液滴吐出ヘッドの配置方法、ヘッドユニットおよび液滴吐出装置、並びに、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
【課題】液滴吐出ヘッド毎に異なる液滴吐出特性を許容しつつ、複数の液滴吐出ヘッドによる描画品質を向上させることができる液滴吐出ヘッドの配置方法を提供することを課題としている。
【解決手段】複数の機能液滴吐出ヘッド１７を共通のキャリッジプレート５３に配置固定する機能液滴吐出ヘッド１７の配置方法において、ノズル列９９方向に隣接する機能液滴吐出ヘッド１７同士の、相互の最内端に位置する２つの吐出ノズル９８の液滴吐出量の差が所定の許容差範囲に納まるように、且つキャリッジプレート５３におけるノズル列９９方向の両最外端に位置する２つの吐出ノズル９８の液滴吐出量が、それぞれ所定の基準量範囲に納まるように、複数の機能液滴吐出ヘッド１７を配置固定することを特徴とする。
【解決手段】複数の機能液滴吐出ヘッド１７を共通のキャリッジプレート５３に配置固定する機能液滴吐出ヘッド１７の配置方法において、ノズル列９９方向に隣接する機能液滴吐出ヘッド１７同士の、相互の最内端に位置する２つの吐出ノズル９８の液滴吐出量の差が所定の許容差範囲に納まるように、且つキャリッジプレート５３におけるノズル列９９方向の両最外端に位置する２つの吐出ノズル９８の液滴吐出量が、それぞれ所定の基準量範囲に納まるように、複数の機能液滴吐出ヘッド１７を配置固定することを特徴とする。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の液滴吐出ヘッドを、共通のキャリッジプレートに配置固定する液滴吐出ヘッドの配置方法、ヘッドユニットおよび液滴吐出装置、並びに、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の液滴吐出ヘッドの配置方法として、複数の液滴吐出ヘッドを、数個ずつ主走査方向に階段状に並べ、かつ副走査方向に２群に分けて配置固定する方法が知られている（特許文献１参照）。この配置方法では、複数の液滴吐出ヘッドにおける全ノズル列により１の描画ラインを構成すると共に、複数の液滴吐出ヘッドをスペース効率良く配置できるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２３８８２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、このような配置方法により作成されたヘッドユニットにて描画処理を行うと、別々の液滴吐出ヘッドの最外端の吐出ノズルから吐出された機能液滴が隣接して描画されることがある。すなわち、１の液滴吐出ヘッドの最外端に配設された吐出ノズルにより吐出着弾された機能液滴と、別の液滴吐出ヘッドの最外端に配設された吐出ノズルにより吐出着弾された機能液滴とが、隣接して描画される。しかしながら、配置固定する各液滴吐出ヘッドは、製造上の誤差から特に各吐出ノズルにおける液滴吐出量に差が生じてしまうことがある。そのため、上記の配置方法に基づいて複数の液滴吐出ヘッドを単純に配置すると、異なる液滴吐出ヘッドから吐出された、隣接する機能液滴の量に差が生じてしまい、色むら等の理由で良質な描画処理を行うことができないという問題があった。
【０００５】
本発明は、液滴吐出ヘッド毎に異なる液滴吐出特性を許容しつつ、複数の液滴吐出ヘッドによる描画品質を向上させることができる液滴吐出ヘッドの配置方法、ヘッドユニットおよび液滴吐出装置、並びに、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液滴吐出ヘッドの配置方法は、インクジェット方式の液滴吐出ヘッドが個々に有するノズル列の多数の吐出ノズルにおける個別の液滴吐出量に基づいて、共通の機能液を吐出する複数の液滴吐出ヘッドを、ノズル列方向に位置ずれさせて共通のキャリッジプレートに配置固定する液滴吐出ヘッドの配置方法であって、ノズル列方向に隣接する液滴吐出ヘッド同士において、相互の最内端に位置する２つの吐出ノズルの液滴吐出量の差が所定の許容差範囲に納まるように、且つキャリッジプレートにおけるノズル列方向の両最外端に位置する２つの吐出ノズルの液滴吐出量が、それぞれ所定の基準量範囲に納まるように、複数の液滴吐出ヘッドを配置固定することを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、ノズル列方向に隣接する液滴吐出ヘッド同士の相互の最内端に位置する２つの吐出ノズルが所定の許容差範囲に納まるよう、各液滴吐出ヘッドを配置固定することにより、共通のキャリッジプレートに配置固定する液滴吐出ヘッド間で、異なる液滴吐出ヘッドから吐出着弾された隣接する機能液滴における着弾量の差を抑えることができる。また、キャリッジプレートにおけるノズル列方向の両最外端に位置する２つの吐出ノズルにおいて、液滴吐出量がそれぞれ所定の基準量範囲に納まるよう、各液滴吐出ヘッドを配置固定することにより、別のキャリッジプレートに配置固定された液滴吐出ヘッド間で、異なる液滴吐出ヘッドから吐出着弾された隣接する機能液滴における着弾量の差を抑えることができる。そのため、液滴吐出ヘッド毎に異なる液滴吐出特性を許容しつつ、複数の液滴吐出ヘッドによる描画品質を向上させることができる。
【０００８】
この場合、キャリッジプレートに配置される複数の液滴吐出ヘッドは、当該液滴吐出ヘッドの数を越える数の配置候補となる候補液滴吐出ヘッドの中から選出されることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、候補液滴吐出ヘッドを、配置する液滴吐出ヘッドの数を越えた数用意することにより、上記の条件（許容差範囲および基準量範囲）を満たす可能性が高くなり、且つ条件を満たす組（パターン）が多くなる。これにより、液滴吐出ヘッドの歩留りを向上させつつ、容易に且つ確実に上記条件の配置固定を行うことができる。
【００１０】
この場合、複数の候補液滴吐出ヘッドは、全吐出ノズルにおける個別の液滴吐出量のばらつきが所定の範囲内のものであることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、候補液滴吐出ヘッドとして、全吐出ノズルにおける個別の液滴吐出量のばらつきが所定の範囲外であるものを除外することにより、適性配置を容易に行うことができる。
【００１２】
複数の液滴吐出ヘッドは、ノズル列方向において２つのヘッド群に区分けされてキャリッジプレートに配置され、２つのヘッド群に属する複数の液滴吐出ヘッドは、ノズル列方向において相互に対向位置されることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、複数の液滴吐出ヘッドをキャリッジプレート上で効率良く配置することができると共に、描画処理を効率良く行うことができる。
【００１４】
この場合、機能液は、Ｒ色、Ｇ色およびＢ色いずれかの色彩を有するものであり、所定の許容差範囲は、２つの吐出ノズルによる吐出着弾結果が隣接している場合に、相互の色むらが発生しない液滴吐出量の差に基づいて定められていることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、上記の最内端に位置する２つの吐出ノズルから吐出された隣接する吐出着弾結果（機能液滴）において、相互に色むらのない、より良質な描画処理を行うことができる。
【００１６】
この場合、機能液は、Ｒ色、Ｇ色およびＢ色いずれかの色彩を有するものであり、所定の基準量範囲は、１の吐出ノズルにおける標準化された液滴吐出量を中間値とする範囲であって、隣接する吐出着弾結果に相互の色むらが発生しない液滴吐出量の範囲に基づいて定められていることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、上記の最外端に位置する２つの吐出ノズルにおいて、所定の基準量範囲が、１の吐出ノズルにおける標準化された液滴吐出量を中間値とする範囲であることにより、標準化された液滴吐出量に近似する値になるため、液滴吐出量のばらつきを抑制することができる。また、所定の基準量範囲が、隣接する吐出着弾結果に相互の色むらが発生しない液滴吐出量の範囲に基づいて定められていることにより、色むらのない、より良質な描画処理を行うことができる。
【００１８】
この場合、所定の基準量範囲に納まる選択肢が複数組ある場合に、基準量範囲の中間値と各組の２つの上記吐出ノズルの液滴吐出量との差の二乗和が、最小値となる選択肢を選択することが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、基準量範囲の中間値と各組の２つの上記吐出ノズルの液滴吐出量との差の二乗和が最小となる組を選択することにより、２つの上記吐出ノズルの液滴吐出量の差を更に抑えることができ、より良質な描画処理を行うことができる。
【００２０】
この場合、液滴吐出量は、各ノズル列における平均の液滴吐出量が絶対目標の液滴吐出量であることを前提とし、絶対目標の液滴吐出量を１として正規化された数値で比較されることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、絶対目標との液滴吐出量の比較を容易に行うことができる。
【００２２】
この場合、各ノズル列の多数の吐出ノズルにおける個別の液滴吐出量は、測定結果に基づく近似特性線図から求めたものであることが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、各ノズル列における多数の吐出ノズルの個別の液滴吐出量を、いくつかの吐出ノズルの測定結果に基づく近似特性線図から求めることにより、全ての吐出ノズルを測定する必要がなく、全吐出ノズルの液滴吐出量を効率良く取得することができる。
【００２４】
近似特性線図は、多数の吐出ノズルの両端部の複数の吐出ノズルを全て測定すると共に、残余の中間部の複数の吐出ノズルを間引いて測定した結果から導かれることが好ましい。
【００２５】
この構成によれば、多数の吐出ノズルの両端部の複数の吐出ノズルに対して、厳密な値を取得することができる。そのため、基準許容範囲もしくは許容差範囲との比較を精度良く行うことができる。
【００２６】
この場合、許容差範囲に納まるか否かの比較対象となる液滴吐出量は、多数の吐出ノズルの端部の複数の吐出ノズルにおける液滴吐出量の平均値であることが好ましい。
【００２７】
この場合、基準量範囲に納まるか否かの比較対象となる液滴吐出量は、多数の吐出ノズルの端部の複数の吐出ノズルにおける液滴吐出量の平均値であることが好ましい。
【００２８】
これらの構成によれば、１つの吐出ノズルにおける液滴吐出量のバラツキを軽減することができ、より正確に許容差範囲（基準量範囲）に納まるか否かの比較を行うことができる。
【００２９】
この場合、各液滴吐出ヘッドは、それぞれのノズル列における多数の吐出ノズルの両外側に、描画に使用しない複数の無効吐出ノズルを有していることが好ましい。
【００３０】
この構成によれば、構造上、中央部に位置する吐出ノズルより吐出量が多い、両端部の複数の吐出ノズルを、描画に使用しない無効吐出ノズルとすることにより、ノズル列上での吐出量のばらつきを抑制することができ、より良質な描画処理を行うことができる。
【００３１】
本発明のヘッドユニットは、上記の液滴吐出ヘッドの配置方法により、キャリッジプレートに複数の液滴吐出ヘッドが配置固定されていることを特徴とする。
【００３２】
この構成によれば、液滴吐出ヘッド毎に異なる液滴吐出特性を許容しつつ、複数の液滴吐出ヘッドによる描画品質を向上させることができる液滴吐出ヘッドの配置方法を使用することにより、良質な描画処理が可能なヘッドユニットを提供することができる。
【００３３】
本発明の液滴吐出装置は、上記のヘッドユニットを搭載し、当該ヘッドユニットにより、ワークに対し機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする。
【００３４】
この構成によれば、上記のヘッドユニットを使用することにより、ワークに対し、良質な描画処理を行うことができる。
【００３５】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００３６】
本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００３７】
この構成によれば、高品質の電気光学装置を効率良く製造することができる。なお、機能材料としては、有機ＥＬ装置の発光材料（Electro-Luminescence発光層・正孔注入層）は元より、液晶表示装置に用いるカラーフィルタのフィルタ材料（フィルタエレメント）、電子放出装置（Field Emission Display， ＦＥＤ）の蛍光材料（蛍光体）、ＰＤＰ（plasma Display Panel）装置の蛍光材料（蛍光体）、電気泳動表示装置の泳動体材料（泳動体）等であって、機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）により吐出可能な液体材料を言う。また、電気光学装置（Flat Panel Display， ＦＰＤ）としては、有機ＥＬ装置、液晶表示装置、電子放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置等がある。
