスも少なくすることができる。
【００１８】
また、特許文献１の装置及び方法においては、光源を基板に対してカメラと同方向（上方）に配置しているが、視認性の点では基板の下方から光を照射するのが好適である。この方式を採用するための手法として単純には、ＡＣＦシートの貼付位置で基板を支持しているステージの内部に光源を内蔵する手法や、光源を前記ステージから待避させて配置し、光源の上方に位置するように基板を待避させる手法が考えられる。しかしながら、前記ステージにはＡＣＦシートの貼付の際に熱が伝達されるため、光源を内蔵することは困難であり、また光源より照射される光をカメラでダイレクトに受光すると光源の映り込みによるムラが生じやすいという問題点があった。また、基板を頻繁に移動させることは、基板にダメージを与える可能性が増大するため好ましくない。
【００１９】
特に、本発明の第４態様によれば、貼付ステージの全部又は基板の１つの辺を支持する部分の近傍部分を、光を透過する光透過体と光を拡散させる光拡散体とを備え、この光透過体の内部に光を入射させるようにしたので、基板の下方から光を当てて透過光を用いて撮像することによりＡＣＦの端縁部の視認性を向上させることができる。また、光拡散体により光を拡散させるので光源の映り込みによるムラも生じにくい。さらに、基板を移動させずに検査できるので、基板にダメージを与えることもない。
【００２０】
また、一般にＡＣＦシートの接合に用いる光源には青色ＬＥＤが、相性が良く好ましいとされている。しかしながら、青色ＬＥＤのような照度の少ない光源を用いる場合には光透過部材に近づける必要があるが、光源を光透過部材に近づけると光ムラが発生しやすいという問題点があった。
【００２１】
また、本発明の第４態様によれば、光拡散体を用いて光ムラの発生を抑えたので、光源に青色ＬＥＤのような照度の少ないものも使用することができる。
また、本発明の第５態様によれば、光源からの光を光反射部材で反射してから光透過体の内部に入射するようにしたので、さらに光ムラを抑えて検査精度を向上させることができる。また、光源の設置位置の自由度を広げることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下に、本発明に係る実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
【００２３】
図１は本発明の１つの実施形態に係る接合シート貼付装置を示す斜視図、図２はその一部拡大断面図である。本実施形態では、接合シートの一例であるＡＣＦシート８ａを、基板の一例であるＬＣＤ基板９に貼り付けるために、この接合シート貼付装置を使用している。
【００２４】
図１において、本実施形態の接合シート貼付装置は、矩形のＬＣＤ基板９の１つの辺部分を支持する貼付ステージ１と、貼付ステージ１の上方に対向するように配置され、ＬＣＤ基板９の一つの辺に沿って一直線状に配置された複数の貼付位置９ａ〜９ｃにＡＣＦシート８ａを逐次貼り付ける貼付ユニット１００と、貼付ユニット１００をＬＣＤ基板９の前記一つの辺に沿って貼付方向Ｘに進退移送する移送装置６と、ＬＣＤ基板９の前記一つの辺と平行に、貼付ステージ１の側方（図１の手前側）に配置され、貼付ユニット１００により貼り付けられたＡＣＦシート８ａの貼付状態を検査する検査装置７とを備えている。
【００２５】
貼付ステージ１は、長尺な矩形状の平坦な支持面を有して、この平坦な支持面でＬＣＤ基板９の前記一つの辺部分の下面を下方から支持するようにしている。貼付ステージ１の平坦な支持面で支持される部分には、ＬＣＤ基板９の前記一つの辺沿いの複数の貼付位置９ａ〜９ｃが含まれる。つまり、貼付ステージ１の平坦な支持面の幅、すなわち、貼付ステージ１とＬＣＤ基板９との接触面の貼付方向Ｘと直交する方向（横方向）の幅は、ＡＣＦシート８ａの幅よりも長くなるようにされている。貼付位置９ａ〜９ｃは、ＬＣＤ基板９の前記一つの辺の両端部に設けられた位置決めマーク９１と位置決めマーク９２（図６参照）との間に直列に配置されている。貼付ステージ１の構成については、後で詳しく説明する。
【００２６】
貼付ユニット１００は、供給リール２、切断装置３、貼付ヘッド４、フレーム５、ガイドピン１０ａ〜１０ｄ、巻き取りリール１１及びモータ１２を備えている。
供給リール２は、図１に示すように、矩形のフレーム５の、検査装置７と対向する面（以下、前面という）の図１の右側上部で回転自在に軸支されている。供給リール２には、ＡＣＦシート８ａがＬＣＤ基板９に向いてステージ１の上方且つ貼付ヘッド４の下方に供給されるように、ＡＣＦシート連続体８を巻回状態で備えている。供給リール２には、ネジリバネなどを内蔵して、巻き戻し方向に対して一定のトルクをかけることにより、ＡＣＦシート連続体８が巻き戻し過ぎて不必要に緩んだ状態で移動されないようにしている。
【００２７】
ＡＣＦシート連続体８は、図３に示すように、多数の導電性粒子８ｃが分散されたエポキシ系の絶縁性の合成樹脂層８ｄなどにより形成されているＡＣＦシート８ａと、ＡＣＦシート８ａ自体の接合力（粘着力）によりＡＣＦシート８ａの上面に付着している基材層８ｂとより構成されている。ＡＣＦシート８ａは、加熱されると軟化し、冷却すると硬化する特性を有する。ＡＣＦシート８ａはこの特性により２個の部材を接合することができる。加熱して冷却した後のＡＣＦシート８ａの接合力は、ＡＣＦシート８ａと基材層８ｂとの接合力よりも強い。
【００２８】
貼付ヘッド４は、直方体の板形状をなし、図１のフレーム５の前面中央下部且つステージ１の上方に、フレーム５に対して上端位置と下端位置との間で上下動可能に設けられている。貼付ヘッド４が上端位置に位置しているとき、貼付ヘッド４の平坦な底面の下方には、所定間隔を置いて、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃの案内により、ＡＣＦシート連続体８のＡＣＦシート８ａが展張されて配置されている一方、貼付ヘッド４が下端位置に位置しているとき、貼付ヘッド４の平坦な底面により、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃの案内により展張されていたＡＣＦシート連続体８のＡＣＦシート８ａを、ＬＣＤ基板９側にさらに下降させて、貼付ヘッド４の平坦な底面によりＡＣＦシート８ａをＬＣＤ基板９に押圧して貼り付けることができるように配置されている。貼付ヘッド４の底面の幅及び長さは、貼付位置９ａ〜９ｃの幅及び長さよりも、それぞれやや長くなるようにされている。貼付ヘッド４にはヒータ（図示していない）及び冷却装置（図示していない）が内蔵されている。貼付ヘッド４は、貼付位置９ａ〜９ｃで逐次下降するとき、その底面をヒータにより８０℃〜１２０℃程度に加熱される。貼付ヘッド４は、その加熱された平坦な底面で、基材層８ｂを介してＡＣＦシート８ａを貼付位置９ａ〜９ｃにそれぞれ加圧可能としている。次いで、貼付ヘッド４は、ヒータによる加熱を止め、冷却装置により基材層８ｂを介してＡＣＦシート８ａを冷却する。これにより、ＡＣＦシート８ａは貼付位置９ａ〜９ｃに貼り付けられる。
【００２９】
供給リール２から引き出されたＡＣＦシート連続体８は、供給リール２と貼付ヘッド４の上部近傍との間のフレーム５に突設された上側固定ガイドピン１０ａと、後述するように上側固定ガイドピン１０ａの下方に配置された下側可動ガイドピン１０ｂとにより、貼付ヘッド４の底面の下方を走行可能なように案内されている。
貼付ヘッド４に対して、供給リール２とは反対側に、すなわち、フレーム５の前面左側部には、ＡＣＦシート連続体８からＡＣＦシート８ａが剥離されたのちの基材層８ｂを巻き取る、巻き取りリール１１が回転自在に軸支されている。そして、巻き取りリール１１と貼付ヘッド４の上部近傍との間のフレーム５に突設された上側固定ガイドピン１０ｄと、後述するように上側固定ガイドピン１０ｄの下方に配置された下側可動ガイドピン１０ｃとにより、貼付ヘッド４の底面の下方を走行してきた基材層８ｂを巻き取りリール１１に案内して巻取るように構成されている。巻き取りリール１１には、基材層８ｂを巻き取る方向に、巻き取りリール１１を回転させるモータ１２が接続されている。
【００３０】
貼付ヘッド４の上面中央部には、図１及び図２に示すように、円柱状の突子３１が突設されている。この突子３１上には、突子３１よりも小さな直径を有する円柱状のロッド３２が立設されている。ロッド３２の外周部にはコイルバネ３３が装着されている。ロッド３２の上端部は矩形で横方向（貼付方向と直交する方向）に延びるバー３４の先端部に結合されている。バー３４は、フレーム５の中央部に開口された開口部４１を上下動可能に前記横方向に貫通している。バー３４の後端部にはナット部３５が固定されている。このナット部３５は、フレーム５の背面に突設された支持板４２の下面と支持板４３の上面との間に上下方向に回転可能に立設されたボールねじ３６に螺着している。支持板４２の上面にはボールねじ３６を回転させるモータ３７が設置されている。モータ３７が駆動してボールねじ３６が正回転あるいは逆回転すると、ナット部３５がボールねじ３６に沿って上下動する。したがって、モータ３７がボールねじ３６を正逆駆動することにより、バー３４とロッド３２と突子３１とを介して、ナット部３５に連結された貼付ヘッド４が上下動するようになっている。
【００３１】
また、突子３１とコイルバネ３３との間には、図１及び図２に示すように、Ｔ字型のアーム５１が横方向沿いに配設され、かつ、ロッド３２が相対的に移動可能に貫通している。アーム５１は、コイルバネ３３により突子３１の上面に押し付けられている。アーム５１の両端部には円柱状の２本のロッド５２が下方向に延在するように結合されている。各ロッド５２は、フレーム５の前面に固着された２つのガイドリング５３をそれぞれ上下動自在に貫通している。各ロッド５２の下端部には２つの抜け止めブロック５４が結合されている。２つの抜け止めブロック５４は、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃがＬＣＤ基板９に対して平行に延在するように、それぞれ下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃの一端部を保持している。
【００３２】
したがって、モータ３７が駆動してボールねじ３６が正回転すると、２つのブロック５４、２本のロッド５２、アーム５１、ロッド３２及びバー３４を介して、ナット部３５に連結された下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃが、貼付ヘッド４と同じ速さで一体的に下降する。また、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃを保持する２つのブロック５４がＬＣＤ基板９の上面に接触すると、これ以上は下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃは下降できないので、バー３４のさらなる下降に伴いコイルバネ３３が縮みながら、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃに対して突子３１及びロッド３２と共に貼付ヘッド４のみがさらに下降して、ＡＣＦシート８ａをＬＣＤ基板９の例えば貼付位置９ａに貼付ける。なお、ブロック５４は、ＬＣＤ基板９を傷つけないようにゴム等の弾性体で形成されている。また、ＡＣＦシート８ａを貼り付けた後、モータ３７が逆駆動してボールねじ３６が逆回転すると、まず、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃに対して貼付ヘッド４のみが上昇し、コイルバネ３３が元の長さまで伸びたのち、次いで下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃが、貼付ヘッド４と同じ速さで貼付ヘッド４と一体的に上昇するようになっている。モータ３７の正逆駆動動作は、データベース３００に格納された接合動作の動作プログラムのデータに基づいて制御装置２００により制御される。データベース３００には、ＬＣＤ基板９の少なくとも前記一つの辺沿いの複数の貼付位置９ａ〜９ｃの位置、長さ等のデータが格納されている。なお、ＬＣＤ基板９の他の二つ又は三つの辺沿いにもＡＣＦシート８ａを貼り付ける場合には、それらの貼付位置の位置、長さ等のデータもデータベース３００に格納されている。
【００３３】
フレーム５の背面には、貼付方向Ｘの長さが下側可動ガイドピン１０ｂとガイドピン１０ｃとの間隔よりも長い矩形の支持板６４が突設されている。支持板６４の両端部の下面には、図１及び図２に示すように、タイミングプーリ６１、６２が回転自在に配設され、タイミングベルト６３がタイミングプーリ６１、６２に架け渡されている。タイミングプーリ６１の上方且つ支持板６４の上面にはモータ６５が設置されている。タイミングプーリ６１は、支持板６４を回転自在に貫通したモータ６５の回転軸に固定されており、モータ６５が正逆駆動すると、タイミングプーリ６１も正逆回転し、タイミングベルト６３及びタイミングプーリ６２も正逆回転するようになっている。タイミングベルト６３のフレーム５の背面に対向する部分には矩形のブロック６６が固着されている。ブロック６６の前面下部にはピン状の移動子６７が保持されている。移動子６７は、フレーム５の下端部の下方を通ってフレーム５の前面側に突出しＬＣＤ基板９の前記一つの辺部分の上方まで横方向に延出している。ブロック６６の前面上部には、図２に示すようにスライダ６８が装着されている。このスライダ６８は、フレーム５の背面に横方向に設けられたガイドレール６９にスライド自在に嵌合している。したがって、モータ６５が正方向あるいは逆方向に駆動してタイミングプーリ６１が正方向あるいは逆方向に回転すると、タイミングベルト６３がタイミングプーリ６２に沿って正方向あるいは逆方向に回転する。このとき、ブロック６６を介してタイミングベルト６３と一体の移動子６７は、下側可動ガイドピン１０ｂと１０ｃとの間に張設されているＡＣＦシート連続体８の下面に沿うように、貼付方向Ｘに前進後退する。移動子６７は、このように動作することによって、ＬＣＤ基板９に貼付けられたＡＣＦシート８ａから基材層８ｂを強制的に剥離することができる。モータ６５の正逆駆動動作は、データベース３００に格納された前記データに基づいて制御装置２００により制御される。
【００３４】
切断装置３は、図１に示すように、貼付ヘッド４の下部の側部と下側可動ガイドピン１０ｂとの間のＡＣＦシート連続体８の移動経路上においてフレーム５の前面に配設されている。この切断装置３は、図４に示すように、本体部３ａと、ＡＣＦシート連続体８を挟み込み可能となるように上下方向に対向して配置され、基端側を本体部３ａに取り付けられた上側アーム３ｂ及び下側アーム３ｃとを備えている。上側アーム３ｂ及び下側アーム３ｃは、第１のエアシリンダ（図示していない）により横方向に伸縮自在に取り付けられており、縮んだ状態のときには本体部３ａ内に収容され、伸びた状態のときには互いの間にＡＣＦシート連続体８を挟むように構成されている。また、下側アーム３ｃは、ブレード３ｄを、第２のエアシリンダ（図示していない）により上下動可能に備えている。
【００３５】
よって、切断装置３は、モータ１２により供給リール２から引き出され、ステージ１の上方且つ貼付ヘッド４の下方に供給されたＡＣＦシート連続体８を、第１のエアシリンダにより、上側アーム３ｂと下側アーム３ｃとを横方向に伸ばしてそれらの間に挟み、次いで第２のエアシリンダによりブレード３ｄを上昇させることで、基材層８ｂは切断されることなくＡＣＦシート連続体８のＡＣＦシート８ａのみを貼付位置（例えば９ａ）の長さに切断して切込を形成する。この切断装置３の第１及び第２のエアシリンダによる切込形成動作は、データベース３００に格納された前記データに基づいて制御装置２００に制御される。
【００３６】