【００３８】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３９】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。
【図２】液滴吐出装置の側面図である。
【図３】ヘッドユニットに搭載された機能液滴吐出ヘッドの配置構成を示した図である。
【図４】カラーフィルタの配色パターンの説明図であり、（ａ）は、ストライプ配列、（ｂ）は、モザイク配列、（ｃ）は、デルタ配列を示している。
【図５】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図６】近似特性線図を示した図である。
【図７】キャリッジプレートに対する機能液滴吐出ヘッドの配置方法について示した説明図である。
【図８】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図９】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１０】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１１】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１２】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１３】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１４】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１５】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１６】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１７】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１８】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１９】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２０】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２１】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２２】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２３】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２４】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２５】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【発明を実施するための形態】
【００４１】
以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態に係る液滴吐出ヘッドの配置方法を適用した液滴吐出装置について説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）を用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００４２】
図１および図２に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル１１と、複数本の支柱４を介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対（２つ）のＹ軸支持ベース３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１２と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７が搭載された１０個のキャリッジユニット５１とから成り、１０個のキャリッジユニット５１は、Ｙ軸テーブル１２に吊設されている。そして、Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンが描画される。
【００４３】
また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１４、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、吐出性能検査ユニット１８から成るメンテナンス装置５を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１７の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１７の機能維持・機能回復を図るようになっている。なお、メンテナンス装置５を構成する各ユニットのうち、フラッシングユニット１４および吐出性能検査ユニット１８は、Ｘ軸テーブル１１に搭載され、吸引ユニット１５およびワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台６上に配設されている（厳密には、吐出性能検査ユニット１８は、後述するステージユニット７７がＸ軸テーブル１１に搭載され、カメラユニット７８がＹ軸支持ベース３に支持されている。）。
【００４４】
フラッシングユニット１４は、一対の描画前フラッシングユニット１１１，１１１と、定期フラッシングユニット１１２とを有し、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出直前や、ワークＷの載換え時等の描画処理休止時に行われる、機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出（フラッシング）を受けるためのものである。吸引ユニット１５は、複数の分割吸引ユニット１４１を有し、各機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル９８から機能液を強制的に吸引するものである。ワイピングユニット１６は、ワイピングシート１５１を有し、吸引後の機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７を拭取るものである。吐出性能検査ユニット１８は、機能液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液滴を受ける検査シート８３を搭載したステージユニット７７と、ステージユニット７７上の機能液滴を画像認識により検査するカメラユニット７８を有し、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出性能（吐出の有無および飛行曲り）を検査するものである。
【００４５】
以下、液滴吐出装置１の構成要素について説明する。図１または図２に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、ワークＷをセットするセットテーブル２１と、セットテーブル２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダ２２と、上記のフラッシングユニット１４および吐出性能検査ユニット１８をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダ２３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダ２２を介してセットテーブル２１（ワークＷ）をＸ軸方向に移動させると共に、Ｘ軸第２スライダ２３を介してフラッシングユニット１４およびステージユニット７７をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸第１スライダ２２およびＸ軸第２スライダ２３の移動を案内する一対（２本）のＸ軸共通支持ベース２４と、を備えている。
【００４６】
セットテーブル２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向に補正するためのθテーブル３２等を有している。また、セットテーブル２１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、それぞれ上記の描画前フラッシングユニット１１１が添設されている。
【００４７】
Ｙ軸テーブル１２は、１０個の各キャリッジユニット５１をそれぞれ吊設した１０個のブリッジプレート５２と、１０個のブリッジプレート５２を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダ（図示省略）と、上記した一対のＹ軸支持ベース３上に設置され、１０組のＹ軸スライダを介してブリッジプレート５２をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。また、Ｙ軸テーブル１２は、各キャリッジユニット５１を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド１７を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド１７をメンテナンス装置５に臨ませる。
【００４８】
一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース３を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、各キャリッジユニット５１を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１０個のキャリッジユニット５１を一体として移動させることも可能である。
【００４９】
各キャリッジユニット５１は、複数の機能液滴吐出ヘッド１７を有するヘッドユニット１３と、ヘッドユニット１３をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構６１と、θ回転機構６１を介して、ヘッドユニット１３をＹ軸テーブル１２（各ブリッジプレート５２）に支持させる吊設部材６２と、を備えている。
【００５０】
図３に示すように、ヘッドユニット１３は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７が配置固定されたキャリッジプレート５３と、を備えている。１２個の機能液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に２群に分かれ、６個ずつＸ軸方向に階段状に並んでヘッド群５４を構成している。各ヘッド群５４に属する６個の機能液滴吐出ヘッド１７は、ノズル列９８ｂ方向において相互に対抗配置されており（図７参照）、複数の機能液滴吐出ヘッド１７をキャリッジプレート５３上で効率良く配置することができると共に、描画処理を効率良く行うことができるように構成されている。また、各ヘッド群５４の各色２つの機能液滴吐出ヘッド１７は、Ｘ軸方向において連設し、１の描画ラインを構成する。
【００５１】
ヘッドユニット１３に搭載された１２×１０個の機能液滴吐出ヘッド１７は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液のいずれかに対応しており、各色４個の機能液滴吐出ヘッド１７（各ヘッド群５４で各色２個ずつ）により、ワークＷに３色の機能液から成る描画パターンを描画できるようになっている。本実施形態のものでは、全機能液滴吐出ヘッド１７（１２×１０個）の２回の副走査により、Ｙ軸方向に連続するＲＧＢ３色の描画ラインがそれぞれ形成される。この描画ラインの長さは、セットテーブル２１に搭載可能な最大サイズのワークＷの幅に対応している。なお、３色の機能液から成る描画パターンには、図４に示すように３種類のパターンがあり、本実施形態では、図４（ａ）の描画パターン（ビットアップデータ）により描画が行われる。
【００５２】
図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針９２を有する機能液導入部９１と、機能液導入部９１に連なる２連のヘッド基板９３と、機能液導入部９１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体９４と、を備えている。接続針９２は、図外の機能液タンクに接続され、機能液導入部９１に機能液を供給する。ヘッド本体９４は、キャビティ９５（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル９８が開口したノズル面９７を有するノズルプレート９６と、で構成されている。機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動すると、（ピエゾ圧電素子に電圧が印加され）キャビティ９５のポンプ作用により、吐出ノズル９８から機能液滴が吐出される。
【００５３】
なお、ノズル面９７には、多数の吐出ノズル９８からなる第１ノズル列９９ａおよび第２ノズル列９９ｂが相互に平行に形成されている。そして、２つのノズル列９９ａ，９９ｂ同士は、相互に半ノズルピッチ分位置ずれしている。２つのノズル列９９ａ，９９ｂは、両端部にそれぞれ１０個ずつ、描画処理に使用しない無効吐出ノズルを有しており、これにより、ノズル列９９ａ，９９ｂ上での液滴吐出量のばらつきを抑制することができ、より良質な描画処理を行うことができる。なお、請求項にいう「ノズル列」は、本実施形態においては第１ノズル列９９ａおよび第２ノズル列９９ｂを併せたものである。そのため、以下、第１ノズル列９９ａおよび第２ノズル列９９ｂを併せて、単にノズル列９９と表記する。
【００５４】
液滴吐出装置１の描画動作は、まず、ワークＷをＸ軸テーブル１１により、Ｘ軸方向で移動させながら（図１中奥側へ）、第１描画動作（往動パス）を行う。その後、ヘッドユニット１３を２ヘッド分Ｙ軸方向に移動（副走査）させて、改めて、ワークＷをＸ軸方向で移動させながら（図１中手前側へ）、第２描画動作（復動パス）を行う。そして、再度ヘッドユニット１３を２ヘッド分副走査し、もう一度、ワークＷをＸ軸方向で移動させながら（図１中奥側へ）、第３描画動作（往動パス）を行う。このように、副走査により、ワークＷ上の位置に対し、対応する機能液滴吐出ヘッド１７を変更しつつ、ワークＷの移動および描画動作を３度繰り返すことにより、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の描画処理を効率良く行っている。
【００５５】
次に、図６または図７を参照して、キャリッジプレート５３上における機能液滴吐出ヘッド１７の配置方法について詳細に説明する。この機能液滴吐出ヘッド１７の配置は、あらかじめ配置候補となる複数の機能液滴吐出ヘッド１７（以下、候補吐出ノズルと表記）を用意し、その候補吐出ノズルの液滴吐出特性に基づいて、候補吐出ノズルの中から適切な機能液滴吐出ヘッド１７を選出し、配置するものである。そのため、まず、この候補吐出ノズルの選出および候補吐出ノズルの液滴吐出特性取得について説明する。候補吐出ノズルの液滴吐出特性取得は、候補吐出ノズルの選出の際に行う選出前液滴吐出ヘッドの液滴吐出特性取得にて行われるため、ここで、選出前液滴吐出ヘッドの液滴吐出特性取得について説明する。なお、以下の説明において、描画や測定に係らない無効吐出ノズルの存在を無視して説明する。
【００５６】
製造された選出前の多数の機能液滴吐出ヘッド１７である選出前液滴吐出ヘッドは、それぞれ図外の検査装置により、各吐出ノズル９８における吐出量、吐出速度および吐出不良等が取得される。特に各吐出ノズル９８の吐出量は、両端部の複数の吐出ノズル９８については全て測定し、残余の吐出ノズル９８（中間部に位置する複数の吐出ノズル９８）については、両端部の吐出ノズル９８の測定結果から近似特性線図（図６参照）を用いて求める。このように、各ノズル列９９における全ての吐出ノズル９８の液滴吐出量を、いくつかの吐出ノズル９８の測定結果に基づく近似特性線図から求めることにより、全ての吐出ノズル９８を測定する必要がなく、全吐出ノズル９８の液滴吐出量を効率良く取得することができる。また、近似特性線図を両端部の吐出ノズル９８に基づいて作成することにより、機能液滴吐出ヘッド１７の配置固定に用いる両端部の吐出ノズル９８に対して、厳密な値を取得することができる。なお、近似特性線図は、６次近似曲線図を用いることが好ましい。また、上記の吐出不良には、否吐出、飛行曲がり、異常吐出等がある。
【００５７】
次に、取得された液滴吐出特性に基づいて、多数の選出前液滴吐出ヘッドの中から複数の候補液滴吐出ヘッドを選出する。すなわち、１の選出前液滴吐出ヘッドにおいて、全吐出ノズル９８における個別の液滴吐出量のばらつきが所定範囲内であると判断され、且つ、吐出速度や飛行曲がり等の判定により良品であると判断された場合に、当該選出前液滴吐出ヘッドを候補液滴吐出ヘッドとして選出する。このように、判定条件として全吐出ノズル９８における個別の液滴吐出量のばらつきが所定範囲内であるという条件を有することにより、適正配置を容易に行うことができる。なお、選出された候補液滴吐出ヘッドは、配置する機能液滴吐出ヘッド１７の数を超える数用意する。これにより、機能液滴吐出ヘッド１７の配置固定に用いる条件を満たす可能性が高くなり、且つ条件を満たす組（パターン）が多くなる。そのため、機能液滴吐出ヘッド１７の歩留りを向上させつつ、容易に且つ確実に条件通りの配置固定を行うことができる。
【００５８】
図７に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７の配置固定は、最内端ノズル条件と最外端ノズル条件の２つの条件を満たすように行われる。なお、これらの条件は、機能液の色ごとに考慮される。そのため、ここでは、Ｒ色を例に挙げて説明する。
【００５９】
最内端ノズル条件は、キャリッジプレート５３上の４個（各色４個であるため）の機能液滴吐出ヘッド１７において、ノズル列９９方向に相互隣接する機能液滴吐出ヘッド１７との間の各最内端の２つの吐出ノズル９８に対し、この２つの吐出ノズル９８における液滴吐出量の差が、所定の許容差範囲に納まるという条件である。この許容差範囲は、吐出着弾結果（着弾された機能液滴）が隣接している場合に、相互の色むらが発生しない液滴吐出量の差に基づいて設定される。例えば、本実施形態では、液滴吐出量の差が０．６５％（標準値１．０１１ｐｌの０．６５％）まで許容される。
【００６０】
最外端ノズル条件は、キャリッジプレート５３上のノズル列９９方向で両外端に位置する機能液滴吐出ヘッド１７において、それらの両外端に配置された２つの吐出ノズル９８、すなわち、右端に配設された機能液滴吐出ヘッド１７の右端の吐出ノズル９８および左端に配設された機能液滴吐出ヘッド１７の左端の吐出ノズル９８に対し、２つの吐出ノズル９８がそれぞれ所定の基準量範囲に収まるという条件である。この基準量範囲は、１の吐出ノズル９８における標準化された液滴吐出量を中間値とする範囲であって、隣接する吐出着弾結果に相互の色むらが発生しない液滴吐出量の範囲に基づいて設定されている。例えば、本実施形態では、１．０１１ｐｌ±０．４５％（標準値１．０１１ｐｌの０．４５％）である。
【００６１】
このように、ノズル列９９方向に隣接する機能液滴吐出ヘッド１７同士の相互の最内端に位置する２つの吐出ノズル９８が所定の許容差範囲に納まるよう、各機能液滴吐出ヘッド１７を配置固定することにより、共通のキャリッジプレート５３に配置固定する機能液滴吐出ヘッド１７間で、異なる機能液滴吐出ヘッド１７から吐出着弾された隣接する吐出着弾結果における着弾量の差を抑えることができる。また、キャリッジプレート５３におけるノズル列９９方向の両最外端に位置する２つの吐出ノズルにおいて、液滴吐出量がそれぞれ所定の基準量範囲に納まるよう、各機能液滴吐出ヘッド１７を配置固定することにより、別のキャリッジプレート５３に配置固定された機能液滴吐出ヘッド１７間で、異なる機能液滴吐出ヘッド１７から吐出着弾された隣接する吐出着弾結果（機能液滴）における着弾量の差を抑えることができる。そのため、機能液滴吐出ヘッド１７毎に異なる液滴吐出特性を許容しつつ、複数の機能液滴吐出ヘッド１７による描画品質を向上させることができる。
【００６２】
また、最内端ノズル条件において、許容差範囲が、吐出着弾結果が隣接している場合に、相互の色むらが発生しない液滴吐出量の差に基づいて設定されることにより、上記の最内端に位置する２つの吐出ノズル９８から吐出された隣接する吐出着弾結果において、相互に色むらのない、より良質な描画処理を行うことができる。
【００６３】
さらに、最外端ノズル条件において、基準量範囲が、１の吐出ノズルにおける標準化された液滴吐出量を中間値とする範囲で定められていることにより、標準化された液滴吐出量に近似する値になるため、液滴吐出量のばらつきを抑制することができると共に、基準量範囲が、隣接する吐出着弾結果に相互の色むらが発生しない液滴吐出量の範囲に基づいて定められていることにより、色むらのない、より良質な描画処理を行うことができる。
【００６４】
最外端ノズル条件において、所定の基準量範囲に納まる選択肢が複数組ある場合には、各組の基準量範囲の中間値（標準値）と最外端の２つの吐出ノズル９８における液滴吐出量との差の二乗和が、最小値となる選択肢を選択する。これにより、２つの吐出ノズル９８の液滴吐出量の差を更に抑えることができ、より良質な描画処理を行うことができる。例えば、中間値が１．０１１ｐｌ、選択肢が２組あり、一方の組の２つの吐出ノズルの液滴吐出量が、１．０１１＋０．５ｐｌと１．０１１−０．１ｐｌ、他方の組の２つの吐出ノズルの液滴吐出量が、１．０１１＋０．３ｐｌと１．０１１−０．２ｐｌである場合、一方の組の中間値と液滴吐出量との差の二乗和は、（１．０１１−（１．０１１＋０．５））2＋（１．０１１−（１．０１１−０．１））2＝０．２６、他方の組の中間値と液滴吐出量との差の二乗和は、（１．０１１−（１．０１１＋０．３））2＋（１．０１１−（１．０１１−０．２））2＝０．１３である。そのため、この場合、最小値０．１３を有する他方の組を選択する。
【００６５】
なお、これらの条件に用いる液滴吐出量は、各ノズル列９９における平均の液滴吐出量が絶対目標であることを前提とし、この絶対目標の液滴吐出量を１として正規化された数値とすることが好ましい。これにより、絶対目標との液滴吐出量の比較を容易に行うことができる。
【００６６】
また、許容差範囲もしくは基準量範囲に納まるか否かの比較対象となる液滴吐出量は、ノズル列９９の端部に位置する複数（各１０個）の吐出ノズル９８の液滴吐出量の平均値とすることが好ましい。すなわち、この平均値を、上記比較に利用する各吐出ノズル９８の液滴吐出量とする。これにより、１つの吐出ノズル９８における液滴吐出量のばらつきを軽減することができ、より正確に基準量範囲に納まるか否かの比較を行うことができる。さらに、上記の最外端ノズル条件下における選択肢の選択において、両外端に位置する各５個の吐出ノズルと中間値との差の二乗和を、比較対象とすることが好ましい。
【００６７】
以上のような構成により、ノズル列９９方向に隣接する機能液滴吐出ヘッド１７同士の相互の最内端に位置する２つの吐出ノズル９８が所定の許容差範囲に納まるよう、各機能液滴吐出ヘッド１７を配置固定することにより、共通のキャリッジプレート５３に配置固定する機能液滴吐出ヘッド１７間で、異なる機能液滴吐出ヘッド１７から吐出着弾された隣接する機能液滴における着弾量の差を抑えることができる。また、キャリッジプレート５３におけるノズル列９９方向の両最外端に位置する２つの吐出ノズル９８において、液滴吐出量がそれぞれ所定の基準量範囲に納まるよう、各機能液滴吐出ヘッド１７を配置固定することにより、別のキャリッジプレート５３に配置固定された機能液滴吐出ヘッド１７間で、異なる機能液滴吐出ヘッド１７から吐出着弾された隣接する機能液滴における着弾量の差を抑えることができる。そのため、機能液滴吐出ヘッド１７毎に異なる液滴吐出特性を許容しつつ、複数の機能液滴吐出ヘッド１７による描画品質を向上させることができる。
【００６８】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００６９】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図８は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図９は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図９（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００７０】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図９（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図９（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００７１】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００７２】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図９（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００７３】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図９（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００７４】