制御装置２００の制御により、巻き取りリール１１の回転用モータ１２が駆動されて巻き取りリール１１が巻取方向に回転すると、供給リール２のＡＣＦシート連続体８が上側固定ガイドピン１０ａ、下側可動ガイドピン１０ｂ、下側可動ガイドピン１０ｃ、上側固定ガイドピン１０ｄに沿って走行し、貼付位置９ａ〜９ｃのうちの貼付すべき貼付位置（例えば９ａ）の上方且つ貼付ヘッド４の下方に供給される。貼付ヘッド４によりＡＣＦシート８ａが貼付位置９ａに貼り付けられて、移動子６７によりＡＣＦシート８ａから基材層８ｂが剥離された後、更にモータ１２が駆動すると、ＡＣＦシート８ａから剥離された基材層８ｂが下側可動ガイドピン１０ｃ、上側固定ガイドピン１０ｄに沿って走行して、巻き取りリール１１に巻き取られるようになっている。モータ１２の駆動動作は、データベース３００に格納された前記データに基づいて制御装置２００により制御される。
なお、上記第１実施形態の接合シート貼付装置においては、供給リール２、切断装置３、ガイドピン１０ａ〜１０ｄ、巻き取りリール１１及びモータ１２により接合シート供給装置が構成されている。
【００３７】
移送装置６は、図１に示すように、ステージ１の大略上方に配置されて、ガイドレール７１、及びモータなどの貼付ユニット移送用駆動源７２を備えて、フレーム５の貼付方向Ｘに対して進退移送可能としている。ガイドレール７１は、図１に示すように、貼付方向Ｘと平行にステージ１の大略上方（詳しくは斜め上方）に配置され、図２に示すように、フレーム５の上端部を滑動可能に抱持している。ガイドレール７１には、図示していないが、長手方向の全長にわたってねじ軸が回転自在に取り付けられている。ねじ軸にはナット部が回り止めされて螺合されている。このナット部にはフレーム５が固定的に連結されている。したがって、駆動源７２によりねじ軸を正逆方向に回転させると、ナット部が貼付方向Ｘに進退移送され、ナット部に連結されたフレーム５、つまり貼付ユニット１００がガイドレール７１に沿って貼付方向Ｘに進退移送されるようになっている。駆動源７２の正逆駆動動作は、データベース３００に格納された前記データに基づいて制御装置２００により制御される。
【００３８】
検査装置７は、図１のステージ１よりも手前側にステージ１と平行に進退移動可能に配置され、図１及び図５に示すように、カメラ８１、光源８２、可動体８３、ガイドレール８４、モータなどの可動体移送用駆動源８５、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を備えている。ガイドレール８４は、図１に示すように、ＡＣＦシート８ａの貼付方向Ｘと平行に配置され、可動体８３を滑動可能に抱持している。ガイドレール８４には、図示していないが、長手方向の全長にわたってねじ軸が取り付けられている。ねじ軸にはナット部が回り止めされて螺合されている。このナット部には可動体８３が固定的に連結されている。また、可動体８３の上面には、光源８２及び画像処理部８６が固定されている。画像処理部８６の側面にはカメラ８１が接続されている。画像処理部８６の上面には、ステージ１の上方まで延びるアーム８７が固定されている。アーム８７の先端部にはミラー８８が角度調節可能に取り付けられている。したがって、駆動源８５によりねじ軸を正方向に回転すると、可動体８３とともに、可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８がガイドレール８４に沿って貼付方向Ｘに進退移送されるようになっている。駆動源８５の正逆駆動動作は、データベース３００に格納された前記データに基づいて制御装置２００により制御される。
【００３９】
カメラ８１は、ステージ１上に支持したＬＣＤ基板９の両端部を撮像してその両端部に設けられた位置決めマーク９１、９２（図９参照）をそれぞれ撮像可能とするとともに、ＡＣＦシート８ａの１つの端部を撮像可能とする視野サイズを有している。画像処理部８６は、カメラ８１が撮像した位置決めマーク９１、９２（図９参照）のそれぞれの画像により、ステージ１上に支持したＬＣＤ基板９の位置を認識して、本来の支持位置からの位置ずれ情報を作成する。なお、もし画像処理部８６が位置決めマーク９１及び／又は位置決めマーク９２を撮像できなければ、ＬＣＤ基板９が正確に配置されていないと判断して、例えば全ての動作を止めて、本接合シート貼付装置に備えた表示部（図示していない）にエラーを表示するようになっている。また、画像処理部８６は、カメラ８１が撮像したＡＣＦシート８ａの端部の画像により、後述するように貼付状態の良否の判定を行う。
【００４０】
また、カメラ８１でＡＣＦシート８ａの端部の画像を撮像しやすくするため、光源８２などを有しかつ以下のような構造の光学系も検査装置７に配置している。
光源８２は、その光をステージ１の上端部へ照射するように設置されている。
ステージ１は、図５に示すように、ブロック２１、光透過体の一例であるガラス体２２及び光拡散体２３により構成されている。ブロック２１の上部のカメラ８１側には、光源８２から照射される光を上方へ反射するように、４５°傾斜した傾斜部２１ａが形成されている。光拡散体２３は、傾斜部２１ａにつながるブロック２１の上端面に取り付けられている。光拡散体２３は、セラミック等から形成され、その表面に微少な凹凸を有し、その凹凸により光を拡散することができるものである。光拡散体２３の貼付方向Ｘと直交する方向の幅は、ＡＣＦシート８ａの幅よりも長くなるように形成されている。
【００４１】
ガラス体２２は、光拡散体２３の上面をすべて覆うとともに、横方向にガイドレール８４側に突き出すよう配置されており、その突き出した部分がブロック２１の傾斜部２１ａの上方を覆うように配置されている。ガラス体２２の突き出した部分のガイドレール８４側の端面は、ブロック２１の傾斜部２１ａと同様に４５°傾斜した傾斜部２２ａが形成されている。ブロック２１の傾斜部２１ａ及びガラス体２２の傾斜部２２ａには、金属膜等の光反射膜若しくは光反射層が形成されている。なお、ガラス体２２は、ＬＣＤ基板９と同じ又は類似の材質で形成することが好ましい。このように形成することで、ＬＣＤ基板９に伝達される熱量のムラを低減することができる。
【００４２】
図５の矢印８２ａ〜８２ｆは、光源８２からステージ１の上端部へ照射された光の経路を示している。ステージ１へ向けて照射された光源８２の光８２ａは、まずブロック２１の傾斜部２１ａで上向きに反射される。次いで、傾斜部２１ａで反射された光８２ｂは、ガラス体２２にその下面から内部に上向きに入射し、ガラス体２２の傾斜部２２ａで横方向にすなわち光源８２とは反対向きに反射される。次いで、傾斜部２２ａで光源８２とは反対向きに反射された光８２ｃは光拡散体２３の内部に入射しさらにガラス体２２内部に入射されてガラス体２２内で拡散される。次いで、光拡散体２３により拡散された光のうちの上向きに拡散された光８２ｄはガラス体２２内からＬＣＤ基板９を透過し、ＡＣＦシート８ａのシルエットを浮かび上がらせる。次いで、ＬＣＤ基板９及びＡＣＦシート８ａを透過した光８２ｅはミラー８８で反射される。次いで、ミラー８８で反射された光８２ｆは、カメラ８１に入射する。
【００４３】
検査装置７は、光源８２の光により浮かび上がらせたＡＣＦシート８ａのシルエットをミラー８８で反射させて、カメラ８１で撮像し、そのカメラ８１で撮像した画像を画像処理部８６で判定することでＡＣＦシート８ａの貼付状態の検査を行う。
【００４４】
ＡＣＦシート８ａの貼付状態の良否の判定方法としては、例えば画像処理部８６にＡＣＦシート８ａが正確に貼り付けられた状態の画像を基準画像として記憶させておき、その基準画像とカメラ８１が実際に撮像した画像とを比較して、マッチング率が９５％以上なら『貼付状態良』、９５％未満なら『貼付不良』という判定を行う。例えば、カメラ８１が実際に撮像したＡＣＦシート８ａの端部の画像に、図６Ａに示すような、めくれ１０８があり、マッチング率が９０％であった場合、画像処理部８６は『貼付不良』と判定する。画像処理部８６が『貼付不良』と判定した場合には、例えばフレーム移送用駆動源７２を逆方向に駆動させて、貼付不良と判定したＡＣＦシート８ａの上方に再び貼付ユニット１００を移送し、貼付ヘッド４により再度、ＡＣＦシート８ａを加熱及び加圧し、冷却する。この結果、貼付不良と判定したＡＣＦシート８ａの上に重ねて、新たなＡＣＦシート８ａを貼り付ける。また、図６Ｂに示すように、ＡＣＦシート８ａにめくれ等が無く、マッチング率がほぼ１００％であった場合、画像処理部８６は『貼付状態良』と判定する。画像処理部８６が『貼付状態良』と判定した場合には、貼付ユニット１００の貼付動作をそのまま続行させるようにする。
【００４５】
本実施形態の接合シート貼付装置は、以上のように構成されている。
なお、本実施形態の接合シート貼付装置において、カメラ８１は、ＡＣＦシート８ａのシルエットをミラー８８で反射させてから撮像するよう配置したが、もちろんミラー８８を用いずに上方から直接撮像するように配置されても構わない。また、この場合、カメラ８１をフレーム５に取り付けても良い。
また、本実施形態の接合シート貼付装置においては、切断装置３によりＡＣＦシート８ａの切込を形成したが、予め切込を形成しておいてもよい。
また、本実施形態の接合シート貼付装置においては、位置決めマーク９１、９２の認識及びＡＣＦシート８ａの撮像を一つのカメラ８１でしたが、両者の視野サイズが大きく違う場合は、別々に専用のカメラを設けてもよい。
【００４６】
次に、本実施形態の接合シート貼付方法を、図１、図２、図６〜図８及び図９Ａ〜図９Ｉを参照しながら説明する。本実施形態の接合シート貼付方法は、ＡＣＦシート８ａをＬＣＤ基板９の前記１つの辺上の貼付位置９ａ〜９ｃに順に貼り付ける貼付工程と、それぞれの貼付位置９ａ〜９ｃでのＡＣＦシート８ａの貼付状態を順に検査する検査工程とを含む。図７は、ＡＣＦシート８ａの貼付工程のフローチャート、図８は、検査工程のフローチャートである。図９Ａ〜図９Ｉは、ＡＣＦシート８ａの検査工程を説明するための模式図である。まず、貼付工程について詳細に説明する。
【００４７】
まず、ＬＣＤ基板９の１つの辺部分を貼付ステージ１の所定位置に支持する。
次いで、制御装置２００は、検査装置７の駆動源８４を駆動させ、可動体８３を移動させて、可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８をガイドレール８４に沿って貼付方向Ｘに移送する。制御装置２００は、カメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８などが支持された可動体８３をＬＣＤ基板９の一端部の近傍（位置決めマーク９２の側方）まで移送すると、駆動源８４の駆動を停止させる。
次いで、制御装置２００は、光源８２から光をステージ１の上端部へ照射させ、浮かび上がらせた位置決めマーク９２のシルエットを、ミラー８８で反射させてカメラ８１で撮像する（図９Ａ）。
【００４８】
次いで、制御装置２００は、検査装置７の駆動源８４を逆方向に駆動させ、可動体８３とともに、その上のカメラ８１をガイドレール８４に沿って貼付方向Ｘとは逆方向に移送する。制御装置２００は、カメラ８１などの可動体８３をＬＣＤ基板９の他端部（位置決めマーク９１の側方）まで移送すると、駆動源８４の駆動を停止させる。
次いで、制御装置２００は、光源８２から光をステージ１の上端部へ照射させ、浮かび上がらせた位置決めマーク９１のシルエットを、ミラー８８で反射させてカメラ８１で撮像する（図９Ｂ）。
【００４９】
次いで、画像処理部８６が、撮像した位置決めマーク９１及び９２のシルエットの画像を基に、ＬＣＤ基板９の位置を認識する。ここで、画像処理部８６が位置決めマーク９１及び／又は位置決めマーク９２を認識して、認識結果に基づき、ＬＣＤ基板９の位置決め誤差が許容範囲内ならば、制御装置２００は、以下のように、貼付動作及び検査動作を開始させる。
【００５０】
まず、制御装置２００は、移送装置６の駆動源７２を駆動させ、貼付ヘッド４がＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａの上方に位置するように、貼付ユニット１００をガイドレール７１に沿って移送する（図７：ステップＳ１）。
【００５１】
次いで、制御装置２００は、巻き取りリール１１の回転用モータ１２を駆動させ、ＡＣＦシート連続体８の基材層８ｂのみを、上側固定ガイドピン１０ｄと下側可動ガイドピン１０ｃとの案内で巻取りリール１１に巻き取らせて、供給リール２から上側固定ガイドピン１０ａと下側可動ガイドピン１０ｂとの案内でＡＣＦシート連続体８を引き出す。そして、ＡＣＦシート連続体８を上側固定ガイドピン１０ａ、下側可動ガイドピン１０ｂに沿って走行させ、貼付ヘッド４の下方でＡＣＦシート８ａがＬＣＤ基板９に対向するように、ＡＣＦシート連続体８を第１の貼付位置９ａの上方に供給する（図７：ステップＳ２）。なお、このとき、ＡＣＦシート８ａの先端部は、ＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａの、第２の貼付位置９ｂに近い側の先端部に一致するように供給される。
【００５２】
次いで、制御装置２００は、第１のエアシリンダを駆動させて、切断装置３の上側アーム３ｂと下側アーム３ｃとを横方向に伸ばし、上側アーム３ｂと下側アーム３ｃとの間でＡＣＦシート連続体８を挟むようにする。
次いで、制御装置２００は、第２のエアシリンダを駆動させて、下側アーム３ｃのブレード３ｄを上昇させ、基材層８ｂは切断されることなくＡＣＦシート連続体８のＡＣＦシート８ａのみを第１の貼付位置９ａの長さに切断して切込を形成する。これにより、所定寸法のＡＣＦシート８ａがＡＣＦシート連続体８から取り出し可能な状態でかつ貼付ヘッド４の底面とＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａとの間に位置した状態となる（図７：ステップＳ３）。
【００５３】
次いで、制御装置２００は、貼付ヘッド４及び下側ガイドピン１０ｂ、１０ｃを上下動させるモータ３７を正方向に駆動させ、貼付ヘッド４を下降させるとともに、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃを下降させる。このとき、貼付ヘッド４の底面は、ヒータにより予め加熱されている。
下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃが下降して、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃを保持するブロック５４が下端位置に到達し、さらにコイルバネ３３を縮めながら下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃに対して突子３１及びロッド３２と共に貼付ヘッド４のみが下降すると、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃの間でかつ貼付ヘッド４の底面に張設されているＡＣＦシート連続体８が、ＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａに押圧接触される。このとき、ヒータより加熱された貼付ヘッド４の底面により、基材層８ｂを介してＡＣＦシート８ａが加熱される。
【００５４】
次いで、予め設定した時間（例えば、２秒）の経過後、ヒータによる加熱を止め、冷却装置（図示していない）でＡＣＦシート８ａを冷却する（図７：ステップＳ４）。この結果、ＡＣＦシート８ａがＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａに接合されるが、この状態では、まだ、基材層８ｂも、ＡＣＦシート８ａに接着したままとなっている。
【００５５】
次いで、制御装置２００は、モータ３７を逆方向に駆動させて、貼付ヘッド４を上昇させる。この貼付ヘッド４の上昇に伴い、コイルバネ３３が元の長さまで伸び、次いで、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃが貼付ヘッド４と一体的に上昇する。このとき、基材層８ｂは自身の弾性とテンションにより、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃと一緒に上昇しようとするため、基材層８ｂの両端部が、ＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａに接合されたＡＣＦシート８ａから部分的に剥離する。