図１０は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図９に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００７５】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００７６】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１０において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００７７】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７８】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００７９】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。
【００８０】
図１１は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００８１】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００８２】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００８３】
図１２は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００８４】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００８５】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００８６】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００８７】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００８８】
次に、図１３は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００８９】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００９０】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００９１】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００９２】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００９３】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００９４】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００９５】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００９６】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００９７】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００９８】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００９９】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１００】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１４〜図２２を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１４に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１０１】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１５に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１６に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１０２】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１０３】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１０４】
図１７に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１８に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１０５】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１０６】
そして次に、図１９に示すように、各色のうちのいずれか（図１９の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１０７】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２０に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１０８】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図２１に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１０９】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１１０】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２２に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１１１】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１１２】
次に、図２３は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１１３】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１１４】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１１５】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１６】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１１７】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１１８】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１１９】
次に、図２４は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１２０】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１２１】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１２２】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１２３】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１２４】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２５（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２５（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１２５】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【符号の説明】
【０１２６】
１：液滴吐出装置、 １３：ヘッドユニット、 １７：機能液滴吐出ヘッド、 ５３：キャリッジプレート、 ５４：ヘッド群、 ９８：吐出ノズル、 ９９：ノズル列、 Ｗ：ワーク。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の液滴吐出ヘッドを、共通のキャリッジプレートに配置固定する液滴吐出ヘッドの配置方法、ヘッドユニットおよび液滴吐出装置、並びに、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の液滴吐出ヘッドの配置方法として、複数の液滴吐出ヘッドを、数個ずつ主走査方向に階段状に並べ、かつ副走査方向に２群に分けて配置固定する方法が知られている（特許文献１参照）。この配置方法では、複数の液滴吐出ヘッドにおける全ノズル列により１の描画ラインを構成すると共に、複数の液滴吐出ヘッドをスペース効率良く配置できるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−２３８８２１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、このような配置方法により作成されたヘッドユニットにて描画処理を行うと、別々の液滴吐出ヘッドの最外端の吐出ノズルから吐出された機能液滴が隣接して描画されることがある。すなわち、１の液滴吐出ヘッドの最外端に配設された吐出ノズルにより吐出着弾された機能液滴と、別の液滴吐出ヘッドの最外端に配設された吐出ノズルにより吐出着弾された機能液滴とが、隣接して描画される。しかしながら、配置固定する各液滴吐出ヘッドは、製造上の誤差から特に各吐出ノズルにおける液滴吐出量に差が生じてしまうことがある。そのため、上記の配置方法に基づいて複数の液滴吐出ヘッドを単純に配置すると、異なる液滴吐出ヘッドから吐出された、隣接する機能液滴の量に差が生じてしまい、色むら等の理由で良質な描画処理を行うことができないという問題があった。
【０００５】
本発明は、液滴吐出ヘッド毎に異なる液滴吐出特性を許容しつつ、複数の液滴吐出ヘッドによる描画品質を向上させることができる液滴吐出ヘッドの配置方法、ヘッドユニットおよび液滴吐出装置、並びに、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液滴吐出ヘッドの配置方法は、インクジェット方式の液滴吐出ヘッドが個々に有するノズル列の多数の吐出ノズルにおける個別の液滴吐出量に基づいて、共通の機能液を吐出する複数の液滴吐出ヘッドを、ノズル列方向に位置ずれさせて共通のキャリッジプレートに配置固定する液滴吐出ヘッドの配置方法であって、ノズル列方向に隣接する液滴吐出ヘッド同士において、相互の最内端に位置する２つの吐出ノズルの液滴吐出量の差が所定の許容差範囲に納まるように、且つキャリッジプレートにおけるノズル列方向の両最外端に位置する２つの吐出ノズルの液滴吐出量が、それぞれ所定の基準量範囲に納まるように、複数の液滴吐出ヘッドを配置固定することを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、ノズル列方向に隣接する液滴吐出ヘッド同士の相互の最内端に位置する２つの吐出ノズルが所定の許容差範囲に納まるよう、各液滴吐出ヘッドを配置固定することにより、共通のキャリッジプレートに配置固定する液滴吐出ヘッド間で、異なる液滴吐出ヘッドから吐出着弾された隣接する機能液滴における着弾量の差を抑えることができる。また、キャリッジプレートにおけるノズル列方向の両最外端に位置する２つの吐出ノズルにおいて、液滴吐出量がそれぞれ所定の基準量範囲に納まるよう、各液滴吐出ヘッドを配置固定することにより、別のキャリッジプレートに配置固定された液滴吐出ヘッド間で、異なる液滴吐出ヘッドから吐出着弾された隣接する機能液滴における着弾量の差を抑えることができる。そのため、液滴吐出ヘッド毎に異なる液滴吐出特性を許容しつつ、複数の液滴吐出ヘッドによる描画品質を向上させることができる。
【０００８】
この場合、キャリッジプレートに配置される複数の液滴吐出ヘッドは、当該液滴吐出ヘッドの数を越える数の配置候補となる候補液滴吐出ヘッドの中から選出されることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、候補液滴吐出ヘッドを、配置する液滴吐出ヘッドの数を越えた数用意することにより、上記の条件（許容差範囲および基準量範囲）を満たす可能性が高くなり、且つ条件を満たす組（パターン）が多くなる。これにより、液滴吐出ヘッドの歩留りを向上させつつ、容易に且つ確実に上記条件の配置固定を行うことができる。
【００１０】
この場合、複数の候補液滴吐出ヘッドは、全吐出ノズルにおける個別の液滴吐出量のばらつきが所定の範囲内のものであることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、候補液滴吐出ヘッドとして、全吐出ノズルにおける個別の液滴吐出量のばらつきが所定の範囲外であるものを除外することにより、適性配置を容易に行うことができる。
【００１２】
複数の液滴吐出ヘッドは、ノズル列方向において２つのヘッド群に区分けされてキャリッジプレートに配置され、２つのヘッド群に属する複数の液滴吐出ヘッドは、ノズル列方向において相互に対向位置されることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、複数の液滴吐出ヘッドをキャリッジプレート上で効率良く配置することができると共に、描画処理を効率良く行うことができる。
【００１４】
この場合、機能液は、Ｒ色、Ｇ色およびＢ色いずれかの色彩を有するものであり、所定の許容差範囲は、２つの吐出ノズルによる吐出着弾結果が隣接している場合に、相互の色むらが発生しない液滴吐出量の差に基づいて定められていることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、上記の最内端に位置する２つの吐出ノズルから吐出された隣接する吐出着弾結果（機能液滴）において、相互に色むらのない、より良質な描画処理を行うことができる。
【００１６】
この場合、機能液は、Ｒ色、Ｇ色およびＢ色いずれかの色彩を有するものであり、所定の基準量範囲は、１の吐出ノズルにおける標準化された液滴吐出量を中間値とする範囲であって、隣接する吐出着弾結果に相互の色むらが発生しない液滴吐出量の範囲に基づいて定められていることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、上記の最外端に位置する２つの吐出ノズルにおいて、所定の基準量範囲が、１の吐出ノズルにおける標準化された液滴吐出量を中間値とする範囲であることにより、標準化された液滴吐出量に近似する値になるため、液滴吐出量のばらつきを抑制することができる。また、所定の基準量範囲が、隣接する吐出着弾結果に相互の色むらが発生しない液滴吐出量の範囲に基づいて定められていることにより、色むらのない、より良質な描画処理を行うことができる。
【００１８】
この場合、所定の基準量範囲に納まる選択肢が複数組ある場合に、基準量範囲の中間値と各組の２つの上記吐出ノズルの液滴吐出量との差の二乗和が、最小値となる選択肢を選択することが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、基準量範囲の中間値と各組の２つの上記吐出ノズルの液滴吐出量との差の二乗和が最小となる組を選択することにより、２つの上記吐出ノズルの液滴吐出量の差を更に抑えることができ、より良質な描画処理を行うことができる。
【００２０】
この場合、液滴吐出量は、各ノズル列における平均の液滴吐出量が絶対目標の液滴吐出量であることを前提とし、絶対目標の液滴吐出量を１として正規化された数値で比較されることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、絶対目標との液滴吐出量の比較を容易に行うことができる。
【００２２】
この場合、各ノズル列の多数の吐出ノズルにおける個別の液滴吐出量は、測定結果に基づく近似特性線図から求めたものであることが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、各ノズル列における多数の吐出ノズルの個別の液滴吐出量を、いくつかの吐出ノズルの測定結果に基づく近似特性線図から求めることにより、全ての吐出ノズルを測定する必要がなく、全吐出ノズルの液滴吐出量を効率良く取得することができる。
【００２４】
近似特性線図は、多数の吐出ノズルの両端部の複数の吐出ノズルを全て測定すると共に、残余の中間部の複数の吐出ノズルを間引いて測定した結果から導かれることが好ましい。
【００２５】
この構成によれば、多数の吐出ノズルの両端部の複数の吐出ノズルに対して、厳密な値を取得することができる。そのため、基準許容範囲もしくは許容差範囲との比較を精度良く行うことができる。
【００２６】
この場合、許容差範囲に納まるか否かの比較対象となる液滴吐出量は、多数の吐出ノズルの端部の複数の吐出ノズルにおける液滴吐出量の平均値であることが好ましい。
【００２７】
この場合、基準量範囲に納まるか否かの比較対象となる液滴吐出量は、多数の吐出ノズルの端部の複数の吐出ノズルにおける液滴吐出量の平均値であることが好ましい。
【００２８】
これらの構成によれば、１つの吐出ノズルにおける液滴吐出量のバラツキを軽減することができ、より正確に許容差範囲（基準量範囲）に納まるか否かの比較を行うことができる。
【００２９】
この場合、各液滴吐出ヘッドは、それぞれのノズル列における多数の吐出ノズルの両外側に、描画に使用しない複数の無効吐出ノズルを有していることが好ましい。
【００３０】
この構成によれば、構造上、中央部に位置する吐出ノズルより吐出量が多い、両端部の複数の吐出ノズルを、描画に使用しない無効吐出ノズルとすることにより、ノズル列上での吐出量のばらつきを抑制することができ、より良質な描画処理を行うことができる。
【００３１】
本発明のヘッドユニットは、上記の液滴吐出ヘッドの配置方法により、キャリッジプレートに複数の液滴吐出ヘッドが配置固定されていることを特徴とする。
【００３２】
この構成によれば、液滴吐出ヘッド毎に異なる液滴吐出特性を許容しつつ、複数の液滴吐出ヘッドによる描画品質を向上させることができる液滴吐出ヘッドの配置方法を使用することにより、良質な描画処理が可能なヘッドユニットを提供することができる。
【００３３】
本発明の液滴吐出装置は、上記のヘッドユニットを搭載し、当該ヘッドユニットにより、ワークに対し機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする。
【００３４】
この構成によれば、上記のヘッドユニットを使用することにより、ワークに対し、良質な描画処理を行うことができる。
【００３５】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする。
【００３６】
本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００３７】
この構成によれば、高品質の電気光学装置を効率良く製造することができる。なお、機能材料としては、有機ＥＬ装置の発光材料（Electro-Luminescence発光層・正孔注入層）は元より、液晶表示装置に用いるカラーフィルタのフィルタ材料（フィルタエレメント）、電子放出装置（Field Emission Display， ＦＥＤ）の蛍光材料（蛍光体）、ＰＤＰ（plasma Display Panel）装置の蛍光材料（蛍光体）、電気泳動表示装置の泳動体材料（泳動体）等であって、機能液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）により吐出可能な液体材料を言う。また、電気光学装置（Flat Panel Display， ＦＰＤ）としては、有機ＥＬ装置、液晶表示装置、電子放出装置、ＰＤＰ装置、電気泳動表示装置等がある。
【００３８】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３９】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】実施形態に係る液滴吐出装置の平面図である。
【図２】液滴吐出装置の側面図である。
【図３】ヘッドユニットに搭載された機能液滴吐出ヘッドの配置構成を示した図である。
【図４】カラーフィルタの配色パターンの説明図であり、（ａ）は、ストライプ配列、（ｂ）は、モザイク配列、（ｃ）は、デルタ配列を示している。
【図５】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図６】近似特性線図を示した図である。
【図７】キャリッジプレートに対する機能液滴吐出ヘッドの配置方法について示した説明図である。
【図８】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図９】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１０】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１１】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１２】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１３】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１４】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１５】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１６】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１７】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１８】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１９】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２０】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２１】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２２】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２３】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２４】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２５】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【発明を実施するための形態】
【００４１】
以下、添付図面を参照して、本発明の一実施形態に係る液滴吐出ヘッドの配置方法を適用した液滴吐出装置について説明する。本実施形態に係る液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれており、例えば、特殊なインクや発光性の樹脂液である機能液を導入した機能液滴吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）を用い、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００４２】
図１および図２に示すように、液滴吐出装置１は、石定盤に支持されたＸ軸支持ベース２上に配設され、主走査方向となるＸ軸方向に延在して、ワークＷをＸ軸方向（主走査方向）に移動させるＸ軸テーブル１１と、複数本の支柱４を介してＸ軸テーブル１１を跨ぐように架け渡された１対（２つ）のＹ軸支持ベース３上に配設され、副走査方向となるＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１２と、複数の機能液滴吐出ヘッド１７が搭載された１０個のキャリッジユニット５１とから成り、１０個のキャリッジユニット５１は、Ｙ軸テーブル１２に吊設されている。そして、Ｘ軸テーブル１１およびＹ軸テーブル１２の駆動と同期して機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動させることにより、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴を吐出させ、ワークＷに所定の描画パターンが描画される。
【００４３】
また、液滴吐出装置１は、フラッシングユニット１４、吸引ユニット１５、ワイピングユニット１６、吐出性能検査ユニット１８から成るメンテナンス装置５を備えており、これらユニットを機能液滴吐出ヘッド１７の保守に供して、機能液滴吐出ヘッド１７の機能維持・機能回復を図るようになっている。なお、メンテナンス装置５を構成する各ユニットのうち、フラッシングユニット１４および吐出性能検査ユニット１８は、Ｘ軸テーブル１１に搭載され、吸引ユニット１５およびワイピングユニット１６は、Ｘ軸テーブル１１から外れ、かつＹ軸テーブル１２によりキャリッジユニット５１が移動可能である位置に配設された架台６上に配設されている（厳密には、吐出性能検査ユニット１８は、後述するステージユニット７７がＸ軸テーブル１１に搭載され、カメラユニット７８がＹ軸支持ベース３に支持されている。）。
【００４４】
フラッシングユニット１４は、一対の描画前フラッシングユニット１１１，１１１と、定期フラッシングユニット１１２とを有し、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出直前や、ワークＷの載換え時等の描画処理休止時に行われる、機能液滴吐出ヘッド１７の捨て吐出（フラッシング）を受けるためのものである。吸引ユニット１５は、複数の分割吸引ユニット１４１を有し、各機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル９８から機能液を強制的に吸引するものである。ワイピングユニット１６は、ワイピングシート１５１を有し、吸引後の機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面９７を拭取るものである。吐出性能検査ユニット１８は、機能液滴吐出ヘッド１７から吐出された機能液滴を受ける検査シート８３を搭載したステージユニット７７と、ステージユニット７７上の機能液滴を画像認識により検査するカメラユニット７８を有し、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出性能（吐出の有無および飛行曲り）を検査するものである。