【００５６】
次いで、制御装置２００は、タイミングベルト６３の正逆回転用モータ６５を正方向に駆動させて、移動子６７をフレーム５の下端部の下方且つ下側可動ガイドピン１０ｂよりも貼付方向Ｘの下流側の待機位置から貼付方向Ｘの上流側へ前進させる。これにより移動子６７は、部分的に剥離したＡＣＦシート８ａの端部と基材層８ｂの端部との間に進入し、移動子６７により基材層８ｂをＡＣＦシート８ａから強制的に剥離していく。移動子６７が更に貼付方向Ｘへ前進し、基材層８ｂをＡＣＦシート８ａから完全に剥離させると、制御装置２００は、モータ６５を逆方向に駆動させて、移動子６７を貼付方向Ｘの下流側へ後退させ、元の待機位置に戻す（図７：ステップＳ５）。
【００５７】
これにより、ＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａにおけるＡＣＦシート８ａの貼付動作が完了する。このＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａにおけるＡＣＦシート８ａの貼付動作を完了すると、制御装置２００は、第１の貼付位置９ａで貼付動作が完了したことをデータベース３００に格納する。
次いで、制御装置２００は、次に貼り付けるべきＬＣＤ基板９の貼付位置があるか否かをデータベース３００に格納されたデータにより判断し、ある場合にはステップＳ１〜Ｓ５を繰り返す。無い場合には、貼付動作を終了する。つまり、本実施形態においては、ＬＣＤ基板９の前記１つの辺上の第２及び第３の貼付位置９ｂ、９ｃにＡＣＦシート８ａを順に貼り終えるまで、ステップＳ１〜Ｓ５を繰り返す（図７：ステップＳ６）。なお、本実施形態においては、これらのステップＳ１〜Ｓ５までの動作を、単に『貼付動作』という。
【００５８】
次に、検査工程を詳細に説明する。
まず、制御装置２００は、ＬＣＤ基板９の貼付位置に既に貼り付けられたＡＣＦシート８ａがあるか否かをデータベース３００に格納されたデータにより判断する。ＡＣＦシート８ａが無いならば、ＬＣＤ基板９の貼付位置へのＡＣＦシート８ａの貼付動作が完了して、貼付位置に貼り付けられたＡＣＦシート８ａがあることが格納されるまで待機する（図８：ステップＳ１０）。
次いで、ＬＣＤ基板９の貼付位置に既に貼り付けられたＡＣＦシート８ａがある場合には、その貼り付けられたＡＣＦシート８ａの画像を撮像するために検査装置７の駆動源８５を駆動させる。
【００５９】
具体的には、例えば、前記ＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａにＡＣＦシート８ａが貼り付けられるステップＳ５の終了後（図９Ｃ）、制御装置２００は、移送装置６の駆動源７２を駆動させ、貼付ユニット１００をＬＣＤ基板９の第２の貼付位置９ｂに移送する（図７：ステップＳ１）。このとき同時に、制御装置２００は、ＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａに既にＡＣＦシート８ａが貼り付けられているので（図８：ステップＳ１０）、検査装置７の駆動源８５を駆動させ、可動体８３とともに可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿ってＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａの、第２の貼付位置９ｂとは離れた側の端部の近傍に移送する（図８：ステップＳ１１）。
【００６０】
制御装置２００は、光源８２から光をステージ１の上端部へ照射させ、浮かび上がらせたＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａのＡＣＦシート８ａの、第２の貼付位置９ｂとは離れた側の端部のシルエットを、ミラー８８で反射させてカメラ８１で撮像する（図８：ステップＳ１２、図９Ｄ）。なお、図１はこの状態を示している。
【００６１】
次いで、制御装置２００は、可動体移送用駆動源８５を駆動させ、可動体８３とともに、可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿ってＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａの、第２の貼付位置９ｂに近い側の端部の近傍に移送する（図８：ステップＳ１３）。
【００６２】
次いで、制御装置２００は光源８２から光をステージ１の上端部へ照射させ、照射光により浮かび上がらせたＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａのＡＣＦシート８ａの、第２の貼付位置９ｂに近い側の端部のシルエットをミラー８８で反射させて、カメラ８１で撮像する（図８：ステップＳ１４、図９Ｅ）。
次いで、撮像したＡＣＦシート８ａの両端部の画像を基に、画像処理部８６で、撮像したＡＣＦシート８ａの貼付状態の良否の判定を行う（図８：ステップＳ１５）。
【００６３】
画像処理部８６が第１の貼付位置９ａのＡＣＦシート８ａについて『貼付不良』と判定したとき、例えば、制御装置２００は、現在の貼付動作、例えば第２の貼付位置９ｂへのＡＣＦシート８ａの貼付動作（ステップＳ１〜Ｓ５）を停止させるか、又は、接合動作完了間近の場合には完了させることができる。この間、制御装置２００は、検査装置７の検査動作を一旦停止させる。
次いで、制御装置２００は、移送装置６の駆動源７２を逆方向に駆動させ、貼付ヘッド４を再びＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａの上方に移送して、ＡＣＦシート８ａを再度、加熱及び加圧後、冷却する（図８：ステップＳ１６）。このとき同時に、制御装置２００は、貼付ユニット１００に検査装置７のアーム８７及びミラー８８が衝突しないように、検査装置７の駆動源８５を逆方向に駆動させ、可動体８３とともに可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿って貼付方向Ｘとは逆方向に移送し退避させる。
【００６４】
次いで、制御装置２００は、第１の貼付位置９ａへのＡＣＦシート８ａの再加熱、加圧及び冷却動作の終了後、検査装置７の駆動源８５を駆動させ、可動体８３とともに可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿って、再びＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａの、第２の貼付位置９ｂとは離れた側の端部の近傍に移送する（ステップＳ１１）。このとき同時に、制御装置２００は、貼付ユニット１００に検査装置のアーム８７及びミラー８８が衝突しないように、移送装置６の駆動源７２を駆動させ、貼付ユニット１００を貼付方向Ｘに移送し退避させる。以後、再び上記ステップＳ１２〜Ｓ１５の動作を行う。
【００６５】
画像処理部８６が『貼付状態良』と判定したとき、制御装置２００は、現在の貼付動作、つまり第２の貼付位置９ｂへのＡＣＦシート８ａの貼付動作（ステップＳ１〜Ｓ５）を完了させる。このＬＣＤ基板９の第２の貼付位置９ｂにおけるＡＣＦシート８ａの貼付動作を完了すると、制御装置２００は、第２の貼付位置９ｂで貼付動作が完了したこと、及び第１の貼付位置９ａの検査動作が完了したことをデータベース３００に格納する。
次いで、制御装置２００は、移送装置６の駆動源７２を駆動させ、貼付ユニット１００をＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃに移送する（図７：ステップＳ１）。このとき同時に、制御装置２００は、データベース３００に格納されているデータに、ＬＣＤ基板９の第２の貼付位置９ｂに既に貼り付けられ且つ未検査のＡＣＦシート８ａのデータが存在するので（図８：ステップＳ１７）、検査装置７の駆動源８５を駆動させ、可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿ってＬＣＤ基板９の第２の貼付位置９ｂの、第３の貼付位置９ｃとは離れた側の端部の近傍に移送する（図８：ステップＳ１１）。
【００６６】
次いで、制御装置２００は光源８２から光をステージ１の上端部へ照射させ、浮かび上がらせたＬＣＤ基板９の第２の貼付位置９ｂのＡＣＦシート８ａの、第３の貼付位置９ｃとは離れた側の端部のシルエットを、ミラー８８で反射させてカメラ８１で撮像する（図８：ステップＳ１２、図９Ｆ）。
【００６７】
次いで、制御装置２００は、駆動源８５を駆動させ、可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿ってＬＣＤ基板９の第２の貼付位置９ｂの、第３の貼付位置９ｃに近い側の端部の近傍に移送する（図８：ステップＳ１３）。
【００６８】
次いで、制御装置２００は光源８２から光をステージ１の上端部へ照射させ、浮かび上がらせたＬＣＤ基板９の第２の貼付位置９ｂのＡＣＦシート８ａの、第３の貼付位置９ｃに近い側の端部のシルエットをミラー８８で反射させて、カメラ８１で撮像する（図８：ステップＳ１４、図９Ｇ）。
次いで、撮像したＡＣＦシート８ａの両端部の画像を基に、画像処理部８６で貼付状態の良否の判定を行う（図８：ステップＳ１５）。
【００６９】
画像処理部８６が第２の貼付位置９ｂのＡＣＦシート８ａについて『貼付不良』と判定したとき、例えば、制御装置２００は、現在の貼付動作、例えば第３の貼付位置９ｃへのＡＣＦシート８ａの貼付動作（ステップＳ１〜Ｓ５）を完了させることができる。この間、制御装置２００は、検査装置７の検査動作を一旦停止させる。
次いで、制御装置２００は、移送装置６の駆動源７２を逆方向に駆動させ、貼付ヘッド４を再びＬＣＤ基板９の第２の貼付位置９ｂの上方に移送して、ＡＣＦシート８ａを再度、加熱及び加圧後、冷却する（図８：ステップＳ１６）。このとき同時に、制御装置２００は、貼付ユニット１００に検査装置のアーム８７及びミラー８８が衝突しないように、検査装置７の駆動源８５を逆方向に駆動させ、可動体８３とともに可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿って貼付方向Ｘとは逆方向に移送し退避させる。
【００７０】
次いで、制御装置２００は、第２の貼付位置９ｂへのＡＣＦシート８ａの再加熱、加圧及び冷却動作の終了後、検査装置７の駆動源８５を駆動させ、可動体８３とともに可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿って、再びＬＣＤ基板９の第２の貼付位置９ｂの、第３の貼付位置９ｃとは離れた側の端部の近傍に移送する（ステップＳ１１）。このとき同時に、制御装置２００は、貼付ユニット１００に検査装置のアーム８７及びミラー８８が衝突しないように、移送装置６の駆動源７２を駆動させ、貼付ユニット１００を貼付方向Ｘに移送し退避させる。以後、再び上記ステップＳ１２〜Ｓ１５の動作を行う。
【００７１】
画像処理部８６が『貼付状態良』と判定したとき、制御装置２００は、現在の貼付動作、つまり第３の貼付位置９ｃへのＡＣＦシート８ａの貼付動作（ステップＳ１〜Ｓ５）を完了させる。このＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃにおけるＡＣＦシート８ａの貼付動作を完了すると、制御装置２００は、第３の貼付位置９ｃで貼付動作が完了したこと、及び第２の貼付位置９ｂの検査動作が完了したことをデータベース３００に格納する。
次いで、制御装置２００は、移送装置６の駆動源７２を駆動させ、貼付ユニット１００を貼付方向Ｘに移送して、ＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃから退避させる。このとき同時に、制御装置２００は、データベース３００に格納されているデータに、ＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃに既に貼り付けられ且つ未検査のＡＣＦシート８ａのデータが存在するので（図８：ステップＳ１７）、検査装置７の駆動源８５を駆動させ、可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿ってＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃの、第２の貼付位置９ｂに近い側の端部の近傍に移送する（図８：ステップＳ１１）。
【００７２】
次いで、制御装置２００は光源８２から光をステージ１の上端部へ照射させ、浮かび上がらせたＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃのＡＣＦシート８ａの、第２の貼付位置９ｂに近い側の端部のシルエットをミラー８８で反射させて、カメラ８１で撮像する（図８：ステップＳ１２、図９Ｈ）。
【００７３】
次いで、制御装置２００は、駆動源８５を駆動させ、可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿ってＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃの、第２の貼付位置９ｂとは離れた側の端部の近傍に移送する（図８：ステップＳ１３）。
【００７４】
次いで、制御装置２００は光源８２から光をステージ１の上端部へ照射させ、浮かび上がらせたＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃのＡＣＦシート８ａの、第２の貼付位置９ｂとは離れた側の端部のシルエットをミラー８８で反射させて、カメラ８１で撮像する（図８：ステップＳ１４、図９Ｉ）。
次いで、撮像したＡＣＦシート８ａの両端部の画像を基に、画像処理部８６で貼付状態の良否の判定を行う（図８：ステップＳ１５）。
【００７５】
画像処理部８６が第３の貼付位置９ｃのＡＣＦシート８ａについて『貼付不良』と判定したとき、例えば、制御装置２００は、現在の貼付動作、例えば第３の貼付位置９ｃへのＡＣＦシート８ａの貼付動作（ステップＳ１〜Ｓ５）を停止させるか、又は、接合動作完了間際の場合には完了させることができる。この間、制御装置２００は、検査装置７の検査動作を一旦停止させる。
次いで、制御装置２００は、移送装置６の駆動源７２を逆方向に駆動させ、貼付ヘッド４を再びＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃの上方に移送して、ＡＣＦシート８ａを再度、加熱及び加圧後、冷却する（図８：ステップＳ１６）。このとき同時に、制御装置２００は、貼付ユニット１００に検査装置のアーム８７及びミラー８８が衝突しないように、検査装置７の駆動源８５を逆方向に駆動させ、可動体８３とともに可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿って貼付方向Ｘとは逆方向に移送し退避させる。
【００７６】
次いで、制御装置２００は、第３の貼付位置９ｃへのＡＣＦシート８ａの再加熱、加圧及び冷却動作の終了後、検査装置７の駆動源８５を駆動させ、可動体８３とともに可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿って、再びＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃの、第２の貼付位置９ｂに近い側の端部の近傍に移送する（ステップＳ１１）。このとき同時に、制御装置２００は、貼付ユニット１００に検査装置のアーム８７及びミラー８８が衝突しないように、移送装置６の駆動源７２を駆動させ、貼付ユニット１００を貼付方向Ｘに移送し退避させる。以後、再び上記ステップＳ１２〜Ｓ１５の動作を行う。
【００７７】
画像処理部８６が『貼付状態良』と判定したとき、制御装置２００は、第３の貼付位置９ｃの検査動作が完了したことをデータベース３００に格納する。制御装置２００は、データベース３００に格納されたデータに、既に貼り付けられ且つ未検査のＡＣＦシート８ａのデータが存在しないので（図８：ステップＳ１７）、検査工程を終了する。