【００４５】
以下、液滴吐出装置１の構成要素について説明する。図１または図２に示すように、Ｘ軸テーブル１１は、ワークＷをセットするセットテーブル２１と、セットテーブル２１をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第１スライダ２２と、上記のフラッシングユニット１４および吐出性能検査ユニット１８をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸第２スライダ２３と、Ｘ軸方向に延在し、Ｘ軸第１スライダ２２を介してセットテーブル２１（ワークＷ）をＸ軸方向に移動させると共に、Ｘ軸第２スライダ２３を介してフラッシングユニット１４およびステージユニット７７をＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸第１スライダ２２およびＸ軸第２スライダ２３の移動を案内する一対（２本）のＸ軸共通支持ベース２４と、を備えている。
【００４６】
セットテーブル２１は、ワークＷを吸着セットする吸着テーブル３１と、吸着テーブル３１を支持し、吸着テーブル３１にセットしたワークＷの位置をθ軸方向に補正するためのθテーブル３２等を有している。また、セットテーブル２１のＹ軸方向と平行な一対の辺には、それぞれ上記の描画前フラッシングユニット１１１が添設されている。
【００４７】
Ｙ軸テーブル１２は、１０個の各キャリッジユニット５１をそれぞれ吊設した１０個のブリッジプレート５２と、１０個のブリッジプレート５２を両持ちで支持する１０組のＹ軸スライダ（図示省略）と、上記した一対のＹ軸支持ベース３上に設置され、１０組のＹ軸スライダを介してブリッジプレート５２をＹ軸方向に移動させる一対のＹ軸リニアモータ（図示省略）と、を備えている。また、Ｙ軸テーブル１２は、各キャリッジユニット５１を介して描画時に機能液滴吐出ヘッド１７を副走査するほか、機能液滴吐出ヘッド１７をメンテナンス装置５に臨ませる。
【００４８】
一対のＹ軸リニアモータを（同期して）駆動すると、各Ｙ軸スライダが一対のＹ軸支持ベース３を案内にして同時にＹ軸方向を平行移動する。これにより、ブリッジプレート５２がＹ軸方向を移動し、これと共にキャリッジユニット５１がＹ軸方向に移動する。なお、この場合、Ｙ軸リニアモータの駆動を制御することにより、各キャリッジユニット５１を独立させて個別に移動させることも可能であるし、１０個のキャリッジユニット５１を一体として移動させることも可能である。
【００４９】
各キャリッジユニット５１は、複数の機能液滴吐出ヘッド１７を有するヘッドユニット１３と、ヘッドユニット１３をθ補正（θ回転）可能に支持するθ回転機構６１と、θ回転機構６１を介して、ヘッドユニット１３をＹ軸テーブル１２（各ブリッジプレート５２）に支持させる吊設部材６２と、を備えている。
【００５０】
図３に示すように、ヘッドユニット１３は、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７と、１２個の機能液滴吐出ヘッド１７が配置固定されたキャリッジプレート５３と、を備えている。１２個の機能液滴吐出ヘッド１７は、Ｙ軸方向に２群に分かれ、６個ずつＸ軸方向に階段状に並んでヘッド群５４を構成している。各ヘッド群５４に属する６個の機能液滴吐出ヘッド１７は、ノズル列９８ｂ方向において相互に対抗配置されており（図７参照）、複数の機能液滴吐出ヘッド１７をキャリッジプレート５３上で効率良く配置することができると共に、描画処理を効率良く行うことができるように構成されている。また、各ヘッド群５４の各色２つの機能液滴吐出ヘッド１７は、Ｘ軸方向において連設し、１の描画ラインを構成する。
【００５１】
ヘッドユニット１３に搭載された１２×１０個の機能液滴吐出ヘッド１７は、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液のいずれかに対応しており、各色４個の機能液滴吐出ヘッド１７（各ヘッド群５４で各色２個ずつ）により、ワークＷに３色の機能液から成る描画パターンを描画できるようになっている。本実施形態のものでは、全機能液滴吐出ヘッド１７（１２×１０個）の２回の副走査により、Ｙ軸方向に連続するＲＧＢ３色の描画ラインがそれぞれ形成される。この描画ラインの長さは、セットテーブル２１に搭載可能な最大サイズのワークＷの幅に対応している。なお、３色の機能液から成る描画パターンには、図４に示すように３種類のパターンがあり、本実施形態では、図４（ａ）の描画パターン（ビットアップデータ）により描画が行われる。
【００５２】
図５に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針９２を有する機能液導入部９１と、機能液導入部９１に連なる２連のヘッド基板９３と、機能液導入部９１の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体９４と、を備えている。接続針９２は、図外の機能液タンクに接続され、機能液導入部９１に機能液を供給する。ヘッド本体９４は、キャビティ９５（ピエゾ圧電素子）と、多数の吐出ノズル９８が開口したノズル面９７を有するノズルプレート９６と、で構成されている。機能液滴吐出ヘッド１７を吐出駆動すると、（ピエゾ圧電素子に電圧が印加され）キャビティ９５のポンプ作用により、吐出ノズル９８から機能液滴が吐出される。
【００５３】
なお、ノズル面９７には、多数の吐出ノズル９８からなる第１ノズル列９９ａおよび第２ノズル列９９ｂが相互に平行に形成されている。そして、２つのノズル列９９ａ，９９ｂ同士は、相互に半ノズルピッチ分位置ずれしている。２つのノズル列９９ａ，９９ｂは、両端部にそれぞれ１０個ずつ、描画処理に使用しない無効吐出ノズルを有しており、これにより、ノズル列９９ａ，９９ｂ上での液滴吐出量のばらつきを抑制することができ、より良質な描画処理を行うことができる。なお、請求項にいう「ノズル列」は、本実施形態においては第１ノズル列９９ａおよび第２ノズル列９９ｂを併せたものである。そのため、以下、第１ノズル列９９ａおよび第２ノズル列９９ｂを併せて、単にノズル列９９と表記する。
【００５４】
液滴吐出装置１の描画動作は、まず、ワークＷをＸ軸テーブル１１により、Ｘ軸方向で移動させながら（図１中奥側へ）、第１描画動作（往動パス）を行う。その後、ヘッドユニット１３を２ヘッド分Ｙ軸方向に移動（副走査）させて、改めて、ワークＷをＸ軸方向で移動させながら（図１中手前側へ）、第２描画動作（復動パス）を行う。そして、再度ヘッドユニット１３を２ヘッド分副走査し、もう一度、ワークＷをＸ軸方向で移動させながら（図１中奥側へ）、第３描画動作（往動パス）を行う。このように、副走査により、ワークＷ上の位置に対し、対応する機能液滴吐出ヘッド１７を変更しつつ、ワークＷの移動および描画動作を３度繰り返すことにより、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の描画処理を効率良く行っている。
【００５５】
次に、図６または図７を参照して、キャリッジプレート５３上における機能液滴吐出ヘッド１７の配置方法について詳細に説明する。この機能液滴吐出ヘッド１７の配置は、あらかじめ配置候補となる複数の機能液滴吐出ヘッド１７（以下、候補吐出ノズルと表記）を用意し、その候補吐出ノズルの液滴吐出特性に基づいて、候補吐出ノズルの中から適切な機能液滴吐出ヘッド１７を選出し、配置するものである。そのため、まず、この候補吐出ノズルの選出および候補吐出ノズルの液滴吐出特性取得について説明する。候補吐出ノズルの液滴吐出特性取得は、候補吐出ノズルの選出の際に行う選出前液滴吐出ヘッドの液滴吐出特性取得にて行われるため、ここで、選出前液滴吐出ヘッドの液滴吐出特性取得について説明する。なお、以下の説明において、描画や測定に係らない無効吐出ノズルの存在を無視して説明する。
【００５６】
製造された選出前の多数の機能液滴吐出ヘッド１７である選出前液滴吐出ヘッドは、それぞれ図外の検査装置により、各吐出ノズル９８における吐出量、吐出速度および吐出不良等が取得される。特に各吐出ノズル９８の吐出量は、両端部の複数の吐出ノズル９８については全て測定し、残余の吐出ノズル９８（中間部に位置する複数の吐出ノズル９８）については、両端部の吐出ノズル９８の測定結果から近似特性線図（図６参照）を用いて求める。このように、各ノズル列９９における全ての吐出ノズル９８の液滴吐出量を、いくつかの吐出ノズル９８の測定結果に基づく近似特性線図から求めることにより、全ての吐出ノズル９８を測定する必要がなく、全吐出ノズル９８の液滴吐出量を効率良く取得することができる。また、近似特性線図を両端部の吐出ノズル９８に基づいて作成することにより、機能液滴吐出ヘッド１７の配置固定に用いる両端部の吐出ノズル９８に対して、厳密な値を取得することができる。なお、近似特性線図は、６次近似曲線図を用いることが好ましい。また、上記の吐出不良には、否吐出、飛行曲がり、異常吐出等がある。
【００５７】
次に、取得された液滴吐出特性に基づいて、多数の選出前液滴吐出ヘッドの中から複数の候補液滴吐出ヘッドを選出する。すなわち、１の選出前液滴吐出ヘッドにおいて、全吐出ノズル９８における個別の液滴吐出量のばらつきが所定範囲内であると判断され、且つ、吐出速度や飛行曲がり等の判定により良品であると判断された場合に、当該選出前液滴吐出ヘッドを候補液滴吐出ヘッドとして選出する。このように、判定条件として全吐出ノズル９８における個別の液滴吐出量のばらつきが所定範囲内であるという条件を有することにより、適正配置を容易に行うことができる。なお、選出された候補液滴吐出ヘッドは、配置する機能液滴吐出ヘッド１７の数を超える数用意する。これにより、機能液滴吐出ヘッド１７の配置固定に用いる条件を満たす可能性が高くなり、且つ条件を満たす組（パターン）が多くなる。そのため、機能液滴吐出ヘッド１７の歩留りを向上させつつ、容易に且つ確実に条件通りの配置固定を行うことができる。
【００５８】
図７に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７の配置固定は、最内端ノズル条件と最外端ノズル条件の２つの条件を満たすように行われる。なお、これらの条件は、機能液の色ごとに考慮される。そのため、ここでは、Ｒ色を例に挙げて説明する。
【００５９】
最内端ノズル条件は、キャリッジプレート５３上の４個（各色４個であるため）の機能液滴吐出ヘッド１７において、ノズル列９９方向に相互隣接する機能液滴吐出ヘッド１７との間の各最内端の２つの吐出ノズル９８に対し、この２つの吐出ノズル９８における液滴吐出量の差が、所定の許容差範囲に納まるという条件である。この許容差範囲は、吐出着弾結果（着弾された機能液滴）が隣接している場合に、相互の色むらが発生しない液滴吐出量の差に基づいて設定される。例えば、本実施形態では、液滴吐出量の差が０．６５％（標準値１．０１１ｐｌの０．６５％）まで許容される。
【００６０】
最外端ノズル条件は、キャリッジプレート５３上のノズル列９９方向で両外端に位置する機能液滴吐出ヘッド１７において、それらの両外端に配置された２つの吐出ノズル９８、すなわち、右端に配設された機能液滴吐出ヘッド１７の右端の吐出ノズル９８および左端に配設された機能液滴吐出ヘッド１７の左端の吐出ノズル９８に対し、２つの吐出ノズル９８がそれぞれ所定の基準量範囲に収まるという条件である。この基準量範囲は、１の吐出ノズル９８における標準化された液滴吐出量を中間値とする範囲であって、隣接する吐出着弾結果に相互の色むらが発生しない液滴吐出量の範囲に基づいて設定されている。例えば、本実施形態では、１．０１１ｐｌ±０．４５％（標準値１．０１１ｐｌの０．４５％）である。
【００６１】
このように、ノズル列９９方向に隣接する機能液滴吐出ヘッド１７同士の相互の最内端に位置する２つの吐出ノズル９８が所定の許容差範囲に納まるよう、各機能液滴吐出ヘッド１７を配置固定することにより、共通のキャリッジプレート５３に配置固定する機能液滴吐出ヘッド１７間で、異なる機能液滴吐出ヘッド１７から吐出着弾された隣接する吐出着弾結果における着弾量の差を抑えることができる。また、キャリッジプレート５３におけるノズル列９９方向の両最外端に位置する２つの吐出ノズルにおいて、液滴吐出量がそれぞれ所定の基準量範囲に納まるよう、各機能液滴吐出ヘッド１７を配置固定することにより、別のキャリッジプレート５３に配置固定された機能液滴吐出ヘッド１７間で、異なる機能液滴吐出ヘッド１７から吐出着弾された隣接する吐出着弾結果（機能液滴）における着弾量の差を抑えることができる。そのため、機能液滴吐出ヘッド１７毎に異なる液滴吐出特性を許容しつつ、複数の機能液滴吐出ヘッド１７による描画品質を向上させることができる。
【００６２】