本実施形態の接合シート貼付装置は、以上のような貼付工程及び検査工程を行う。
【００７８】
なお、本実施形態の接合シート貼付装置においては、移送装置６及び検査装置７の駆動源はそれぞれ別個に設けたが、同一駆動源を有するように構成してもよい。例えば、図１０に示すように、検査装置７のカメラ８１をフレーム５の貼付ヘッド４より貼付方向Ｘの下流側に取り付けるとともに、ＡＣＦシート８ａの長さに応じてカメラ８１と貼付ヘッド４との間隔を調整可能として、それぞれの端部をカメラ８１で撮像できるように構成してもよい。なお、図１０は、図示を簡単にするため、貼付方向Ｘを他の図とは逆方向に設定している。
【００７９】
またこの場合、光源８２は、カメラ８１と同様にして、フレーム５の貼付ヘッド４より貼付方向Ｘの下流側に光源８２と貼付ヘッド４との間隔を調整可能に設置してステージ１の上方から光を照射するように構成してもよい。また、光源８２は、図１０に示すように、ステージ１と平行な位置に固定して、ステージ１の傾斜部８２ｂ全体に光を照射するように構成してもよいし、検査するＡＣＦシート８ａに対応するステージ１の傾斜部８２ｂのみに光を照射するように構成してもよい。
【００８０】
また、検査装置７をフレーム５の貼付ヘッド４より貼付方向Ｘの下流側に取り付けるとともに、検査装置７が、カメラ８１の代わりに、ＬＣＤ基板９の所定の貼付位置に貼り付けられたＡＣＦシート８ａの一端部を検査する第１のカメラと他端部を検査する第２のカメラとを備え、移送装置６の駆動源７２により貼付ユニット１００と一体的に移送されるようにしてもよい。また、第１及び第２のカメラをフレーム５に直接取り付けてもよい。このように構成すれば、検査装置７の駆動機構を簡単なものとしたり、無くすことができる。また、第１及び第２のカメラを備える場合には、第１及び第２のカメラによりＡＣＦシート８ａの両端部を同時に検査できるので、検査工程を短縮（ステップＳ１３、ステップＳ１４をスキップ）することができる。
【００８１】
また、本実施形態の接合シート貼付方法においては、貼付ユニット１００が次のＡＣＦシート８ａの貼付動作をする直前に貼り付けられたＡＣＦシート８ａの貼付状態を検査するようにしたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、貼付ユニット１００がＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃに貼付動作をしている間に、ＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａに既に貼り付けられているＡＣＦシート８ａを検査するようにしてもよい。つまり、ＬＣＤ基板９の一つの貼付位置にＡＣＦシート８ａの貼付動作（ステップＳ１〜Ｓ５）をする間に、ＬＣＤ基板９の既に他の貼付位置に貼り付けられたＡＣＦシート８ａの貼付状態の検査（ステップＳ１０〜Ｓ１５）をするようにされていればよい。
【００８２】
また、本実施形態の接合シート貼付装置及び方法においては、画像処理部８６がＬＣＤ基板９の貼付位置に貼り付けられたＡＣＦシート８ａについて『貼付不良』と判定したとき、そのＡＣＦシート８ａを再加熱、加圧及び冷却することとしたがこれには限られない。例えば、ＡＣＦシート８ａのめくれ１０８（図６Ａ）が大きく、再加熱、加圧及び冷却によっても『貼付不良』が解消されない場合、人為的な張り替えが可能なように貼付動作を停止させるなど、状況に応じて適宜変更すればよい。
【００８３】
本実施形態の接合シート貼付装置及び方法によれば、貼付ユニット１００がＡＣＦシート８ａの貼付動作をしている間に、既に貼付ユニット１００により貼り付けられＡＣＦシート８ａの貼付状態を検査することができるので、従来に比べて貼り付け開始から検査完了までに係る時間を大幅に短くすることができる。また、貼付不良又は剥離不良が生じた場合には、その貼付不良又は剥離不良が解消されるまで、次の貼付位置への貼付動作を開始しないように停止させることもできるので、ＡＣＦシート８ａのロスを少なく（例えば一枚のみに）するとともに貼付動作のロスも少なくすることができる。したがって、一枚のＬＣＤ基板９に対するＡＣＦシート８ａの貼り付けから検査完了までの時間を大幅に短縮し、且つＡＣＦシート８ａのロス及び貼付動作のロスの可能性を低くすることができる。
【００８４】
また、本実施形態の接合シート貼付装置及び方法によれば、貼付ステージ１にガラス体２２及び光拡散体２３を設け、光源８２によりガラス体２２の内部に光を入射させるようにしたので、ＬＣＤ基板９を動かすことなく、ＬＣＤ基板９の下方から光をあててカメラの視認性を向上させることができる。また、光拡散体２３により光ムラが抑えられるので、光源８２に青色ＬＥＤのような照度の少ないものも使用することができる。また、光源８２からの光を傾斜部２１ａ、２２ａに貼り付けた光反射部材で反射してから光拡散体２３の内部に入射するようにしたので、光ムラをさらに抑えて検査精度を向上させることができる。
【００８５】
上記において、本発明をある程度の詳細さをもって好適な形態について説明したが、この好適形態の現開示内容は構成の細部において変化してしかるべきものであり、各要素の組合せや順序の変化は請求された発明の範囲及び思想を逸脱することなく実現し得るものである。
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００８６】
本発明にかかる接合シート貼付装置及び方法は、一枚の基板に対する接合シートの貼り付けから検査完了までの時間を大幅に短縮し、且つ接合シートのロス及び貼付動作のロスの可能性を低くすることができる効果を有し、接合シートの一面に基材層が接合された接合シートの連続体から、接合シートのみを基板に貼り付ける接合シート貼付装置及び方法等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】本発明の一実施形態に係る接合シート貼付装置を示す斜視図
【図２】本実施形態に係る接合シート貼付装置の断面図
【図３】本実施形態に係るＡＣＦシートを示す部分拡大断面図
【図４】本実施形態に係る接合シート貼付装置の切断装置を示す部分拡大斜視図
【図５】本実施形態に係る光源からの光の照射経路の説明図
【図６Ａ】本実施形態に係る接合シート貼付装置のカメラが撮像したＡＣＦシートの一端部の画像の一例を示す図
【図６Ｂ】本実施形態に係る接合シート貼付装置のカメラが撮像したＡＣＦシートの一端部の画像の他の例を示す図
【図７】本実施形態に係る接合シート貼付装置の貼付工程のフローチャート
【図８】本実施形態に係る接合シート貼付装置の検査工程のフローチャート
【図９Ａ】本実施形態に係る接合シート貼付装置の検査工程の説明図
【図９Ｂ】本実施形態に係る接合シート貼付装置の検査工程の説明図
【図９Ｃ】本実施形態に係る接合シート貼付装置の検査工程の説明図
【図９Ｄ】本実施形態に係る接合シート貼付装置の検査工程の説明図
【図９Ｅ】本実施形態に係る接合シート貼付装置の検査工程の説明図
【図９Ｆ】本実施形態に係る接合シート貼付装置の検査工程の説明図
【図９Ｇ】本実施形態に係る接合シート貼付装置の検査工程の説明図
【図９Ｈ】本実施形態に係る接合シート貼付装置の検査工程の説明図
【図９Ｉ】本実施形態に係る接合シート貼付装置の検査工程の説明図
【図１０】本実施形態に係る他の接合シート貼付装置を示す斜視図
【符号の説明】
【００８８】
１ ステージ
２ 供給リール
３ 切断装置
３ａ 本体部
３ｂ 上側アーム
３ｃ 下側アーム
３ｄ ブレード
４ 貼付ヘッド
５ フレーム
６ 移送装置
７ 検査装置
８ａ ＡＣＦシート
８ｂ 基材層
８ｃ 導電性粒子
８ｄ 合成樹脂層
９ ＬＣＤ基板
９ａ〜９ｃ 貼付位置
１０ａ〜１０ｄ 上側固定ガイドピン、下側可動ガイドピン、下側可動ガイドピン、上側固定ガイドピン
１１ 巻き取りリール
１２、３７、６５ モータ
２１、５４、６６ ブロック
２２ ガラス体
２３ 光拡散体
３１ 突子
３２、５２ ロッド
３３ コイルバネ
３４ バー
３５ ナット部
３６ ボールねじ
４１ 開口部
４２、４３、６４ 支持板
５１、８７ アーム
５３ ガイドリング
６１、６２ タイミングプーリ
６３ タイミングベルト
６７ 移動子
６８ スライダ
６９、７１、８４ ガイドレール
７２ 貼付ユニット移送用駆動源
８１ カメラ
８２ 光源
８３ 可動体
８５ 可動体移送用駆動源
８６ 画像処理部
８７ アーム
８８ ミラー
９１、９２ 位置決めマーク
１００ 貼付ユニット
２００ 制御装置
３００ データベース
【技術分野】
【０００１】
本発明は、接合シートの一面に基材層が接合された接合シート連続体から、接合シートのみを基板に貼り付ける接合シート貼付装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フレキシブルプリント配線（ＦＰＣ）基板を含む基板、電子部品、機械部品、光学部品等の部品を、液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）基板やプラズマディスプレイ（ＰＤＰ）基板等の他の部品に接合する際、接合シートが使用されている。例えば、ＬＣＤ基板にＦＰＣ基板を実装する際には、異方性導電膜シート（Anisotropic Conductive Film Sheet(以下、ＡＣＦシートという））が使用されている。
【０００３】
ＡＣＦシートは、導電性の金属粒子が混入されたエポキシ系の合成樹脂などにより形成され、２個の部材を接合することができるものである。ＡＣＦシートを使用したＬＣＤ基板へのＦＰＣ基板の実装は、大別すると以下の３つの工程により実行される。第１の工程では、ＡＣＦシートを、ＡＣＦシート自体の接合力（粘着力）により上面に基材層が付着した状態で、ＬＣＤ基板の辺上の所定の貼付位置に供給する。次いで、ＡＣＦシートの下面を前記貼付位置に貼り付けるとともに、ＡＣＦシートの上面の基材層を剥離する。第２の工程では、ＦＰＣ基板をＬＣＤ基板に対してアライメント後にＬＣＤ基板上のＡＣＦシートに仮圧着する。第３の工程では、ＦＰＣ基板をＬＣＤ基板に対して本圧着する。
【０００４】
しかしながら、前記第１の工程においては、ＡＣＦシートの前記貼付位置への貼付及びＡＣＦシートから基材層の剥離後に、特に剥離開始及び終了位置付近において、貼付不良及び剥離不良が生じやすいという問題点があった。また、近年、ＬＣＤ基板やＰＤＰ基板等の基板は大型化の傾向にある。これに伴い、ＡＣＦシートは、その無駄を無くすために実装位置にのみポイント的に分割されて貼り付けられるようになってきている。このため、１枚の基板に対するＡＣＦシートの貼付箇所が増え、ＡＣＦシートの貼付状態の良否の検査をすべき箇所が増加している。例えば、３７インチの基板に部品を実装する場合、基板の一辺あたりの部品実装数は３〜１２個となるので、基板一枚あたりの検査箇所は少なくとも１４箇所以上必要となる。したがって、従来のように作業者が目視してこの貼付状態の良否を検査していたのでは、その検査に甚大な時間と労力がかかることになる。
【０００５】
この問題点を解決する装置及び方法が、特許第３３２４５９９号公報（特許文献１）に開示されている。特許文献１の装置及び方法は、ＬＣＤ等の表示パネルに粘着された導電膜（ＡＣＦシート）の貼付状態の検査を、カメラを有する認識手段を備えて自動化することによって、短時間且つ的確に行うことができるようになされている。より具体的には、以下の動作を行う。
【０００６】
まず、一枚の基板に対して、基材層が付着した状態のＡＣＦシートを複数貼り付ける。その後、基材層のみを複数のＡＣＦシートから剥離する。次いで、一枚の基板上に貼り付けた複数のＡＣＦシートの貼付状態の検査を、カメラを有する認識手段によって行う。この検査により、一カ所でも貼付不良又は剥離不良が生じていると、その貼付不良又は剥離不良の箇所に再度、貼付又は剥離動作を行い再検査する。この動作を、ＡＣＦシートの貼付不良又は剥離不良を無くすようにするために、所定の回数繰り返す。
【特許文献１】特許第３３２４５９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１の装置及び方法においては、一枚の基板に貼り付けられた複数のＡＣＦシートの貼付状態の検査を、一枚一枚順番に基板上の全てのＡＣＦシートの貼付状態の検査を終了するまで行っていた。したがって、基板が大型化し、一枚の基板に対するＡＣＦシートの貼付箇所が増加すればするほど、また貼付不良又は剥離不良が生じて再検査の回数が増せば増すほど、ＡＣＦシートの貼り付けから検査完了までの時間が累進的に増加するという問題点があった。
【０００８】
また、特許文献１の装置及び方法では、複数のＡＣＦシートを基板に全て貼り付けてからまとめて検査を行うので、貼り替えが必要な貼付不良が多数発生している場合には、無駄になるＡＣＦシートが大量に発生してしまう可能性があるとともに、多数のＡＣＦシート貼付動作が無駄になる可能性もあった。
【０００９】
そこで、本発明は、一枚の基板に対する接合シートの貼り付けから検査完了までの時間を大幅に短縮し、且つ接合シートのロス及び貼付動作のロスの可能性を低くすることができる接合シート貼付装置及び方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。
【００１１】
本発明の第１態様によれば、接合シートの一面に基材層が接合された接合シート連続体から、前記接合シートのみを基板に貼り付ける接合シート貼付装置であって、
前記基板を支持する貼付ステージと、
前記貼付ステージの上方に前記接合シートを供給する接合シート供給装置と、前記貼付ステージの上方に上下動可能に設けられ、前記接合シートを前記基板に押し付けて貼り付ける貼付ヘッドと、を有する貼付ユニットと、
前記貼付ユニットを前記基板の前記一辺に沿った貼付方向に移送する移送装置と、
前記貼付ユニットが前記接合シートの貼付動作を連続して行っている間に、既に前記貼付ユニットにより貼り付けられた接合シートの貼付状態を検査する検査装置と、
を有することを特徴とする接合シート貼付装置を提供する。
【００１２】
本発明の第２態様によれば、前記検査装置は、前記貼付ユニットを移送する移送装置によって、前記貼付ユニットと一体的に移送されることを特徴とする第１態様に記載の接合シート貼付装置を提供する。
【００１３】
本発明の第３態様によれば、前記検査装置は、前記貼付ユニットと独立して移動可能な移送装置を備えたことを特徴とする第１態様に記載の接合シート貼付装置を提供する。
【００１４】
本発明の第４態様によれば、前記貼付ステージは、全部又は前記基板の前記辺を支持する部分の近傍部分が光を透過する光透過体と光を拡散させる光拡散体とを備え、
前記光透過体の内部へ光を入射させる光源をさらに有し、
前記検査装置は、前記光源から前記光透過体を透過するとともに前記光拡散体によって拡散され、且つ前記貼付ステージ上で支持されている前記基板を透過した光により、既に前記貼付ユニットにより前記基板に貼り付けられた前記接合シートを照らして、前記接合シートの貼付状態を検査することを特徴とする第１態様から第３態様のいずれか１つに記載の接合シート貼付装置を提供する。
【００１５】
本発明の第５態様によれば、少なくとも１つの光反射部材をさらに備え、
前記光源の光は、前記光反射部材で反射されたのち、前記光透過体の内部に入射されることを特徴とする第４態様に記載の接合シート貼付装置を提供する。
【００１６】
本発明の第６態様によれば、接合シートの一面に基材層が接合された接合シート連続体から、前記接合シートのみを基板に貼り付ける接合シート貼付方法であって、
貼付ヘッドを下降させて前記接合シートを前記基板に貼り付ける貼付ユニットにより、前記基板の辺に沿った第１の貼付位置に、前記接合シート連続体から第１の接合シートを貼り付ける第１の工程と、
前記貼付ユニットを、前記基板の前記辺に沿って前記第１の貼付位置に対向する位置から第２の貼付位置に対向する位置まで移送する第２の工程と、
前記貼付ユニットにより、前記第２の貼付位置に前記接合シート連続体から第２の接合シートを貼り付ける第３の工程と、
前記第２の工程もしくは第３の工程を実施する間に、前記第１の接合シートの貼付状態を検査する工程と、
を含むことを特徴とする接合シート貼付方法を提供する。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、貼付ユニットが接合シートの貼付動作を連続して行っている間に、既に貼付ユニットにより貼り付けられた接合シートの貼付状態を検査するので、貼付及び検査作業効率が向上し、一枚の基板に対する接合シートの貼り付けから検査完了までの時間を従来よりも大幅に短縮することができる。また、貼付不良又は剥離不良が生じた場合には、すぐに次の貼付動作を停止させることができるので、従来よりも接合シートのロスを少なく（例えば一枚のみに）するとともに貼付動作のロスも少なくすることができる。
【００１８】
また、特許文献１の装置及び方法においては、光源を基板に対してカメラと同方向（上方）に配置しているが、視認性の点では基板の下方から光を照射するのが好適である。この方式を採用するための手法として単純には、ＡＣＦシートの貼付位置で基板を支持しているステージの内部に光源を内蔵する手法や、光源を前記ステージから待避させて配置し、光源の上方に位置するように基板を待避させる手法が考えられる。しかしながら、前記ステージにはＡＣＦシートの貼付の際に熱が伝達されるため、光源を内蔵することは困難であり、また光源より照射される光をカメラでダイレクトに受光すると光源の映り込みによるムラが生じやすいという問題点があった。また、基板を頻繁に移動させることは、基板にダメージを与える可能性が増大するため好ましくない。
【００１９】
特に、本発明の第４態様によれば、貼付ステージの全部又は基板の１つの辺を支持する部分の近傍部分を、光を透過する光透過体と光を拡散させる光拡散体とを備え、この光透過体の内部に光を入射させるようにしたので、基板の下方から光を当てて透過光を用いて撮像することによりＡＣＦの端縁部の視認性を向上させることができる。また、光拡散体により光を拡散させるので光源の映り込みによるムラも生じにくい。さらに、基板を移動させずに検査できるので、基板にダメージを与えることもない。
【００２０】
また、一般にＡＣＦシートの接合に用いる光源には青色ＬＥＤが、相性が良く好ましいとされている。しかしながら、青色ＬＥＤのような照度の少ない光源を用いる場合には光透過部材に近づける必要があるが、光源を光透過部材に近づけると光ムラが発生しやすいという問題点があった。
【００２１】
また、本発明の第４態様によれば、光拡散体を用いて光ムラの発生を抑えたので、光源に青色ＬＥＤのような照度の少ないものも使用することができる。
また、本発明の第５態様によれば、光源からの光を光反射部材で反射してから光透過体の内部に入射するようにしたので、さらに光ムラを抑えて検査精度を向上させることができる。また、光源の設置位置の自由度を広げることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下に、本発明に係る実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
【００２３】
図１は本発明の１つの実施形態に係る接合シート貼付装置を示す斜視図、図２はその一部拡大断面図である。本実施形態では、接合シートの一例であるＡＣＦシート８ａを、基板の一例であるＬＣＤ基板９に貼り付けるために、この接合シート貼付装置を使用している。
【００２４】
図１において、本実施形態の接合シート貼付装置は、矩形のＬＣＤ基板９の１つの辺部分を支持する貼付ステージ１と、貼付ステージ１の上方に対向するように配置され、ＬＣＤ基板９の一つの辺に沿って一直線状に配置された複数の貼付位置９ａ〜９ｃにＡＣＦシート８ａを逐次貼り付ける貼付ユニット１００と、貼付ユニット１００をＬＣＤ基板９の前記一つの辺に沿って貼付方向Ｘに進退移送する移送装置６と、ＬＣＤ基板９の前記一つの辺と平行に、貼付ステージ１の側方（図１の手前側）に配置され、貼付ユニット１００により貼り付けられたＡＣＦシート８ａの貼付状態を検査する検査装置７とを備えている。
【００２５】
貼付ステージ１は、長尺な矩形状の平坦な支持面を有して、この平坦な支持面でＬＣＤ基板９の前記一つの辺部分の下面を下方から支持するようにしている。貼付ステージ１の平坦な支持面で支持される部分には、ＬＣＤ基板９の前記一つの辺沿いの複数の貼付位置９ａ〜９ｃが含まれる。つまり、貼付ステージ１の平坦な支持面の幅、すなわち、貼付ステージ１とＬＣＤ基板９との接触面の貼付方向Ｘと直交する方向（横方向）の幅は、ＡＣＦシート８ａの幅よりも長くなるようにされている。貼付位置９ａ〜９ｃは、ＬＣＤ基板９の前記一つの辺の両端部に設けられた位置決めマーク９１と位置決めマーク９２（図６参照）との間に直列に配置されている。貼付ステージ１の構成については、後で詳しく説明する。
【００２６】
貼付ユニット１００は、供給リール２、切断装置３、貼付ヘッド４、フレーム５、ガイドピン１０ａ〜１０ｄ、巻き取りリール１１及びモータ１２を備えている。
供給リール２は、図１に示すように、矩形のフレーム５の、検査装置７と対向する面（以下、前面という）の図１の右側上部で回転自在に軸支されている。供給リール２には、ＡＣＦシート８ａがＬＣＤ基板９に向いてステージ１の上方且つ貼付ヘッド４の下方に供給されるように、ＡＣＦシート連続体８を巻回状態で備えている。供給リール２には、ネジリバネなどを内蔵して、巻き戻し方向に対して一定のトルクをかけることにより、ＡＣＦシート連続体８が巻き戻し過ぎて不必要に緩んだ状態で移動されないようにしている。
【００２７】
ＡＣＦシート連続体８は、図３に示すように、多数の導電性粒子８ｃが分散されたエポキシ系の絶縁性の合成樹脂層８ｄなどにより形成されているＡＣＦシート８ａと、ＡＣＦシート８ａ自体の接合力（粘着力）によりＡＣＦシート８ａの上面に付着している基材層８ｂとより構成されている。ＡＣＦシート８ａは、加熱されると軟化し、冷却すると硬化する特性を有する。ＡＣＦシート８ａはこの特性により２個の部材を接合することができる。加熱して冷却した後のＡＣＦシート８ａの接合力は、ＡＣＦシート８ａと基材層８ｂとの接合力よりも強い。
【００２８】
貼付ヘッド４は、直方体の板形状をなし、図１のフレーム５の前面中央下部且つステージ１の上方に、フレーム５に対して上端位置と下端位置との間で上下動可能に設けられている。貼付ヘッド４が上端位置に位置しているとき、貼付ヘッド４の平坦な底面の下方には、所定間隔を置いて、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃの案内により、ＡＣＦシート連続体８のＡＣＦシート８ａが展張されて配置されている一方、貼付ヘッド４が下端位置に位置しているとき、貼付ヘッド４の平坦な底面により、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃの案内により展張されていたＡＣＦシート連続体８のＡＣＦシート８ａを、ＬＣＤ基板９側にさらに下降させて、貼付ヘッド４の平坦な底面によりＡＣＦシート８ａをＬＣＤ基板９に押圧して貼り付けることができるように配置されている。貼付ヘッド４の底面の幅及び長さは、貼付位置９ａ〜９ｃの幅及び長さよりも、それぞれやや長くなるようにされている。貼付ヘッド４にはヒータ（図示していない）及び冷却装置（図示していない）が内蔵されている。貼付ヘッド４は、貼付位置９ａ〜９ｃで逐次下降するとき、その底面をヒータにより８０℃〜１２０℃程度に加熱される。貼付ヘッド４は、その加熱された平坦な底面で、基材層８ｂを介してＡＣＦシート８ａを貼付位置９ａ〜９ｃにそれぞれ加圧可能としている。次いで、貼付ヘッド４は、ヒータによる加熱を止め、冷却装置により基材層８ｂを介してＡＣＦシート８ａを冷却する。これにより、ＡＣＦシート８ａは貼付位置９ａ〜９ｃに貼り付けられる。
【００２９】
供給リール２から引き出されたＡＣＦシート連続体８は、供給リール２と貼付ヘッド４の上部近傍との間のフレーム５に突設された上側固定ガイドピン１０ａと、後述するように上側固定ガイドピン１０ａの下方に配置された下側可動ガイドピン１０ｂとにより、貼付ヘッド４の底面の下方を走行可能なように案内されている。
貼付ヘッド４に対して、供給リール２とは反対側に、すなわち、フレーム５の前面左側部には、ＡＣＦシート連続体８からＡＣＦシート８ａが剥離されたのちの基材層８ｂを巻き取る、巻き取りリール１１が回転自在に軸支されている。そして、巻き取りリール１１と貼付ヘッド４の上部近傍との間のフレーム５に突設された上側固定ガイドピン１０ｄと、後述するように上側固定ガイドピン１０ｄの下方に配置された下側可動ガイドピン１０ｃとにより、貼付ヘッド４の底面の下方を走行してきた基材層８ｂを巻き取りリール１１に案内して巻取るように構成されている。巻き取りリール１１には、基材層８ｂを巻き取る方向に、巻き取りリール１１を回転させるモータ１２が接続されている。
【００３０】
貼付ヘッド４の上面中央部には、図１及び図２に示すように、円柱状の突子３１が突設されている。この突子３１上には、突子３１よりも小さな直径を有する円柱状のロッド３２が立設されている。ロッド３２の外周部にはコイルバネ３３が装着されている。ロッド３２の上端部は矩形で横方向（貼付方向と直交する方向）に延びるバー３４の先端部に結合されている。バー３４は、フレーム５の中央部に開口された開口部４１を上下動可能に前記横方向に貫通している。バー３４の後端部にはナット部３５が固定されている。このナット部３５は、フレーム５の背面に突設された支持板４２の下面と支持板４３の上面との間に上下方向に回転可能に立設されたボールねじ３６に螺着している。支持板４２の上面にはボールねじ３６を回転させるモータ３７が設置されている。モータ３７が駆動してボールねじ３６が正回転あるいは逆回転すると、ナット部３５がボールねじ３６に沿って上下動する。したがって、モータ３７がボールねじ３６を正逆駆動することにより、バー３４とロッド３２と突子３１とを介して、ナット部３５に連結された貼付ヘッド４が上下動するようになっている。
【００３１】
また、突子３１とコイルバネ３３との間には、図１及び図２に示すように、Ｔ字型のアーム５１が横方向沿いに配設され、かつ、ロッド３２が相対的に移動可能に貫通している。アーム５１は、コイルバネ３３により突子３１の上面に押し付けられている。アーム５１の両端部には円柱状の２本のロッド５２が下方向に延在するように結合されている。各ロッド５２は、フレーム５の前面に固着された２つのガイドリング５３をそれぞれ上下動自在に貫通している。各ロッド５２の下端部には２つの抜け止めブロック５４が結合されている。２つの抜け止めブロック５４は、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃがＬＣＤ基板９に対して平行に延在するように、それぞれ下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃの一端部を保持している。
【００３２】
したがって、モータ３７が駆動してボールねじ３６が正回転すると、２つのブロック５４、２本のロッド５２、アーム５１、ロッド３２及びバー３４を介して、ナット部３５に連結された下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃが、貼付ヘッド４と同じ速さで一体的に下降する。また、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃを保持する２つのブロック５４がＬＣＤ基板９の上面に接触すると、これ以上は下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃは下降できないので、バー３４のさらなる下降に伴いコイルバネ３３が縮みながら、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃに対して突子３１及びロッド３２と共に貼付ヘッド４のみがさらに下降して、ＡＣＦシート８ａをＬＣＤ基板９の例えば貼付位置９ａに貼付ける。なお、ブロック５４は、ＬＣＤ基板９を傷つけないようにゴム等の弾性体で形成されている。また、ＡＣＦシート８ａを貼り付けた後、モータ３７が逆駆動してボールねじ３６が逆回転すると、まず、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃに対して貼付ヘッド４のみが上昇し、コイルバネ３３が元の長さまで伸びたのち、次いで下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃが、貼付ヘッド４と同じ速さで貼付ヘッド４と一体的に上昇するようになっている。モータ３７の正逆駆動動作は、データベース３００に格納された接合動作の動作プログラムのデータに基づいて制御装置２００により制御される。データベース３００には、ＬＣＤ基板９の少なくとも前記一つの辺沿いの複数の貼付位置９ａ〜９ｃの位置、長さ等のデータが格納されている。なお、ＬＣＤ基板９の他の二つ又は三つの辺沿いにもＡＣＦシート８ａを貼り付ける場合には、それらの貼付位置の位置、長さ等のデータもデータベース３００に格納されている。
【００３３】
フレーム５の背面には、貼付方向Ｘの長さが下側可動ガイドピン１０ｂとガイドピン１０ｃとの間隔よりも長い矩形の支持板６４が突設されている。支持板６４の両端部の下面には、図１及び図２に示すように、タイミングプーリ６１、６２が回転自在に配設され、タイミングベルト６３がタイミングプーリ６１、６２に架け渡されている。タイミングプーリ６１の上方且つ支持板６４の上面にはモータ６５が設置されている。タイミングプーリ６１は、支持板６４を回転自在に貫通したモータ６５の回転軸に固定されており、モータ６５が正逆駆動すると、タイミングプーリ６１も正逆回転し、タイミングベルト６３及びタイミングプーリ６２も正逆回転するようになっている。タイミングベルト６３のフレーム５の背面に対向する部分には矩形のブロック６６が固着されている。ブロック６６の前面下部にはピン状の移動子６７が保持されている。移動子６７は、フレーム５の下端部の下方を通ってフレーム５の前面側に突出しＬＣＤ基板９の前記一つの辺部分の上方まで横方向に延出している。ブロック６６の前面上部には、図２に示すようにスライダ６８が装着されている。このスライダ６８は、フレーム５の背面に横方向に設けられたガイドレール６９にスライド自在に嵌合している。したがって、モータ６５が正方向あるいは逆方向に駆動してタイミングプーリ６１が正方向あるいは逆方向に回転すると、タイミングベルト６３がタイミングプーリ６２に沿って正方向あるいは逆方向に回転する。このとき、ブロック６６を介してタイミングベルト６３と一体の移動子６７は、下側可動ガイドピン１０ｂと１０ｃとの間に張設されているＡＣＦシート連続体８の下面に沿うように、貼付方向Ｘに前進後退する。移動子６７は、このように動作することによって、ＬＣＤ基板９に貼付けられたＡＣＦシート８ａから基材層８ｂを強制的に剥離することができる。モータ６５の正逆駆動動作は、データベース３００に格納された前記データに基づいて制御装置２００により制御される。
【００３４】
切断装置３は、図１に示すように、貼付ヘッド４の下部の側部と下側可動ガイドピン１０ｂとの間のＡＣＦシート連続体８の移動経路上においてフレーム５の前面に配設されている。この切断装置３は、図４に示すように、本体部３ａと、ＡＣＦシート連続体８を挟み込み可能となるように上下方向に対向して配置され、基端側を本体部３ａに取り付けられた上側アーム３ｂ及び下側アーム３ｃとを備えている。上側アーム３ｂ及び下側アーム３ｃは、第１のエアシリンダ（図示していない）により横方向に伸縮自在に取り付けられており、縮んだ状態のときには本体部３ａ内に収容され、伸びた状態のときには互いの間にＡＣＦシート連続体８を挟むように構成されている。また、下側アーム３ｃは、ブレード３ｄを、第２のエアシリンダ（図示していない）により上下動可能に備えている。
【００３５】