また、最内端ノズル条件において、許容差範囲が、吐出着弾結果が隣接している場合に、相互の色むらが発生しない液滴吐出量の差に基づいて設定されることにより、上記の最内端に位置する２つの吐出ノズル９８から吐出された隣接する吐出着弾結果において、相互に色むらのない、より良質な描画処理を行うことができる。
【００６３】
さらに、最外端ノズル条件において、基準量範囲が、１の吐出ノズルにおける標準化された液滴吐出量を中間値とする範囲で定められていることにより、標準化された液滴吐出量に近似する値になるため、液滴吐出量のばらつきを抑制することができると共に、基準量範囲が、隣接する吐出着弾結果に相互の色むらが発生しない液滴吐出量の範囲に基づいて定められていることにより、色むらのない、より良質な描画処理を行うことができる。
【００６４】
最外端ノズル条件において、所定の基準量範囲に納まる選択肢が複数組ある場合には、各組の基準量範囲の中間値（標準値）と最外端の２つの吐出ノズル９８における液滴吐出量との差の二乗和が、最小値となる選択肢を選択する。これにより、２つの吐出ノズル９８の液滴吐出量の差を更に抑えることができ、より良質な描画処理を行うことができる。例えば、中間値が１．０１１ｐｌ、選択肢が２組あり、一方の組の２つの吐出ノズルの液滴吐出量が、１．０１１＋０．５ｐｌと１．０１１−０．１ｐｌ、他方の組の２つの吐出ノズルの液滴吐出量が、１．０１１＋０．３ｐｌと１．０１１−０．２ｐｌである場合、一方の組の中間値と液滴吐出量との差の二乗和は、（１．０１１−（１．０１１＋０．５））2＋（１．０１１−（１．０１１−０．１））2＝０．２６、他方の組の中間値と液滴吐出量との差の二乗和は、（１．０１１−（１．０１１＋０．３））2＋（１．０１１−（１．０１１−０．２））2＝０．１３である。そのため、この場合、最小値０．１３を有する他方の組を選択する。
【００６５】
なお、これらの条件に用いる液滴吐出量は、各ノズル列９９における平均の液滴吐出量が絶対目標であることを前提とし、この絶対目標の液滴吐出量を１として正規化された数値とすることが好ましい。これにより、絶対目標との液滴吐出量の比較を容易に行うことができる。
【００６６】
また、許容差範囲もしくは基準量範囲に納まるか否かの比較対象となる液滴吐出量は、ノズル列９９の端部に位置する複数（各１０個）の吐出ノズル９８の液滴吐出量の平均値とすることが好ましい。すなわち、この平均値を、上記比較に利用する各吐出ノズル９８の液滴吐出量とする。これにより、１つの吐出ノズル９８における液滴吐出量のばらつきを軽減することができ、より正確に基準量範囲に納まるか否かの比較を行うことができる。さらに、上記の最外端ノズル条件下における選択肢の選択において、両外端に位置する各５個の吐出ノズルと中間値との差の二乗和を、比較対象とすることが好ましい。
【００６７】
以上のような構成により、ノズル列９９方向に隣接する機能液滴吐出ヘッド１７同士の相互の最内端に位置する２つの吐出ノズル９８が所定の許容差範囲に納まるよう、各機能液滴吐出ヘッド１７を配置固定することにより、共通のキャリッジプレート５３に配置固定する機能液滴吐出ヘッド１７間で、異なる機能液滴吐出ヘッド１７から吐出着弾された隣接する機能液滴における着弾量の差を抑えることができる。また、キャリッジプレート５３におけるノズル列９９方向の両最外端に位置する２つの吐出ノズル９８において、液滴吐出量がそれぞれ所定の基準量範囲に納まるよう、各機能液滴吐出ヘッド１７を配置固定することにより、別のキャリッジプレート５３に配置固定された機能液滴吐出ヘッド１７間で、異なる機能液滴吐出ヘッド１７から吐出着弾された隣接する機能液滴における着弾量の差を抑えることができる。そのため、機能液滴吐出ヘッド１７毎に異なる液滴吐出特性を許容しつつ、複数の機能液滴吐出ヘッド１７による描画品質を向上させることができる。
【００６８】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００６９】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図８は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図９は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図９（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００７０】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図９（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図９（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００７１】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００７２】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図９（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００７３】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図９（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００７４】
図１０は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図９に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００７５】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００７６】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１０において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００７７】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７８】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００７９】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。
【００８０】
図１１は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００８１】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００８２】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００８３】
図１２は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００８４】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００８５】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００８６】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００８７】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００８８】
次に、図１３は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００８９】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００９０】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００９１】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００９２】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００９３】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００９４】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００９５】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００９６】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００９７】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００９８】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００９９】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１００】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１４〜図２２を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１４に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１０１】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１５に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１６に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１０２】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１０３】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１０４】
図１７に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１８に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１０５】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１０６】
そして次に、図１９に示すように、各色のうちのいずれか（図１９の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１０７】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２０に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１０８】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図２１に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１０９】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１１０】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２２に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１１１】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１１２】
次に、図２３は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１１３】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１１４】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１１５】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１６】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２１に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１１７】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１１８】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１１９】