よって、切断装置３は、モータ１２により供給リール２から引き出され、ステージ１の上方且つ貼付ヘッド４の下方に供給されたＡＣＦシート連続体８を、第１のエアシリンダにより、上側アーム３ｂと下側アーム３ｃとを横方向に伸ばしてそれらの間に挟み、次いで第２のエアシリンダによりブレード３ｄを上昇させることで、基材層８ｂは切断されることなくＡＣＦシート連続体８のＡＣＦシート８ａのみを貼付位置（例えば９ａ）の長さに切断して切込を形成する。この切断装置３の第１及び第２のエアシリンダによる切込形成動作は、データベース３００に格納された前記データに基づいて制御装置２００に制御される。
【００３６】
制御装置２００の制御により、巻き取りリール１１の回転用モータ１２が駆動されて巻き取りリール１１が巻取方向に回転すると、供給リール２のＡＣＦシート連続体８が上側固定ガイドピン１０ａ、下側可動ガイドピン１０ｂ、下側可動ガイドピン１０ｃ、上側固定ガイドピン１０ｄに沿って走行し、貼付位置９ａ〜９ｃのうちの貼付すべき貼付位置（例えば９ａ）の上方且つ貼付ヘッド４の下方に供給される。貼付ヘッド４によりＡＣＦシート８ａが貼付位置９ａに貼り付けられて、移動子６７によりＡＣＦシート８ａから基材層８ｂが剥離された後、更にモータ１２が駆動すると、ＡＣＦシート８ａから剥離された基材層８ｂが下側可動ガイドピン１０ｃ、上側固定ガイドピン１０ｄに沿って走行して、巻き取りリール１１に巻き取られるようになっている。モータ１２の駆動動作は、データベース３００に格納された前記データに基づいて制御装置２００により制御される。
なお、上記第１実施形態の接合シート貼付装置においては、供給リール２、切断装置３、ガイドピン１０ａ〜１０ｄ、巻き取りリール１１及びモータ１２により接合シート供給装置が構成されている。
【００３７】
移送装置６は、図１に示すように、ステージ１の大略上方に配置されて、ガイドレール７１、及びモータなどの貼付ユニット移送用駆動源７２を備えて、フレーム５の貼付方向Ｘに対して進退移送可能としている。ガイドレール７１は、図１に示すように、貼付方向Ｘと平行にステージ１の大略上方（詳しくは斜め上方）に配置され、図２に示すように、フレーム５の上端部を滑動可能に抱持している。ガイドレール７１には、図示していないが、長手方向の全長にわたってねじ軸が回転自在に取り付けられている。ねじ軸にはナット部が回り止めされて螺合されている。このナット部にはフレーム５が固定的に連結されている。したがって、駆動源７２によりねじ軸を正逆方向に回転させると、ナット部が貼付方向Ｘに進退移送され、ナット部に連結されたフレーム５、つまり貼付ユニット１００がガイドレール７１に沿って貼付方向Ｘに進退移送されるようになっている。駆動源７２の正逆駆動動作は、データベース３００に格納された前記データに基づいて制御装置２００により制御される。
【００３８】
検査装置７は、図１のステージ１よりも手前側にステージ１と平行に進退移動可能に配置され、図１及び図５に示すように、カメラ８１、光源８２、可動体８３、ガイドレール８４、モータなどの可動体移送用駆動源８５、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を備えている。ガイドレール８４は、図１に示すように、ＡＣＦシート８ａの貼付方向Ｘと平行に配置され、可動体８３を滑動可能に抱持している。ガイドレール８４には、図示していないが、長手方向の全長にわたってねじ軸が取り付けられている。ねじ軸にはナット部が回り止めされて螺合されている。このナット部には可動体８３が固定的に連結されている。また、可動体８３の上面には、光源８２及び画像処理部８６が固定されている。画像処理部８６の側面にはカメラ８１が接続されている。画像処理部８６の上面には、ステージ１の上方まで延びるアーム８７が固定されている。アーム８７の先端部にはミラー８８が角度調節可能に取り付けられている。したがって、駆動源８５によりねじ軸を正方向に回転すると、可動体８３とともに、可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８がガイドレール８４に沿って貼付方向Ｘに進退移送されるようになっている。駆動源８５の正逆駆動動作は、データベース３００に格納された前記データに基づいて制御装置２００により制御される。
【００３９】
カメラ８１は、ステージ１上に支持したＬＣＤ基板９の両端部を撮像してその両端部に設けられた位置決めマーク９１、９２（図９参照）をそれぞれ撮像可能とするとともに、ＡＣＦシート８ａの１つの端部を撮像可能とする視野サイズを有している。画像処理部８６は、カメラ８１が撮像した位置決めマーク９１、９２（図９参照）のそれぞれの画像により、ステージ１上に支持したＬＣＤ基板９の位置を認識して、本来の支持位置からの位置ずれ情報を作成する。なお、もし画像処理部８６が位置決めマーク９１及び／又は位置決めマーク９２を撮像できなければ、ＬＣＤ基板９が正確に配置されていないと判断して、例えば全ての動作を止めて、本接合シート貼付装置に備えた表示部（図示していない）にエラーを表示するようになっている。また、画像処理部８６は、カメラ８１が撮像したＡＣＦシート８ａの端部の画像により、後述するように貼付状態の良否の判定を行う。
【００４０】
また、カメラ８１でＡＣＦシート８ａの端部の画像を撮像しやすくするため、光源８２などを有しかつ以下のような構造の光学系も検査装置７に配置している。
光源８２は、その光をステージ１の上端部へ照射するように設置されている。
ステージ１は、図５に示すように、ブロック２１、光透過体の一例であるガラス体２２及び光拡散体２３により構成されている。ブロック２１の上部のカメラ８１側には、光源８２から照射される光を上方へ反射するように、４５°傾斜した傾斜部２１ａが形成されている。光拡散体２３は、傾斜部２１ａにつながるブロック２１の上端面に取り付けられている。光拡散体２３は、セラミック等から形成され、その表面に微少な凹凸を有し、その凹凸により光を拡散することができるものである。光拡散体２３の貼付方向Ｘと直交する方向の幅は、ＡＣＦシート８ａの幅よりも長くなるように形成されている。
【００４１】
ガラス体２２は、光拡散体２３の上面をすべて覆うとともに、横方向にガイドレール８４側に突き出すよう配置されており、その突き出した部分がブロック２１の傾斜部２１ａの上方を覆うように配置されている。ガラス体２２の突き出した部分のガイドレール８４側の端面は、ブロック２１の傾斜部２１ａと同様に４５°傾斜した傾斜部２２ａが形成されている。ブロック２１の傾斜部２１ａ及びガラス体２２の傾斜部２２ａには、金属膜等の光反射膜若しくは光反射層が形成されている。なお、ガラス体２２は、ＬＣＤ基板９と同じ又は類似の材質で形成することが好ましい。このように形成することで、ＬＣＤ基板９に伝達される熱量のムラを低減することができる。
【００４２】
図５の矢印８２ａ〜８２ｆは、光源８２からステージ１の上端部へ照射された光の経路を示している。ステージ１へ向けて照射された光源８２の光８２ａは、まずブロック２１の傾斜部２１ａで上向きに反射される。次いで、傾斜部２１ａで反射された光８２ｂは、ガラス体２２にその下面から内部に上向きに入射し、ガラス体２２の傾斜部２２ａで横方向にすなわち光源８２とは反対向きに反射される。次いで、傾斜部２２ａで光源８２とは反対向きに反射された光８２ｃは光拡散体２３の内部に入射しさらにガラス体２２内部に入射されてガラス体２２内で拡散される。次いで、光拡散体２３により拡散された光のうちの上向きに拡散された光８２ｄはガラス体２２内からＬＣＤ基板９を透過し、ＡＣＦシート８ａのシルエットを浮かび上がらせる。次いで、ＬＣＤ基板９及びＡＣＦシート８ａを透過した光８２ｅはミラー８８で反射される。次いで、ミラー８８で反射された光８２ｆは、カメラ８１に入射する。
【００４３】
検査装置７は、光源８２の光により浮かび上がらせたＡＣＦシート８ａのシルエットをミラー８８で反射させて、カメラ８１で撮像し、そのカメラ８１で撮像した画像を画像処理部８６で判定することでＡＣＦシート８ａの貼付状態の検査を行う。
【００４４】
ＡＣＦシート８ａの貼付状態の良否の判定方法としては、例えば画像処理部８６にＡＣＦシート８ａが正確に貼り付けられた状態の画像を基準画像として記憶させておき、その基準画像とカメラ８１が実際に撮像した画像とを比較して、マッチング率が９５％以上なら『貼付状態良』、９５％未満なら『貼付不良』という判定を行う。例えば、カメラ８１が実際に撮像したＡＣＦシート８ａの端部の画像に、図６Ａに示すような、めくれ１０８があり、マッチング率が９０％であった場合、画像処理部８６は『貼付不良』と判定する。画像処理部８６が『貼付不良』と判定した場合には、例えばフレーム移送用駆動源７２を逆方向に駆動させて、貼付不良と判定したＡＣＦシート８ａの上方に再び貼付ユニット１００を移送し、貼付ヘッド４により再度、ＡＣＦシート８ａを加熱及び加圧し、冷却する。この結果、貼付不良と判定したＡＣＦシート８ａの上に重ねて、新たなＡＣＦシート８ａを貼り付ける。また、図６Ｂに示すように、ＡＣＦシート８ａにめくれ等が無く、マッチング率がほぼ１００％であった場合、画像処理部８６は『貼付状態良』と判定する。画像処理部８６が『貼付状態良』と判定した場合には、貼付ユニット１００の貼付動作をそのまま続行させるようにする。
【００４５】
本実施形態の接合シート貼付装置は、以上のように構成されている。
なお、本実施形態の接合シート貼付装置において、カメラ８１は、ＡＣＦシート８ａのシルエットをミラー８８で反射させてから撮像するよう配置したが、もちろんミラー８８を用いずに上方から直接撮像するように配置されても構わない。また、この場合、カメラ８１をフレーム５に取り付けても良い。
また、本実施形態の接合シート貼付装置においては、切断装置３によりＡＣＦシート８ａの切込を形成したが、予め切込を形成しておいてもよい。
また、本実施形態の接合シート貼付装置においては、位置決めマーク９１、９２の認識及びＡＣＦシート８ａの撮像を一つのカメラ８１でしたが、両者の視野サイズが大きく違う場合は、別々に専用のカメラを設けてもよい。
【００４６】
次に、本実施形態の接合シート貼付方法を、図１、図２、図６〜図８及び図９Ａ〜図９Ｉを参照しながら説明する。本実施形態の接合シート貼付方法は、ＡＣＦシート８ａをＬＣＤ基板９の前記１つの辺上の貼付位置９ａ〜９ｃに順に貼り付ける貼付工程と、それぞれの貼付位置９ａ〜９ｃでのＡＣＦシート８ａの貼付状態を順に検査する検査工程とを含む。図７は、ＡＣＦシート８ａの貼付工程のフローチャート、図８は、検査工程のフローチャートである。図９Ａ〜図９Ｉは、ＡＣＦシート８ａの検査工程を説明するための模式図である。まず、貼付工程について詳細に説明する。
【００４７】
まず、ＬＣＤ基板９の１つの辺部分を貼付ステージ１の所定位置に支持する。
次いで、制御装置２００は、検査装置７の駆動源８４を駆動させ、可動体８３を移動させて、可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８をガイドレール８４に沿って貼付方向Ｘに移送する。制御装置２００は、カメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８などが支持された可動体８３をＬＣＤ基板９の一端部の近傍（位置決めマーク９２の側方）まで移送すると、駆動源８４の駆動を停止させる。
次いで、制御装置２００は、光源８２から光をステージ１の上端部へ照射させ、浮かび上がらせた位置決めマーク９２のシルエットを、ミラー８８で反射させてカメラ８１で撮像する（図９Ａ）。
【００４８】
次いで、制御装置２００は、検査装置７の駆動源８４を逆方向に駆動させ、可動体８３とともに、その上のカメラ８１をガイドレール８４に沿って貼付方向Ｘとは逆方向に移送する。制御装置２００は、カメラ８１などの可動体８３をＬＣＤ基板９の他端部（位置決めマーク９１の側方）まで移送すると、駆動源８４の駆動を停止させる。
次いで、制御装置２００は、光源８２から光をステージ１の上端部へ照射させ、浮かび上がらせた位置決めマーク９１のシルエットを、ミラー８８で反射させてカメラ８１で撮像する（図９Ｂ）。
【００４９】
次いで、画像処理部８６が、撮像した位置決めマーク９１及び９２のシルエットの画像を基に、ＬＣＤ基板９の位置を認識する。ここで、画像処理部８６が位置決めマーク９１及び／又は位置決めマーク９２を認識して、認識結果に基づき、ＬＣＤ基板９の位置決め誤差が許容範囲内ならば、制御装置２００は、以下のように、貼付動作及び検査動作を開始させる。
【００５０】
まず、制御装置２００は、移送装置６の駆動源７２を駆動させ、貼付ヘッド４がＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａの上方に位置するように、貼付ユニット１００をガイドレール７１に沿って移送する（図７：ステップＳ１）。
【００５１】
次いで、制御装置２００は、巻き取りリール１１の回転用モータ１２を駆動させ、ＡＣＦシート連続体８の基材層８ｂのみを、上側固定ガイドピン１０ｄと下側可動ガイドピン１０ｃとの案内で巻取りリール１１に巻き取らせて、供給リール２から上側固定ガイドピン１０ａと下側可動ガイドピン１０ｂとの案内でＡＣＦシート連続体８を引き出す。そして、ＡＣＦシート連続体８を上側固定ガイドピン１０ａ、下側可動ガイドピン１０ｂに沿って走行させ、貼付ヘッド４の下方でＡＣＦシート８ａがＬＣＤ基板９に対向するように、ＡＣＦシート連続体８を第１の貼付位置９ａの上方に供給する（図７：ステップＳ２）。なお、このとき、ＡＣＦシート８ａの先端部は、ＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａの、第２の貼付位置９ｂに近い側の先端部に一致するように供給される。
【００５２】
次いで、制御装置２００は、第１のエアシリンダを駆動させて、切断装置３の上側アーム３ｂと下側アーム３ｃとを横方向に伸ばし、上側アーム３ｂと下側アーム３ｃとの間でＡＣＦシート連続体８を挟むようにする。
次いで、制御装置２００は、第２のエアシリンダを駆動させて、下側アーム３ｃのブレード３ｄを上昇させ、基材層８ｂは切断されることなくＡＣＦシート連続体８のＡＣＦシート８ａのみを第１の貼付位置９ａの長さに切断して切込を形成する。これにより、所定寸法のＡＣＦシート８ａがＡＣＦシート連続体８から取り出し可能な状態でかつ貼付ヘッド４の底面とＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａとの間に位置した状態となる（図７：ステップＳ３）。
【００５３】
次いで、制御装置２００は、貼付ヘッド４及び下側ガイドピン１０ｂ、１０ｃを上下動させるモータ３７を正方向に駆動させ、貼付ヘッド４を下降させるとともに、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃを下降させる。このとき、貼付ヘッド４の底面は、ヒータにより予め加熱されている。
下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃが下降して、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃを保持するブロック５４が下端位置に到達し、さらにコイルバネ３３を縮めながら下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃに対して突子３１及びロッド３２と共に貼付ヘッド４のみが下降すると、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃの間でかつ貼付ヘッド４の底面に張設されているＡＣＦシート連続体８が、ＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａに押圧接触される。このとき、ヒータより加熱された貼付ヘッド４の底面により、基材層８ｂを介してＡＣＦシート８ａが加熱される。
【００５４】
次いで、予め設定した時間（例えば、２秒）の経過後、ヒータによる加熱を止め、冷却装置（図示していない）でＡＣＦシート８ａを冷却する（図７：ステップＳ４）。この結果、ＡＣＦシート８ａがＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａに接合されるが、この状態では、まだ、基材層８ｂも、ＡＣＦシート８ａに接着したままとなっている。
【００５５】
次いで、制御装置２００は、モータ３７を逆方向に駆動させて、貼付ヘッド４を上昇させる。この貼付ヘッド４の上昇に伴い、コイルバネ３３が元の長さまで伸び、次いで、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃが貼付ヘッド４と一体的に上昇する。このとき、基材層８ｂは自身の弾性とテンションにより、下側可動ガイドピン１０ｂ、１０ｃと一緒に上昇しようとするため、基材層８ｂの両端部が、ＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａに接合されたＡＣＦシート８ａから部分的に剥離する。
【００５６】
次いで、制御装置２００は、タイミングベルト６３の正逆回転用モータ６５を正方向に駆動させて、移動子６７をフレーム５の下端部の下方且つ下側可動ガイドピン１０ｂよりも貼付方向Ｘの下流側の待機位置から貼付方向Ｘの上流側へ前進させる。これにより移動子６７は、部分的に剥離したＡＣＦシート８ａの端部と基材層８ｂの端部との間に進入し、移動子６７により基材層８ｂをＡＣＦシート８ａから強制的に剥離していく。移動子６７が更に貼付方向Ｘへ前進し、基材層８ｂをＡＣＦシート８ａから完全に剥離させると、制御装置２００は、モータ６５を逆方向に駆動させて、移動子６７を貼付方向Ｘの下流側へ後退させ、元の待機位置に戻す（図７：ステップＳ５）。
【００５７】
これにより、ＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａにおけるＡＣＦシート８ａの貼付動作が完了する。このＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａにおけるＡＣＦシート８ａの貼付動作を完了すると、制御装置２００は、第１の貼付位置９ａで貼付動作が完了したことをデータベース３００に格納する。
次いで、制御装置２００は、次に貼り付けるべきＬＣＤ基板９の貼付位置があるか否かをデータベース３００に格納されたデータにより判断し、ある場合にはステップＳ１〜Ｓ５を繰り返す。無い場合には、貼付動作を終了する。つまり、本実施形態においては、ＬＣＤ基板９の前記１つの辺上の第２及び第３の貼付位置９ｂ、９ｃにＡＣＦシート８ａを順に貼り終えるまで、ステップＳ１〜Ｓ５を繰り返す（図７：ステップＳ６）。なお、本実施形態においては、これらのステップＳ１〜Ｓ５までの動作を、単に『貼付動作』という。
【００５８】
次に、検査工程を詳細に説明する。
まず、制御装置２００は、ＬＣＤ基板９の貼付位置に既に貼り付けられたＡＣＦシート８ａがあるか否かをデータベース３００に格納されたデータにより判断する。ＡＣＦシート８ａが無いならば、ＬＣＤ基板９の貼付位置へのＡＣＦシート８ａの貼付動作が完了して、貼付位置に貼り付けられたＡＣＦシート８ａがあることが格納されるまで待機する（図８：ステップＳ１０）。
次いで、ＬＣＤ基板９の貼付位置に既に貼り付けられたＡＣＦシート８ａがある場合には、その貼り付けられたＡＣＦシート８ａの画像を撮像するために検査装置７の駆動源８５を駆動させる。
【００５９】
具体的には、例えば、前記ＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａにＡＣＦシート８ａが貼り付けられるステップＳ５の終了後（図９Ｃ）、制御装置２００は、移送装置６の駆動源７２を駆動させ、貼付ユニット１００をＬＣＤ基板９の第２の貼付位置９ｂに移送する（図７：ステップＳ１）。このとき同時に、制御装置２００は、ＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａに既にＡＣＦシート８ａが貼り付けられているので（図８：ステップＳ１０）、検査装置７の駆動源８５を駆動させ、可動体８３とともに可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿ってＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａの、第２の貼付位置９ｂとは離れた側の端部の近傍に移送する（図８：ステップＳ１１）。
【００６０】
制御装置２００は、光源８２から光をステージ１の上端部へ照射させ、浮かび上がらせたＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａのＡＣＦシート８ａの、第２の貼付位置９ｂとは離れた側の端部のシルエットを、ミラー８８で反射させてカメラ８１で撮像する（図８：ステップＳ１２、図９Ｄ）。なお、図１はこの状態を示している。
【００６１】
次いで、制御装置２００は、可動体移送用駆動源８５を駆動させ、可動体８３とともに、可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿ってＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａの、第２の貼付位置９ｂに近い側の端部の近傍に移送する（図８：ステップＳ１３）。
【００６２】
次いで、制御装置２００は光源８２から光をステージ１の上端部へ照射させ、照射光により浮かび上がらせたＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａのＡＣＦシート８ａの、第２の貼付位置９ｂに近い側の端部のシルエットをミラー８８で反射させて、カメラ８１で撮像する（図８：ステップＳ１４、図９Ｅ）。
次いで、撮像したＡＣＦシート８ａの両端部の画像を基に、画像処理部８６で、撮像したＡＣＦシート８ａの貼付状態の良否の判定を行う（図８：ステップＳ１５）。
【００６３】
画像処理部８６が第１の貼付位置９ａのＡＣＦシート８ａについて『貼付不良』と判定したとき、例えば、制御装置２００は、現在の貼付動作、例えば第２の貼付位置９ｂへのＡＣＦシート８ａの貼付動作（ステップＳ１〜Ｓ５）を停止させるか、又は、接合動作完了間近の場合には完了させることができる。この間、制御装置２００は、検査装置７の検査動作を一旦停止させる。
次いで、制御装置２００は、移送装置６の駆動源７２を逆方向に駆動させ、貼付ヘッド４を再びＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａの上方に移送して、ＡＣＦシート８ａを再度、加熱及び加圧後、冷却する（図８：ステップＳ１６）。このとき同時に、制御装置２００は、貼付ユニット１００に検査装置７のアーム８７及びミラー８８が衝突しないように、検査装置７の駆動源８５を逆方向に駆動させ、可動体８３とともに可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿って貼付方向Ｘとは逆方向に移送し退避させる。
【００６４】
次いで、制御装置２００は、第１の貼付位置９ａへのＡＣＦシート８ａの再加熱、加圧及び冷却動作の終了後、検査装置７の駆動源８５を駆動させ、可動体８３とともに可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿って、再びＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａの、第２の貼付位置９ｂとは離れた側の端部の近傍に移送する（ステップＳ１１）。このとき同時に、制御装置２００は、貼付ユニット１００に検査装置のアーム８７及びミラー８８が衝突しないように、移送装置６の駆動源７２を駆動させ、貼付ユニット１００を貼付方向Ｘに移送し退避させる。以後、再び上記ステップＳ１２〜Ｓ１５の動作を行う。
【００６５】
画像処理部８６が『貼付状態良』と判定したとき、制御装置２００は、現在の貼付動作、つまり第２の貼付位置９ｂへのＡＣＦシート８ａの貼付動作（ステップＳ１〜Ｓ５）を完了させる。このＬＣＤ基板９の第２の貼付位置９ｂにおけるＡＣＦシート８ａの貼付動作を完了すると、制御装置２００は、第２の貼付位置９ｂで貼付動作が完了したこと、及び第１の貼付位置９ａの検査動作が完了したことをデータベース３００に格納する。
次いで、制御装置２００は、移送装置６の駆動源７２を駆動させ、貼付ユニット１００をＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃに移送する（図７：ステップＳ１）。このとき同時に、制御装置２００は、データベース３００に格納されているデータに、ＬＣＤ基板９の第２の貼付位置９ｂに既に貼り付けられ且つ未検査のＡＣＦシート８ａのデータが存在するので（図８：ステップＳ１７）、検査装置７の駆動源８５を駆動させ、可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿ってＬＣＤ基板９の第２の貼付位置９ｂの、第３の貼付位置９ｃとは離れた側の端部の近傍に移送する（図８：ステップＳ１１）。
【００６６】
次いで、制御装置２００は光源８２から光をステージ１の上端部へ照射させ、浮かび上がらせたＬＣＤ基板９の第２の貼付位置９ｂのＡＣＦシート８ａの、第３の貼付位置９ｃとは離れた側の端部のシルエットを、ミラー８８で反射させてカメラ８１で撮像する（図８：ステップＳ１２、図９Ｆ）。
【００６７】
次いで、制御装置２００は、駆動源８５を駆動させ、可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿ってＬＣＤ基板９の第２の貼付位置９ｂの、第３の貼付位置９ｃに近い側の端部の近傍に移送する（図８：ステップＳ１３）。
【００６８】
次いで、制御装置２００は光源８２から光をステージ１の上端部へ照射させ、浮かび上がらせたＬＣＤ基板９の第２の貼付位置９ｂのＡＣＦシート８ａの、第３の貼付位置９ｃに近い側の端部のシルエットをミラー８８で反射させて、カメラ８１で撮像する（図８：ステップＳ１４、図９Ｇ）。
次いで、撮像したＡＣＦシート８ａの両端部の画像を基に、画像処理部８６で貼付状態の良否の判定を行う（図８：ステップＳ１５）。
【００６９】
画像処理部８６が第２の貼付位置９ｂのＡＣＦシート８ａについて『貼付不良』と判定したとき、例えば、制御装置２００は、現在の貼付動作、例えば第３の貼付位置９ｃへのＡＣＦシート８ａの貼付動作（ステップＳ１〜Ｓ５）を完了させることができる。この間、制御装置２００は、検査装置７の検査動作を一旦停止させる。
次いで、制御装置２００は、移送装置６の駆動源７２を逆方向に駆動させ、貼付ヘッド４を再びＬＣＤ基板９の第２の貼付位置９ｂの上方に移送して、ＡＣＦシート８ａを再度、加熱及び加圧後、冷却する（図８：ステップＳ１６）。このとき同時に、制御装置２００は、貼付ユニット１００に検査装置のアーム８７及びミラー８８が衝突しないように、検査装置７の駆動源８５を逆方向に駆動させ、可動体８３とともに可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿って貼付方向Ｘとは逆方向に移送し退避させる。
【００７０】
次いで、制御装置２００は、第２の貼付位置９ｂへのＡＣＦシート８ａの再加熱、加圧及び冷却動作の終了後、検査装置７の駆動源８５を駆動させ、可動体８３とともに可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿って、再びＬＣＤ基板９の第２の貼付位置９ｂの、第３の貼付位置９ｃとは離れた側の端部の近傍に移送する（ステップＳ１１）。このとき同時に、制御装置２００は、貼付ユニット１００に検査装置のアーム８７及びミラー８８が衝突しないように、移送装置６の駆動源７２を駆動させ、貼付ユニット１００を貼付方向Ｘに移送し退避させる。以後、再び上記ステップＳ１２〜Ｓ１５の動作を行う。
【００７１】
画像処理部８６が『貼付状態良』と判定したとき、制御装置２００は、現在の貼付動作、つまり第３の貼付位置９ｃへのＡＣＦシート８ａの貼付動作（ステップＳ１〜Ｓ５）を完了させる。このＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃにおけるＡＣＦシート８ａの貼付動作を完了すると、制御装置２００は、第３の貼付位置９ｃで貼付動作が完了したこと、及び第２の貼付位置９ｂの検査動作が完了したことをデータベース３００に格納する。
次いで、制御装置２００は、移送装置６の駆動源７２を駆動させ、貼付ユニット１００を貼付方向Ｘに移送して、ＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃから退避させる。このとき同時に、制御装置２００は、データベース３００に格納されているデータに、ＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃに既に貼り付けられ且つ未検査のＡＣＦシート８ａのデータが存在するので（図８：ステップＳ１７）、検査装置７の駆動源８５を駆動させ、可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿ってＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃの、第２の貼付位置９ｂに近い側の端部の近傍に移送する（図８：ステップＳ１１）。
【００７２】
次いで、制御装置２００は光源８２から光をステージ１の上端部へ照射させ、浮かび上がらせたＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃのＡＣＦシート８ａの、第２の貼付位置９ｂに近い側の端部のシルエットをミラー８８で反射させて、カメラ８１で撮像する（図８：ステップＳ１２、図９Ｈ）。
【００７３】
次いで、制御装置２００は、駆動源８５を駆動させ、可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿ってＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃの、第２の貼付位置９ｂとは離れた側の端部の近傍に移送する（図８：ステップＳ１３）。
【００７４】
次いで、制御装置２００は光源８２から光をステージ１の上端部へ照射させ、浮かび上がらせたＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃのＡＣＦシート８ａの、第２の貼付位置９ｂとは離れた側の端部のシルエットをミラー８８で反射させて、カメラ８１で撮像する（図８：ステップＳ１４、図９Ｉ）。
次いで、撮像したＡＣＦシート８ａの両端部の画像を基に、画像処理部８６で貼付状態の良否の判定を行う（図８：ステップＳ１５）。
【００７５】
画像処理部８６が第３の貼付位置９ｃのＡＣＦシート８ａについて『貼付不良』と判定したとき、例えば、制御装置２００は、現在の貼付動作、例えば第３の貼付位置９ｃへのＡＣＦシート８ａの貼付動作（ステップＳ１〜Ｓ５）を停止させるか、又は、接合動作完了間際の場合には完了させることができる。この間、制御装置２００は、検査装置７の検査動作を一旦停止させる。
次いで、制御装置２００は、移送装置６の駆動源７２を逆方向に駆動させ、貼付ヘッド４を再びＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃの上方に移送して、ＡＣＦシート８ａを再度、加熱及び加圧後、冷却する（図８：ステップＳ１６）。このとき同時に、制御装置２００は、貼付ユニット１００に検査装置のアーム８７及びミラー８８が衝突しないように、検査装置７の駆動源８５を逆方向に駆動させ、可動体８３とともに可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿って貼付方向Ｘとは逆方向に移送し退避させる。
【００７６】
次いで、制御装置２００は、第３の貼付位置９ｃへのＡＣＦシート８ａの再加熱、加圧及び冷却動作の終了後、検査装置７の駆動源８５を駆動させ、可動体８３とともに可動体８３上のカメラ８１、光源８２、画像処理部８６、アーム８７及びミラー８８を、ガイドレール８４に沿って、再びＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃの、第２の貼付位置９ｂに近い側の端部の近傍に移送する（ステップＳ１１）。このとき同時に、制御装置２００は、貼付ユニット１００に検査装置のアーム８７及びミラー８８が衝突しないように、移送装置６の駆動源７２を駆動させ、貼付ユニット１００を貼付方向Ｘに移送し退避させる。以後、再び上記ステップＳ１２〜Ｓ１５の動作を行う。