次に、図２４は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１２０】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１２１】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１２２】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１２３】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１２４】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２５（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２５（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１２５】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【符号の説明】
【０１２６】
１：液滴吐出装置、 １３：ヘッドユニット、 １７：機能液滴吐出ヘッド、 ５３：キャリッジプレート、 ５４：ヘッド群、 ９８：吐出ノズル、 ９９：ノズル列、 Ｗ：ワーク。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクジェット方式の液滴吐出ヘッドが個々に有するノズル列の多数の吐出ノズルにおける個別の液滴吐出量に基づいて、
共通の機能液を吐出する複数の液滴吐出ヘッドを、ノズル列方向に位置ずれさせて共通のキャリッジプレートに配置固定する液滴吐出ヘッドの配置方法であって、
ノズル列方向に隣接する前記液滴吐出ヘッド同士において、相互の最内端に位置する２つの前記吐出ノズルの液滴吐出量の差が所定の許容差範囲に納まるように、
且つ前記キャリッジプレートにおけるノズル列方向の両最外端に位置する２つの前記吐出ノズルの液滴吐出量が、それぞれ所定の基準量範囲に納まるように、前記複数の液滴吐出ヘッドを配置固定することを特徴とする液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項２】
前記キャリッジプレートに配置される複数の液滴吐出ヘッドは、当該液滴吐出ヘッドの数を越える数の配置候補となる候補液滴吐出ヘッドの中から選出されることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項３】
前記複数の候補液滴吐出ヘッドは、全吐出ノズルにおける個別の液滴吐出量のばらつきが所定の範囲内のものであることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項４】
前記複数の液滴吐出ヘッドは、ノズル列方向において２つのヘッド群に区分けされて前記キャリッジプレートに配置され、
前記２つのヘッド群に属する複数の液滴吐出ヘッドは、ノズル列方向において相互に対向位置されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項５】
前記機能液は、Ｒ色、Ｇ色およびＢ色いずれかの色彩を有するものであり、
前記所定の許容差範囲は、２つの前記吐出ノズルによる吐出着弾結果が隣接している場合に、相互の色むらが発生しない液滴吐出量の差に基づいて定められていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項６】
前記機能液は、Ｒ色、Ｇ色およびＢ色いずれかの色彩を有するものであり、
前記所定の基準量範囲は、１の吐出ノズルにおける標準化された液滴吐出量を中間値とする範囲であって、隣接する吐出着弾結果に相互の色むらが発生しない液滴吐出量の範囲に基づいて定められていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項７】
前記所定の基準量範囲に納まる選択肢が複数組ある場合に、前記基準量範囲の中間値と各組の２つの前記吐出ノズルの液滴吐出量との差の二乗和が、最小値となる選択肢を選択することを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項８】
前記液滴吐出量は、各ノズル列における平均の液滴吐出量が絶対目標の液滴吐出量であることを前提とし、前記絶対目標の液滴吐出量を１として正規化された数値で比較されることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項９】
前記各ノズル列の多数の吐出ノズルにおける個別の液滴吐出量は、測定結果に基づく近似特性線図から求めたものであることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項１０】
前記近似特性線図は、前記多数の吐出ノズルの両端部の複数の吐出ノズルを全て測定すると共に、残余の中間部の複数の吐出ノズルを間引いて測定した結果から導かれることを特徴とする請求項９に記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項１１】
前記許容差範囲に納まるか否かの比較対象となる液滴吐出量は、前記多数の吐出ノズルの端部の複数の吐出ノズルにおける液滴吐出量の平均値であることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項１２】
前記基準量範囲に納まるか否かの比較対象となる液滴吐出量は、前記多数の吐出ノズルの端部の複数の吐出ノズルにおける液滴吐出量の平均値であることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項１３】
前記各液滴吐出ヘッドは、それぞれのノズル列における多数の吐出ノズルの両外側に、描画に使用しない複数の無効吐出ノズルを有していることを特徴とする請求項１ないし１２のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの配置方法により、前記キャリッジプレートに前記複数の液滴吐出ヘッドが配置固定されていることを特徴とするヘッドユニット。
【請求項１５】
請求項１４に記載のヘッドユニットを搭載し、前記ヘッドユニットにより、ワークに対し機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１７】
請求項１５に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１８】
請求項１６に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１７に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【請求項１】
インクジェット方式の液滴吐出ヘッドが個々に有するノズル列の多数の吐出ノズルにおける個別の液滴吐出量に基づいて、
共通の機能液を吐出する複数の液滴吐出ヘッドを、ノズル列方向に位置ずれさせて共通のキャリッジプレートに配置固定する液滴吐出ヘッドの配置方法であって、
ノズル列方向に隣接する前記液滴吐出ヘッド同士において、相互の最内端に位置する２つの前記吐出ノズルの液滴吐出量の差が所定の許容差範囲に納まるように、
且つ前記キャリッジプレートにおけるノズル列方向の両最外端に位置する２つの前記吐出ノズルの液滴吐出量が、それぞれ所定の基準量範囲に納まるように、前記複数の液滴吐出ヘッドを配置固定することを特徴とする液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項２】
前記キャリッジプレートに配置される複数の液滴吐出ヘッドは、当該液滴吐出ヘッドの数を越える数の配置候補となる候補液滴吐出ヘッドの中から選出されることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項３】
前記複数の候補液滴吐出ヘッドは、全吐出ノズルにおける個別の液滴吐出量のばらつきが所定の範囲内のものであることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項４】
前記複数の液滴吐出ヘッドは、ノズル列方向において２つのヘッド群に区分けされて前記キャリッジプレートに配置され、
前記２つのヘッド群に属する複数の液滴吐出ヘッドは、ノズル列方向において相互に対向位置されることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項５】
前記機能液は、Ｒ色、Ｇ色およびＢ色いずれかの色彩を有するものであり、
前記所定の許容差範囲は、２つの前記吐出ノズルによる吐出着弾結果が隣接している場合に、相互の色むらが発生しない液滴吐出量の差に基づいて定められていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項６】
前記機能液は、Ｒ色、Ｇ色およびＢ色いずれかの色彩を有するものであり、
前記所定の基準量範囲は、１の吐出ノズルにおける標準化された液滴吐出量を中間値とする範囲であって、隣接する吐出着弾結果に相互の色むらが発生しない液滴吐出量の範囲に基づいて定められていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項７】
前記所定の基準量範囲に納まる選択肢が複数組ある場合に、前記基準量範囲の中間値と各組の２つの前記吐出ノズルの液滴吐出量との差の二乗和が、最小値となる選択肢を選択することを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項８】
前記液滴吐出量は、各ノズル列における平均の液滴吐出量が絶対目標の液滴吐出量であることを前提とし、前記絶対目標の液滴吐出量を１として正規化された数値で比較されることを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項９】
前記各ノズル列の多数の吐出ノズルにおける個別の液滴吐出量は、測定結果に基づく近似特性線図から求めたものであることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項１０】
前記近似特性線図は、前記多数の吐出ノズルの両端部の複数の吐出ノズルを全て測定すると共に、残余の中間部の複数の吐出ノズルを間引いて測定した結果から導かれることを特徴とする請求項９に記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項１１】
前記許容差範囲に納まるか否かの比較対象となる液滴吐出量は、前記多数の吐出ノズルの端部の複数の吐出ノズルにおける液滴吐出量の平均値であることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項１２】
前記基準量範囲に納まるか否かの比較対象となる液滴吐出量は、前記多数の吐出ノズルの端部の複数の吐出ノズルにおける液滴吐出量の平均値であることを特徴とする請求項１ないし１１のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項１３】
前記各液滴吐出ヘッドは、それぞれのノズル列における多数の吐出ノズルの両外側に、描画に使用しない複数の無効吐出ノズルを有していることを特徴とする請求項１ないし１２のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの配置方法。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの配置方法により、前記キャリッジプレートに前記複数の液滴吐出ヘッドが配置固定されていることを特徴とするヘッドユニット。
【請求項１５】
請求項１４に記載のヘッドユニットを搭載し、前記ヘッドユニットにより、ワークに対し機能液を吐出して描画を行なうことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１７】
請求項１５に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１８】
請求項１６に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１７に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図１９】
【図２０】
【図２１】
【図２２】
【図２３】
【図２４】
【図２５】
【公開番号】特開２０１０−７５９２３（Ｐ２０１０−７５９２３Ａ）
【公開日】平成２２年４月８日（２０１０．４．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２０４４６４（Ｐ２００９−２０４４６４）
【出願日】平成２１年９月４日（２００９．９．４）
【分割の表示】特願２００７−１４７２８４（Ｐ２００７−１４７２８４）の分割
【原出願日】平成１９年６月１日（２００７．６．１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年４月８日（２０１０．４．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年９月４日（２００９．９．４）
【分割の表示】特願２００７−１４７２８４（Ｐ２００７−１４７２８４）の分割
【原出願日】平成１９年６月１日（２００７．６．１）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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