【００７７】
画像処理部８６が『貼付状態良』と判定したとき、制御装置２００は、第３の貼付位置９ｃの検査動作が完了したことをデータベース３００に格納する。制御装置２００は、データベース３００に格納されたデータに、既に貼り付けられ且つ未検査のＡＣＦシート８ａのデータが存在しないので（図８：ステップＳ１７）、検査工程を終了する。
本実施形態の接合シート貼付装置は、以上のような貼付工程及び検査工程を行う。
【００７８】
なお、本実施形態の接合シート貼付装置においては、移送装置６及び検査装置７の駆動源はそれぞれ別個に設けたが、同一駆動源を有するように構成してもよい。例えば、図１０に示すように、検査装置７のカメラ８１をフレーム５の貼付ヘッド４より貼付方向Ｘの下流側に取り付けるとともに、ＡＣＦシート８ａの長さに応じてカメラ８１と貼付ヘッド４との間隔を調整可能として、それぞれの端部をカメラ８１で撮像できるように構成してもよい。なお、図１０は、図示を簡単にするため、貼付方向Ｘを他の図とは逆方向に設定している。
【００７９】
またこの場合、光源８２は、カメラ８１と同様にして、フレーム５の貼付ヘッド４より貼付方向Ｘの下流側に光源８２と貼付ヘッド４との間隔を調整可能に設置してステージ１の上方から光を照射するように構成してもよい。また、光源８２は、図１０に示すように、ステージ１と平行な位置に固定して、ステージ１の傾斜部８２ｂ全体に光を照射するように構成してもよいし、検査するＡＣＦシート８ａに対応するステージ１の傾斜部８２ｂのみに光を照射するように構成してもよい。
【００８０】
また、検査装置７をフレーム５の貼付ヘッド４より貼付方向Ｘの下流側に取り付けるとともに、検査装置７が、カメラ８１の代わりに、ＬＣＤ基板９の所定の貼付位置に貼り付けられたＡＣＦシート８ａの一端部を検査する第１のカメラと他端部を検査する第２のカメラとを備え、移送装置６の駆動源７２により貼付ユニット１００と一体的に移送されるようにしてもよい。また、第１及び第２のカメラをフレーム５に直接取り付けてもよい。このように構成すれば、検査装置７の駆動機構を簡単なものとしたり、無くすことができる。また、第１及び第２のカメラを備える場合には、第１及び第２のカメラによりＡＣＦシート８ａの両端部を同時に検査できるので、検査工程を短縮（ステップＳ１３、ステップＳ１４をスキップ）することができる。
【００８１】
また、本実施形態の接合シート貼付方法においては、貼付ユニット１００が次のＡＣＦシート８ａの貼付動作をする直前に貼り付けられたＡＣＦシート８ａの貼付状態を検査するようにしたが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、貼付ユニット１００がＬＣＤ基板９の第３の貼付位置９ｃに貼付動作をしている間に、ＬＣＤ基板９の第１の貼付位置９ａに既に貼り付けられているＡＣＦシート８ａを検査するようにしてもよい。つまり、ＬＣＤ基板９の一つの貼付位置にＡＣＦシート８ａの貼付動作（ステップＳ１〜Ｓ５）をする間に、ＬＣＤ基板９の既に他の貼付位置に貼り付けられたＡＣＦシート８ａの貼付状態の検査（ステップＳ１０〜Ｓ１５）をするようにされていればよい。
【００８２】
また、本実施形態の接合シート貼付装置及び方法においては、画像処理部８６がＬＣＤ基板９の貼付位置に貼り付けられたＡＣＦシート８ａについて『貼付不良』と判定したとき、そのＡＣＦシート８ａを再加熱、加圧及び冷却することとしたがこれには限られない。例えば、ＡＣＦシート８ａのめくれ１０８（図６Ａ）が大きく、再加熱、加圧及び冷却によっても『貼付不良』が解消されない場合、人為的な張り替えが可能なように貼付動作を停止させるなど、状況に応じて適宜変更すればよい。
【００８３】
本実施形態の接合シート貼付装置及び方法によれば、貼付ユニット１００がＡＣＦシート８ａの貼付動作をしている間に、既に貼付ユニット１００により貼り付けられＡＣＦシート８ａの貼付状態を検査することができるので、従来に比べて貼り付け開始から検査完了までに係る時間を大幅に短くすることができる。また、貼付不良又は剥離不良が生じた場合には、その貼付不良又は剥離不良が解消されるまで、次の貼付位置への貼付動作を開始しないように停止させることもできるので、ＡＣＦシート８ａのロスを少なく（例えば一枚のみに）するとともに貼付動作のロスも少なくすることができる。したがって、一枚のＬＣＤ基板９に対するＡＣＦシート８ａの貼り付けから検査完了までの時間を大幅に短縮し、且つＡＣＦシート８ａのロス及び貼付動作のロスの可能性を低くすることができる。
【００８４】
また、本実施形態の接合シート貼付装置及び方法によれば、貼付ステージ１にガラス体２２及び光拡散体２３を設け、光源８２によりガラス体２２の内部に光を入射させるようにしたので、ＬＣＤ基板９を動かすことなく、ＬＣＤ基板９の下方から光をあててカメラの視認性を向上させることができる。また、光拡散体２３により光ムラが抑えられるので、光源８２に青色ＬＥＤのような照度の少ないものも使用することができる。また、光源８２からの光を傾斜部２１ａ、２２ａに貼り付けた光反射部材で反射してから光拡散体２３の内部に入射するようにしたので、光ムラをさらに抑えて検査精度を向上させることができる。
【００８５】
上記において、本発明をある程度の詳細さをもって好適な形態について説明したが、この好適形態の現開示内容は構成の細部において変化してしかるべきものであり、各要素の組合せや順序の変化は請求された発明の範囲及び思想を逸脱することなく実現し得るものである。
なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００８６】
本発明にかかる接合シート貼付装置及び方法は、一枚の基板に対する接合シートの貼り付けから検査完了までの時間を大幅に短縮し、且つ接合シートのロス及び貼付動作のロスの可能性を低くすることができる効果を有し、接合シートの一面に基材層が接合された接合シートの連続体から、接合シートのみを基板に貼り付ける接合シート貼付装置及び方法等として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】本発明の一実施形態に係る接合シート貼付装置を示す斜視図
【図２】本実施形態に係る接合シート貼付装置の断面図
【図３】本実施形態に係るＡＣＦシートを示す部分拡大断面図
【図４】本実施形態に係る接合シート貼付装置の切断装置を示す部分拡大斜視図
【図５】本実施形態に係る光源からの光の照射経路の説明図
【図６Ａ】本実施形態に係る接合シート貼付装置のカメラが撮像したＡＣＦシートの一端部の画像の一例を示す図
【図６Ｂ】本実施形態に係る接合シート貼付装置のカメラが撮像したＡＣＦシートの一端部の画像の他の例を示す図
【図７】本実施形態に係る接合シート貼付装置の貼付工程のフローチャート
【図８】本実施形態に係る接合シート貼付装置の検査工程のフローチャート
【図９Ａ】本実施形態に係る接合シート貼付装置の検査工程の説明図
【図９Ｂ】本実施形態に係る接合シート貼付装置の検査工程の説明図
【図９Ｃ】本実施形態に係る接合シート貼付装置の検査工程の説明図
【図９Ｄ】本実施形態に係る接合シート貼付装置の検査工程の説明図
【図９Ｅ】本実施形態に係る接合シート貼付装置の検査工程の説明図
【図９Ｆ】本実施形態に係る接合シート貼付装置の検査工程の説明図
【図９Ｇ】本実施形態に係る接合シート貼付装置の検査工程の説明図
【図９Ｈ】本実施形態に係る接合シート貼付装置の検査工程の説明図
【図９Ｉ】本実施形態に係る接合シート貼付装置の検査工程の説明図
【図１０】本実施形態に係る他の接合シート貼付装置を示す斜視図
【符号の説明】
【００８８】
１ ステージ
２ 供給リール
３ 切断装置
３ａ 本体部
３ｂ 上側アーム
３ｃ 下側アーム
３ｄ ブレード
４ 貼付ヘッド
５ フレーム
６ 移送装置
７ 検査装置
８ａ ＡＣＦシート
８ｂ 基材層
８ｃ 導電性粒子
８ｄ 合成樹脂層
９ ＬＣＤ基板
９ａ〜９ｃ 貼付位置
１０ａ〜１０ｄ 上側固定ガイドピン、下側可動ガイドピン、下側可動ガイドピン、上側固定ガイドピン
１１ 巻き取りリール
１２、３７、６５ モータ
２１、５４、６６ ブロック
２２ ガラス体
２３ 光拡散体
３１ 突子
３２、５２ ロッド
３３ コイルバネ
３４ バー
３５ ナット部
３６ ボールねじ
４１ 開口部
４２、４３、６４ 支持板
５１、８７ アーム
５３ ガイドリング
６１、６２ タイミングプーリ
６３ タイミングベルト
６７ 移動子
６８ スライダ
６９、７１、８４ ガイドレール
７２ 貼付ユニット移送用駆動源
８１ カメラ
８２ 光源
８３ 可動体
８５ 可動体移送用駆動源
８６ 画像処理部
８７ アーム
８８ ミラー
９１、９２ 位置決めマーク
１００ 貼付ユニット
２００ 制御装置
３００ データベース
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接合シートの一面に基材層が接合された接合シート連続体から、前記接合シートのみを基板に貼り付ける接合シート貼付装置であって、
前記基板を支持する貼付ステージと、
前記貼付ステージの上方に前記接合シートを供給する接合シート供給装置と、前記貼付ステージの上方に上下動可能に設けられ、前記接合シートを基板に押圧して貼り付ける貼付ヘッドと、を有する貼付ユニットと、
前記貼付ユニットを前記基板の一辺に沿った方向に移送する移送装置と、
前記貼付ユニットが前記接合シートの貼付動作を連続して行っている間に、既に前記貼付ユニットにより貼り付けられた接合シートの貼付状態を検査する検査装置と、
を有することを特徴とする接合シート貼付装置。
【請求項２】
前記検査装置は、前記貼付ユニットを移送する移送装置によって前記貼付ユニットと一体的に移送されることを特徴とする請求項１に記載の接合シート貼付装置。
【請求項３】
前記検査装置は、前記貼付ユニットと独立して移動可能な移送装置を備えたことを特徴とする請求項１に記載の接合シート貼付装置。
【請求項４】
前記貼付ステージは、全部又は前記基板の前記辺を支持する部分の近傍部分が光を透過する光透過体と光を拡散させる光拡散体とを備え、
前記光透過体の内部へ光を入射させる光源をさらに有し、
前記検査装置は、前記光源から前記光透過体を透過するとともに前記光拡散体によって拡散され、且つ前記貼付ステージ上で支持されている前記基板を透過した光により、既に前記貼付ユニットにより前記基板に貼り付けられた前記接合シートを照らして、前記接合シートの貼付状態を検査することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１つに記載の接合シート貼付装置。
【請求項５】
少なくとも１つの光反射部材をさらに備え、
前記光源の光は、前記光反射部材で反射されたのち、前記光透過体の内部に入射されることを特徴とする請求項４に記載の接合シート貼付装置。
【請求項６】
接合シートの一面に基材層が接合された接合シート連続体から、前記接合シートのみを基板に貼り付ける接合シート貼付方法であって、
貼付ヘッドを下降させて前記接合シートを前記基板に貼り付ける貼付ユニットにより、前記基板の辺に沿った第１の貼付位置に、前記接合シート連続体から第１の接合シートを貼り付ける第１の工程と、
前記貼付ユニットを、前記基板の前記辺に沿って前記第１の貼付位置に対向する位置から第２の貼付位置に対向する位置まで移送する第２の工程と、
前記貼付ユニットにより、前記第２の貼付位置に前記接合シート連続体から第２の接合シートを貼り付ける第３の工程と、
前記第２の工程もしくは第３の工程を実施する間に、前記第１の接合シートの貼付状態を検査する工程と、
を含むことを特徴とする接合シート貼付方法。
【請求項１】
接合シートの一面に基材層が接合された接合シート連続体から、前記接合シートのみを基板に貼り付ける接合シート貼付装置であって、
前記基板を支持する貼付ステージと、
前記貼付ステージの上方に前記接合シートを供給する接合シート供給装置と、前記貼付ステージの上方に上下動可能に設けられ、前記接合シートを基板に押圧して貼り付ける貼付ヘッドと、を有する貼付ユニットと、
前記貼付ユニットを前記基板の一辺に沿った方向に移送する移送装置と、
前記貼付ユニットが前記接合シートの貼付動作を連続して行っている間に、既に前記貼付ユニットにより貼り付けられた接合シートの貼付状態を検査する検査装置と、
を有することを特徴とする接合シート貼付装置。
【請求項２】
前記検査装置は、前記貼付ユニットを移送する移送装置によって前記貼付ユニットと一体的に移送されることを特徴とする請求項１に記載の接合シート貼付装置。
【請求項３】
前記検査装置は、前記貼付ユニットと独立して移動可能な移送装置を備えたことを特徴とする請求項１に記載の接合シート貼付装置。
【請求項４】
前記貼付ステージは、全部又は前記基板の前記辺を支持する部分の近傍部分が光を透過する光透過体と光を拡散させる光拡散体とを備え、
前記光透過体の内部へ光を入射させる光源をさらに有し、
前記検査装置は、前記光源から前記光透過体を透過するとともに前記光拡散体によって拡散され、且つ前記貼付ステージ上で支持されている前記基板を透過した光により、既に前記貼付ユニットにより前記基板に貼り付けられた前記接合シートを照らして、前記接合シートの貼付状態を検査することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１つに記載の接合シート貼付装置。
【請求項５】
少なくとも１つの光反射部材をさらに備え、
前記光源の光は、前記光反射部材で反射されたのち、前記光透過体の内部に入射されることを特徴とする請求項４に記載の接合シート貼付装置。
【請求項６】
接合シートの一面に基材層が接合された接合シート連続体から、前記接合シートのみを基板に貼り付ける接合シート貼付方法であって、
貼付ヘッドを下降させて前記接合シートを前記基板に貼り付ける貼付ユニットにより、前記基板の辺に沿った第１の貼付位置に、前記接合シート連続体から第１の接合シートを貼り付ける第１の工程と、
前記貼付ユニットを、前記基板の前記辺に沿って前記第１の貼付位置に対向する位置から第２の貼付位置に対向する位置まで移送する第２の工程と、
前記貼付ユニットにより、前記第２の貼付位置に前記接合シート連続体から第２の接合シートを貼り付ける第３の工程と、
前記第２の工程もしくは第３の工程を実施する間に、前記第１の接合シートの貼付状態を検査する工程と、
を含むことを特徴とする接合シート貼付方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６Ａ】
【図６Ｂ】
【図７】
【図８】
【図９Ａ】
【図９Ｂ】
【図９Ｃ】
【図９Ｄ】
【図９Ｅ】
【図９Ｆ】
【図９Ｇ】
【図９Ｈ】
【図９Ｉ】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６Ａ】
【図６Ｂ】
【図７】
【図８】
【図９Ａ】
【図９Ｂ】
【図９Ｃ】
【図９Ｄ】
【図９Ｅ】
【図９Ｆ】
【図９Ｇ】
【図９Ｈ】
【図９Ｉ】
【図１０】
【公開番号】特開２００７−１４２３１５（Ｐ２００７−１４２３１５Ａ）
【公開日】平成１９年６月７日（２００７．６．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−３３６８１５（Ｐ２００５−３３６８１５）
【出願日】平成１７年１１月２２日（２００５．１１．２２）
【出願人】（０００００５８２１）松下電器産業株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１９年６月７日（２００７．６．７）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年１１月２２日（２００５．１１．２２）
【出願人】（０００００５８２１）松下電器産業株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
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